JP5950878B2 - ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 - Google Patents

ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5950878B2
JP5950878B2 JP2013164813A JP2013164813A JP5950878B2 JP 5950878 B2 JP5950878 B2 JP 5950878B2 JP 2013164813 A JP2013164813 A JP 2013164813A JP 2013164813 A JP2013164813 A JP 2013164813A JP 5950878 B2 JP5950878 B2 JP 5950878B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bottle
processing liquid
connection
cap
processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013164813A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015034016A (ja
Inventor
ダウエンドルファー アルノ
ダウエンドルファー アルノ
忍 宮▲崎▼
忍 宮▲崎▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP2013164813A priority Critical patent/JP5950878B2/ja
Priority to US14/340,680 priority patent/US10000331B2/en
Priority to TW103125693A priority patent/TWI567010B/zh
Priority to KR1020140101738A priority patent/KR102236133B1/ko
Publication of JP2015034016A publication Critical patent/JP2015034016A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5950878B2 publication Critical patent/JP5950878B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、ボトル交換装置、このボトル交換装置を備える基板処理装置、及び、ボトル交換方法に関する。
例えば、基板を処理する処理装置では、基板を処理する際に処理液を用いている。この処理液は、処理液を収容するボトルから処理装置に供給される。このようなボトルの開口部には、処理液を吸い上げるためのストローを備えるキャップが取り付けられる。例えば特許文献１には、ボトル内から処理液を半導体製造装置に供給する装置が記載されている。
特許文献１に記載された装置は、ボトル内の処理液が無くなった場合、ストローを備えるキャップをボトルから取り外し、新たなボトル内にストローを差し込んでボトルの開口部にキャップを取り付けることによってボトルを交換している。
特開２０００−３１０００号公報
しかしながら特許文献１に記載された装置では、ボトルの交換の際にキャップと一緒にストローも取り外すため、ストロー部分にゴミ等が付着する可能性が生じる。ストローにゴミが付着すると、ボトル交換の際にボトル内にゴミ等が入り込んでしまう。
そこで、本発明は、ボトル交換の際にボトル内にゴミ等が入り込むことを抑制することができるボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法を提供することを目的とする。
本発明の第一の側面に係るボトル交換装置は、処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備える装置である。ボトル交換装置によって交換されるボトルは、ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えている。ボトルキャップは、ボトル内の処理液をボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、処理液用ストロー部におけるボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えている。交換機構は、ボトルの処理液用接続部と接続され、ボトルから供給された処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、処理液用接続部と処理液用配管とを接続する接続位置にボトルを搬送するボトル載置部と、を備える。
このボトル交換装置では、ボトルの開口部にボトルキャップを取り付けたままで、処理液用配管に接続されたボトルの処理液用接続部と処理液用配管との接続が解除され、処理液用配管と他のボトルの処理液用接続部とが接続される。これにより、処理液用ストロー部が外部に露出することなくボトルを交換することができるので、処理液用ストロー部にゴミ等が付着することがない。従って、ボトル交換の際に、ボトル内にゴミ等が入り込むことを抑制することができる。
本発明の第二の側面に係るボトル交換装置は、処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備える装置である。ボトル交換装置によって交換されるボトルは、ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えている。ボトルキャップは、ボトル内の処理液をボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、処理液用ストロー部におけるボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えている。交換機構は、ボトルの処理液用接続部と接続され、ボトルから供給された処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、処理液用接続部と処理液用配管とを接続する接続位置でボトルを載置するボトル載置部と、ボトル載置部においてボトルの処理液用接続部と処理液用配管とが接続されるようにボトルの位置決めを行うガイド部と、を備える。
このボトル交換装置では、ボトルの開口部にボトルキャップを取り付けたままで、処理液用配管に接続されたボトルの処理液用接続部と処理液用配管との接続が解除され、処理液用配管と他のボトルの処理液用接続部とが接続される。これにより、処理液用ストロー部が外部に露出することなくボトルを交換することができるので、処理液用ストロー部にゴミ等が付着することがない。従って、ボトル交換の際に、ボトル内にゴミ等が入り込むことを抑制することができる。また、ボトルの位置決めを行うガイド部を備えているので、処理液用接続部と処理液用配管とを確実に接続することができる。
接続機構部は、処理液用配管を鉛直方向に沿って昇降させる昇降部を備えていてもよい。この場合には、昇降部が処理液用配管を昇降させることによって、処理液用配管と処理液用接続部とを容易に接続することができる。
ボトル交換装置は、更に、残量検出部と、接続制御部とを備えていてもよい。この場合、残量検出部は、処理液用配管に接続されたボトル内の処理液の量が所定値以下となったことを検出することができる。また、接続制御部は、残量検出部によってボトル内の処理液の量が所定値以下となったことが検出された場合に、処理液用配管に接続されたボトルにおける処理液用接続部と処理液用配管との接続を解除し、処理液用配管と他のボトルにおける処理液用接続部とを接続するように交換機構を制御してもよい。このように、接続制御部が交換機構を制御することで、ボトルの接続或は接続の解除を自動で行うことができる。
ボトル交換装置は、交換機構にボトルを搬送し、交換機構から所定位置にボトルを搬送するボトル搬送機構を更に備えていてもよい。これにより、ボトル搬送機構によってボトルの搬送が行われ、ボトルの交換が容易となる。
ボトル搬送機構として、クレーン、ロボットアーム又はコンベアを用いることができる。この場合には、クレーン、ロボットアーム又はコンベアを用いて、ボトルの搬送を容易に行うことができる。
ボトル交換装置は、交換機構が処理液用配管に接続されたボトルの交換を行う場合、処理液用配管との接続が解除されたボトルを交換機構から所定位置に搬送し、他のボトルを交換機構に搬送するようにボトル搬送機構を制御する搬送制御部を更に備えていてもよい。このように、搬送制御部がボトル搬送機構を制御することで、ボトルの搬送を自動で行うことができる。
本発明の第三の側面に係る基板処理装置は、上記のボトル交換装置と、ボトル交換装置によって交換されたボトルから供給された処理液を用いて基板に対して処理を行う基板処理部と、を備える。この基板処理装置では、基板処理部において用いられる処理液を収容するボトルをボトル交換装置によって交換することができる。
本発明の第四の側面に係るボトル交換方法は、処理液が収容されるボトルを交換する方法である。ボトルは、ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えている。ボトルキャップは、ボトル内の処理液をボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、処理液用ストロー部におけるボトル外側の端部に設けられ、ボトルから供給された処理液が流通する処理液用配管に接続される処理液用接続部と、を備えている。このようなボトルを交換する場合、処理液用配管に接続されたボトルの処理液用接続部と処理液用配管との接続を解除し、処理液用配管と他のボトルの処理液用接続部とを接続する。
