KR102236133B1 - 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법 - Google Patents

Abstract

보틀 교환 시에 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있는 보틀 교환 장치를 제공한다. 또한, 처리액용 배관에 대하여 확실히 접속할 수 있는 보틀 캡을 제공한다. 보틀(B)은 캡(C)을 구비한다. 캡(C)은 처리액용 스트로부(C40)와 처리액용 접속부(C45)를 구비한다. 처리액용 스트로부(C40)는 처리액용 유로(R1)를 형성하고, 또한 보틀(B) 내로 연장된다. 처리액용 접속부(C45)는 처리액용 스트로부(C40)의 단부에 설치된다. 케미컬 카트(31)는 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45)와 접속되고, 보틀(B)로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관(D45)을 구비하는 접속 기구부(D20)와, 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 접속하는 접속 위치에 보틀(B)을 반송하는 슬라이드·회전 기구부(D60)를 구비한다.

Description

보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법{BOTTLE EXCHANGING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, BOTTLE EXCHANGING METHOD, BOTTLE CAP, BOTTLE CAP EXCHANGING DEVICE AND BOTTLE CAP EXCHANGING METHOD}

본 발명은 보틀 교환 장치, 이 보틀 교환 장치를 구비하는 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀에 장착되는 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법에 관한 것이다.

예를 들면, 기판을 처리하는 처리 장치에서는, 기판을 처리할 시 처리액을 이용하고 있다. 이 처리액은 처리액을 수용하는 보틀로부터 처리 장치로 공급된다. 이러한 보틀의 개구부에는, 처리액을 빨아올리기 위한 스트로를 구비하는 캡이 장착된다. 예를 들면 특허 문헌 1에는, 보틀 내로부터 처리액을 반도체 제조 장치로 공급하는 장치가 기재되어 있다.

특허 문헌 1에 기재된 장치는, 보틀 내의 처리액이 떨어졌을 경우, 스트로를 구비하는 캡을 보틀로부터 분리하고, 새로운 보틀 내에 스트로를 꽂아 보틀의 개구부에 캡을 장착함으로써 보틀을 교환하고 있다.

한편, 보틀 내의 처리액이 없어졌을 경우, 처리 장치에 설치된 처리액용 배관과 보틀을 분리하고, 새로운 보틀과 처리액용 배관을 접속하고 있다. 종래는, 예를 들면 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 처리액 공급관이 접속되는 보틀 캡을 보틀에 착탈 가능하게 접속하여 처리액을 공급하고, 보틀이 비면 보틀 캡을 보틀로부터 분리하여 새로운 보틀과 교환하고 있다.

이 방법에서는, 보틀 교환 시에 처리액 공급관이 외부 공기와 접촉하여, 먼지가 부착할 우려가 있다. 이 문제에 대하여, 예를 들면 특허 문헌 3에 기재된 구성에서는, 보틀에 장착된 캡을 처리액용 배관이 접속된 부재에 감합하고, 보틀 캡을 슬라이드(처리액용 배관의 연장 방향에 대하여 직교하는 방향으로 슬라이드)시킴으로써, 보틀 캡에 설치된 처리액용 유로와 처리액용 배관을 대향시키고 있다. 그러나 특허 문헌 3에 기재된 구성에서는, 보틀 캡과 처리액용 배관과의 사이에 극간이 생겨, 양자가 확실히 접속되어 있다고는 말하기 어렵다.

일본특허공개공보 2000-031000호 일본특허공개공보 2011-233789호 일본특허공개공보 평09-020359호

그러나 특허 문헌 1에 기재된 장치에서는, 보틀의 교환 시에 캡과 함께 스트로도 분리하기 때문에, 스트로 부분에 먼지 등이 부착할 가능성이 생긴다. 스트로에 먼지가 부착하면, 보틀 교환 시에 보틀 내로 먼지 등이 들어간다.

따라서 본 발명은, 보틀 교환 시에 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있는 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치 및 보틀 교환 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은, 처리액용 배관에 대하여 확실히 접속할 수 있는 보틀 캡, 이 보틀 캡을 교환하는 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 측면에 따른 보틀 교환 장치는, 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 장치이다. 보틀 교환 장치에 의해 교환되는 보틀은, 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있다. 보틀 캡은, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있다. 교환 기구는 보틀의 처리액용 접속부와 접속되고, 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와, 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치로 보틀을 반송하는 보틀 재치부(載置部)를 구비한다.

