JP2016506357A - 多結晶シリコンを堆積させる方法 - Google Patents
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Abstract
Description
化学反応(堆積)の終了後、堆積反応装置が開かれ、それに続いて、ポリシリコンロッドを、堆積反応装置から低汚染で取り出すことができる。
本発明の方法の第2の様式を図3示す。
該方法のさらなる様式において、加湿された窒素および/または空気(空調空気の形態を含む)が、堆積プラントを換気するための媒体として堆積反応装置中に導入され、ベルジャー堆積物の反応による消耗が、生成した塩化水素ガスの量によりオンラインモニターによってモニターされ、該方法は、到達されるべき制限濃度に応じて終了される。
Claims (9)
- ケイ素含有成分および水素を含む反応ガスを反応装置中に導入することを含み、その結果として多結晶シリコンがロッドの形態で堆積される、多結晶シリコンを堆積させる方法であって、堆積が終了した後、反応装置が開かれて特定の期間換気される方法。
- 反応装置が、反応装置のベルジャーを基板から上に持ち上げることによって開かれる、請求項1に記載の方法。
- 反応装置が、ガラスの覗き窓を開くことによって開かれる、請求項1に記載の方法。
- 反応装置が、フランジまたは投入ガスもしくはオフガスのラインを開くことによって開かれる、請求項1に記載の方法。
- 媒体が、反応装置中に供給されて、次に反応装置の開放中に再び除去される、請求項1または2に記載の方法。
- 媒体が、ガラスの覗き窓を通して供給され、媒体が、オフガス用の開口部または第2のガラスの覗き窓を通して再び除去される、請求項5に記載の方法。
- 媒体が、同じ開口部を通して供給され除去される、請求項5に記載の方法。
- 供給される媒体が、それぞれ個々でまたは組み合わせて、空気もしくは空気の個々の構成要素、窒素、湿気、アルゴン、ヘリウムである、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 供給され除去されるガスが、ベルジャー堆積物の反応による消耗の結果生じて排出される構成要素についてモニターされる、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
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