JP6003791B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6003791B2 JP6003791B2 JP2013096389A JP2013096389A JP6003791B2 JP 6003791 B2 JP6003791 B2 JP 6003791B2 JP 2013096389 A JP2013096389 A JP 2013096389A JP 2013096389 A JP2013096389 A JP 2013096389A JP 6003791 B2 JP6003791 B2 JP 6003791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- main surface
- diffusion
- texture
- solar cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Description
〔1〕 第一の導電型の半導体基板の少なくとも一方の主面である第一主面にテクスチャを形成し、該第一主面における基板の外縁領域をテクスチャを有さない平坦部として、上記半導体基板の第一主面に第二の導電型の拡散源を含む拡散剤を塗布し、この拡散剤を塗布した半導体基板を2枚一組とし、この2枚の半導体基板の第一主面同士を向き合わせて重ね合わせた状態で熱処理して該拡散剤を拡散させて第二の導電型拡散層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
〔2〕 上記半導体基板の他方の主面である第二主面に第一の導電型の拡散源を別途供給し、上記熱処理により第一の導電型拡散層を同時に形成するものであることを特徴とする〔1〕記載の太陽電池の製造方法。
〔3〕 上記半導体基板の導電型がN型であることを特徴とする〔1〕又は〔2〕記載の太陽電池の製造方法。
〔4〕 上記半導体基板の第一主面において該基板の外縁から7mm以内の領域をテクスチャを有さない平坦部とすることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
本発明に係る太陽電池の製造方法は、第一の導電型の半導体基板の少なくとも一方の主面である第一主面にテクスチャを形成し、該第一主面における基板の外縁領域をテクスチャを有さない平坦部として、上記半導体基板の第一主面に第二の導電型の拡散源を含む拡散剤を塗布し、熱処理して該拡散剤を拡散させて第二の導電型拡散層を形成することを特徴とする。例えば、本発明の太陽電池の製造方法は、第一の導電型の半導体基板の少なくとも一方の主面である第一主面にテクスチャを形成し、該第一主面における基板の外縁領域をテクスチャを有さない平坦部とする工程と、上記半導体基板の第一主面に第二の導電型拡散層を形成するための第二の導電型の拡散源を含む拡散剤を塗布する工程と、上記半導体基板の他方の主面である第二主面に第一の導電型の拡散源を気相又は塗布により供給する気相拡散法又は塗布拡散法によって拡散層を形成すると共に上記第一主面の拡散剤を拡散させて第二の導電型拡散層を形成する拡散熱処理工程とを有することを特徴とするものである。
[シリコン基板の準備]
高純度シリコンにリンあるいは砒素、アンチモンのようなV族元素をドープし、比抵抗0.1〜5Ω・cmとしたアズカット単結晶{100}N型シリコン基板表面のスライスダメージを、濃度5〜60質量%の水酸化ナトリウムや水酸化カリウムのような高濃度のアルカリもしくはふっ酸と硝酸の混酸などを用いてエッチングする。単結晶シリコン基板は、CZ法、FZ法のいずれの方法によって作製されてもよい。基板は必ずしも単結晶シリコンである必要はなく、多結晶シリコンや化合物半導体でも構わない。また、シリコン基板の形状も特に限定されず、矩形、円形のいずれでもよい。ここでは、N型単結晶シリコン基板を用いる場合を説明する。
引き続き、シリコン基板100の少なくとも受光面(第一主面)表面にテクスチャ100aと呼ばれる微小な凹凸形成を行う(図3(a))。テクスチャ100aは太陽電池の反射率を低下させるための有効な方法である。テクスチャ100aは、シリコン基板100を加熱した水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムなどのアルカリ溶液(濃度1〜10質量%、温度60〜100℃)中に10〜30分間程度浸漬することで形成される。上記溶液中に、所定量の2−プロパノールを溶解させ、反応を促進させることが多い。テクスチャ形成は、表面のエッチングを行っていることになるため、前記ダメージエッチングの代用とすることも可能である。
なお、図3(a)に示すように、シリコン基板100の両面にテクスチャ100aを形成してもよい。図3においては、シリコン基板100の上向きの面を受光面(第一主面)、下向きの面を裏面(第二主面)としている。