이 보틀 교환 장치에서는, 보틀의 개구부에 보틀 캡을 장착한 채로, 처리액용 배관에 접속된 보틀의 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속이 해제되고, 처리액용 배관과 다른 보틀의 처리액용 접속부가 접속된다. 이에 의해, 처리액용 스트로부가 외부에 노출되지 않고 보틀을 교환할 수 있으므로, 처리액용 스트로부에 먼지 등이 부착하지 않는다. 따라서 보틀 교환 시에, 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다.

본 발명의 제 2 측면에 따른 보틀 교환 장치는, 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 장치이다. 보틀 교환 장치에 의해 교환되는 보틀은, 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있다. 보틀 캡은, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있다. 교환 기구는 보틀의 처리액용 접속부와 접속되고, 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와, 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치에 보틀을 재치하는 보틀 재치부와, 보틀 재치부에서 보틀의 처리액용 접속부와 처리액용 배관이 접속되도록 보틀의 위치 결정을 행하는 가이드부를 구비한다.

이 보틀 교환 장치에서는, 보틀의 개구부에 보틀 캡을 장착한 채로, 처리액용 배관에 접속된 보틀의 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속이 해제되고, 처리액용 배관과 다른 보틀의 처리액용 접속부가 접속된다. 이에 의해, 처리액용 스트로부가 외부에 노출되지 않고 보틀을 교환할 수 있으므로, 처리액용 스트로부에 먼지 등이 부착하지 않는다. 따라서 보틀 교환 시에, 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다. 또한, 보틀의 위치 결정을 행하는 가이드부를 구비하고 있으므로, 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 확실히 접속할 수 있다.

접속 기구부는, 처리액용 배관을 수직 방향을 따라 승강시키는 승강부를 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 승강부가 처리액용 배관을 승강시킴으로써, 처리액용 배관과 처리액용 접속부를 용이하게 접속할 수 있다.

보틀 교환 장치는, 잔량 검출부와 접속 제어부를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 잔량 검출부는, 처리액용 배관에 접속된 보틀 내의 처리액의 양이 소정치 이하가 된 것을 검출할 수 있다. 또한 접속 제어부는, 잔량 검출부에 의해 보틀 내의 처리액의 양이 소정치 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 처리액용 배관에 접속된 보틀에서의 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 처리액용 배관과 다른 보틀에서의 처리액용 접속부를 접속하도록 교환 기구를 제어해도 된다. 이와 같이, 접속 제어부가 교환 기구를 제어함으로써, 보틀의 접속 혹은 접속의 해제를 자동으로 행할 수 있다.

보틀 교환 장치는, 교환 기구로 보틀을 반송하고, 교환 기구로부터 소정 위치로 보틀을 반송하는 보틀 반송 기구를 더 구비하고 있어도 된다. 이에 의해, 보틀 반송 기구에 의해 보틀의 반송이 행해져, 보틀의 교환이 용이해진다.

보틀 반송 기구로서, 크레인, 로봇 암 또는 컨베이어를 이용할 수 있다. 이 경우에는 크레인, 로봇 암 또는 컨베이어를 이용하여, 보틀의 반송을 용이하게 행할 수 있다.

보틀 교환 장치는, 교환 기구가 처리액용 배관에 접속된 보틀의 교환을 행할 경우, 처리액용 배관과의 접속이 해제된 보틀을 교환 기구로부터 소정 위치로 반송하고, 다른 보틀을 교환 기구로 반송하도록 보틀 반송 기구를 제어하는 반송 제어부를 더 구비하고 있어도 된다. 이와 같이, 반송 제어부가 보틀 반송 기구를 제어함으로써, 보틀의 반송을 자동으로 행할 수 있다.

본 발명의 제 3 측면에 따른 기판 처리 장치는, 상기의 보틀 교환 장치와, 보틀 교환 장치에 의해 교환된 보틀로부터 공급된 처리액을 이용하여 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리부를 구비한다. 이 기판 처리 장치에서는, 기판 처리부에서 이용되는 처리액을 수용하는 보틀을 보틀 교환 장치에 의해 교환할 수 있다.

