JP6105918B2 - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、本発明で作製することのできる半導体装置の一態様を図1(A)から(C)を用いて説明する。図1(A)は、トランジスタ440の平面図であり、図1(B)は、図1(A)のA−A’における断面図、図1(C)は、図1(A)のB−B’における断面図である。図1(A)から(C)に示すトランジスタ440のチャネル長Lは、20nm以上100nm以下とし、好ましくは20nm以上50nm以下とし、さらに好ましくは20nm以上30nm以下とする。本実施の形態では、チャネル長Lは30nm前後とする。
(基板と下地絶縁層)
基板400としては、絶縁表面を有する基板を用いることができ、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有する基板を用いることが好ましい。基板400としては、例えばガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板などを用いることができる。また、シリコンや炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウムなどの化合物半導体基板、SOI基板などを適用することもでき、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板400として用いてもよい。なお、基板400中の水素または水などの不純物濃度は、低いことが好ましい。酸化物半導体層403に水素または水が拡散し、当該半導体装置の電気特性を劣化させないようにするためである。
ゲート電極層401としては、例えばモリブデン、チタン、タングステン、アルミニウム、銅等の金属材料を用いることができる。また、ゲート電極層401としてリン等の不純物元素をドーピングした多結晶シリコン層に代表される半導体層、ニッケルシリサイドなどのシリサイド層を用いてもよい。また、ゲート電極層401を単層構造としてもよいし、積層構造としてもよい。
ゲート絶縁層402は、酸化シリコン、酸窒化シリコン、窒化シリコン等を用いることができる。ゲート絶縁層402は、化学量論的組成を満たす酸素よりも多くの酸素を含む酸化シリコン層が好ましい。ゲート絶縁層402は、上記に示した膜を単層で形成しても良いし、2層で構成しても良い。たとえば、窒化シリコンと酸窒化シリコン、窒化シリコンと酸化シリコンを用いることができる。
ソース電極層またはドレイン電極層のいずれか一方は、第1導電層454aと第1低抵抗材料層405aで構成され、他方は、第2導電層454bと第2低抵抗材料層405bで構成されている。第1導電層454aおよび第2導電層454bは、タングステン、モリブデン等の金属を用いることができる。特にタングステンが好ましい。第1保護層406とエッチングレートの比を高くすることができるからである。第1低抵抗材料層405aおよび第2低抵抗材料層405bは、アルミニウムとチタンの積層構造、または銅などを用いることができる。アルミニウムとチタンの積層構造は、チタン/アルミニウム/チタンを用いてもよい。第1低抵抗材料層405aおよび第2低抵抗材料層405bに銅を用いる場合、銅が隣接する層に拡散しないように窒化チタン等を設けることが好ましい。
本発明の一態様のトランジスタの半導体層には、少なくとも禁制帯幅がシリコンの1.1eVよりも大きい半導体を用いることができ、酸化物半導体を用いることが好ましい。本実施の形態では、半導体層として、酸化物半導体層403を適用する場合について説明する。
第1保護層406は、酸化物半導体層403を、外部から侵入する水分等から守る役割を有する。第1保護層406は、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜を用いることができる。第1保護層406は、膜中に酸素を多く含ませた酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜を用いることが好ましい。また、多くの過剰酸素を第1保護層に含ませたい場合には、イオン注入法やイオンドーピング法やプラズマ処理によって、第1保護層に酸素を適宜添加すればよい。
ハードマスク層495は、第1保護層406をエッチングする条件でエッチングされにくい膜であることが好ましい。なぜならば、第1保護層406をエッチングするときに、ハードマスク層495をマスクとして利用するためである。ハードマスク層495には、アモルファスシリコンを用いることが好ましく、アモルファスシリコンは、PCVD法または、スパッタリング法で成膜することができる。
本発明の一態様である半導体装置の作製方法について、図2から図6を用いて説明する。
本実施の形態では、半導体装置の一態様を図7(A)および図7(B)を用いて説明する。図7(A)は、トランジスタ420の平面図であり、図7(B)は、図7(A)のX−Yにおける断面図である。なお、図7(A)では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ420の構成要素の一部(例えば、ゲート絶縁層402等)を省略して図示している。図7(A)および図7(B)に示すトランジスタ420のチャネル長Lは、20nm以上100nm以下とし、好ましくは20nm以上50nm以下とし、さらに好ましくは20nm以上30nm以下とする。本実施の形態では、チャネル長Lは30nm前後とする。
基板400には半導体素子が設けられているが、ここでは簡略化のため省略している。また、基板400上には、配線層474a、474bと、配線層474a、474bを覆う下地絶縁層436が設けられており、その一部が図8に示すメモリ構成の一つとなっている。図8にトランジスタ420と基板400に設けられているトランジスタ431との接続を示す等価回路の一例を示す。
本実施の形態では、本発明で作製することのできる半導体装置の一態様を図9(A)から(C)を用いて説明する。図9(A)は、トランジスタ441の平面図であり、図9(B)は、図9(A)のA−A’における断面図、図9(C)は、図9(A)のB−B’における断面図である。なお、図9(A)では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ441の構成要素の一部(例えば、ゲート絶縁層402等)を省略して図示している。図9(A)から(C)に示すトランジスタ441のチャネル長Lは、20nm以上100nm以下とし、好ましくは20nm以上50nm以下とし、さらに好ましくは20nm以上30nm以下とする。本実施の形態では、チャネル長Lは30nm前後とする。
基板、下地絶縁層、ゲート電極層、ゲート絶縁層、ソース電極層およびドレイン電極層、酸化物半導体層、ならびに保護層は、実施の形態1を参酌することができる。
