JP6153885B2 - 裏面接合型太陽電池 - Google Patents
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Description
図7(f)まで処理した基板50枚に対し、n型表面高濃度拡散領域706、n型表面低濃度拡散領域707、シリコン酸化膜708を一度の熱処理で形成した。その際の熱処理の条件としては、高温熱処理炉にて、アルゴン雰囲気で950度の熱処理を30分間実施した後、続けて酸素雰囲気で1000℃の熱処理を180分間実施した。(図8(a))。熱処理を行う際、基板は隣接する基板の表面と裏面が向かい合う状態になるよう、熱処理用ボートに1.6mm間隔で充填した。
比較例では、図7(f)まで処理した基板50枚に対し熱酸化処理することによりシリコン酸化膜708を形成した。その際の熱処理の条件としては、高温熱処理炉にて、酸素雰囲気で1000℃の熱処理を180分間実施し、熱酸化膜のみ形成した。(図9(a))熱処理を行う際、基板は、実施例同様、隣接する基板の表面と裏面が向かい合う状態になるよう、熱処理用ボートに1.6mm間隔で充填した。
102・・・n型表面拡散領域
103、304、411、711・・・パッシベーション膜
104、309、412、712・・・反射防止膜
105、302、405、705・・・n型裏面拡散領域
106、303、410、710・・・p型裏面拡散領域
107、703、708・・・シリコン酸化膜
108、202、305、413、713・・・n型電極
109、203、306、414、714・・・p型電極
201・・・裏面接合型太陽電池
307、406、706・・・n型表面高濃度拡散領域
308、407、707・・・n型表面低濃度拡散領域
402、702・・・太陽電池用基板
403、408・・・誘電体膜
404、409、704、709・・・開口部
601・・・n型拡散ペースト
Claims (1)
- 第1導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の裏面にそれぞれ帯状に交互に設けられた第1導電型の半導体層及び第2導電型の半導体層と、
前記半導体基板の表面に設けられた第1導電型の半導体層とを備え、
前記表面の第1導電型の半導体層は、高濃度拡散領域と低濃度拡散領域を有し、
前記表面の第1導電型の半導体層における前記高濃度拡散領域は、前記裏面の第1導電型の半導体層の対面にあたる領域に形成され、
前記低濃度拡散領域は、前記裏面の第1導電型の半導体層の対面にあたる領域以外の領域に形成され、
前記裏面の第1導電型の半導体層の幅は前記裏面の第2導電型の半導体層の幅よりも狭く、
前記表面の第1導電型半導体層の不純物濃度は前記半導体基板より高濃度であり、
前記高濃度拡散領域の不純物濃度は1×10 17 〜10 19 cm −3 であり、
前記低濃度拡散領域の不純物濃度は1×10 16 〜10 18 cm −3 であることを特徴とする裏面接合型太陽電池。
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JP2014097812A JP6153885B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | 裏面接合型太陽電池 |
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