JP6089415B2 - 逆阻止型半導体装置の製造方法 - Google Patents
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また、塗布拡散時の酸化膜マスク中に形成されるボロンガラスに比べて、酸化膜マスクへのイオン注入によるボロンガラスは膜質および膜厚の均一性が高いため、ボロンガラスを除去してボロンガラスを含まない酸化膜だけを残すエッチングが容易にできることが分かった。
0.8μmの厚い酸化膜のない状態、例えば酸化膜をマスクとせず、レジストマスクによりボロンをイオン注入すると、イオン注入時にはレジストの阻止能で活性領域にはボロンが入らず、開口部からだけイオン注入されるので、ここまでのプロセスでは問題は生じない。しかし、次のドライブ拡散工程では、ボロンがイオン注入領域から外方拡散したときに活性領域にオートドープされて、n層の抵抗変動を引き起こし、後にデバイス特性のばらつきを生じさせる原因となる。
2 p型ベース領域
3 n型エミッタ領域
4 ゲート絶縁膜
5 ゲート電極
6 層間絶縁膜
9 エミッタ電極
10 p型コレクタ領域
11 コレクタ電極
12 切断面
13 耐圧構造領域表面
15 酸化膜
15a 酸化膜
15b 酸化膜
15c ボロンガラス
15d 酸化膜
16a 開口部
31a 分離領域
Claims (3)
- n型シリコン基板の一方の主面に選択形成されるp型ベース領域と、該p型ベース領域表面層に選択形成されるn型エミッタ領域と、前記n型シリコン基板の残り部分であるn型ドリフト領域と前記n型エミッタ領域とに挟まれる前記p型ベース領域の一方の主面側表面にゲート絶縁膜を介して形成されるゲート電極と、前記p型ベース領域を前記n型ドリフト領域を主領域とする耐圧構造領域を介して取り囲むp型分離領域と、前記n型シリコン基板の他方の主面に露出する前記p型分離領域に連結されるp型コレクタ層とを備える逆阻止型半導体装置の製造方法において、
前記p型分離領域の形成工程は、
n型シリコン基板の一方の主面に、酸化膜マスクを形成する工程と、
前記酸化膜マスクに分離領域用の開口部を形成する工程と、
前記開口部へボロンをイオン注入する工程と、
前記イオン注入により形成されたボロンガラス層をエッチングで除去して、前記ボロンガラス層を含まない前記酸化膜マスクを厚さ0.15μm以上残すエッチング工程と、
酸化雰囲気中でボロンをドライブ拡散する工程と、
を有することを特徴とする逆阻止型半導体装置の製造方法。 - 前記ドライブ拡散する工程が、酸化雰囲気中でのボロンの拡散深さ100μm以上のドライブ拡散により、リング状平面パターンの分離領域を形成する工程であり、さらに、
該分離領域に囲まれた中央領域に主電流の経路となる活性領域およびpn接合の終端部を保護し、該終端部近傍での電界強度を緩和するための耐圧構造領域を形成する工程、
前記他方の主面を研削して前記他方の主面側に前記分離領域の底部を露出させる工程、
前記他方の主面にイオン注入により全面にp型コレクタ領域を形成し、前記分離領域と同導電型で連結させる工程を有することを特徴とする請求項1記載の逆阻止型半導体装置の製造方法。 - 前記逆阻止型半導体装置が逆阻止IGBTであることを特徴とする請求項2記載の逆阻止型半導体装置の製造方法。
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