본 발명의 제 4 측면에 따른 보틀 교환 방법은, 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 방법이다. 보틀은 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있다. 보틀 캡은, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되고, 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비하고 있다. 이러한 보틀을 교환할 경우, 처리액용 배관에 접속된 보틀의 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 처리액용 배관과 다른 보틀의 처리액용 접속부를 접속한다.

이 보틀 교환 방법에서는, 보틀의 개구부에 보틀 캡을 장착한 채로, 처리액용 배관에 접속된 보틀의 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속이 해제되고, 처리액용 배관과 다른 보틀의 처리액용 접속부가 접속된다. 이에 의해, 처리액용 스트로부가 외부에 노출되지 않고 보틀을 교환할 수 있으므로, 처리액용 스트로부에 먼지 등이 부착하지 않는다. 따라서 보틀 교환 시에, 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다.

보틀 교환 방법에 있어서, 보틀 및 처리액용 배관 중 적어도 어느 일방을 이동시킴으로써 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 혹은 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 접속해도 된다. 이 경우에는, 보틀 및 처리액용 배관 중 적어도 어느 일방을 이동시키는 것만으로, 용이하게, 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속 혹은 접속의 해제를 행할 수 있다.

보틀 교환 방법에 있어서, 보틀 및 처리액용 배관 중 적어도 어느 일방을 승강시킴으로써 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 접속하고 또는 접속을 해제하는, 혹은 보틀 및 처리액용 배관 중 적어도 어느 일방을 수평 이동시킴으로써 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 접속하고 또는 접속을 해제해도 된다. 이 경우에는, 보틀 및 처리액용 배관 중 적어도 어느 일방을 승강 혹은 수평 이동시키는 것만으로, 용이하게, 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속 혹은 접속의 해제를 행할 수 있다.

본 발명의 제 5 측면에 따른 보틀 캡은, 처리액이 수용되는 보틀의 개구부를 밀봉하는 것으로서, 처리액용 스트로부와 처리액용 접속부를 구비한다. 처리액용 스트로부는, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장된다. 처리액용 접속부는, 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되고, 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속된다. 처리액용 접속부는, 처리액용 스트로부의 보틀 외측의 단부에서의 처리액용 유로의 연장 방향을 따라, 처리액용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜 상대적으로 눌림으로써 처리액용 배관에 접속된다.

이 보틀 캡에서는, 처리액용 스트로부의 보틀 외측의 단부에서의 처리액용 유로의 연장 방향을 따라 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜, 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 서로 상대적으로 눌림으로써, 처리액용 접속부와 처리액용 배관이 접속된다. 이와 같이, 처리액용 접속부는, 처리액용 배관에 대하여 상대적으로 눌림으로써 처리액용 배관에 접속되므로, 보틀 캡에 설치된 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 확실히 접속할 수 있다.

처리액용 스트로부의 보틀 외측의 단부에서의 처리액용 유로는 수직 방향을 따라 연장되고, 처리액용 접속부는, 상방향으로부터 상대적으로 근접되는 처리액용 배관에 접속되어도 된다. 이 경우에는, 보틀 캡을, 처리액용 접속부의 상방에 위치하는 처리액용 배관과 접속할 수 있다. 또한, 처리액용 스트로부의 보틀 외측의 단부에서의 처리액용 유로는 수평 방향을 따라 연장되고, 처리액용 접속부는, 수평 방향을 따라 상대적으로 근접되는 처리액용 배관에 접속되어도 된다. 이 경우에는, 보틀 캡이 장착된 보틀을 수평 방향으로 반송할 경우에, 보틀의 반송 동작에 의해 처리액용 접속부와 처리액용 배관과의 접속도 행할 수 있다.

처리액용 접속부는, 처리액용 배관이 삽입됨으로써 처리액용 배관에 접속되어도 된다. 이 경우에는, 처리액용 접속부와 처리액용 배관을 보다 확실히 접속할 수 있다.

보틀 캡은, 처리액용 유로를 흐르는 처리액을 여과하는 필터를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 보틀 캡에서 처리액을 여과할 수 있다. 또한, 보틀 캡을 교환하는 것만으로 필터도 교환되게 되어, 메인트넌스성이 좋다.