このボトル交換方法では、ボトルの開口部にボトルキャップを取り付けたままで、処理液用配管に接続されたボトルの処理液用接続部と処理液用配管との接続が解除され、処理液用配管と他のボトルの処理液用接続部とが接続される。これにより、処理液用ストロー部が外部に露出することなくボトルを交換することができるので、処理液用ストロー部にゴミ等が付着することがない。従って、ボトル交換の際に、ボトル内にゴミ等が入り込むことを抑制することができる。
ボトル交換方法において、ボトル及び処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を移動させることによって処理液用接続部と処理液用配管との接続を解除し、或は、処理液用接続部と処理液用配管とを接続してもよい。この場合には、ボトル及び処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を移動させるだけで、容易に、処理液用接続部と処理液用配管との接続或は接続の解除を行うことができる。
ボトル交換方法において、ボトル及び処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を昇降させることによって処理液用接続部と処理液用配管とを接続し又は接続を解除する、或は、ボトル及び処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を水平移動させることによって処理液用接続部と処理液用配管とを接続し又は接続を解除してもよい。この場合には、ボトル及び処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を昇降或は水平移動させるだけで、容易に、処理液用接続部と処理液用配管との接続或は接続の解除を行うことができる。
本発明の第一、第二及び第四の側面によれば、ボトル交換の際にボトル内にゴミ等が入り込むことを抑制することができる。また、本発明の第三の側面によれば、第一及び第二の側面に係るボトル交換装置を備える基板処理装置を提供できる。
一実施形態に係る塗布・現像装置を示す斜視図である。 処理液供給ブロックの概略構成を示す平面図である。 ボトルを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 キャップに取り付けられたカバーの開閉状態を示す断面図であり、（ａ）はカバーが閉じた状態、（ｂ）はカバーが開いた状態を示す図である。 （ａ）は図４（ａ）におけるVa-Va線に沿った断面図、（ｂ）は図４（ｂ）におけるVb-Vb線に沿った断面図である。 ボトルがケミカルカートに設置される様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）はボトルが接続される側からケミカルカートを見た正面図である。 キャップをガイド部に嵌め込む様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 キャップがガイド部に嵌め込まれた様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 処理液用接続部等と処理液用配管等とを接続する様子を示す図であり、（ａ）は接続前の状態、（ｂ）は接続後の状態を示す断面図である。 制御部を示す機能ブロック図である。 ボトルを交換する処理の流れを示すフローチャートである。 ボトルを交換する様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。 ボトルを交換する様子を示す側面図である。 ボトルを交換する様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。 ボトルを交換する様子を示す側面図である。 ボトルを交換する様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。 ボトルを交換する様子を示す側面図である。 ボトルを交換する様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。 （ａ）から（ｆ）は、キャップ交換装置がキャップの交換を行う様子を示す図である。 接続機構部の変形例を示す図であり、（ａ）は接続前の状態を示す断面図、（ｂ）は接続された状態を示す断面図である。 ボトルを昇降させて配管を接続する変形例を示す図であり、（ａ）は接続前の状態を示す正面図、（ｂ）はボトルを持ち上げて接続した状態を示す正面図である。 変形例に係るキャップをガイド部に嵌め込む様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 変形例に係るキャップをガイド部に嵌め込む様子を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。 変形例に係るキャップを示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。 側面に処理液用接続部等を有するキャップに設けられたカバーの開閉状態を示す断面図であり、（ａ）はカバーが閉じた状態、（ｂ）はカバーが開いた状態を示す図である。 側面に処理液用接続部等を有するキャップに設けられたカバーの変形例を示す断面図であり、（ａ）はカバーが閉じた状態、（ｂ）はカバーが開いた状態を示す図である。 処理液用流路にフィルタを有するキャップを示す断面図である。 処理液用流路にフィルタを有するキャップの変形例を示す断面図である。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
図１に示すように、塗布・現像装置（基板処理装置）１は、キャリアブロックＳ１と、キャリアブロックＳ１に隣接する処理ブロックＳ２と、処理ブロックＳ２に隣接するインターフェースブロックＳ３と、処理液供給ブロックＳ４とを備える。
キャリアブロックＳ１は、複数のキャリア２を設置するためのキャリアステーション３と、キャリアステーション３と処理ブロックＳ２との間に介在する搬入・搬出部４とを有している。キャリア２は、複数枚のウェハを密封状態で収容し、キャリアステーション３上に着脱自在に設置される。キャリア２の一方の側面には、ウェハを出し入れするための開閉扉が設けられている。搬入・搬出部４には、キャリアステーション３に設置された複数のキャリア２にそれぞれ対応する複数の開閉扉４ａが設けられている。搬入・搬出部４内には、キャリアステーション３に設置されたキャリア２からウェハを取り出して処理ブロックＳ２に渡し、処理ブロックＳ２からウェハを受け取ってキャリア２内に戻す受け渡しアームが収容されている。
処理ブロックＳ２は、ウェハの表面上に下層の反射防止膜を形成する基板処理部としての下層反射防止膜形成（ＢＣＴ）ブロック５と、下層の反射防止膜の上にレジスト膜を形成する基板処理部としてのレジスト膜形成（ＣＯＴ）ブロック６と、レジスト膜の上に上層の反射防止膜を形成する基板処理部としての上層反射防止膜形成（ＴＣＴ）ブロック７と、現像処理を行う基板処理部としての現像処理（ＤＥＶ）ブロック８とを有している。これらのブロックは、床面側からＤＥＶブロック８、ＢＣＴブロック５、ＣＯＴブロック６、ＴＣＴブロック７の順に積層されている。
インターフェースブロックＳ３は、ウェハに露光処理を施す露光装置Ｅ１に接続される。インターフェースブロックＳ３には、処理ブロックＳ２から露光装置Ｅ１にウェハを渡し、露光装置Ｅ１から露光処理後のウェハを受け取り処理ブロックＳ２に戻す受け渡しアームが収容されている。
処理液供給ブロックＳ４は、処理ブロックＳ２のＢＣＴブロック５等がウェハに対して各処理を行う際に用いられる処理液を、処理ブロックＳ２に供給する。なお、処理液供給ブロックＳ４を設ける位置は、図１に示す位置に限定されず、また、個数も１個に限定されない。処理液供給ブロックＳ４の構成について、詳しくは後述する。
このような塗布・現像装置１では、まず、複数枚のウェハを収容したキャリア２がキャリアステーション３に設置される。次に、キャリア２の開閉扉と搬入・搬出部４の開閉扉４ａとが共に開放され、搬入・搬出部４内に設置された受け渡しアームが、キャリア２内のウェハを搬入・搬出部４内に搬入する。搬入・搬出部４内に搬送されたウェハは、処理ブロックＳ２のＢＣＴブロック５に搬送される。
ＢＣＴブロック５において、ウェハの表面上に下層反射防止膜が形成される。ＢＣＴブロック５において下層反射防止膜が形成されたウェハは、ＣＯＴブロック６に搬送される。ＣＯＴブロック６において、ウェハの下層反射防止膜の上にレジスト膜が形成される。
ＣＯＴブロック６においてレジスト膜が形成されたウェハは、ＴＣＴブロック７に搬送される。ＴＣＴブロック７において、ウェハのレジスト膜の上に上層反射防止膜が形成される。ＴＣＴブロック７において上層反射防止膜が形成されたウェハは、露光装置Ｅ１内に搬送される。
露光装置Ｅ１において、搬送されたウェハのレジスト膜に露光処理が施される。露光処理後のウェハは、ＤＥＶブロック８に搬送される。ＤＥＶブロック８において、ポストエクスポージャベーク（ＰＥＢ）処理、現像処理、及び、ポストベーク処理がウェハに施される。ポストベーク処理が施されたウェハは、ＤＥＶブロック８からキャリア２に搬送される。
なお、塗布・現像装置１の構成は一例に過ぎない。塗布・現像装置は、塗布ユニット、現像処理ユニット等の処理ユニットと、加熱・冷却ユニット等の前処理・後処理ユニットと、搬送装置とを備えるものであればよく、これら各ユニットの個数や種類、レイアウト等は適宜変更可能である。
次に、処理液供給ブロックＳ４の詳細について説明する。図２に示すように、処理液供給ブロックＳ４は、キャップ交換装置２０、及び、ボトル交換装置３０を含んで構成される。ここで、処理液供給ブロックＳ４は、ボトルＢ内に収容された処理液を処理ブロックＳ２のＢＣＴブロック５等に供給する。
