JP5996901B2 - 光選択透過フィルター、樹脂シート及び固体撮像素子 - Google Patents
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Description
このように、従来の技術には、遮断性能の入射角依存性を低減して特定波長の光を効果的に遮断するとともに、薄膜化の要請にも応えることができる光選択透過フィルターを得るための工夫の余地があった。また、直射日光暴露等の厳しい外部環境下でもより充分な性能を発揮できる、すなわち高いレベルの耐光性に優れる光選択透過フィルターとするための工夫の余地もあった。
本発明はまた、上記光選択透過フィルターに用いられる光選択透過フィルター用樹脂シートでもある。
本発明は更に、上記光選択透過フィルター、レンズユニット部、及び、センサー部を少なくとも有する固体撮像素子でもある。
以下に本発明を詳述する。なお、以下において段落に分けて記載される本発明の好ましい形態の2つ又は3つ以上を組み合わせたものも本発明の好ましい形態である。
このような光選択透過フィルターにおける樹脂シートは、色素及び樹脂成分を含有する樹脂層を有し、該樹脂層が溶剤可溶性を示すものである。このような樹脂層を有する樹脂シートを用いることにより、極めて高度の耐光性を発揮することができ、また、当該吸収性の樹脂層を、反射膜として好適な光学多層膜と併用することで、光学多層膜の層数を減らすことができ、該多層膜における応力を緩和できるため、多層膜のクラックや割れを充分に防止することができる。このような本発明の光選択透過フィルターに用いられる光選択透過フィルター用樹脂シートもまた、本発明の1つである。
なお、溶剤可溶性の樹脂層とは、ジメチルアセトアミド又はN−メチルピロリドン100質量部に対し、1質量部以上溶解する樹脂層であることが好適である。
上記色素としては、樹脂成分と混合又は混練可能な色素を用いることができるが、例えば、600〜800nmの波長域に吸収極大を有するものが好適である。これにより、光選択透過フィルターを、特に780nm〜10μmの赤外光を低減させる赤外線カットフィルターに好適に適用することが可能になる。より好ましくは、650〜750nmの波長域に吸収極大を有するものである。上記色素はまた、400nm以上、600nm未満の波長域には実質的に吸収極大を持たないものであることが好ましい。
上記ポルフィリン系色素としては、テトラアザポルフィリン等が挙げられる。
上記その他の色素の含有量は、金属フタロシアニン系色素やポルフィリン系色素による効果を充分に発揮させるため、色素の全量100重量部に対し、30重量部以下であることが好適である。より好ましくは20重量部以下、更に好ましくは10重量部以下、特に好ましくは、その他の色素を実質的に含まないことである。
上記シアニン系色素としては、I−塩シアニン、ClO4 −塩シアニン、Br−塩シアニン、−OAc塩シアニン、BF4 −塩シアニン等が挙げられる。
上記銅イオン系色素としては、アクリル酸、カルボン酸、リン酸等の酸やケトン基、エステル基等の極性基が配位及び/又は結合した銅イオンを含む化合物等が挙げられる。
上記形態においては更に、上記色素を含有する樹脂層を含む光選択透過フィルターについても、可視光領域におけるヘイズ及び可視光500nmにおける透過率が、夫々上述した範囲にあることが好ましい。
上記樹脂層における色素の濃度(含有量)としては、樹脂層の総量100質量%に対して、0.0001質量%以上、20質量%未満であることが好ましい。なお、樹脂層における色素の濃度(含有量)のより好適な範囲は、樹脂シートの構成や樹脂層の厚みによって異なる。
また上記樹脂シートが、後述するような、上記樹脂層と支持フィルムとからなる場合には、上記樹脂層における色素の濃度(含有量)としては、樹脂層の総量100質量%に対して、1質量%以上、20質量%未満であることが好ましい。より好ましくは3質量%以上であり、特に8質量%以上が好ましい。また上限は、15質量%未満が更に好ましい。
上記樹脂成分がそのまま、上記樹脂層を構成する樹脂成分となっていてもよいし、該樹脂成分が架橋反応等により変化したものが、上記樹脂層を構成する樹脂成分となっていてもよい。
なお、架橋可能な反応性基の量や成膜時の架橋反応をどの程度進めるかは特に限定されるものではないが、樹脂の溶剤可溶性が維持できる程度であることが好ましい。
なお、一般式(1−1)又は(1−2)で表される繰り返し単位は、同一でも異なっていてもよく、ブロック状、ランダム状等の何れの形態であってもよい。