보틀 캡은, 처리액용 접속부를 노출 가능하게 덮는 처리액용 커버를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 처리액용 접속부에 처리액용 배관이 접속되어 있지 않을 때, 처리액용 접속부를 처리액용 커버에 의해 덮을 수 있다. 따라서, 먼지 등이 처리액용 접속부로부터 보틀 내로 들어가는 것을 억제할 수 있다.

보틀 캡은, 가스용 유로 형성부와 가스용 접속부를 더 구비하고 있어도 된다. 가스용 유로 형성부는, 보틀 밖으로부터 보틀 내로 가스를 공급하기 위한 가스용 유로를 형성한다. 가스용 접속부는, 가스용 유로 형성부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되고, 보틀로 공급되는 가스가 유통하는 가스용 배관에 접속된다. 또한 가스용 접속부는, 가스용 유로 형성부의 보틀 외측의 단부에서의 가스용 유로의 연장 방향을 따라, 가스용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜 상대적으로 눌림으로써 가스용 배관에 접속된다. 이 경우, 가스용 접속부는, 가스용 배관에 대하여 상대적으로 눌림으로써 가스용 배관에 접속되므로, 보틀 캡에 설치된 가스용 접속부와 가스용 배관을 확실히 접속할 수 있다.

본 발명의 제 6 측면에 따른 보틀 캡 교환 장치는, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되고 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비한 보틀 캡을 교환한다. 이 때문에, 보틀 캡 교환 장치는, 보틀 캡을 보틀로부터 분리하고, 반송시용의 캡이 분리된 다른 보틀에 보틀 캡을 장착하는 제 1 캡 교환 기구와, 반송시용의 캡을 보틀로부터 분리하는 제 2 캡 교환 기구와, 처리액용 스트로부를 세정하는 스트로 세정부를 가진다. 이 보틀 캡 교환 장치에서는, 제 1 캡 교환 기구 및 제 2 캡 교환 기구에 의해 보틀 캡의 교환을 시킬 수 있어, 교환 작업이 용이해진다. 또한, 스트로 세정부를 구비하고 있으므로, 처리액용 스트로부에 부착하는 먼지를 세정할 수 있어, 보틀 캡의 교환 시에 보틀 내로 먼지가 들어가는 것을 억제할 수 있다.

본 발명의 제 7 측면에 따른 보틀 캡 교환 방법은, 보틀 내의 처리액을 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 처리액용 스트로부에서의 보틀 외측의 단부에 설치되고, 보틀로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비한 보틀 캡을 교환하는 방법이다. 이 보틀 캡 교환 방법에서는, 보틀 캡을 보틀로부터 분리하고, 이어서 보틀 캡의 처리액용 스트로부를 세정하고, 이 후, 반송시용의 캡이 분리된 다른 보틀에 보틀 캡을 장착한다. 이에 의해, 처리액용 스트로부 및 처리액용 접속부를 구비하는 보틀 캡을 보틀로부터 분리하고, 처리액용 스트로부를 세정한 후, 다른 보틀에 보틀 캡을 장착할 수 있다. 또한, 처리액용 스트로부를 세정함으로써, 보틀 캡의 교환 시에 보틀 내로 먼지가 들어가는 것을 억제할 수 있다.

본 발명의 제 1, 제 2 및 제 4 측면에 따르면, 보틀 교환 시에 보틀 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다. 또한 본 발명의 제 3 측면에 따르면, 제 1 및 제 2 측면에 따른 보틀 교환 장치를 구비하는 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 제 5측면에 따르면, 보틀 캡을 처리액용 배관에 대하여 확실히 접속할 수 있다. 본 발명의 제 6 측면 및 제 7 측면에 따르면, 제 5 측면에 따른 보틀 캡을 교환하는 것이 가능해진다.