配線保護層485は、導電層454をエッチングする条件でエッチングされにくい膜であることが好ましい。第1低抵抗材料層405aおよび第2低抵抗材料層405bは、トランジスタ同士を連結する引き回し配線として使用するため、低抵抗材料層405の膜厚は、100nm以上の膜厚がある。よって、低抵抗材料層405の表面と、導電層454の表面との高さの差は、少なくとも100nm以上になる。仮に配線保護層485を設けない場合、低抵抗材料層405の端はレジストが被覆されないか、または被覆されていてもレジストの膜厚は薄くなる。そのため、導電層454の加工で低抵抗材料層405はエッチングダメージを受ける。そのダメージを防止するため、導電層454をエッチングする条件でエッチングされにくい配線保護層485を低抵抗材料層405の上に設け、低抵抗材料層405がエッチングされないようにする。配線保護層485には、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化アルミニウムを用いることが好ましい。酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコンは、PCVD法、または、スパッタリング法で成膜することができる。酸化アルミニウムは、スパッタリング法で成膜することができる。
本発明の一態様である半導体装置の作製方法について、図2、および図10から図12を用いて説明する。
本実施の形態では、半導体装置の一態様を図13(A)および図13(B)を用いて説明する。図13(A)は、トランジスタ421の平面図であり、図13(B)は、図13(A)のX−Yにおける断面図である。なお、図13(A)では、煩雑になることを避けるため、トランジスタ421の構成要素の一部(例えば、ゲート絶縁層402等)を省略して図示している。図13(A)及び図13(B)に示すトランジスタ421のチャネル長Lは、20nm以上100nm以下とし、好ましくは20nm以上50nm以下とし、さらに好ましくは20nm以上30nm以下とする。本実施の形態では、チャネル長Lは30nm前後とする。
本実施の形態では、実施の形態1および3で例示した酸化物半導体層403に用いることができる、CAAC−OS(C Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor)膜について説明する。
本実施の形態では、本明細書に示すトランジスタを使用し、電力が供給されない状況でも記憶内容の保持が可能で、かつ、書き込み回数にも制限が無い半導体装置(記憶装置)の一例を、図面を用いて説明する。
本実施の形態では、実施の形態6と異なる構成の記憶装置の構造の一形態について説明する。
本明細書に開示する半導体装置は、さまざまな電子機器(遊技機も含む)に適用することができる。電子機器としては、テレビジョン装置(テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、遊技機(パチンコ機、スロットマシン等)、ゲーム筐体が挙げられる。これらの電子機器の具体例を図17に示す。
401 ゲート電極層
402 ゲート絶縁層
403 酸化物半導体層
405 低抵抗材料層
405a 低抵抗材料層
405b 低抵抗材料層
406 第1保護層
407 第2保護層
407a 第3保護層
407b 第4保護層
420 トランジスタ
421 トランジスタ
430 容量
431 トランジスタ
432 絶縁層
436 下地絶縁層
440 トランジスタ
441 トランジスタ
451 酸素ドーピング
453 レジスト
454 導電層
454a 第1導電層
454b 第2導電層
455 レジスト
474a 配線層
474b 配線層
485 配線保護層
485a 第1配線保護層
485b 第2配線保護層
495 ハードマスク層
3000 基板
3001 トランジスタ
3003a 電極
3003b 電極
3003c 電極
3004 論理回路
3100a 配線
3100b 配線
3100c 配線
3100d 配線
3106 素子分離絶縁層
3140a 絶縁膜
3140b 絶縁膜
3141a 絶縁膜
3141b 絶縁膜
3142a 絶縁膜
3142b 絶縁膜
3170a メモリセル
3170b メモリセル
3171a トランジスタ
3171b トランジスタ
3200 トランジスタ
3202 トランジスタ
3204 容量素子
3208 電極
3210a 導電層
3210b 導電層
3212 電極
3214 電極
3216 配線
3220 絶縁層
3222 絶縁層
3223 絶縁層
3223a 絶縁層
3224 絶縁層
3303 電極
3400(1) メモリセルアレイ
3400(2) メモリセルアレイ
3400(n) メモリセルアレイ
3501a 導電層
3501b 導電層
3501c 導電層
3502a 電極
3502b 電極
3502c 電極
3503a 電極
3503b 電極
3505 電極
9033 留め具
9034 スイッチ
9035 電源スイッチ
9036 スイッチ
9038 操作スイッチ
9630 筐体
9631 表示部
9631a 表示部
9631b 表示部
9632a 領域
9632b 領域
9633 太陽電池
9634 充放電制御回路
9635 バッテリー
9636 DCDCコンバータ
9637 コンバータ
9638 操作キー
9639 ボタン
Claims (3)
- ゲート電極と、ゲート絶縁層と、酸化物半導体層と、ソース電極と、ドレイン電極と、を有する半導体装置の作製方法であって、
前記酸化物半導体層上に、前記ソース電極及び前記ドレイン電極となる、導電層を形成し、
前記導電層上に、絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に、ハードマスク層を形成し、
前記ハードマスク層上に、レジストを形成し、
前記レジストに、電子ビームを照射して、前記酸化物半導体層のチャネル形成領域と重なる領域に第1の開口を形成し、
前記第1の開口を有するレジストを用いて、前記ハードマスク層に第2の開口を形成し、
前記ハードマスク層を用いて、前記絶縁層をエッチングし、かつ前記導電層をエッチングして、前記ソース電極及び前記ドレイン電極を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1において、
前記絶縁層の表面を、CMP法を用いて平坦化し、
平坦化された前記絶縁層の表面上に、前記ハードマスク層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1又は請求項2において、
前記ハードマスク層は、アモルファスシリコンを有することを特徴とする半導体装置の作製方法。
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US9076825B2 (en) | 2013-01-30 | 2015-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the semiconductor device |