上記一般式(1−2)中、R2は、置換基を有していてもよい、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数1〜12のアルキルアミノ基、炭素数1〜12のアルキルチオ基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数6〜20のアリールアミノ基又は炭素数6〜20のアリールチオ基を表す。R3は、炭素数1〜150の芳香族環を有する2価の有機鎖を表す。zは、芳香族環に結合しているフッ素原子の数であり、1又は2である。n1は、重合度を表し、2〜5000の範囲内が好ましく、5〜500の範囲内がより好ましい。
上記アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、ドデシルオキシ基、フルフリルオキシ基、アリルオキシ基等が好適である。
上記アルキルアミノ基としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、プロピルアミノ基、n−ブチルアミノ基、sec−ブチルアミノ基、tert−ブチルアミノ基等が好適である。
上記アルキルチオ基としては、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、n−ブチルチオ基、sec−ブチルチオ基、tert−ブチルチオ基、iso−プロピルチオ基等が好適である。
上記アリールオキシ基としては、フェノキシ基、ベンジルオキシ基、ヒドロキシ安息香酸及びそのエステル類(例えば、メチルエステル、エチルエステル、メトキシエチルエステル、エトキシエチルエステル、フルフリルエステル及びフェニルエステル等)由来の基、ナフトキシ基、o−、m−又はp−メチルフェノキシ基、o−、m−又はp−フェニルフェノキシ基、フェニルエチニルフェノキシ基、クレソチン酸及びそのエステル類由来の基等が好適である。
上記アリールアミノ基としては、アニリノ基、o−、m−又はp−トルイジノ基、1,2−又は1,3−キシリジノ基、o−、m−又はp−メトキシアニリノ基、アントラニル酸及びそのエステル類由来の基等が好適である。
上記アリールチオ基としては、フェニルチオ基、フェニルメタンチオ基、o−、m−又はp−トリルチオ基、チオサリチル酸及びそのエステル類由来の基等が好適である。
なお、ポリイミド樹脂におけるイミド結合は、通常、アミド結合とそれに隣接するカルボキシル基とを有する結合鎖(本発明では、該結合鎖をアミック酸ともいう。通常は、アミド結合が結合した炭素原子に隣接する炭素原子にカルボキシル基が結合した構造である。)におけるアミド結合とカルボキシル基との脱水反応による形成される。
ポリアミック酸から脱水反応によりポリイミド樹脂を生成させる際、分子内に若干量のアミック酸は残存し得る。したがって、本発明で「ポリイミド樹脂」という場合は、イミド結合を含み、アミック酸の脱水反応によりイミド結合を形成し得ないアミド結合は含まないが、アミック酸の脱水反応によりイミド結合を形成し得るアミド結合は含まないか若干量含んでいてもよい。
上記ポリ(アミド)イミド樹脂はまた、透明性を有することが好ましい。透明性向上のためには、芳香環が少ないほうが好ましい。中でも、芳香環を脂環又は脂肪鎖等で置き換えた構造を有することが好適である。より好ましくは、全重量100%中の芳香環の重量が65%以下、更に好ましくは45%以下、特に好ましくは30%以下である。
上記一般式(5)におけるR4としては、2価の有機基が好ましく、中でも、炭素数2〜39の2価の有機基が好ましい。また、当該有機基は1種又は2種以上の炭化水素骨格を含むものが好ましい。炭化水素骨格としては、脂肪族鎖状炭化水素、脂肪族環状炭化水素又は芳香族炭化水素であることが好ましい。当該有機基はまた、複素環骨格を有するものであってもよい。
なお、上記一般式(5)で表される繰り返し単位におけるそれぞれのR4としては、同一であっても異なるものであってもよい。
なお、一般式(5)におけるシクロヘキシル環における水素原子の一部又は全部が置換されていてもよいが、無置換(全て水素原子である形態)であるものが好ましい。
上記一般式(5)で表される繰り返し単位は、同一でも異なっていてもよく、ブロック状、ランダム状等の何れの形態であってもよい。
一方、練込法においては、樹脂を高温(例えば、200℃以上)で溶融して用いることになるため、耐熱性の低い色素は分解してしまい、充分な光吸収性が得られないおそれがある。また、色素の分散性も充分に高くならないおそれがある。
また、樹脂層を支持体フィルムで挟み込んだ樹脂シートとすることも好ましい。
なお、上記樹脂原料には、樹脂の前駆体や該前駆体の原料、更に、樹脂を形成するための単量体(硬化性モノマー等)が含まれるものとする。
