JP5952875B2 - レーザ加工機、レーザ加工機のワーク歪補正方法 - Google Patents
レーザ加工機、レーザ加工機のワーク歪補正方法 Download PDFInfo
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1…レーザ光照射装置
11、12…ガルバノスキャナ
14…カメラセンサ
3…駆動装置
5…制御装置
9…被加工物
91、92…アラインメントマーク
L…レーザビーム
Claims (2)
- 被加工物を支持する支持体と、
前記支持体に支持させた被加工物に向けてレーザ光を照射するレーザ光の光軸の向きを変化させることのできるガルバノスキャナを用いたレーザ光照射装置と、
前記支持体に支持させた被加工物をカメラセンサにより撮像した画像を参照して被加工物に付されている複数のアラインメントマークの位置(x Mn ’,y Mn ’)を検出し、各アラインメントマークの本来あるべき位置(x Mn ,y Mn )と実際に検出された各アラインメントマークの位置(x Mn ’,y Mn ’)との誤差(Δx Mn ,Δy Mn )を知得するとともに、各アラインメントマークの位置の誤差(Δx Mn ,Δy Mn )を用いてあるアラインメントマークと他のアラインメントマークとの間の箇所(x i ,y i )における仮想的な位置の誤差(Δx Mi ,Δy Mi )を算出した上、前記レーザ光照射装置に補正量を加味しない照射位置(x i ,y i )を指令した場合におけるその指令照射位置(x i ,y i )と実際のレーザ光の照射位置(x i ’,y i ’)との誤差(Δx i ,Δy i )に、前記被加工物上の当該指令照射位置に対応する箇所(x i ,y i )における前記アラインメントマークの位置の誤差(Δx Mi ,Δy Mi )を加算して得られる誤差(Δx i +Δx Mi ,Δy i +Δy Mi )に基づき、レーザ加工時にレーザ光を被加工物上の所望の目標照射位置に照射するための指令の補正量を決定する制御部と
を具備するレーザ加工機。 - 被加工物を支持する支持体、前記支持体に支持させた被加工物に向けてレーザ光を照射するレーザ光の光軸の向きを変化させることのできるガルバノスキャナを用いたレーザ光照射装置、及び前記レーザ光照射装置に補正量を加味しない照射位置(x i ,y i )を指令した場合におけるその指令照射位置(x i ,y i )と実際のレーザ光の照射位置(x i ’,y i ’)との誤差(Δx i ,Δy i )に基づきレーザ加工時にレーザ光を前記被加工物上の所望の目標照射位置に照射するための指令の補正量を決定する制御部を具備するレーザ加工機を使用する方法であって、
前記支持体に支持させた被加工物をカメラセンサにより撮像し、
前記カメラセンサにより撮像した画像を参照して被加工物に付されている複数のアラインメントマークの位置(x Mn ’,y Mn ’)を検出し、各アラインメントマークの本来あるべき位置(x Mn ,y Mn )と実際に検出された各アラインメントマークの位置(x Mn ’,y Mn ’)との誤差(Δx Mn ,Δy Mn )を知得するとともに、各アラインメントマークの位置の誤差(Δx Mn ,Δy Mn )を用いてあるアラインメントマークと他のアラインメントマークとの間の箇所(x i ,y i )における仮想的な位置の誤差(Δx Mi ,Δy Mi )を算出した上、
前記制御部に対し、前記レーザ光照射装置に補正量を加味しない照射位置(x i ,y i )を指令した場合におけるその指令照射位置(x i ,y i )と実際のレーザ光の照射位置(x i ’,y i ’)との誤差(Δx i ,Δy i )に、前記被加工物上の当該指令照射位置に対応する箇所(x i ,y i )における前記アラインメントマークの位置の誤差(Δx Mi ,Δy Mi )を加算して得られる誤差(Δx i +Δx Mi ,Δy i +Δy Mi )を与えて前記補正量を決定させるレーザ加工機のワーク歪補正方法。
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