次に、シリコン基板100のテクスチャ形成面における基板外縁領域のテクスチャ100aを除去してテクスチャを有さない平坦部100bとする(図3(b))。テクスチャ100aの除去方法としては、アルカリやふっ酸と硝酸の混酸にシリコン基板100の外縁領域のみを浸漬、もしくはこれらの薬品を含ませたポーラス状の物体(例えばスポンジ)にシリコン基板100の外縁領域を接触させることで、外縁領域のみのテクスチャがエッチングされ除去される。又は、シリコン基板100を複数枚重ねた状態で四フッ化炭素などのプラズマ雰囲気中に曝すことで、重ね合わせたシリコン基板100間の隙間からプラズマを侵入させてその外縁領域のみをエッチングしてテクスチャを除去するようにしてもよい。テクスチャ100aが除去されることにより、シリコン基板100のテクスチャ形成面における外縁領域は平坦な状態となる。なお、ここでいう平坦な状態とは、テクスチャのような微細な凹凸がなく、後述する拡散剤の塗布によってシリコン基板100の表面が部分的に露出することなく拡散剤で被覆可能な程度に平滑な状態を意味する。
3mm以上6mm以下であることがより好ましい。平坦部100bの幅Wが1mm未満では後述する拡散熱処理の際に裏面側から裏面用の拡散源が回り込んで受光面の基板外縁からテクスチャ100aの領域にまで侵入して太陽電池特性を劣化させるおそれがあり、7mm超ではテクスチャ100aによる反射率低減効果が阻害されるおそれがある。
以上の工程の後、塩酸、硫酸、硝酸、ふっ酸等もしくはこれらの混合液の酸性水溶液中でシリコン基板100を洗浄する。
次いで、シリコン基板100の第一主面に、シリコン基板100の導電型と逆の導電型(第二の導電型)となる拡散源を含む拡散剤、例えば予めホウ酸を純水に溶解しておいた拡散剤を塗布し乾燥させることで、拡散剤塗布層(拡散源)103aを形成する(図3(c))。拡散剤の塗布量は拡散層103を形成するために必要な量であるが、シリコン基板100の第一主面はテクスチャ100aを有するため、図3(c)の如く拡散剤塗布層103aはテクスチャ100aの凹凸を完全に被覆できず、テクスチャ100aの凹部付近を被覆し、凸部の先端は被覆されずに露出した状態となる。また、平坦部100bは拡散剤塗布層103aで完全に被覆される。
次に、シリコン基板100を950〜1,050℃で10〜40分間の熱処理を施すことで、第一主面上にホウ素の拡散層103を形成する(図3(d))。この拡散層103のシート抵抗は30〜100Ωとするのが好適である。また、この拡散熱処理時に雰囲気ガスとして第一の導電型の拡散源を供給するガス、例えばオキシ塩化リンを導入することで、シリコン基板100の第二主面にN型拡散層106を同時に形成することができる(図3(d))。
図5に示すように、従来のシリコン基板を用いた場合(図5の点線)、シリコン基板両端側の領域でシート抵抗が極端に低くなっている。これは、拡散熱処理時にリンが第一主面の基板外縁領域に回り込み、拡散(オートドープ)することによってP型に反転できず、シリコン基板の抵抗が測定されていることを示している。この低抵抗領域は基板外縁から最大7mm入った領域に渡って確認される。一方、基板外縁領域のテクスチャを除去した本発明のシリコン基板の場合(図5の実線)、低抵抗領域は認められない。上述のように、シリコン基板100の第一主面における基板外縁領域が平坦となることでその領域が拡散剤塗布層で完全に覆われ、リンの回り込み(オートドープ)がブロックされたためと考えられる。
拡散熱処理が終わったら、シリコン基板100表面に形成されたガラスをふっ酸などで除去する。
次いで、シリコン基板100の受光面に反射防止膜104を形成する(図3(e))。反射防止膜104の形成にはプラズマCVD装置を用いSiNx膜を厚さ約100nmで製膜する。このとき、同時に裏面側にパッシベーション膜107としてSiNx膜を形成するとよい。なお、反応ガスとして、モノシラン(SiH4)及びアンモニア(NH3)を混合して用いることが多いが、NH3の代わりに窒素を用いることも可能であり、また、プロセス圧カの調整、反応ガスの希釈、更には基板に多結晶シリコンを用いた場合には基板のバルクパッシベーション効果を促進するため、反応ガスに水素を混合することもある。
次いで、シリコン基板100の表裏面の反射防止膜104、パッシベーション膜107上にフィンガー電極102を含む受光面電極、裏面電極105をスクリーン印刷法で形成する。即ち、上記基板の表裏面に、Ag粉末とガラスフリットを有機物バインダと混合したAgペーストを印刷し乾燥し、電極印刷の後、熱処理によりSiNx膜の反射防止膜104、パッシベーション膜107にAg粉末を貫通させ(ファイアースルー)、フィンガー電極102、裏面電極105とシリコン基板(拡散層103、106)とを導通させる(図3(f))。焼成は、通常700〜800℃の温度で5〜30分間処理することで行われる。裏面電極105及び受光面電極の焼成は一度に行ってもよいし、各面の印刷後それぞれに焼成することも可能である。
また、上記では反射防止膜形成工程以降、受光面と裏面とを区別しているが、受光面と裏面を上記と逆にしても何ら問題なく、例えば図3においてシリコン基板100の上向きの面、下向きの面のいずれをも受光面としてよい。即ち、図3(e)、(f)においてシリコン基板100の上向きの面を裏面、下向きの面を受光面とし、符号104、102をそれぞれ裏面パッシベーション膜、裏面電極、符号107、105をそれぞれ反射防止膜、受光面電極として使用しても問題ない。
本発明の太陽電池の製造方法の有効性を確認するため、従来の製造方法で太陽電池を作製し、それぞれの太陽電池特性の比較を行った。