도 1은 일실시예에 따른 도포·현상 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 처리액 공급 블록의 개략 구성을 도시한 평면도이다.
도 3a 및 도 3b는 보틀을 도시한 것으로, 도 3a는 측면도, 도 3b는 상면도이다.
도 4a 및 도 4b는 캡에 장착된 커버의 개폐 상태를 도시한 단면도로, 도 4a는 커버가 닫힌 상태, 도 4b는 커버가 열린 상태를 도시한 것이다.
도 5a는 도 4a에서의 Va - Va 선을 따른 단면도, 도 5b는 도 4b에서의 Vb - Vb 선을 따른 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 보틀이 케미컬 카트에 설치되는 모습을 도시한 것으로, 도 6a는 측면도, 도 6b는 보틀이 접속되는 측에서 케미컬 카트를 본 정면도이다.
도 7a 및 도 7b는 캡을 가이드부에 감합하는 모습을 도시한 것으로, 도 7a는 측면도, 도 7b는 상면도이다.
도 8a 및 도 8b는 캡이 가이드부에 감합된 모습을 도시한 것으로, 도 8a는 측면도, 도 8b는 상면도이다.
도 9a 및 도 9b는 처리액용 접속부 등과 처리액용 배관 등을 접속하는 모습을 도시한 것으로, 도 9a는 접속 전 상태, 도 9b는 접속 후 상태를 도시한 단면도이다.
도 10은 제어부를 나타낸 기능 블록도이다.
도 11은 보틀을 교환하는 처리의 흐름을 나타낸 순서도이다.
도 12a 및 도 12b는 보틀을 교환하는 모습을 도시한 것으로, 도 12a는 측면도, 도 12b는 정면도이다.
도 13은 보틀을 교환하는 모습을 도시한 측면도이다.
도 14a 및 도 14b는 보틀을 교환하는 모습을 도시한 것으로, 도 14a는 측면도, 도 14b는 정면도이다.
도 15는 보틀을 교환하는 모습을 도시한 측면도이다.
도 16a 및 도 16b는 보틀을 교환하는 모습을 도시한 것으로, 도 16a는 측면도, 도 16b는 정면도이다.
도 17은 보틀을 교환하는 모습을 도시한 측면도이다.
도 18a 및 도 18b는 보틀을 교환하는 모습을 도시한 것으로, 도 18a는 측면도, 도 18b는 정면도이다.
도 19a ~ 도 19f는 캡 교환 장치가 캡의 교환을 행하는 모습을 도시한 것이다.
도 20a 및 도 20b는 접속 기구부의 변형예를 도시한 것으로, 도 20a는 접속 전의 상태를 도시한 단면도, 도 20b는 접속된 상태를 도시한 단면도이다.
도 21a 및 도 21b는 보틀을 승강시켜 배관을 접속하는 변형예를 도시한 것으로, 도 21a는 접속 전의 상태를 도시한 정면도, 도 21b는 보틀을 들어올려 접속한 상태를 도시한 정면도이다.
도 22a 및 도 22b는 변형예에 따른 캡을 가이드부에 감합하는 모습을 도시한 것으로, 도 22a는 측면도, 도 22b는 상면도이다.
도 23a 및 도 23b는 변형예에 따른 캡을 가이드부에 감합하는 모습을 도시한 것으로, 도 23a는 측면도, 도 23b는 상면도이다.
도 24a 및 도 24b는 변형예에 따른 캡을 도시한 것으로, 도 24a는 상면도, 도 24b는 측면도이다.
도 25a 및 도 25b는 측면에 처리액용 접속부 등을 가지는 캡에 설치된 커버의 개폐 상태를 도시한 단면도로, 도 25a는 커버가 닫힌 상태, 도 25b는 커버가 열린 상태를 도시한 것이다.
도 26a 및 도 26b는 측면에 처리액용 접속부 등을 가지는 캡에 설치된 커버의 변형예를 도시한 단면도로, 도 26a는 커버가 닫힌 상태, 도 26b는 커버가 열린 상태를 도시한 것이다.
도 27은 처리액용 유로에 필터를 가지는 캡을 도시한 단면도이다.
도 28은 처리액용 유로에 필터를 가지는 캡의 변형예를 도시한 단면도이다.

이하, 본 발명의 일실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도면의 설명에서 동일한 요소에는 동일한 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 도포·현상 장치(기판 처리 장치)(1)는 캐리어 블록(S1)과, 캐리어 블록(S1)에 인접하는 처리 블록(S2)과, 처리 블록(S2)에 인접하는 인터페이스 블록(S3)과, 처리액 공급 블록(S4)을 구비한다.