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JP6355374B2 (ja) | 2013-03-22 | 2018-07-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US9773915B2 (en) | 2013-06-11 | 2017-09-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
KR20160126991A (ko) * | 2014-02-28 | 2016-11-02 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 상기 반도체 장치를 포함하는 표시 장치 |
TWI560837B (en) * | 2014-03-24 | 2016-12-01 | E Ink Holdings Inc | Contact window structure, pixel structure and method for manufacturing thereof |
US10204898B2 (en) | 2014-08-08 | 2019-02-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
DE112015004272T5 (de) | 2014-09-19 | 2017-06-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Herstellungsverfahren der Halbleitervorrichtung |
US9917209B2 (en) * | 2015-07-03 | 2018-03-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing method of semiconductor device including step of forming trench over semiconductor |
JP2017085093A (ja) | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP7007080B2 (ja) | 2016-07-19 | 2022-02-10 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Tft回路基板 |
JP6678830B1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-04-08 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタ基板、その製造方法及びそれを備えた液晶表示装置 |
US11031506B2 (en) | 2018-08-31 | 2021-06-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device including transistor using oxide semiconductor |
Family Cites Families (118)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
JPH0244256B2 (ja) | 1987-01-28 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn2o5deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244260B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn5o8deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
JPH0244258B2 (ja) | 1987-02-24 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn3o6deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244262B2 (ja) | 1987-02-27 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn6o9deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JPH0244263B2 (ja) | 1987-04-22 | 1990-10-03 | Kagaku Gijutsucho Mukizaishitsu Kenkyushocho | Ingazn7o10deshimesarerurotsuhoshokeinosojokozoojusurukagobutsuoyobisonoseizoho |
JP3255942B2 (ja) | 1991-06-19 | 2002-02-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 逆スタガ薄膜トランジスタの作製方法 |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
DE69635107D1 (de) | 1995-08-03 | 2005-09-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Halbleiteranordnung mit einem transparenten schaltungselement |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
GB9606083D0 (en) * | 1996-03-22 | 1996-05-22 | Philips Electronics Nv | Electronic device manufacture |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
US6218221B1 (en) * | 1999-05-27 | 2001-04-17 | Chi Mei Optoelectronics Corp. | Thin film transistor with a multi-metal structure and a method of manufacturing the same |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP2001264810A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Nec Kagoshima Ltd | アクティブマトリクス基板及びその製造方法 |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