なお、本明細書中、エポキシ基とは、3員環のエーテルであるオキシラン環を含むものであり、狭義のエポキシ基の他、グリシジル基(グリシジルエーテル基及びグリシジルエステル基を含む)を含むものを意味する。
上記可撓性成分としては、上記エポキシ化合物とは異なる化合物であってもよいし、上記エポキシ化合物の少なくとも1種が可撓性成分であってもよい。
上記アクリル樹脂として具体的には、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、(メタ)アクリレートモノマーの(共)重合体等が挙げられる。フィルム化を容易にできる点で、上記樹脂(オリゴマー、ポリマー)と(メタ)アクリレートモノマーからなる組成物を硬化させることが好ましい。
上記(ii)の形態において、樹脂シートの製造方法は特に限定されないが、任意の基材(樹脂フィルムやガラス板)の表面に、上述した溶剤キャスト法によって樹脂層を形成し、剥離することにより製造する方法が好ましい。
透過率は、分光光度計(Shimadzu UV−3100、島津製作所社製)を用いて測定することができる。
また上記樹脂シートが、樹脂層と支持体フィルムとからなる形態においては、上記樹脂層の厚みが10μm以下、支持体フィルムの厚みが100μm以下であることが好ましい。
上記誘電体層Aを構成する材料としては、屈折率が1.6以下の材料を通常用いることができ、好ましくは、屈折率の範囲が1.2〜1.6の材料が選択される。
上記材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、フッ化ランタン、フッ化マグネシウム、六フッ化アルミニウムナトリウム等が好適である。
上記材料としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、五酸化ニオブ、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛、酸化インジウムを主成分とし酸化チタン、酸化錫、酸化セリウム等を少量含有させたもの等が好適である。
また樹脂シートが有機材料、具体的には、樹脂組成物により形成される場合には、未硬化、半硬化状態の樹脂シート(樹脂組成物)に、上記誘電体層等を蒸着した後、樹脂シートを硬化する方法が好適である。このような方法を用いると、多層蒸着後の冷却時に、基材が流動的となり、液状に近い状態となるために、樹脂組成物と誘電体層等との熱膨張係数差が問題にならず、光選択透過フィルターの変形(カール)を抑制することができる。
上記線膨張係数が低い樹脂層又は支持体フィルムとして具体的には、例えば、ポリ(アミド)イミド樹脂、アラミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、有機無機ハイブリッド樹脂等が好適であり、上記樹脂層又は支持体フィルムが、これらからなる群より選択される少なくとも1種により形成されるものである形態は、本発明の好適な形態の1つである。また、樹脂を延伸する;無機微粒子等を分散させる;ガラスクロスを用いる;架橋密度を上げる;コンポジット化する;結晶化させる;等によっても線膨張係数を低下させることができる。
また、上記反射膜の厚みは、0.5〜10μmであることが好ましい。より好ましくは、2〜8μmである。反射膜が上記樹脂シートの両面に形成される形態においては、両面の反射膜の合計の厚みが上記範囲内にあることが好ましい。
このような、本発明の光選択透過フィルターが上記他の機能を有する形態においては、樹脂シートの一方の表面に上記反射膜を形成し、他方の表面に上記他の機能を付与するための機能性材料層を形成することが好ましい。
上記機能性材料層は、例えば、上述のCVD法、スパッタリング法、真空蒸着法により、直接、上記樹脂シート上に形成したり、離型処理された仮の基材上に形成された機能性材料層を樹脂シート上に接着剤で張り合わせたりすることにより得ることができる。また、原料物質を含有する液状組成物を樹脂シートに塗布、乾燥して製膜することによっても得ることができる。
図1に示すように、光選択透過フィルターは、所望の波長の光(カメラモジュールにおいては、例えば、700nm以上の波長の光)をカットし、シーモスセンサーの誤作動を防ぐ役割がある。カメラモジュールに光選択透過フィルターを入れると、焦点距離が伸びるため、バックフォーカスが伸張し、モジュールが大きくなる。光選択透過フィルターの厚みがtで屈折率nが1.5程度の場合、図2に示すように、バックフォーカスが約t/3伸張し、モジュールが大きくなるが、光選択透過フィルターを薄くして、焦点距離を短くし、モジュールを小さくすることができる。それにより、例えば、1/10インチの光学サイズの光路長としては、光選択透過フィルターなしの場合の120%以下とすることが好ましい。より好ましくは110%以下であり、更に好ましくは、105%以下である。