キャップ交換装置２０は、第１アーム２１、第２アーム２２、及び、ストロー洗浄部２３を含んで構成される。キャップ交換装置２０には、ボトル保管場所（所定位置）から処理液が収容されたボトルＢが搬送装置（ボトル搬送機構）８０によって搬送される。搬送装置８０として、例えば、クレーンを用いることができる。また、搬送装置８０として、クレーン以外にも、ロボットアーム又はコンベヤを用いることもできる。第１アーム２１及び第２アーム２２は、ボトル交換装置３０から受け取った空のボトルＢの開口部に取り付けられたストロー付きのキャップ（ボトルキャップ）Ｃ（図３参照）と、ボトル保管場所から搬送された新たなボトルＢの開口部に取り付けられた搬送時用のキャップとを交換する。
新たなボトルＢにストロー付きのキャップＣが取り付けられると、第１アーム２１又は第２アーム２２は、キャップＣを取り付けた新たなボトルをボトル交換装置３０のアライメントステージ３３に受け渡す。キャップ交換装置２０におけるキャップＣの交換動作について、詳しくは後述する。なお、キャップ交換装置２０は、塗布・現像装置１の近傍に設ける必要はなく、塗布・現像装置１とは異なる場所に設けられていてもよい。また、もともと、ストロー付きのキャップＣがボトルＢに取り付けられている場合、キャップ交換装置２０を設ける必要はない。
ボトル交換装置３０は、複数のケミカルカート（交換機構）３１、クレーン（ボトル搬送機構）３２、及び、アライメントステージ３３を含んで構成される。ケミカルカート３１には、処理ブロックＳ２のＢＣＴブロック５等につながる処理液用配管の一端が位置する。ケミカルカート３１に搬送されたボトルＢに処理液用配管が接続され、ケミカルカート３１からＢＣＴブロック５等に処理液が供給される。
クレーン３２は、一例として処理液供給ブロックＳ４の天井に設置された軌道を走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）であり、ボトルＢを掴んで、ケミカルカート３１とアライメントステージ３３との間でボトルＢを搬送する。
アライメントステージ３３は、クレーン３２によって掴みやすい向きにボトルＢを回転させる。なお、アライメントステージ３３は、ボトルＢに取り付けられたキャップＣのキャップガイドＣ６０（図３（ｂ）等参照）の向き等をカメラで監視し、監視結果に基づいてボトルＢを回転させることができる。
次に、ボトルＢの開口部に取り付けられるキャップＣについて説明する。図３から図５に示すようにキャップＣは、ボトルＢの上部に設けられた開口部にねじ込まれて取り付けられる。キャップＣは、キャップ本体部Ｃ１０、カバー（処理液用カバー）Ｃ２０、タグＣ３０、処理液用ストロー部Ｃ４０、ガス用流路形成部Ｃ５０、及び、４つのキャップガイドＣ６０を含んで構成される。
キャップ本体部Ｃ１０には、ボトルＢの開口部にねじ込まれることでボトルＢと係合する係合部Ｃ１１が形成される。キャップ本体部Ｃ１０は、ボトルＢに取り付けられたときにボトルＢの開口部を封止する。
処理液用ストロー部Ｃ４０は、ボトルＢ内の処理液をボトルＢ外に供給するための処理液用流路Ｒ１を形成する。処理液用ストロー部Ｃ４０の一端側はキャップ本体部Ｃ１０に埋め込まれ、他端側はボトルＢの底部に向かって延びている。処理液用ストロー部Ｃ４０の一端側部分（ボトルＢの外側の端部）における処理液用流路Ｒ１は、鉛直方向に沿って延在する。
処理液用ストロー部Ｃ４０の一端側には、処理液用接続部Ｃ４５が設けられる。処理液用接続部Ｃ４５は、ケミカルカート３１に設けられた、ボトルＢから供給された処理液が流通する処理液用配管Ｄ４５（図６（ｂ）参照）に接続される。処理液用配管Ｄ４５は、ケミカルカート３１からＢＣＴブロック５等へ延びている。本実施形態において処理液用接続部Ｃ４５は、処理液用ストロー部Ｃ４０の一端の径を大きくすることによって形成される。処理液用接続部Ｃ４５の内周面には、例えば、ＯリングＳが取り付けられ、処理液用配管Ｄ４５との密閉性が高められる。
ガス用流路形成部Ｃ５０は、ボトルＢ外からボトルＢ内にガス（一例として窒素ガス）を供給するためのガス用流路Ｒ２を形成する。ガス用流路形成部Ｃ５０はキャップ本体部Ｃ１０内に埋め込まれている。ガス用流路形成部Ｃ５０の一端側部分（ボトルＢの外側の端部）におけるガス用流路Ｒ２は、鉛直方向に沿って延在する。ガス用流路Ｒ２を介してボトルＢ内にガスを供給することで、ボトルＢ内の処理液が処理液用流路Ｒ１を介してボトルＢ外に押し出される。
ガス用流路形成部Ｃ５０の一端側には、ガス用接続部Ｃ５５が設けられる。ガス用接続部Ｃ５５は、ケミカルカート３１に設けられた、ボトルＢに供給されるガスが流通するガス用配管Ｄ５５（図９参照）に接続される。本実施形態においてガス用接続部Ｃ５５は、ガス用流路形成部Ｃ５０の一端の径を大きくすることによって形成される。ガス用接続部Ｃ５５の内周面には、例えば、ＯリングＳが取り付けられる。
なお、本実施形態では、処理液用流路Ｒ１を形成する処理液用ストロー部Ｃ４０及びガス用流路Ｒ２を形成するガス用流路形成部Ｃ５０を、キャップ本体部Ｃ１０とは別体としたが、処理液用ストロー部Ｃ４０とキャップ本体部Ｃ１０とが一体に成型されていてもよく、また、ガス用流路形成部Ｃ５０とキャップ本体部Ｃ１０とが一体に成型されていてもよい。
カバーＣ２０は、カバー本体部Ｃ２１、一対のカバーガイドＣ２２、及び、バネＣ２３を含んで構成される。カバー本体部Ｃ２１は、キャップ本体部Ｃ１０の上面において、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５を露出可能に覆う。バネＣ２３は、カバーガイドＣ２２が処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５を覆う方向にカバー本体部Ｃ２１を付勢する。なお、キャップ本体部Ｃ１０の上面には、バネＣ２３によってカバー本体部Ｃ２１が付勢されたときに、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５が覆われる位置でカバー本体部Ｃ２１のスライドを停止させるストッパー部Ｃ１２が設けられている。
一対のカバーガイドＣ２２は、カバー本体部Ｃ２１を間に挟むように配置され、カバー本体部Ｃ２１の側部にそれぞれ接続される。一対のカバーガイドＣ２２は、バネＣ２３によってカバー本体部Ｃ２１が付勢される方向に対して直交する方向に沿って、それぞれ、カバー本体部Ｃ２１の側部から外側に向かって延びる。
４つのキャップガイドＣ６０は、２つずつの組に分けられ、キャップ本体部Ｃ１０を間に挟むように一方の組のキャップガイドＣ６０と他方の組のキャップガイドＣ６０とが配置される。一方の組のキャップガイドＣ６０と他方の組のキャップガイドＣ６０とは、キャップ本体部Ｃ１０の側部にそれぞれ接続される。一方の組のキャップガイドＣ６０と他方の組のキャップガイドＣ６０とは、バネＣ２３によってカバー本体部Ｃ２１が付勢される方向に対して直交する方向に沿って、それぞれ、キャップ本体部Ｃ１０の側部から外側に向かって延びる。
タグＣ３０には、ボトルＢ内の処理液の種類、及び、消費期限等の処理液に関する情報等が記録されている。タグＣ３０として、例えば、カメラ等で読み取り可能なバーコード等を用いることができる。
次に、ケミカルカート３１の詳細について説明する。ケミカルカート３１は、ボトルＢから処理液を吸い出し、吸い出した処理液を処理ブロックＳ２のＢＣＴブロック５、ＣＯＴブロック６、ＴＣＴブロック７、及び、ＤＥＶブロック８等の処理液を使用する所定のブロックに供給する。
図６に示すように、ケミカルカート３１は、ガイド部Ｄ１０、接続機構部Ｄ２０、カメラＤ３０、及び、スライド・回転機構部（ボトル載置部）Ｄ６０を含んで構成される。ガイド部Ｄ１０は、接続機構部Ｄ２０の下方位置に設けられ、接続機構部Ｄ２０によって処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５がボトルＢのキャップＣに接続されるように、ボトルＢの位置決めを行う。
より詳細には、図７及び図８に示すようにガイド部Ｄ１０は、一対の壁部Ｄ１１、一対のカバーガイド溝Ｄ１２、及び、一対のキャップガイド溝Ｄ１３を含んで構成される。一対の壁部Ｄ１１は、ボトルＢに取り付けられたキャップＣのキャップ本体部Ｃ１０を間に挟み込むように配置される。
一対のキャップガイド溝Ｄ１３は、一対の壁部Ｄ１１同士が対向する面にそれぞれ設けられる。キャップガイド溝Ｄ１３は、ガイド部Ｄ１０の一方の端部（キャップＣが嵌め込まれる側の端部）から、処理液用配管Ｄ４５等と接続される位置に向かってボトルＢが搬送される方向に沿って延在する。キャップガイド溝Ｄ１３には、処理液用配管Ｄ４５等と接続される位置に向かってボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、キャップＣのキャップガイドＣ６０がガイド部Ｄ１０の一方の端部側からスライド可能に嵌め込まれる。
キャップガイド溝Ｄ１３における、ガイド部Ｄ１０の一方の端部からの溝長さは、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、キャップガイド溝Ｄ１３の溝の奥側の端部Ｄ１３ａにキャップガイドＣ６０が当接した時に、ボトルＢが処理液用配管Ｄ４５等に接続される長さとする。
このように、一対の壁部Ｄ１１によってキャップＣのキャップ本体部Ｃ１０を挟み込むことで、処理液用配管Ｄ４５等と接続される位置に向かってボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、キャップＣについて、搬送方向に対して直交する方向の位置決めを行うことができる。また、キャップガイド溝Ｄ１３の溝長さを上述した長さとすることで、ボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、キャップＣについて、搬送方向の位置決めを行うことができる。