캐리어 블록(S1)은, 복수의 캐리어(2)를 설치하기 위한 캐리어 스테이션(3)과, 캐리어 스테이션(3)과 처리 블록(S2)의 사이에 개재하는 반입·반출부(4)를 가지고 있다. 캐리어(2)는 복수 매의 웨이퍼를 밀봉 상태로 수용하고, 캐리어 스테이션(3) 상에 착탈 가능하게 설치된다. 캐리어(2)의 일방의 측면에는, 웨이퍼를 출입하기 위한 개폐 도어가 설치되어 있다. 반입·반출부(4)에는, 캐리어 스테이션(3)에 설치된 복수의 캐리어(2)에 각각 대응하는 복수의 개폐 도어(4a)가 설치되어 있다. 반입·반출부(4) 내에는, 캐리어 스테이션(3)에 설치된 캐리어(2)로부터 웨이퍼를 취출하여 처리 블록(S2)으로 전달하고, 처리 블록(S2)으로부터 웨이퍼를 수취하여 캐리어(2) 내로 되돌리는 전달 암이 수용되어 있다.

처리 블록(S2)은, 웨이퍼의 표면 상에 하층의 반사 방지막을 형성하는 기판 처리부로서의 하층 반사 방지막 형성(BCT) 블록(5)과, 하층의 반사 방지막 상에 레지스트막을 형성하는 기판 처리부로서의 레지스트막 형성(COT) 블록(6)과, 레지스트막 상에 상층의 반사 방지막을 형성하는 기판 처리부로서의 상층 반사 방지막 형성(TCT) 블록(7)과, 현상 처리를 행하는 기판 처리부로서의 현상 처리(DEV) 블록(8)을 가지고 있다. 이들 블록은, 바닥면측으로부터 DEV 블록(8), BCT 블록(5), COT 블록(6), TCT 블록(7)의 순으로 적층되어 있다.

인터페이스 블록(S3)은 웨이퍼에 노광 처리를 실시하는 노광 장치(E1)에 접속된다. 인터페이스 블록(S3)에는, 처리 블록(S2)으로부터 노광 장치(E1)로 웨이퍼를 전달하고, 노광 장치(E1)로부터 노광 처리 후의 웨이퍼를 수취하여 처리 블록(S2)으로 되돌리는 전달 암이 수용되어 있다.

처리액 공급 블록(S4)은, 처리 블록(S2)의 BCT 블록(5) 등이 웨이퍼에 대하여 각 처리를 행할 시 이용되는 처리액을 처리 블록(S2)으로 공급한다. 또한 처리액 공급 블록(S4)을 설치하는 위치는, 도 1에 도시한 위치에 한정되지 않고, 또한 개수도 1 개에 한정되지 않는다. 처리액 공급 블록(S4)의 구성에 대하여 상세하게는 후술한다.

이러한 도포·현상 장치(1)에서는, 우선 복수 매의 웨이퍼를 수용한 캐리어(2)가 캐리어 스테이션(3)에 설치된다. 이어서, 캐리어(2)의 개폐 도어와 반입·반출부(4)의 개폐 도어(4a)가 모두 개방되고, 반입·반출부(4) 내에 설치된 전달 암이, 캐리어(2) 내의 웨이퍼를 반입·반출부(4) 내로 반입한다. 반입·반출부(4) 내로 반송된 웨이퍼는, 처리 블록(S2)의 BCT 블록(5)으로 반송된다.

BCT 블록(5)에서, 웨이퍼의 표면 상에 하층 반사 방지막이 형성된다. BCT 블록(5)에서 하층 반사 방지막이 형성된 웨이퍼는, COT 블록(6)으로 반송된다. COT 블록(6)에서, 웨이퍼의 하층 반사 방지막 상에 레지스트막이 형성된다.

COT 블록(6)에서 레지스트막이 형성된 웨이퍼는, TCT 블록(7)으로 반송된다. TCT 블록(7)에서, 웨이퍼의 레지스트막 상에 상층 반사 방지막이 형성된다. TCT 블록(7)에서 상층 반사 방지막이 형성된 웨이퍼는, 노광 장치(E1) 내로 반송된다.