赤外線カットフィルターは、赤外線領域である650nm〜10μmの波長を有する光のうち、いずれかの波長(範囲)の光を選択的に低減する機能を有するフィルターであればよい。選択的に低減する波長の範囲としては、650nm〜2.5μm、650〜1000nm又は800nm〜1μmであることが好適である。これらの範囲の波長の少なくとも一つを選択的に低減するフィルターもまた、上記赤外線カットフィルターに含まれる。選択的に低減する波長の範囲としては、近赤外線領域である650nm〜1μmであることがより好ましい。
紫外線カットフィルターは、紫外線を遮断する機能を有するフィルターである。選択的に低減する波長の範囲としては、200〜350nmであることが好ましい。
赤外・紫外線カットフィルターは、紫外線及び赤外線の両方を遮断する機能を有するフィルターである。選択的に低減する波長の範囲は、上述と同様であることが好ましい。
透過率は、分光光度計(Shimadzu UV−3100、島津製作所社製)を用いて測定することができる。
なお、光遮断特性の入射角依存性は、樹脂シートの吸収により充分に低減されている必要があり、入射角の変化に対して透過率スペクトルが変化しないこと、又は、その変化の程度が小さいことが好ましい。具体的には、入射角0°を20°に変えても(より好ましくは25°に変えても)、透過率80%以上の領域において、透過率のスペクトルが変化しないことが好ましく、より好ましくは、透過率70%以上の領域において透過率のスペクトルが変化しないことであり、更に好ましくは、透過率60%以上の領域において透過率のスペクトルが変化しないことである。最も好ましくは、いずれの透過率領域においてもスペクトルが変化しないことである。
なお、レンズユニット部については、WO2008/081892に記載の形態が好ましく採用できる。
各フィルムについて、照度10万ルクスの蛍光灯光を室温(25℃)で100時間照射した。照射前後の透過率(波長700nm光に対する値、単位:%)を評価し、透過率の変化を調べた。なお、光源として東芝製メロウラインプライドFHF32EX−D−PDを用い、光源より95mm距離をおいた位置にサンプルを設置した。設置位置での照度は、照度計にて確認した。透過率は、分光光度計(Shimadzu UV−3100、島津製作所社製)にて測定した。
各フィルム(樹脂シート)を各々0.01g準備し、0.09gのDMAc(ジメチルアセトアミド)を加えた。120℃で1時間撹拌し、溶解するかどうかを観察し、下記基準で評価した。
○:溶解した。
×:溶解しなかった。
<脂環式ポリイミドの合成>
1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸(アルドリッチ製、純度95%)5部と無水酢酸(和光純薬製)44部とを、フラスコに仕込み、攪拌しながら反応器内を窒素ガスで置換した。窒素ガス雰囲気下で溶剤の還流温度まで昇温し、10分間溶剤を還流させた。攪拌しながら室温まで冷却し、結晶を析出させた。析出した結晶を固液分離し、乾燥して目的物(1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物)の結晶を得た。温度計、撹拌器、窒素導入管、側管付き滴下ロート、ディーンスターク、冷却管を備えたフラスコに、窒素気流下、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(和光純薬製)0.89部と、溶剤としてN−メチル−2−ピロリドン7.6部を仕込んで溶解させた後、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物1部を室温にて固体のまま1時間かけて分割投入し、室温下2時間撹拌した。共沸脱水剤としてキシレンを2.6部添加して180℃で3時間反応を行い、ディーンスタークで還流して共沸する生成水を分離した。190℃に昇温しながらキシレンを留去した後、冷却しポリイミドのN−メチル−2−ピロリドン溶液を得た。
<FPEK(フッ素化ポリエーテルケトン)の合成>
温度計、冷却管、ガス導入管、及び、攪拌機を備えた反応器に、BPDE(4,4’−ビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロベンゾイル)ジフェニルエーテル)16.74部、HF(9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン)10.5部、炭酸カリウム4.34部、DMAc(ジメチルアセトアミド)90部を仕込んだ。この混合物を80℃に加温し、8時間反応した。反応終了後、反応溶液をブレンダーで激しく攪拌しながら、1%酢酸水溶液中に注加した。析出した反応物を濾別し、蒸留水及びメタノールで洗浄した後、減圧乾燥して、フッ素化芳香族ポリマー(FPEK)を得た。上記ポリマーのガラス転移点温度(Tg)は242℃、数平均分子量(Mn)が70770、表面抵抗値は1.0×1018Ω/cm2以上であった。