一対のカバーガイド溝Ｄ１２は、一対の壁部Ｄ１１同士が対向する面にそれぞれ設けられる。カバーガイド溝Ｄ１２は、壁部Ｄ１１の一方の端部からキャップガイド溝Ｄ１３に対して平行に延在する。カバーガイド溝Ｄ１２には、処理液用配管Ｄ４５等と接続される位置に向かってボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、カバーＣ２０のカバーガイドＣ２２がガイド部Ｄ１０の一方の端部側からスライド可能に嵌め込まれる。
また、処理液用配管Ｄ４５等と接続される位置に向かってボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、カバーガイド溝Ｄ１２における溝の奥側の端部Ｄ１２ａは、カバーガイドＣ２２と当接してカバー本体部Ｃ２１をスライドさせ、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５を露出させる。カバーガイド溝Ｄ１２の一方の端部からの溝長さは、キャップガイド溝Ｄ１３の奥側の端部Ｄ１３ａにキャップガイドＣ６０が当接したときに、カバー本体部Ｃ２１がスライドして処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５を露出させる長さとする。
カバーガイド溝Ｄ１２の溝長さを上述した長さとすることで、ボトルＢがスライド・回転機構部Ｄ６０によって搬送される際に、カバー本体部Ｃ２１を自動的にスライドさせ、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５を露出させることができる。反対に、ボトルＢをガイド部Ｄ１０から取り外すと、バネＣ２３によってカバー本体部Ｃ２１が付勢されて、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５がカバー本体部Ｃ２１によって覆われる。
接続機構部Ｄ２０には、ボトルＢからＢＣＴブロック５等に供給される処理液が流れる処理液用配管Ｄ４５、及び、ボトルＢ内に供給されるガスが通るガス用配管Ｄ５５が接続される。接続機構部Ｄ２０は、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５の端部を鉛直方向に沿って昇降させることで、処理液用配管Ｄ４５とキャップＣに設けられた処理液用接続部Ｃ４５とを接続し又は接続を解除する。更に、接続機構部Ｄ２０は、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５の端部を鉛直方向に沿って昇降させることで、ガス用配管Ｄ５５とキャップＣに設けられたガス用接続部Ｃ５５とを接続し又は接続を解除する。
より詳細には、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、接続機構部Ｄ２０は、昇降部Ｄ２１、及び、回転部Ｄ２２を含んで構成される。昇降部Ｄ２１は、円柱形状を有している。昇降部Ｄ２１は、円柱形状の軸線方向が鉛直方向と平行となるように配置される。昇降部Ｄ２１には、昇降部Ｄ２１の上面から処理液用配管Ｄ４５の端部及びガス用配管Ｄ５５の端部がそれぞれ接続される。処理液用配管Ｄ４５の端部及びガス用配管Ｄ５５の端部は、昇降部Ｄ２１の下面から所定長さ突出し、それぞれ処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５との接続部を構成する。処理液用配管Ｄ４５の端部及びガス用配管Ｄ５５の端部における昇降部Ｄ２１の下面から突出する部位には、それぞれ、例えばＯリングＳが取り付けられる。昇降部Ｄ２１の周面には、突起部Ｄ２１ａが設けられている。
回転部Ｄ２２は、円筒形状を有している。回転部Ｄ２２は、円筒形状の軸線方向が鉛直方向と平行となるように配置される。回転部Ｄ２２は、内部に昇降部Ｄ２１を回転可能に収容する。回転部Ｄ２２の内周面には、昇降ガイド溝Ｄ２２ａが設けられる。昇降ガイド溝Ｄ２２ａは、回転部Ｄ２２の円筒形状の軸線方向に対して傾斜する方向に沿って延在する。昇降ガイド溝Ｄ２２ａには、昇降部Ｄ２１の突起部Ｄ２１ａが嵌め込まれる。回転部Ｄ２２は、図示しない駆動源によって、円筒形状の軸線を回転軸として回転させられる。
回転部Ｄ２２は、ガイド部Ｄ１０に回転可能に支持される。また、回転部Ｄ２２の鉛直方向の位置は、回転部Ｄ２２が回転した場合であっても変化しない。このため、回転部Ｄ２２が回転すると、昇降部Ｄ２１の突起部Ｄ２１ａが昇降ガイド溝Ｄ２２ａに嵌め込まれていることにより、昇降部Ｄ２１は鉛直方向に沿って昇降する。
回転部Ｄ２２が回転して昇降部Ｄ２１が下がることで、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５が下方側に移動してボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５にそれぞれ接続される。即ち、処理液用接続部Ｃ４５に対し、処理液用ストロー部Ｃ４０の一端側部分（ボトルＢの外側の端部）における処理液用流路Ｒ１の延在方向（鉛直方向）に沿って上方向から処理液用配管Ｄ４５を近づけて、処理液用配管Ｄ４５を処理液用接続部Ｃ４５に押圧することによって、処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５とが接続される。同様に、ガス用接続部Ｃ５５に対し、ガス用流路形成部Ｃ５０の一端側部分におけるガス用流路Ｒ２の延在方向に沿って上方向からガス用配管Ｄ５５を近づけて、ガス用配管Ｄ５５をガス用接続部Ｃ５５に押圧することによって、ガス用接続部Ｃ５５とガス用配管Ｄ５５とが接続される。
一方、回転部Ｄ２２が反対方向に回転すると、昇降部Ｄ２１が上昇することで処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５が上方側に移動し、ボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５と処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５との接続がそれぞれ解除される。
このように、回転部Ｄ２２を回転させて昇降部Ｄ２１を昇降させることで、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５とボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５とを接続する或は接続を解除することができる。なお、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５の先端部は、それぞれ処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５内に差し込まれることによって接続される。
回転部Ｄ２２の内周面には、昇降ガイド溝Ｄ２２ａの上側の端部から上方に向かって延在する切欠きＤ２２ｂが設けられる。切欠きＤ２２ｂが設けられることで、切欠きＤ２２ｂを介して昇降部Ｄ２１の突起部Ｄ２１ａを昇降ガイド溝Ｄ２２ａ内に嵌め込むことができる。例えば、切欠きＤ２２ｂを昇降ガイド溝Ｄ２２ａの下方側の端部に設けた場合、昇降部Ｄ２１を下方側に移動させたときに突起部Ｄ２１ａが切欠きＤ２２ｂを通って昇降部Ｄ２１が下方側に落下することが考えられる。従って切欠きＤ２２ｂを昇降ガイド溝Ｄ２２ａの上方側の端部に設けることで、昇降部Ｄ２１の落下を防止できる。また、昇降部Ｄ２１を下方側に移動させたときに、昇降ガイド溝Ｄ２２ａの下方側の端部に突起部Ｄ２１ａが当接することで、昇降部Ｄ２１が下方側に移動したときの位置決めを行うことができる。
なお、昇降部Ｄ２１は、回転部Ｄ２２が回転したときに一緒に回転することがないように、昇降部Ｄ２１の回転を規制するガイド等と係合していてもよい。
スライド・回転機構部Ｄ６０は、クレーン３２によってケミカルカート３１内にボトルＢが搬送された位置と、接続機構部Ｄ２０によってボトルＢのキャップＣに処理液用配管Ｄ４５等が接続される位置との間でボトルＢを搬送する。スライド・回転機構部Ｄ６０は、水平方向にボトルＢをスライドさせる機能と、ボトルＢを回転させる機能とを有する。スライド・回転機構部Ｄ６０は、ボトルＢを水平方向にスライドさせてキャップＣをガイド部Ｄ１０に嵌め込む。
また、スライド・回転機構部Ｄ６０は、キャップＣがガイド部Ｄ１０に嵌め込み可能な向き、及び、クレーン３２によって掴みやすい向きとなるようにボトルＢを回転させる。なお、スライド・回転機構部Ｄ６０は、ボトルＢに取り付けられたキャップＣのキャップガイドＣ６０（図３（ｂ）等参照）の向き等をカメラＤ３０で監視し、監視結果に基づいてボトルＢを回転させることができる。
カメラＤ３０は、クレーン３２によってケミカルカート３１内にボトルＢが搬送された位置と、接続機構部Ｄ２０によってボトルＢのキャップＣに処理液用配管Ｄ４５等が接続される位置との間の搬送経路上において、キャップＣを上方から撮像する。カメラＤ３０による撮像結果は、キャップＣの向きを判断するために用いられる。更に、カメラＤ３０による撮像結果は、キャップＣの上面に付されたタグＣ３０を読み取るために用いられる。
次に、キャップ交換装置２０、ボトル交換装置３０、及び、キャップ交換装置２０にボトルＢを搬送する搬送装置８０を制御する制御部について説明する。図１０に示すように、制御部３００は、搬送制御部３１０、キャップ交換制御部３２０、スライド・回転機構制御部３３０、画像処理部３４０、及び、接続制御部３５０を含んで構成される。なお、制御部３００は、処理液供給ブロックＳ４に設置されていてもよく、例えば、塗布・現像装置１全体を制御する制御部と一体に設けられていてもよい。
搬送制御部３１０は、ボトル保管場所とキャップ交換装置２０との間でボトルＢが搬送されるように搬送装置８０を制御し、アライメントステージ３３とケミカルカート３１との間でボトルＢが搬送されるようにクレーン３２と、アライメントステージ３３とを制御する。
