JP2005311060A - 太陽電池の製造方法、太陽電池 - Google Patents
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Abstract
簡易な方法で、表面に良好な凹凸を形成することができる太陽電池の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の太陽電池の製造方法は、単結晶又は多結晶シリコンウエハ基板をエッチングして、基板表面に凹凸を形成する工程を備え、エッチングに用いるエッチング液は、15〜31wt%濃度の硝酸と、10〜22wt%濃度のフッ酸とを含む。
【選択図】図1
Description
基板は、シリコンウエハからなる。基板は、単結晶であっても、多結晶であってもよい。本発明のエッチングによれば、多結晶基板に対しても、実質的に基板の全面に微細な凹凸を形成することができる。基板は、単結晶又は多結晶のインゴットをスライスして、得ることができる。基板は、例えば、その厚さが100〜400μm程度である。スライスは、ワイヤソーなどを用いて行うことができる。スライスの際に、基板の表面に凹凸が形成される。本発明では、この凹凸を有する基板を用いることにより、さらに良い結果が得られる。すなわち、基板は、好ましくは、その表面にインゴットからのスライス工程で発生した凹凸を予め備える。インゴットからスライスされた基板に何らかの表面処理が施されていても、凹凸が残存している場合は、「凹凸を備える」に含まれる。また、基板は、好ましくは、予めAs-Sliceの状態にある。ここで、「As-Sliceの状態」とは、インゴットからスライスされたそのままの状態(表面処理などを施していない状態)をいう。
エッチングに用いるエッチング液は、15〜31wt%濃度の硝酸と、10〜22wt%濃度のフッ酸とを含む。硝酸の濃度は、好ましくは、18〜28wt%濃度であり、さらに好ましくは、21〜25wt%濃度である。フッ酸の濃度は、好ましくは、12〜20wt%濃度であり、さらに好ましくは、14〜18wt%濃度である。このエッチングにより、複数の楕円形状の凹部を表面に有するシリコンウエハ基板を備え、長辺が15μm以下の凹部の面積が、基板表面の50%以上である基板を得ることができ、この基板を用いると、高効率な太陽電池を作製することができる。
エッチング液は、例えば、その温度が0〜27℃であり、好ましくは、8〜16℃であり、さらに好ましくは、8〜10℃である。エッチング液の温度を低くすると、エッチング速度が小さくなり、エッチング液の温度を高くすると、エッチング速度が大きくなる。このため、エッチング液の温度を調節することによって、適宜、エッチング速度を調節することができる。
エッチングで得られた基板をアルカリ溶液で処理する工程をさらに備えることが好ましい。エッチングの際に、ウエハの表面に黒色又は茶褐色の薄膜が形成される場合があるが、エッチングで得られた基板をアルカリ溶液で処理することにより、この薄膜を除去することができる。アルカリ溶液は、例えば、NaOH溶液である。アルカリ溶液の濃度は、例えば、1〜5wt%濃度であり、好ましくは、0.5〜5wt%濃度である。アルカリ溶液での処理は、好ましくは、アルカリ溶液中での浸漬処理である。アルカリ溶液での処理時間は、好ましくは、5〜20秒である。
1.製造方法
エッチングを行う多結晶シリコンウエハには、キャスト法により作製されたシリコンインゴットより、125mm□、厚み300μmにカットおよびスライスされたものを使用した。ウエハ表面は、スライスされた状態であり、スライス工程で使用された砥粒や切削液をウエハ表面より除去するために、溶剤中にて超音波洗浄された後に、乾燥したものを使用した。キャスト法は、1400℃以上で溶融したシリコンを徐冷して多結晶シリコンのブロックを作製する方法である。本実施例では、キャスト法により作製した多結晶シリコンを用いたが、他の方法で作製した多結晶シリコンでもかまわない。エッチングに用いるエッチング液は、純水と、60wt%濃度の硝酸水溶液と、49wt%濃度のフッ酸水溶液とを、純水:硝酸水溶液:フッ酸水溶液の体積比が、表1に示す割合になるように混合して準備した(実施例1〜3、比較例1〜4)。60wt%濃度の硝酸水溶液の比重は、1.38であり、49wt%濃度のフッ酸水溶液の比重は、1.16であった。ここから、得られたエッチング液についての、硝酸、フッ酸のwt%濃度を求め、表1に併せて記載した。
図1は、実施例2の条件でエッチング処理された多結晶シリコンウエハの表面の電子顕微鏡写真である(倍率1000倍)。図1によると、15μm以下の楕円形状の凹部が130μm×100μmの領域の中で50%以上存在している。また、図2は、比較例1の条件でエッチング処理された多結晶シリコンウエハの表面の電子顕微鏡写真である(倍率1000倍)。図2では、凹部の形状が円形に近く径の大きさも15μm以上のものが30%程度以上存在し、このため、反射率が増大し、太陽電池特性が劣化する。比較例1は、フッ酸のwt%濃度が小さ過ぎて、このような形状になったと考えられる。
本ウエハを用いて、太陽電池を作製した。図4(a)に示すように、上記方法により多結晶シリコン基板101の表面及び裏面に楕円形状の凹部102を形成し、図4(b)に示すように比抵抗が1〜5Ωcm程度で、上記方法により表面及び裏面がエッチングされたP型多結晶シリコン基板101をたとえばPOCl3拡散炉に入れ、800℃〜900℃でウエハ表面にP(リン)の拡散処理を行い、シート抵抗を50Ω/□〜100Ω/□としたN+拡散層103を形成する。
実施例2と比較例1の条件でエッチングしたウエハを用いた太陽電池について、Air Mass1.5、1000mW/cm2のソーラーシミュレーターでI−V特性を測定した。その結果を表2に示す。
実施例4では、エッチング液の温度を8℃程度とし、エッチング時間を180秒として、エッチングを行った。それ以外は、上記実施例と同様である。その結果、上記実施例と同様の結果が得られた。予めエッチング液を冷却しておくことにより、エッチング時間を変化させても、実質的に同じ結果が得られた。すなわち、エッチング液の温度を調節することにより、エッチング速度を適宜調節することができた。
102 楕円形状の凹部
103 N+拡散層
104 ガラス層
105 SiN膜
106 Alペースト
107、108 Agペースト
109 ハンダ材料
Claims (5)
- 単結晶又は多結晶シリコンウエハ基板をエッチングして、基板表面に凹凸を形成する工程を備え、
エッチングに用いるエッチング液は、15〜31wt%濃度の硝酸と、10〜22wt%濃度のフッ酸とを含む太陽電池の製造方法。 - 基板は、その表面にインゴットからのスライス工程で発生した凹凸を予め備える請求項1に記載の製造方法。
- 基板は、予めAs-Sliceの状態にある請求項1に記載の製造方法。
- エッチング液は、その温度が0〜27℃である請求項1に記載の製造方法。
- 複数の楕円形状の凹部を表面に有するシリコンウエハ基板を備え、
長辺が15μm以下の凹部の面積が、基板表面の50%以上である太陽電池。
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