なお、上記合成例における数平均分子量は、以下の方法により測定した。
ゲル透過クロマトグラフィー(カラム:TSKgel SuperMultiporeHZ−N 4.6*150を2本、溶離液:テトラヒドロフラン、標準サンプル:TSKポリスチレンスタンダード)により測定した。
合成例1の溶液に、3PhOPcZn(中心金属:Zn、フタロシアニン系色素、吸収極大波長700nm)を0.004875部加え均一に溶解させた。この色素含有ポリイミド溶液をガラス板に塗布し、150℃で3時間焼成した。ガラス板から剥がして亜鉛フタロシアニン色素含有ポリイミドフィルム(厚み22μm)のフィルムを得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。なお、3PhOPcZnの構造を下記に示す。
合成例1の溶液に、PcCu(中心金属:Cu、フタロシアニン系色素、吸収極大波長708nm)を0.004875部加え均一に溶解させた。この色素含有ポリイミド溶液をガラス板に塗布し、150℃で3時間焼成した。ガラス板から剥がして銅フタロシアニン色素含有ポリイミドフィルム(厚み21μm)を得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
合成例2のFPEK1部に、DMAc6部、3PhOPcZn(中心金属:Zn、フタロシアニン系色素、吸収極大波長700nm)を0.00325部加え均一に溶解させた。この色素含有FPEK溶液をガラス板に塗布し、150℃で3時間焼成した。ガラス板から剥がして亜鉛フタロシアニン色素含有FPEKフィルム(厚み19μm)を得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
合成例2のFPEK1部に、DMAc6部、PcCu(中心金属:Cu、フタロシアニン系色素、吸収極大波長708nm)を0.00325部加え均一に溶解させた。この色素含有FPEK溶液をガラス板に塗布し、150℃で3時間焼成した。ガラス板から剥がして銅フタロシアニン色素含有FPEKフィルム(厚み20μm)を得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
HPC−7000−30(溶媒:DMAc、固形分濃度30%日立化成工業社製、ポリアミドイミド前駆体)5部に、DMAc6部、3PhOPcZn(中心金属:Zn、フタロシアニン系色素、吸収極大波長700nm)を0.004875部加え均一に溶解させた。この色素含有ポリアミドイミド前駆体溶液をガラス板に塗布し、200℃で1時間焼成した。ガラス板から剥がして亜鉛フタロシアニン色素含有ポリアミドイミドフィルム(厚み15μm)のフィルムを得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
HPC−7000−30(溶媒:DMAc、固形分濃度30%日立化成工業社製、ポリアミドイミド前駆体)5部に、DMAc6部、PcCu(中心金属:Cu、フタロシアニン系色素、吸収極大波長708nm)を0.004875部加え均一に溶解させた。この色素含有ポリアミドイミド前駆体溶液をガラス板に塗布し、200℃で1時間焼成した。ガラス板から剥がして亜鉛フタロシアニン色素含有ポリアミドイミドフィルム(厚み17μm)のフィルムを得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
実施例1において、3PhOPcZn0.004875部の代わりに、シアニン系色素{1H−Benzindolium,3−butyl−2−[5−(3−butyl−1,3−dihydro−1,1−dimethyl−2H−benzindol−2−ylidene)−1,3−pentadien−1−yl]−1,1−dimethyl−tetrafluoroborate(1−)(HBFB、シアニン系色素、吸収極大波長680nm)}を0.0013部用いたこと以外は、実施例1と同様にして、シアニン色素含有ポリイミドフィルム(厚み21μm)のフィルムを得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
なお、HBFBの構造を下記に示す。