キャップ交換制御部３２０は、ボトル交換装置３０から受け取った空のボトルＢの開口部に取り付けられたストロー付きのキャップＣと、ボトル保管場所から搬送された新たなボトルＢの開口部に取り付けられた搬送時用のキャップとが交換されるように、第１アーム２１及び第２アーム２２を制御する。
スライド・回転機構制御部３３０は、クレーン３２によってケミカルカート３１内にボトルＢが搬送された位置と、接続機構部Ｄ２０によってボトルＢのキャップＣに処理液用配管Ｄ４５等が接続される位置との間でボトルＢが搬送されるように、スライド・回転機構部Ｄ６０を制御する。更に、スライド・回転機構制御部３３０は、キャップＣをガイド部Ｄ１０に嵌め込み可能な向き、及び、クレーン３２によって掴みやすい向きにボトルＢが回転させられるように、スライド・回転機構部Ｄ６０を制御する。
画像処理部３４０は、カメラＤ３０によって撮像された画像に基づいて、ボトルＢの向きを検出する。また、画像処理部３４０は、キャップＣの上面に付されたタグＣ３０を読み取り、ボトルＢ内の処理液の種類等を把握する。
接続制御部３５０は、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５とボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５とが接続される或は接続が解除されるように、回転部Ｄ２２の回転を制御して昇降部Ｄ２１を上下させる。
なお、制御部３００には、ケミカルカート３１において処理液を供給しているボトルＢ内の処理液の残量を検出する残量検出センサ（残量検出部）４００の検出結果が入力される。この残量検出センサ４００による検出結果に基づいて、制御部３００は、ボトルＢの交換作業を行う。なお、残量検出センサ４００は、ボトルＢから供給された処理液を一時的に貯留するバッファタンク内の処理液の残量を検出してもよく、処理液用配管Ｄ４５内を流れる処理液の流量に基づいて処理液の残量を検出してもよい。更に、残量検出センサ４００は、カメラを用いて撮像した結果に基づいて処理液の残量を検出する等、種々の方法によって処理液の残量を検出することができる。
次に、ケミカルカート３１のボトルＢを交換する場合における各部の動作の流れを、図１１に示すフローチャートを用いて説明する。まず、搬送制御部３１０は、残量検出センサ４００による検出結果に基づいて、ケミカルカート３１において処理液を供給しているボトルＢの処理液の残量が所定値以下に低下したか否かを判断する（ステップＳ１０１）。処理液の残量が所定値以下でない場合(ステップＳ１０１：ＮＯ)、搬送制御部３１０は、ステップＳ１０１の判断処理を繰り返す。処理液の残量が所定値以下である場合（ステップＳ１０１：ＹＥＳ）、搬送制御部３１０は、搬送装置８０を制御して、処理液が収容されたボトルＢをボトル保管場所からキャップ交換装置２０へ搬送する（ステップＳ１０２）。
次に、接続制御部３５０は、残量検出センサ４００による検出結果に基づいて、ケミカルカート３１において処理液を供給しているボトルＢの処理液の残量が無くなったか否かを判断する（ステップＳ１０３）。処理液の残量が残っている場合(ステップＳ１０３：ＮＯ)、接続制御部３５０は、ステップＳ１０３の判断処理を繰り返す。処理液の残量が無くなった場合（ステップＳ１０３：ＹＥＳ）、制御部３００は、各部を制御して、空のボトルＢをキャップ交換装置２０へ搬送する（ステップＳ１０４）。
具体的には、接続制御部３５０は、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、接続機構部Ｄ２０の回転部Ｄ２２を回転させて昇降部Ｄ２１を上昇させ、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５とボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５との接続を解除する。
次に、スライド・回転機構制御部３３０は、図１３に示すように、スライド・回転機構部Ｄ６０をスライドさせて、カメラＤ３０の直下の位置に空のボトルＢを移動させる。そして、スライド・回転機構制御部３３０は、画像処理部３４０によって検出されたキャップＣの向きに基づいて、クレーン３２によってキャップＣを掴みやすい向きとなるようにスライド・回転機構部Ｄ６０を回転させる。その後、スライド・回転機構制御部３３０は、空のボトルＢをクレーン３２によって掴むことができる位置までスライド・回転機構部Ｄ６０をスライドさせる。
次に、搬送制御部３１０は、クレーン３２を制御して、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、クレーン３２によって空のボトルＢを吊り上げ、図１５に示すように、スライド・回転機構部Ｄ６０上から空のボトルＢを取り除く。そして、搬送制御部３１０は、クレーン３２を制御して、吊り上げた空のボトルＢをアライメントステージ３３へ搬送する。搬送制御部３１０は、アライメントステージ３３を制御し、キャップ交換装置２０の第１アーム２１又は第２アーム２２によって空のボトルＢを掴みやすい向きとなるようにボトルＢを回転させる。キャップ交換制御部３２０は、第１アーム２１又は第２アーム２２を制御し、アライメントステージ３３上の空のボトルＢをキャップ交換装置２０内に搬入する。
処理液が収容されたボトルＢと、空のボトルＢとがキャップ交換装置２０に搬送されると、キャップ交換制御部３２０は、空のボトルＢの開口部に取り付けられたストロー付きのキャップＣと、処理液が収容された新たなボトルＢの開口部に取り付けられた搬送時用のキャップとを交換する（ステップＳ１０５）。キャップ交換装置２０における交換動作について、詳しくは後述する。
次に、制御部３００は、各部を制御して、キャップの交換後の処理液が収容されたボトルＢをケミカルカート３１へ搬送する（ステップＳ１０６）。具体的には、キャップ交換制御部３２０は、第１アーム２１又は第２アーム２２を制御し、キャップの交換後の処理液が収容されたボトルＢをアライメントステージ３３上に搬送する。搬送制御部３１０は、アライメントステージ３３を制御し、クレーン３２によって処理液を収容するボトルＢを掴みやすい向きとなるようにボトルＢを回転させる。そして、搬送制御部３１０は、図１６（ａ）及び図１６（ｂ）に示すように、クレーン３２によって、アライメントステージ３３上のボトルＢをケミカルカート３１内のスライド・回転機構部Ｄ６０へ搬送する。
次に、スライド・回転機構制御部３３０は、処理液を収容するボトルＢを、処理液用配管Ｄ４５等との接続位置へ搬送する（ステップＳ１０７）。具体的には、まず、スライド・回転機構制御部３３０は、スライド・回転機構部Ｄ６０をスライドさせて、図１７に示すように、カメラＤ３０の直下の位置に処理液を収容するボトルＢを移動させる。そして、スライド・回転機構制御部３３０は、画像処理部３４０によって検出されたキャップＣの向きに基づいて、ガイド部Ｄ１０にキャップＣを嵌め込むことができるキャップＣの向きとなるように、スライド・回転機構部Ｄ６０を回転させる。
このとき、画像処理部３４０は、キャップＣの上面に付されたタグＣ３０を読み取り、ボトルＢ内の処理液の種類等を把握する。ケミカルカート３１に搬入されたボトルＢが要求した処理液を収容するボトルＢではない場合、或は、消費期限が過ぎている等の場合、スライド・回転機構制御部３３０は、ボトルＢを処理液用配管Ｄ４５との接続位置に搬送しない。要求した処理液を収容するボトルＢではない等の場合、制御部３００は、各部を制御し、ボトル保管場所へボトルＢを戻す等の処理を行うことができる。
タグＣ３０を読み取った結果、要求した処理液を収容するボトルＢである場合、スライド・回転機構制御部３３０は、スライド・回転機構部Ｄ６０をスライドさせて、処理液用配管Ｄ４５等との接続位置にボトルＢを搬送する。
次に、接続制御部３５０は、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、回転部Ｄ２２を回転させて昇降部Ｄ２１を下方に移動させ、キャップＣの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５に、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５をそれぞれ接続する（ステップＳ１０８）。接続後、ボトルＢ内の泡抜き等を行い、ボトルＢ内の処理液を処理液用配管Ｄ４５を通じてＢＣＴブロック５等へ供給する。
次に、キャップ交換装置２０において、処理液が収容されたボトルＢに取り付けられた搬送時用のキャップと、空のボトルＢに取り付けられたストロー付きのキャップＣとを交換する手順について図１９（ａ）から図１９（ｆ）を用いて説明する。なお、図１９（ａ）から図１９（ｆ）において、説明を容易にするため、空のボトルＢを空ボトルＢＸとし、搬送時用のキャップを搬送時用キャップＣＸとする。
ここでは、図１９（ａ）に示すように、キャップＣが取り付けられた空ボトルＢＸと搬送時用キャップＣＸが取り付けられたボトルＢとが、キャップ交換装置２０内に搬入されている状態からキャップの交換作業が開始される。まず、キャップ交換制御部３２０は、第２アーム２２を制御して、図１９（ｂ）及び図１９（ｃ）に示すように、ボトルＢから搬送時用キャップＣＸを取り外す。次に、キャップ交換制御部３２０は、第１アーム２１を制御して、図１９（ｃ）及び図１９（ｄ）に示すように、空ボトルＢＸからキャップＣを取り外し、キャップＣの処理液用ストロー部Ｃ４０をストロー洗浄部２３によって洗浄する。
そして、キャップ交換制御部３２０は、第１アーム２１を制御して、図１９（ｅ）に示すように、キャップＣをボトルＢに取り付ける。その後、キャップ交換制御部３２０は、第２アーム２２を制御して、搬送時用キャップＣＸを空ボトルＢＸに取り付ける。このように、キャップ交換制御部３２０が第１アーム２１及び第２アーム２２を制御することによって、ストロー付きのキャップＣと搬送時用キャップＣＸとが自動的に交換される。