まず、拡散厚さ200μm、比抵抗1Ω・cmの、リンドープ{100}N型アズカットシリコン基板16枚に対し、熱濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去後、72℃の水酸化カリウム/2−プロパノール水溶液中に浸漬し、基板両面にテクスチャ形成を行った。
このうち、8枚のシリコン基板に対してのみ、シリコン基板を重ね合わせた状態で四フッ化炭素と酸素の混合プラズマ中に30分間曝すことで、シリコン基板の表裏面の基板外縁領域のみテクスチャを除去した。顕微鏡観察の結果、基板外縁から1mm入ったところまでの領域のテクスチャが除去されているのが確認された。これらの基板を用いたものを実施例1とし、このテクスチャ除去を行っていないものを比較例1とする。
引き続き、75℃に加熱した塩酸/過酸化水素混合溶液中で洗浄を行い乾燥させた。
次に、シリコン基板の第一主面(受光面)に5質量%ホウ酸水溶液を3mL滴下し、10秒間で500回転させた後、200℃のホットプレートで乾燥させることで、ホウ素源(拡散剤塗布層)を形成した。
次いで、2枚のシリコン基板の第一主面同士を向かい合わせて重ね合わせた状態で、オキシ塩化リン雰囲気下980℃で40分間熱処理し、第一主面(受光面)にはホウ素の拡散層を形成し、第二主面(裏面)にはリンの拡散層を形成した。直流四探針法で測定した結果、シート抵抗は40Ωとなった。
この後、シリコン基板を濃度12質量%のふっ酸水溶液に浸漬することで表面のガラスを除去した。
以上の処理の後、プラズマCVD装置を用いてSiNx膜を、受光面反射防止膜及び裏面パッシベーション膜として全試料両面に形成した。
次に、表裏面それぞれに電極層としてAgペーストを印刷して乾燥し、780℃の空気雰囲気下で焼成して電極を形成し、太陽電池を完成させた。
以上のようにして得られた太陽電池セルをスペクトルAM(エアマス)1.5グローバルの擬似太陽光を照射して電流電圧測定機で電気特性(短絡電流、開放電圧、形状因子、光電変換効率)を測定した。各項目の平均値を表1に示す。
100a テクスチャ
100b 平坦部
101 バスバー電極
102 フィンガー電極
103 P型拡散層(エミッタ層)
103a 拡散剤塗布層
104 反射防止膜
105 裏面電極
106 N型拡散層
107 パッシベーション膜
Claims (4)
- 第一の導電型の半導体基板の少なくとも一方の主面である第一主面にテクスチャを形成し、該第一主面における基板の外縁領域をテクスチャを有さない平坦部として、上記半導体基板の第一主面に第二の導電型の拡散源を含む拡散剤を塗布し、この拡散剤を塗布した半導体基板を2枚一組とし、この2枚の半導体基板の第一主面同士を向き合わせて重ね合わせた状態で熱処理して該拡散剤を拡散させて第二の導電型拡散層を形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。
- 上記半導体基板の他方の主面である第二主面に第一の導電型の拡散源を別途供給し、上記熱処理により第一の導電型拡散層を同時に形成するものであることを特徴とする請求項1記載の太陽電池の製造方法。
- 上記半導体基板の導電型がN型であることを特徴とする請求項1又は2記載の太陽電池の製造方法。
- 上記半導体基板の第一主面において該基板の外縁から7mm以内の領域をテクスチャを有さない平坦部とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013096389A JP6003791B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013096389A JP6003791B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014220276A JP2014220276A (ja) | 2014-11-20 |
JP6003791B2 true JP6003791B2 (ja) | 2016-10-05 |
Family
ID=51938497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013096389A Active JP6003791B2 (ja) | 2013-05-01 | 2013-05-01 | 太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6003791B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014174613A1 (ja) * | 2013-04-24 | 2014-10-30 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
JP6455099B2 (ja) * | 2014-11-27 | 2019-01-23 | 日立化成株式会社 | 太陽電池ユニット及び太陽電池ユニットの製造方法 |
WO2017099020A1 (ja) * | 2015-12-07 | 2017-06-15 | 東レ株式会社 | 半導体素子の製造方法および太陽電池の製造方法 |