US7061014B2 (en) | 2001-11-05 | 2006-06-13 | Japan Science And Technology Agency | Natural-superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
CN1445821A (zh) | 2002-03-15 | 2003-10-01 | 三洋电机株式会社 | ZnO膜和ZnO半导体层的形成方法、半导体元件及其制造方法 |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
JP2005150403A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
KR101019337B1 (ko) | 2004-03-12 | 2011-03-07 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 아몰퍼스 산화물 및 박막 트랜지스터 |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
CA2585071A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
EP1812969B1 (en) | 2004-11-10 | 2015-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor comprising an amorphous oxide |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CA2585063C (en) | 2004-11-10 | 2013-01-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI445178B (zh) | 2005-01-28 | 2014-07-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI505473B (zh) | 2005-01-28 | 2015-10-21 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
EP1770788A3 (en) | 2005-09-29 | 2011-09-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method thereof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101577231B (zh) | 2005-11-15 | 2013-01-02 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4565573B2 (ja) | 2006-09-07 | 2010-10-20 | 株式会社フューチャービジョン | 液晶表示パネルの製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
WO2008133345A1 (en) | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Oxynitride semiconductor |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP5215158B2 (ja) | 2007-12-17 | 2013-06-19 | 富士フイルム株式会社 | 無機結晶性配向膜及びその製造方法、半導体デバイス |
JP5367325B2 (ja) * | 2008-07-30 | 2013-12-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2010062499A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Renesas Technology Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
KR101642384B1 (ko) | 2008-12-19 | 2016-07-25 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 트랜지스터의 제작 방법 |
JP2010182929A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Fujifilm Corp | 電界効果型トランジスタの製造方法 |
WO2011048925A1 (en) * | 2009-10-21 | 2011-04-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
KR102138547B1 (ko) * | 2009-11-13 | 2020-07-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제작 방법 |
KR20170142998A (ko) | 2009-12-25 | 2017-12-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 제작 방법 |
KR102174859B1 (ko) | 2010-01-22 | 2020-11-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
US8436403B2 (en) | 2010-02-05 | 2013-05-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device including transistor provided with sidewall and electronic appliance |
WO2011125432A1 (en) | 2010-04-07 | 2011-10-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
JP5172893B2 (ja) * | 2010-04-23 | 2013-03-27 | 株式会社東芝 | トランジスタの製造方法 |
KR20140101817A (ko) | 2011-12-02 | 2014-08-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제작 방법 |
-
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