本実施形態は以上のように構成され、ボトル交換装置３０は、ボトルＢの開口部にキャップＣを取り付けたままで、処理液用配管Ｄ４５に接続されたボトルＢの処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５との接続を解除し、処理液用配管Ｄ４５と他のボトルＢにおける処理液用接続部Ｃ４５とを接続する。これにより、処理液用ストロー部Ｃ４０が外部に露出することなくボトルＢを交換することができるので、処理液用ストロー部Ｃ４０にゴミ等が付着することがない。従って、ボトルＢの交換の際に、ボトルＢ内にゴミ等が入り込むことを抑制することができる。また、ボトルＢの位置決めを行うガイド部Ｄ１０を備えているので、処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５とを確実に接続することができる。
ケミカルカート３１の接続機構部Ｄ２０は、処理液用配管Ｄ４５を鉛直方向に沿って移動させることによって処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５との接続を解除し、或は、処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５とを接続する。この場合には、処理液用配管Ｄ４５を移動させるだけで、容易に、処理液用接続部Ｃ４５と処理液用配管Ｄ４５との接続或は接続の解除を行うことができる。
制御部３００は、残量検出センサ４００によって検出されるボトルＢ内の処理液の残量に基づいて、ケミカルカート３１に設置されたボトルＢを交換する。特に、接続制御部３５０は、ボトルＢの交換の際に回転部Ｄ２２の回転を制御して昇降部Ｄ２１を昇降させる。このように、接続制御部３５０が昇降部Ｄ２１の昇降を制御することで、ボトルＢの接続或は接続の解除を自動で行うことができる。
ボトル交換装置３０は、ケミカルカート３１にボトルＢを搬入し、ケミカルカート３１からボトルＢを搬出するクレーン３２及び搬送装置８０を備える。これにより、クレーン３２及び搬送装置８０によってボトルの搬送が行われ、ボトルの交換が容易となる。
クレーン３２及び搬送装置８０として、クレーン、ロボットアーム又はコンベアを用いることができる。この場合には、クレーン、ロボットアーム又はコンベアを用いて、ボトルの搬送を容易に行うことができる。
クレーン３２及び搬送装置８０は、搬送制御部３１０によって制御される。このように、搬送制御部３１０がクレーン３２及び搬送装置８０を制御することで、ボトルＢの搬送を自動で行うことができる。
塗布・現像装置１は、ボトル交換装置３０を有する処理液供給ブロックＳ４を備える。これにより、ＢＣＴブロック５等で用いられる処理液を収容するボトルＢを、ボトル交換装置３０によって交換することができる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、回転部Ｄ２２を回転させることによって昇降部Ｄ２１を昇降させるものとしたが、図２０（ａ）及び図２０（ｂ）に示すように、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５の端部が接続された昇降部Ｄ２４を、駆動部Ｄ２３が直接、昇降させる接続機構部Ｄ２０Ａを用いてもよい。なお、昇降部Ｄ２４を昇降させる機構については特に限定されず、種々の機構を用いることができる。
また、図２１（ａ）及び図２１（ｂ）に示すように、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５の端部が固定された配管固定部Ｄ２５に対して、ボトルＢを昇降させることによって、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５と、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５とをそれぞれ接続することもできる。この場合、スライド・回転機構部Ｄ６０ＡにボトルＢを昇降させる機構を付加してもよい。なお、ボトルＢを昇降させる機構については特に限定されず、種々の機構を用いることができる。
図９（ａ）等を用いて説明した実施形態では処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５側を昇降させ、図２１（ａ）等を用いて説明した変形例ではボトルＢ側を昇降させるものとしたが、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５側とボトルＢ側との双方を相対的に移動させて配管の接続を行うこともできる。
実施形態において、図３（ｂ）等に示すように、キャップＣのキャップ本体部Ｃ１０は、円柱形状を有するものとしたが、キャップ本体部Ｃ１０の形状は円柱形状に限定されない。例えば、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示すキャップＣ１のように、四角柱形状のキャップ本体部Ｃ１０Ａを用いることもできる。この場合、キャップ本体部Ｃ１０Ａにおけるガイド部Ｄ１０に差し込まれる側の角部に傾斜面Ｘを設けることができる。これにより、キャップ本体部Ｃ１０Ａをガイド部Ｄ１０に容易に嵌め込むことができる。
また、上記実施形態では、図３（ｂ）等に示すようにキャップＣにキャップガイドＣ６０を設けるものとしたが、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）に示すように、キャップガイドを設けない構成であってもよい。この場合、キャップ本体部Ｃ１０Ａの側面とガイド部Ｄ１０の壁部Ｄ１１とを接触させることによって、キャップＣ１の位置決めをすることができる。
実施形態では、キャップＣの上面に処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が設けられるものとしたが、図２３（ａ）及び図２３（ｂ）に示すように、キャップＣ２の側面に処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が設けられていてもよい。この場合、処理液用ストロー部Ｃ４０のボトルＢの外側の端部における処理液用流路Ｒ１は、水平方向に沿って延在する。同様に、ガス用流路形成部Ｃ５０のボトルＢの外側の端部におけるガス用流路Ｒ２は、水平方向に沿って延在する。
このキャップＣ２は、水平方向に沿って移動させられることによってガイド部Ｄ１０に嵌め込まれる。従って、キャップＣが取り付けられたボトルＢを水平方向に搬送する場合に、ボトルＢの搬送動作によって処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５と処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５との接続もそれぞれ行うことができる。処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部をキャップＣ２の側面に設けることで、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部を介してボトルＢ内にゴミ等が入り込むことを抑制できる。
また、図２４（ａ）及び図２４（ｂ）に示すように、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部をキャップＣ３の側面に設ける場合、処理液用接続部Ｃ４５の開口部とガス用接続部Ｃ５５の開口部とを互いに水平方向に並べて配置することもできる。
図２５（ａ）及び図２５（ｂ）に示すように、キャップＣ４の側面に処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部がそれぞれ設けられている場合、これらの処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部を覆うようにカバーＣ２０Ａを設けてもよい。この場合、カバーＣ２０Ａは、カバー本体部Ｃ２１Ａ、カバーガイドＣ２２Ａ、バネＣ２３Ａを含んで構成される。
カバー本体部Ｃ２１Ａは、可撓性を有する。カバー本体部Ｃ２１Ａは、処理液用接続部Ｃ４５等を露出或は覆う際に、キャップＣ４の上面及び側面に密着した状態でスライドする。カバーガイドＣ２２Ａは、カバー本体部Ｃ２１Ａの端部に固定される。カバーガイドＣ２２Ａは、キャップＣ４がガイド部Ｄ１０に嵌め込まれるときに、ガイド部Ｄ１０の係合部と係合して、処理液用接続部Ｃ４５等の開口部が露出するようにカバー本体部Ｃ２１Ａをスライドさせる。バネＣ２３Ａは、処理液用接続部Ｃ４５等の開口部が覆われる方向にカバー本体部Ｃ２１Ａを付勢する。
これにより、キャップＣ４の側面に処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が設けられている場合であっても、キャップＣ４がガイド部Ｄ１０に嵌め込まれたときに、カバーガイドＣ２２Ａがガイド部Ｄ１０の係合部と係合することでカバー本体部Ｃ２１Ａがスライドする。これにより、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が露出し、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５と、処理液用配管Ｄ４５及びガス用配管Ｄ５５とをそれぞれ接続することができる。
また、キャップＣ４をガイド部Ｄ１０から取り外すと、バネＣ２３Ａがカバー本体部Ｃ２１Ａを付勢することによってカバー本体部Ｃ２１Ａがスライドし、カバー本体部Ｃ２１Ａによって処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が覆われる。