実施例3において、3PhOPcZn0.00325部の代わりに、シアニン系色素{1H−Benzindolium,3−butyl−2−[5−(3−butyl−1,3−dihydro−1,1−dimethyl−2H−benzindol−2−ylidene)−1,3−pentadien−1−yl]−1,1−dimethyl−tetrafluoroborate(1−)(HBFB、シアニン系色素、吸収極大波長680nm)}を0.0009部用いたこと以外は、実施例3と同様にして、シアニン色素含有FPEKフィルム(厚み18μm)を得た。このフィルムについて、上述した試験方法に従って耐光性及び溶解性を評価した。結果を表1に示す。
実施例1、実施例3及び比較例1は、同じ色素(3PhOPcZn)を用いているものの、バインダー樹脂(樹脂成分)が異なるが、このような相違の下、耐光性を対比すると、実施例1及び3に比べて、比較例1では光照射前後の透過率の差が著しく大きい。また、実施例2、実施例4及び比較例2は、同じ色素(PcCu)を用いているものの、バインダー樹脂が異なり、同様にこれらの耐光性を対比すると、実施例2及び4では、光照射前後の透過率が変化しなかったのに対し、比較例2では透過率に差が生じている。したがって、樹脂成分の相違によって耐光性が著しく異なることが確認された。
また実施例1と比較例3との比較、及び、実施例3と比較例4との比較から、同じ樹脂成分を用いても、色素の相違によって、耐光性に顕著な差異が生じることが確認された。
実施例1〜4及び比較例1〜4で得た各フィルム(樹脂シート)を、幅60mm、長さ100mmの長方形にカッティングした。この両面に、蒸着基板温度150℃で赤外線を反射する多層膜〔シリカ(SiO2:膜厚120〜190nm)層とチタニア(TiO2:膜厚70〜120nm)層とが交互に積層されてなるもの、積層数は片面20層ずつ両面に蒸着:計40層〕を蒸着により形成し、光選択透過フィルター(光学フィルター)を製造した。得られた各光選択透過フィルターについて、透過率及び入射角依存性を以下に示す方法にて測定・評価した。
Shimadzu UV−3100(島津製作所社製)を用いて200〜1100nmにおける透過率を測定した。透過率は、図3に示すように、入射光に対して垂直になるように光選択透過フィルターを設置した場合(このようにして測定された透過率スペクトルを0°スペクトルともいう。光選択透過フィルターの厚み方向から光が入射するようにして測定される。)と、入射光に対して25°光選択透過フィルターを傾けて設置した場合(このようにして測定された透過率スペクトルを25°スペクトルともいう。光選択透過フィルターの厚み方向に対して25°傾いた方向から光が入射するようにして測定される。)の夫々について測定した。
したがって、本発明の光選択透過フィルター(実施例1〜4)は、光遮断特性の入射角依存性を低減すると同時に、高度の耐光性を発揮することができることが分かった。
2:光選択透過フィルター
3:センサー
4:光源
5:光選択透過フィルター
6:受光部
Claims (5)
- 樹脂シートと、その少なくとも一方の表面に形成されてなる反射膜とを含む光選択透過フィルターであって、
該樹脂シートは、色素及び樹脂成分を含有する樹脂層を有し、
該色素は、金属フタロシアニン系色素及び/又はポルフィリン系色素を含み、
該樹脂層は、溶剤可溶性であり、
該樹脂層に含まれる樹脂成分は、シクロオレフィン系樹脂、フッ素化芳香族ポリマー及びポリ(アミド)イミド樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤可溶性樹脂であり、
該ポリ(アミド)イミド樹脂は、芳香環を脂環又は脂肪鎖で置き換えた構造を有することを特徴とする光選択透過フィルター。 - 前記金属フタロシアニン系色素は、銅、バナジウム及び亜鉛からなる群から選択される少なくとも1種の金属元素を中心金属とする、金属フタロシアニンであることを特徴とする請求項1に記載の光選択透過フィルター。
- 前記金属フタロシアニン系色素及びポルフィリン系色素は、600〜800nmの波長域に吸収極大を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の光選択透過フィルター。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の光選択透過フィルターに用いられることを特徴とする光選択透過フィルター用樹脂シート。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の光選択透過フィルター、レンズユニット部、及び、センサー部を少なくとも有することを特徴とする固体撮像素子。
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