JP6032623B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態では、半導体材料からなる基板を有する太陽電池の製造方法について説明する。半導体材料からなる基板は、結晶シリコン基板であってもよい。即ち、本発明に係る太陽電池の製造方法は、結晶シリコン太陽電池の製造方法であってもよい。
まず、例えば、図1及び図2に示すようなカセット10に複数の基板11をセットする。ここで、基板11は、半導体材料からなる基板であってもよいし、半導体層などが表面上に配された半導体材料からなる基板であってもよい。
次に、図3に示されるように、カセット10にセットされ、x軸方向に沿って相互に間隔をおいて配された複数の基板11を、カセット10ごと、薬液槽12に溜められた薬液13に浸漬することにより複数の基板11を処理する処理工程を行う。この処理工程は、基板11のエッチング工程や洗浄工程等である。例えばエッチング工程を行う場合は、薬液13をエッチング液とすることができる。例えば洗浄工程を行う場合は、薬液13を洗浄液とすることができる。
10a…凹部
11…基板
12…薬液槽
13…薬液
14…気泡
15a〜15d…パイプ(気泡発生部)
16…気泡発生口
17…ギャップ
Claims (7)
- 半導体材料からなる基板を有する太陽電池の製造方法であって、
カセットの凹部と隙間を有する状態で前記凹部に保持されるように一の方向に沿って配した複数の前記基板を、薬液槽に溜められた薬液に浸漬すると共に、前記薬液槽において前記複数の基板の下方に配された気泡発生部の複数の気泡発生口から前記薬液中の前記複数の基板に向けて気泡を供給して前記複数の基板を処理する処理工程を備え、
前記複数の基板を処理する処理工程では、
平面視において、前記気泡発生口が前記一の方向において隣り合う前記基板の間に位置するように前記複数の基板を配した状態で前記基板を処理し、
前記複数の基板のうち一の基板の一方の面側および前記一の基板に隣接する他の基板の前記一の基板に対向する面側に供給される気泡の量が、前記一の基板の他方の面側および前記他の基板の前記一の基板に対向する面とは反対側の面側に供給される気泡の量よりも多い第1の状態と、前記一の基板の前記一方の面側および前記他の基板の前記一の基板に対向する面側に供給される気泡の量が、前記一の基板の前記他方の面側および前記他の基板の前記一の基板に対向する面とは反対側の面側に供給される気泡の量よりも少ない第2の状態と、が交互に複数回繰り返して生じるように前記薬液中に気泡を供給する、
太陽電池の製造方法。 - 前記平面視において、前記複数の気泡発生口のうち、前記基板の前記一方の面側に供給される気泡発生口は、前記基板の前記他方の面側に供給される気泡発生口に対して、前記一の方向と直交する方向において前記基板の中央部側または前記基板の端部側に位置している、
請求項1に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記第1の状態において、前記基板の前記一方の面側には気泡が供給され、かつ、前記基板の前記他方の面側には気泡が供給されず、
前記第2の状態において、前記基板の前記他方の面側には気泡が供給され、かつ、前記基板の前記一方の面側には気泡が供給されない、
請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記気泡発生口の直径が前記一の方向において隣り合う前記基板の間のギャップの距離よりも小さい、請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記隣り合う基板間の間隔が、前記基板の平面形状を矩形に近似したときの一辺の長さの1/20以下となるように前記複数の基板を配する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記基板の厚さが200μm以下である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記処理工程として、
前記基板を洗浄液に浸漬することにより洗浄する洗浄工程と、
前記基板をエッチング液に浸漬することによりエッチングするエッチング工程と、
のうちの少なくとも一方を行う、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
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