JP2017135407A - 裏面接合型太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】裏面接合型太陽電池は、第1導電型の半導体基板と、半導体基板の裏面に設けられた第1導電型の半導体層及び第2導電型の半導体層と、半導体基板の表面に設けられた第1導電型の半導体層とを備え、表面の第1導電型の半導体層は、高濃度拡散領域と低濃度拡散領域を有することを特徴とする。このような裏面接合型太陽電池の製造方法は、第1導電型の半導体基板の片面に半導体基板より高濃度の第1導電型半導体層を備えた基板もしくは半導体基板上に第1導電型拡散剤が付与された基板を準備する工程と、準備した基板に熱酸化膜を形成する工程とを含み、熱酸化膜を形成する工程では、複数の基板を表面と裏面を向い合せて配置した状態で熱処理することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
図7(f)まで処理した基板50枚に対し、n型表面高濃度拡散領域706、n型表面低濃度拡散領域707、シリコン酸化膜708を一度の熱処理で形成した。その際の熱処理の条件としては、高温熱処理炉にて、アルゴン雰囲気で950度の熱処理を30分間実施した後、続けて酸素雰囲気で1000℃の熱処理を180分間実施した。(図8(a))。熱処理を行う際、基板は隣接する基板の表面と裏面が向かい合う状態になるよう、熱処理用ボートに1.6mm間隔で充填した。
比較例では、図7(f)まで処理した基板50枚に対し熱酸化処理することによりシリコン酸化膜708を形成した。その際の熱処理の条件としては、高温熱処理炉にて、酸素雰囲気で1000℃の熱処理を180分間実施し、熱酸化膜のみ形成した。(図9(a))熱処理を行う際、基板は、実施例同様、隣接する基板の表面と裏面が向かい合う状態になるよう、熱処理用ボートに1.6mm間隔で充填した。
102・・・n型表面拡散領域
103、304、411、711・・・パッシベーション膜
104、309、412、712・・・反射防止膜
105、302、405、705・・・n型裏面拡散領域
106、303、410、710・・・p型裏面拡散領域
107、703、708・・・シリコン酸化膜
108、202、305、413、713・・・n型電極
109、203、306、414、714・・・p型電極
201・・・裏面接合型太陽電池
307、406、706・・・n型表面高濃度拡散領域
308、407、707・・・n型表面低濃度拡散領域
402、702・・・太陽電池用基板
403、408・・・誘電体膜
404、409、704、709・・・開口部
601・・・n型拡散ペースト
Claims (6)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の裏面に設けられた第1導電型の半導体層及び第2導電型の半導体層と、
前記半導体基板の表面に設けられた第1導電型の半導体層とを備え、
前記表面の第1導電型の半導体層は、高濃度拡散領域と低濃度拡散領域を有することを特徴とする裏面接合型太陽電池。 - 前記表面の第1導電型の半導体層における前記高濃度拡散領域は、前記裏面の第1導電型の半導体層に対して真裏に位置するように設けられることを特徴とする請求項1記載の裏面接合型太陽電池。
- 前記表面の第1導電型半導体層の不純物濃度は前記半導体基板より高濃度であり、前記高濃度拡散領域の不純物濃度は1×1017〜1019cm−3、前記低濃度拡散領域の不純物濃度は1×1016〜1018cm−3であることを特徴とする請求項1または2に記載の裏面接合型太陽電池。
- 第1導電型の半導体基板の片面に前記半導体基板より高濃度の第1導電型半導体層を備えた基板もしくは前記半導体基板上に第1導電型拡散剤が付与された基板を準備する工程と、
準備した前記基板に熱酸化膜を形成する工程とを含み、
前記熱酸化膜を形成する工程では、複数の基板を表面と裏面を向い合せて配置した状態で熱処理することを特徴とする裏面接合型太陽電池の製造方法。 - 前記熱酸化膜を形成する工程において、隣接する基板間の距離が0〜5mmであることを特徴とする請求項4に記載の裏面接合型太陽電池の製造方法。
- 前記熱酸化膜を形成する工程は、
不活性ガスを主成分とする雰囲気中で熱処理する工程と、
酸化性ガスを主成分とする雰囲気中で熱処理する工程とを含むことを特徴とする請求項4または5に記載の裏面接合型太陽電池の製造方法。
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WO2013172056A1 (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 三菱電機株式会社 | 光電変換装置およびその製造方法、光電変換モジュール |
US20140083506A1 (en) * | 2012-09-25 | 2014-03-27 | International Business Machines Corporation | Embedded junction in hetero-structured back-surface field for photovoltaic devices |
JP2014063890A (ja) * | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 太陽電池の製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011222682A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Shin Etsu Chem Co Ltd | シリコン酸化膜の形成方法及び太陽電池の製造方法 |
WO2013172056A1 (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 三菱電機株式会社 | 光電変換装置およびその製造方法、光電変換モジュール |
JP2014063890A (ja) * | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 太陽電池の製造方法 |
US20140083506A1 (en) * | 2012-09-25 | 2014-03-27 | International Business Machines Corporation | Embedded junction in hetero-structured back-surface field for photovoltaic devices |
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