JP6046269B2 - 多結晶シリコンを堆積させる方法 - Google Patents
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Description
化学反応(堆積)の終了後、堆積反応装置が開かれ、それに続いて、ポリシリコンロッドを、堆積反応装置から低汚染で取り出すことができる。
本発明の方法の第2の様式を図3示す。
該方法のさらなる様式において、加湿された窒素および/または空気(空調空気の形態を含む)が、堆積プラントを換気するための媒体として堆積反応装置中に導入され、ベルジャー堆積物の反応による消耗が、生成した塩化水素ガスの量によりオンラインモニターによってモニターされ、該方法は、到達されるべき制限濃度に応じて終了される。
Claims (4)
- ケイ素含有成分および水素を含む反応ガスを反応装置中に導入することを含み、その結果として多結晶シリコンがロッドの形態で堆積される、多結晶シリコンを堆積させる方法であって、堆積が終了した後かつロッド取り出し開始前に、反応装置が開かれて、反応装置のベルジャーを基板から上に持ち上げることにより特定の期間換気され、
形成され、換気および媒体供給に利用される間隙は、基板上の堆積反応装置全高のパーセンテージとして、0.5−15%であり、および
この間隙を通して、ガス状媒体が導入され、吸引管またはガラスの覗き窓を通して除去され、および
換気の期間が堆積の工程段階の10分の1未満を占め、導入されるガス状媒体の流量が、50−2000m 3 /hであり、および
加湿された窒素および/または空気が、換気するための媒体として導入される方法。 - 基板とベルジャーとの間に、支持体が提供される、請求項1に記載の方法。
- ベルジャー堆積物の反応による消耗が、生成した塩化水素ガスの量によりオンラインモニターによってモニターされ、該換気は、到達されるべき制限濃度に応じて終了される、請求項1に記載の方法。
- 換気のこの期間は、多結晶シリコンの1バッチ堆積後の反応装置の開放で始まり、堆積が終了した後、ロッドが所望の最終の直径に到達したときに、第1の多結晶ロッドを反応装置から取り出す目的で、ベルジャーまたはこれらの部品を除去するまでの期間を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
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