JP2014063890A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエット洗浄工程では、キャリアカセット100内に2枚の半導体基板Sを洗浄及びリンス可能に、かつリンス取り出し時にリンス水により貼り付き可能に近接配置して一組Usとし、更にこれらの半導体基板の組Us同士をリンス取り出し時にリンス水により貼り付かないように離間して並列配置した状態で洗浄及びリンスを行い、次いで上記半導体基板Sをリンス水を介して貼り付いた2枚一組単位で取り出し、この貼り付いた状態を維持したままで熱処理ボートに並列配置して熱処理を行う。
【選択図】図5
Description
〔1〕 半導体基板について少なくとも洗浄液による洗浄及びリンス水によるリンスを行うウエット洗浄工程と熱処理工程とを含む太陽電池の製造方法であって、ウエット洗浄工程では、キャリアカセット内に2枚の半導体基板を洗浄及びリンス可能に、かつリンス取り出し時にリンス水により貼り付き可能に近接配置して一組とし、更にこれらの半導体基板の組同士をリンス取り出し時にリンス水により貼り付かないように離間して並列配置した状態で洗浄及びリンスを行い、次いで上記半導体基板をリンス水を介して貼り付いた2枚一組単位で取り出し、この貼り付いた状態を維持したままで熱処理ボートに並列配置して熱処理を行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。
〔2〕 上記半導体基板は、両面に微小な凹凸構造のテクスチャを有することを特徴とする〔1〕に記載の太陽電池の製造方法。
〔3〕 上記ウエット洗浄工程は、キャリアカセットの内部に所定間隔で設けられた溝ごとに2枚の半導体基板の端部が挿入されて、洗浄及びリンス可能に、かつリンス取り出し時にリンス水により貼り付き可能に近接配置する一組とされ、溝同士の間隔によりこれらの半導体基板の組同士がリンス取り出し時にリンス水により貼り付かないように離間して並列配置されており、該キャリアカセットごと洗浄液及びリンス水に浸漬して半導体基板を洗浄及びリンスするものであることを特徴とする〔1〕又は〔2〕に記載の太陽電池の製造方法。
〔4〕 上記熱処理工程は、熱処理ボート内に上記リンス水を介して貼り付いた状態の2枚一組の半導体基板を所定間隔で離間して収納し、上記熱処理ボートごと熱処理炉内に配置して半導体基板の熱処理を行うものであることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
〔5〕 上記熱処理工程は、少なくともドーパント化合物蒸気を用いた熱拡散処理工程、又は酸化剤を用いた熱酸化処理工程であることを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
上記のスクリーン印刷法による電極形成、並びに開口後の蒸着法による電極形成は、基板の受光面と裏面に組合せて使用することも可能である。
厚さ250μm、比抵抗1Ω・cmのホウ素ドープ{100}p型アズカットシリコン基板1240枚を、図5に示したごとく、キャリアカセット100の保持溝102a,102bの一溝に対し2枚一組単位の組Usで近接配置すると共に、これらの組Us同士を所定間隔で離間した状態で収納し、熱濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去後、水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬しテクスチャ形成を行い、引き続き塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行った後、リンス水洗浄、乾燥処理を行った(図3(a))。
上記ウエット洗浄処理後、シリコン基板11は2枚一組単位でリンス水の表面張力により貼り付いた状態で取出され、この状態を維持したまま、図6に示したごとく、熱処理ボート200の保持溝202a,202b,202c,202dの一溝に対し上記2枚一組単位で収納し、オキシ塩化リン雰囲気下、870℃にて気相拡散を行うことによりエミッタ層12の形成を行った(図3(b))。
上記熱拡散処理後、図5に示したごとく、キャリアカセット100の保持溝102a,102bの一溝に対し2枚一組単位の組Usで近接配置すると共に、これらの組Us同士を所定間隔で離間した状態で収納し、フッ酸にてガラスを除去し、洗浄、リンス水処理、乾燥処理を行った。ここでも、エミッタ層12を有するシリコン基板11は2枚一組単位でリンス水の表面張力により貼り付いた状態で取出され、この状態を維持したまま、図6に示したごとく、熱処理ボート200の保持溝202a,202b,202c,202dの一溝に対し上記2枚一組単位で収納し、温度1050℃にて60分間ドライ酸化雰囲気中で熱酸化処理を行った(図3(c))。
上記熱酸化処理後の基板同士の接着は全く確認されず、外観はいずれも青色を呈し、いずれの基板とも面内に色むらや洗浄むらは全く確認されなかった。
次に、レーザーを用いて裏面のパッシベーション膜14であるシリコン酸化膜に開口部を形成し、裏面の電極16としてAlペーストを裏面全面にスクリーン印刷し乾燥させた。次いで、反射防止膜13上に受光面の電極15としてAgペーストをスクリーン印刷し乾燥させた。最後に780℃の空気雰囲気下で電極を焼成して太陽電池を作製した(図3(d))。
厚さ250μm、比抵抗1Ω・cmのホウ素ドープ{100}P型アズカットシリコン基板1240枚を、図1に示したごとく、キャリアカセット800の保持溝802a,802bの一溝に対し1枚の基板を収納させ、熱濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去後、水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬しテクスチャ形成を行い、引き続き塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行った後、リンス水洗浄、乾燥処理を行った。
次に、図2に示したごとく、熱処理ボート900の保持溝902a,902b,902c,902dの一溝に対し1枚の基板を収納させ、オキシ塩化リン雰囲気下、870℃にて気相拡散を行うことによりエミッタ層の形成を行った。
上記熱拡散処理後、図1に示したごとく、キャリアカセット800の保持溝802a,802bの一溝に対し1枚の基板を収納し、フッ酸にてガラスを除去し、洗浄、リンス水処理、乾燥処理を行った。
次に、図2に示したごとく、熱処理ボート900の保持溝902a,902b,902c,902dの一溝に対し1枚の基板を収納させ、温度1050℃にて60分間ドライ酸化雰囲気中で熱酸化処理を行った。
更に、レーザーを用いて裏面のシリコン酸化膜に開口部を形成し、裏面の電極層としてAlペーストを裏面全面にスクリーン印刷し乾燥させた。次いで受光面の電極層としてAgペーストをスクリーン印刷し乾燥させた。最後に780℃の空気雰囲気下で電極を焼成して太陽電池を作製した。
11a テクスチャ
12 エミッタ層
13 反射防止膜
14 パッシベーション膜
15、16 電極
100、800 キャリアカセット
101、801 側板
102a、102b、802a、802b 基板保持溝(保持溝)
200、900 熱処理ボート
201、901 梁
202a、202b、202c、202d、902a、902b、902c、902d
203、903 支柱
S 半導体基板
Us 組
W リンス水
Claims (5)
- 半導体基板について少なくとも洗浄液による洗浄及びリンス水によるリンスを行うウエット洗浄工程と熱処理工程とを含む太陽電池の製造方法であって、ウエット洗浄工程では、キャリアカセット内に2枚の半導体基板を洗浄及びリンス可能に、かつリンス取り出し時にリンス水により貼り付き可能に近接配置して一組とし、更にこれらの半導体基板の組同士をリンス取り出し時にリンス水により貼り付かないように離間して並列配置した状態で洗浄及びリンスを行い、次いで上記半導体基板をリンス水を介して貼り付いた2枚一組単位で取り出し、この貼り付いた状態を維持したままで熱処理ボートに並列配置して熱処理を行うことを特徴とする太陽電池の製造方法。