可撓性を有するカバー本体部Ｃ２１Ａに代えて、図２６（ａ）及び図２６（ｂ）に示すように、板状のカバー本体部Ｃ２１Ｂを用いてもよい。この場合、キャップＣ５がガイド部Ｄ１０に嵌め込まれたときに、カバーガイドＣ２２Ｂがガイド部Ｄ１０の係合部に係合してバネＣ２３Ｂを押し縮める方向に移動する。このカバーガイドＣ２２Ｂの移動に伴って、カバー本体部Ｃ２１ＢがカバーガイドＣ２２Ｂの近傍を軸として回動し、キャップＣ５の上面と平行な状態となる。そして、カバーガイドＣ２２Ｂの更なる移動に伴って、カバー本体部Ｃ２１ＢがキャップＣ５の上面に重ねられる。このように、板状のカバー本体部Ｃ２１Ｂを有するカバーＣ２０Ｂであっても、カバー本体部Ｃ２１Ｂを回動させることで、処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部を露出させることができる。
また、キャップＣ５をガイド部Ｄ１０から取り外すことで、バネＣ２３ＢがキャップＣ５の上面に重ねられたカバー本体部Ｃ２１ＢをキャップＣ５の上面から押し出す方向に付勢する。これにより、カバー本体部Ｃ２１ＢがカバーガイドＣ２２Ｂの近傍を軸として倒れ込むように回動し、カバー本体部Ｃ２１Ｂによって処理液用接続部Ｃ４５及びガス用接続部Ｃ５５の開口部が覆われる。
また、図２７に示すキャップＣ６のように、キャップ本体部Ｃ１０内において、処理液用ストロー部Ｃ４０Ａの途中に処理液用流路Ｒ１を流れる処理液を濾過するフィルタＦを設けてもよい。この場合には、キャップＣにおいて処理液を濾過することができる。また、キャップＣを交換するだけでフィルタＦも交換されることとなり、メンテナンス性が良い。
また、処理液用流路Ｒ１にフィルタＦを設ける場合、図２８に示すキャップＣ７のように、処理液用ストロー部Ｃ４０ＡにおけるフィルタＦよりもボトルＢの位置に分岐管Ｃ８０を接続し、処理液用ストロー部Ｃ４０Ａによって形成される処理液用流路Ｒ１に、分岐管Ｃ８０によって形成されるベント用流路Ｒ３を接続してもよい。この場合には、処理液用流路Ｒ１を通じて処理液を供給する前に、ベント用流路Ｒ３を通じて処理液用流路Ｒ１を流れる処理液の泡抜きを行うことができる。
なお、以上の実施形態では、ボトル保管場所から処理液供給ブロックＳ４までのボトルＢの搬送を搬送装置８０で行ったが、手動にて運搬してもよい。また、ボトル交換装置３０におけるボトルＢの交換も手動で行ってもよい。
１…塗布・現像装置（基板処理装置）、２０…キャップ交換装置(ボトルキャップ交換装置)、２１…第１アーム、２２…第２アーム２２、３０…ボトル交換装置、３１…ケミカルカート（交換機構）、３２…クレーン（ボトル搬送機構）、８０…搬送装置（ボトル搬送機構）、３１０…搬送制御部、３５０…接続制御部、４００…残量検出センサ（残量検出部）、Ｂ…ボトル、Ｃ，Ｃ１からＣ７…キャップ（ボトルキャップ）、Ｃ２０…カバー（処理液用カバー）、Ｃ４０…処理液用ストロー部、Ｃ４５…処理液用接続部、Ｃ５０…ガス用流路形成部、Ｃ５５…ガス用接続部、Ｄ４５…処理液用配管、Ｄ５５…ガス用配管、Ｆ…フィルタ、Ｒ１…処理液用流路、Ｒ２…ガス用流路。

Claims (10)

  1. 処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備えるボトル交換装置であって、
    前記ボトルは、前記ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えており、
    前記ボトルキャップは、
    前記ボトル内の前記処理液を前記ボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、前記ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、
    前記処理液用ストロー部における前記ボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えており、
    前記交換機構は、
    前記ボトルの前記処理液用接続部と接続され、前記ボトルから供給された前記処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、
    前記処理液用接続部と前記処理液用配管とを接続する接続位置に前記ボトルを搬送するボトル載置部と、を備え、
    前記接続機構部は、前記処理液用配管を鉛直方向に沿って昇降させる昇降部を備えるボトル交換装置。
  2. 処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備えるボトル交換装置であって、
    前記ボトルは、前記ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えており、
    前記ボトルキャップは、
    前記ボトル内の前記処理液を前記ボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、前記ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、
    前記処理液用ストロー部における前記ボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えており、
    前記交換機構は、
    前記ボトルの前記処理液用接続部と接続され、前記ボトルから供給された前記処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、
    前記処理液用接続部と前記処理液用配管とを接続する接続位置で前記ボトルを載置するボトル載置部と、
    前記ボトル載置部において前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管とが接続されるようにボトルの位置決めを行うガイド部と、を備え、
    前記接続機構部は、前記処理液用配管を鉛直方向に沿って昇降させる昇降部を備えるボトル交換装置。
  3. 前記処理液用配管に接続された前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことを検出する残量検出部と、
    前記残量検出部によって前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことが検出された場合に、前記処理液用配管に接続された前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管との接続を解除し、前記処理液用配管と他の前記ボトルの前記処理液用接続部とを接続するように前記交換機構を制御する接続制御部と、を更に備える請求項１又は２に記載のボトル交換装置。
  4. 処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備えるボトル交換装置であって、
    前記ボトルは、前記ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えており、
    前記ボトルキャップは、
    前記ボトル内の前記処理液を前記ボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、前記ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、
    前記処理液用ストロー部における前記ボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えており、
    前記交換機構は、
    前記ボトルの前記処理液用接続部と接続され、前記ボトルから供給された前記処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、
    前記処理液用接続部と前記処理液用配管とを接続する接続位置に前記ボトルを搬送するボトル載置部と、を備え、
    前記処理液用配管に接続された前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことを検出する残量検出部と、
    前記残量検出部によって前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことが検出された場合に、前記処理液用配管に接続された前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管との接続を解除し、前記処理液用配管と他の前記ボトルの前記処理液用接続部とを接続するように前記交換機構を制御する接続制御部と、を更に備えるボトル交換装置。
  5. 処理液が収容されるボトルを交換する交換機構を備えるボトル交換装置であって、
    前記ボトルは、前記ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えており、
    前記ボトルキャップは、
    前記ボトル内の前記処理液を前記ボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、前記ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、
    前記処理液用ストロー部における前記ボトル外側の端部に設けられる処理液用接続部と、を備えており、
    前記交換機構は、
    前記ボトルの前記処理液用接続部と接続され、前記ボトルから供給された前記処理液が流通する処理液用配管を備える接続機構部と、
    前記処理液用接続部と前記処理液用配管とを接続する接続位置で前記ボトルを載置するボトル載置部と、
    前記ボトル載置部において前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管とが接続されるようにボトルの位置決めを行うガイド部と、を備え、
    前記処理液用配管に接続された前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことを検出する残量検出部と、