WO2018043523A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社 | ボロン拡散層およびリン拡散層の形成方法 |
TW201903851A (zh) * | 2017-06-13 | 2019-01-16 | 日商東京應化工業股份有限公司 | 太陽電池元件用矽基板之製造方法 |
CN110890443B (zh) * | 2018-09-10 | 2023-01-31 | 浙江清华柔性电子技术研究院 | 晶体硅太阳能电池扩散层及其制备方法 |
JP7137271B2 (ja) * | 2019-03-11 | 2022-09-14 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法、および太陽電池モジュールの製造方法 |
CN117673195A (zh) * | 2022-09-07 | 2024-03-08 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种柔性薄型单晶硅太阳电池的制备方法 |
CN116230787A (zh) * | 2023-02-20 | 2023-06-06 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种边缘抛光的单晶制绒硅片、太阳电池及制备方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0812849B2 (ja) * | 1991-05-31 | 1996-02-07 | 株式会社日立製作所 | 太陽電池の製造方法 |
JP4812147B2 (ja) * | 1999-09-07 | 2011-11-09 | 株式会社日立製作所 | 太陽電池の製造方法 |
JP2011171600A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 不純物拡散成分の拡散方法、および太陽電池の製造方法 |
JP5679545B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2015-03-04 | 東京応化工業株式会社 | 拡散剤組成物、不純物拡散層の形成方法、および太陽電池 |
JP2013026578A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Hitachi Chem Co Ltd | n型拡散層の製造方法及び太陽電池素子の製造方法 |
-
2013
- 2013-05-01 JP JP2013096389A patent/JP6003791B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014220276A (ja) | 2014-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6003791B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
EP2479804B1 (en) | Method for manufacturing a solar cell | |
US9871156B2 (en) | Solar cell and method of manufacturing the same | |
WO2019021545A1 (ja) | 太陽電池、及び、その製造方法 | |
JP6114108B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2018147910A (ja) | 高効率太陽電池及びその製造方法 | |
CN103367526A (zh) | 一种背面局部接触硅太阳电池的制造方法 | |
WO2017122422A1 (ja) | 太陽電池および太陽電池を生産する方法 | |
TWI640103B (zh) | Solar cell manufacturing method | |
US11038078B2 (en) | Method for manufacturing high efficiency solar cell | |
JP5316491B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP6356855B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
TW201817021A (zh) | 高光電變換效率太陽電池及高光電變換效率太陽電池的製造方法 | |
WO2016072048A1 (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
EP3471153B1 (en) | Solar cell and method for producing solar cell | |
JP5994895B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6003791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |