JP2017130682A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
101・・・バスバー電極
102・・・フィンガー電極
201・・・集電電極
405・・・受光面電極
202、302、402、502・・・反射防止膜
203、303、403、505・・・エミッタ層
205、301、305、406、508、509・・・裏面電極
504・・・シリコン酸化膜
206、306、404、507・・・裏面パッシベーション層
307、506・・・BSF層
308、503・・・FSF層
Claims (5)
- シリコン基板を熱処理してドーパント拡散層形成ならびに酸化膜形成を行う太陽電池の製造方法において、前記熱処理は前記シリコン基板を2枚ずつ重ね合わせた状態で行い、前記ドーパント拡散層形成を行う工程と前記酸化膜形成を行う工程とが同一の処理室内で連続して行われることを特徴とする太陽電池の製造方法。
- 前記シリコン基板は第一の主表面を外側にして第二の主表面同士が向かい合う形で2枚ずつ重ね合わされており、第二の主表面上にテクスチャが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記酸化膜の厚みは5〜150nmであることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第一の主表面上にドーパント拡散層を形成することを特徴とする請求項2または3に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記ドーパント拡散層はN型であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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