- 上記半導体基板は、両面に微小な凹凸構造のテクスチャを有することを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記ウエット洗浄工程は、キャリアカセットの内部に所定間隔で設けられた溝ごとに2枚の半導体基板の端部が挿入されて、洗浄及びリンス可能に、かつリンス取り出し時にリンス水により貼り付き可能に近接配置する一組とされ、溝同士の間隔によりこれらの半導体基板の組同士がリンス取り出し時にリンス水により貼り付かないように離間して並列配置されており、該キャリアカセットごと洗浄液及びリンス水に浸漬して半導体基板を洗浄及びリンスするものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記熱処理工程は、熱処理ボート内に上記リンス水を介して貼り付いた状態の2枚一組の半導体基板を所定間隔で離間して収納し、上記熱処理ボートごと熱処理炉内に配置して半導体基板の熱処理を行うものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記熱処理工程は、少なくともドーパント化合物蒸気を用いた熱拡散処理工程、又は酸化剤を用いた熱酸化処理工程であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016117073A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
JP2017135407A (ja) * | 2017-04-10 | 2017-08-03 | 信越化学工業株式会社 | 裏面接合型太陽電池の製造方法 |
CN108511378A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种半导体芯片清洗用花篮及其使用方法 |
WO2020073720A1 (zh) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种去除晶硅太阳能电池的正面绕镀的方法 |
CN112864035A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-28 | 天津爱旭太阳能科技有限公司 | 一种太阳能电池片自动下料机及其控制方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06244389A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-09-02 | Canon Inc | 半導体基板の作製方法及び該方法により作製された半導体基板 |
JPH10173208A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Sharp Corp | 太陽電池セルの製造方法 |
JPH10303443A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池及びその製造方法、半導体製造装置 |
JP2006086243A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用ボート |
JP2006294752A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Sharp Corp | 基板表面処理用の基板のキャリアホルダー |
JP2010027744A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 基板の拡散層形成方法 |
WO2012036002A1 (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-22 | 信越化学工業株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-09-21 JP JP2012208329A patent/JP5861604B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06244389A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-09-02 | Canon Inc | 半導体基板の作製方法及び該方法により作製された半導体基板 |
JPH10173208A (ja) * | 1996-12-10 | 1998-06-26 | Sharp Corp | 太陽電池セルの製造方法 |
JPH10303443A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池及びその製造方法、半導体製造装置 |
JP2006086243A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理用ボート |
JP2006294752A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Sharp Corp | 基板表面処理用の基板のキャリアホルダー |
JP2010027744A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 基板の拡散層形成方法 |
WO2012036002A1 (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-22 | 信越化学工業株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016117073A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
JPWO2016117073A1 (ja) * | 2015-01-22 | 2017-04-27 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
CN107210330A (zh) * | 2015-01-22 | 2017-09-26 | 三菱电机株式会社 | 太阳能电池的制造方法以及太阳能电池 |
CN108511378A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种半导体芯片清洗用花篮及其使用方法 |
JP2017135407A (ja) * | 2017-04-10 | 2017-08-03 | 信越化学工業株式会社 | 裏面接合型太陽電池の製造方法 |
WO2020073720A1 (zh) * | 2018-10-12 | 2020-04-16 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | 一种去除晶硅太阳能电池的正面绕镀的方法 |
US11430908B2 (en) | 2018-10-12 | 2022-08-30 | Zhejiang Aiko Solar Energy Technology Co., Ltd. | Method for removing undesired coating from front face of crystalline silicon solar cell |
CN112864035A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-28 | 天津爱旭太阳能科技有限公司 | 一种太阳能电池片自动下料机及其控制方法 |
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Publication number | Publication date |
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