JP6139466B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
シリコンインゴットをスライスすることにより、表面に該スライスにより生じたダメージ層を有するスライスウェーハを作製する工程と、
前記スライスウェーハを加温したアルカリ水溶液に浸漬させ、前記スライスウェーハに対して第一のエッチング処理を行って、前記ダメージ層を除去する工程と、
前記アルカリ水溶液を降温させる工程と、
前記ダメージ層が除去されたスライスウェーハに対して、前記第一のエッチング処理における前記アルカリ水溶液の温度よりも低い温度で第二のエッチング処理を行って、前記テクスチャ構造を形成する工程と
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。
<太陽電池の製造>
上記、実施形態に示した工程(図1(1)〜(12))でn+pp+太陽電池を製造した。
第一のエッチング(高温エッチング)の処理温度が80℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第一のエッチング(高温エッチング)の処理温度が90℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第二のエッチング(低温エッチング)の処理温度が65℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第二のエッチング(低温エッチング)の処理温度が75℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第一のエッチング(高温エッチング)の処理温度が95℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第二のエッチング(低温エッチング)の処理温度が60℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
第二のエッチング(低温エッチング)の処理温度が80℃であること以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
アルカリエッチング中に処理温度を変化させずに65℃で12分処理したこと以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
アルカリエッチング中に処理温度を変化させずに75℃で12分処理したこと以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
アルカリエッチング中に処理温度を変化させずに85℃で12分処理したこと以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
アルカリエッチング中に処理温度を変化させずに95℃で12分処理したこと以外は、実施例1と同様の処理を行って太陽電池を作製した。
4…裏面銀電極、 5…裏面アルミ電極、
6…受光面電極(表面櫛歯状銀電極)、 7…アルミBSF層(p+高濃度層)。
Claims (4)
- 半導体シリコン基板を有し、該シリコン基板の表面に形成されたテクスチャ構造を有する太陽電池の製造方法であって、
シリコンインゴットをスライスすることにより、表面に該スライスにより生じたダメージ層を有するスライスウェーハを作製する工程と、
前記スライスウェーハを加温したアルカリ水溶液に浸漬させ、前記スライスウェーハに対して第一のエッチング処理を行って、前記ダメージ層を除去する工程と、
前記アルカリ水溶液を降温させる工程と、
前記ダメージ層が除去されたスライスウェーハに対して、前記第一のエッチング処理における前記アルカリ水溶液の温度よりも低い温度で第二のエッチング処理を行って、前記テクスチャ構造を形成する工程と
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記第一のエッチング処理における前記アルカリ水溶液の温度を80〜90℃とすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第二のエッチング処理における前記アルカリ水溶液の温度を65〜75℃とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記アルカリ水溶液の濃度を0.3〜1.5mol/Lとすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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