    前記残量検出部によって前記ボトル内の前記処理液の量が所定値以下となったことが検出された場合に、前記処理液用配管に接続された前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管との接続を解除し、前記処理液用配管と他の前記ボトルの前記処理液用接続部とを接続するように前記交換機構を制御する接続制御部と、を更に備えるボトル交換装置。
  6. 前記交換機構に前記ボトルを搬送し、前記交換機構から所定位置にボトルを搬送するボトル搬送機構を更に備える、請求項１から５のいずれか一項に記載のボトル交換装置。
  7. 前記ボトル搬送機構は、クレーン、ロボットアーム又はコンベアである、請求項６に記載のボトル交換装置。
  8. 前記交換機構が前記処理液用配管に接続された前記ボトルの交換を行う場合、前記処理液用配管との接続が解除された前記ボトルを前記交換機構から前記所定位置に搬送し、他の前記ボトルを前記交換機構に搬送するように前記ボトル搬送機構を制御する搬送制御部を更に備える、請求項６又は７に記載のボトル交換装置。
  9. 請求項１から８のいずれか一項に記載されたボトル交換装置と、
    前記ボトル交換装置によって交換された前記ボトルから供給された前記処理液を用いて基板に対して処理を行う基板処理部と、を備える基板処理装置。
  10. 処理液が収容されるボトルを交換するボトル交換方法であって、
    前記ボトルは、前記ボトルの開口部を封止するボトルキャップを備えており、
    前記ボトルキャップは、
    前記ボトル内の前記処理液を前記ボトル外に供給するための処理液用流路を形成すると共に、前記ボトル内に延びる処理液用ストロー部と、
    前記処理液用ストロー部における前記ボトル外側の端部に設けられ、前記ボトルから供給された前記処理液が流通する処理液用配管に接続される処理液用接続部と、を備えており、
    前記ボトル及び前記処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を昇降させることによって、前記処理液用配管に接続された前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管との接続を解除し、前記処理液用配管と他の前記ボトルの前記処理液用接続部とを接続する、或は、前記ボトル及び前記処理液用配管のうち少なくともいずれか一方を水平移動させることによって前記処理液用配管に接続された前記ボトルの前記処理液用接続部と前記処理液用配管との接続を解除し、前記処理液用配管と他の前記ボトルの前記処理液用接続部とを接続する、ボトル交換方法。
JP2013164813A 2013-08-08 2013-08-08 ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 Active JP5950878B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013164813A JP5950878B2 (ja) 2013-08-08 2013-08-08 ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法
US14/340,680 US10000331B2 (en) 2013-08-08 2014-07-25 Bottle change apparatus, substrate treatment apparatus, bottle change method, bottle cap, bottle cap change apparatus and bottle cap change method
TW103125693A TWI567010B (zh) 2013-08-08 2014-07-28 Bottle replacement device, substrate processing device, bottle replacement method, cap, cap replacement device and cap replacement method
KR1020140101738A KR102236133B1 (ko) 2013-08-08 2014-08-07 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013164813A JP5950878B2 (ja) 2013-08-08 2013-08-08 ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015034016A JP2015034016A (ja) 2015-02-19
JP5950878B2 true JP5950878B2 (ja) 2016-07-13

Family

ID=52542843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013164813A Active JP5950878B2 (ja) 2013-08-08 2013-08-08 ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5950878B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240127706A (ko) * 2023-02-16 2024-08-23 솔리스 주식회사 자동화 공정을 이용한 약액공급장치 및 그 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0920359A (ja) * 1995-07-05 1997-01-21 Hitachi Ltd 溶液供給装置
JPH11283918A (ja) * 1998-03-31 1999-10-15 Tokyo Electron Ltd 液体処理システム
JP2974310B1 (ja) * 1998-07-15 1999-11-10 九州日本電気株式会社 半導体製造装置におけるレジスト液供給装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015034016A (ja) 2015-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102236133B1 (ko) 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법
KR102245902B1 (ko) 약액 용기 교환 장치, 용기 재치 모듈, 약액 용기의 교환 방법, 및 기판 처리 장치
KR101121321B1 (ko) 도포 장치, 현상 장치, 도포 방법, 현상 방법 및 기록 매체
CN107180775B (zh) 基板处理系统和基板搬送方法
JP2010171314A (ja) ストッカー装置及び基板処理装置
TWI600106B (zh) Substrate processing apparatus, substrate processing method, and memory medium
JP5987807B2 (ja) 薬液容器交換装置、容器載置モジュール及び薬液容器の交換方法
TWI484535B (zh) Automatic Warehouse and Item Removal Method
CN107924857A (zh) 保管装置和保管方法
CN110164794B (zh) 基板输送装置和基板处理系统
JP5987808B2 (ja) 基板処理装置
JP5950878B2 (ja) ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法
JP2008060513A (ja) 処理装置及び処理方法
JP5960101B2 (ja) ボトルキャップ、ボトルキャップ交換装置、及び、ボトルキャップ交換方法
TWI536489B (zh) 晶圓輸送系統及其運作方法
TWI527084B (zh) Direction adjustment device and direction adjustment method
JP5626167B2 (ja) 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
CN112242320B (zh) 衬底处理装置及衬底搬送方法
JP2005317653A (ja) 分散制御型枚葉搬送システム
JP2007150369A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2008100802A (ja) 基板保管庫
JP2006041027A (ja) 半導体製造装置およびデバイス製造方法
JP3894513B2 (ja) 半導体製造装置
JP4333284B2 (ja) 搬入装置
JP5541251B2 (ja) 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150702

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151120

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151201

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160531

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160607

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5950878

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250