노광 장치(E1)에서, 반송된 웨이퍼의 레지스트막에 노광 처리가 실시된다. 노광 처리 후의 웨이퍼는, DEV 블록(8)으로 반송된다. DEV 블록(8)에서, 포스트 익스포저 베이크(PEB) 처리, 현상 처리 및 포스트 베이크 처리가 웨이퍼에 실시된다. 포스트 베이크 처리가 실시된 웨이퍼는, DEV 블록(8)으로부터 캐리어(2)로 반송된다.

또한, 도포·현상 장치(1)의 구성은 일례에 불과하다. 도포·현상 장치는 도포 유닛, 현상 처리 유닛 등의 처리 유닛과, 가열·냉각 유닛 등의 전처리· 후처리 유닛과, 반송 장치를 구비하는 것이면 되고, 이들 각 유닛의 개수 또는 종류, 레이아웃 등은 적절히 변경 가능하다.

이어서, 처리액 공급 블록(S4)의 상세에 대하여 설명한다. 도 2에 도시한 바와 같이, 처리액 공급 블록(S4)은 캡 교환 장치(20) 및 보틀 교환 장치(30)를 포함하여 구성된다. 여기서, 처리액 공급 블록(S4)은, 보틀(B) 내에 수용된 처리액을 처리 블록(S2)의 BCT 블록(5) 등으로 공급한다.

캡 교환 장치(20)는 제 1 암(21), 제 2 암(22) 및 스트로 세정부(23)를 포함하여 구성된다. 캡 교환 장치(20)에는, 보틀 보관 장소(소정 위치)로부터 처리액이 수용된 보틀(B)이 반송 장치(보틀 반송 기구)(80)에 의해 반송된다. 반송 장치(80)로서, 예를 들면 크레인을 이용할 수 있다. 또한, 반송 장치(80)로서 크레인 이외에도, 로봇 암 또는 컨베이어를 이용할 수도 있다. 제 1 암(21) 및 제 2 암(22)은 보틀 교환 장치(30)로부터 수취한 빈 보틀(B)의 개구부에 장착된 스트로 부착의 캡(보틀 캡)(C)(도 3a 및 도 3b 참조)과, 보틀 보관 장소로부터 반송된 새로운 보틀(B)의 개구부에 장착된 반송시용의 캡을 교환한다.

새로운 보틀(B)에 스트로 부착의 캡(C)이 장착되면, 제 1 암(21) 또는 제 2 암(22)은, 캡(C)을 장착한 새로운 보틀을 보틀 교환 장치(30)의 얼라이먼트 스테이지(33)로 전달한다. 캡 교환 장치(20)에서의 캡(C)의 교환 동작에 대하여 상세하게는 후술한다. 또한, 캡 교환 장치(20)는 도포·현상 장치(1)의 근방에 설치할 필요는 없고, 도포·현상 장치(1)와는 상이한 장소에 설치되어 있어도 된다. 또한, 원래, 스트로 부착의 캡(C)이 보틀(B)에 장착되어 있을 경우, 캡 교환 장치(20)를 설치할 필요는 없다.

보틀 교환 장치(30)는 복수의 케미컬 카트(교환 기구)(31), 크레인(보틀 반송 기구)(32) 및 얼라이먼트 스테이지(33)를 포함하여 구성된다. 케미컬 카트(31)에는, 처리 블록(S2)의 BCT 블록(5) 등으로 이어지는 처리액용 배관의 일단이 위치한다. 케미컬 카트(31)로 반송된 보틀(B)에 처리액용 배관이 접속되고, 케미컬 카트(31)로부터 BCT 블록(5) 등으로 처리액이 공급된다.

크레인(32)은, 일례로서 처리액 공급 블록(S4)의 천장에 설치된 궤도를 주행하는 OHT(Overhead Hoist Transfer)이며, 보틀(B)을 잡아, 케미컬 카트(31)와 얼라이먼트 스테이지(33)의 사이에서 보틀(B)을 반송한다.

얼라이먼트 스테이지(33)는, 크레인(32)에 의해 잡기 쉬운 방향으로 보틀(B)을 회전시킨다. 또한 얼라이먼트 스테이지(33)는, 보틀(B)에 장착된 캡(C)의 캡 가이드(C60)(도 3b 등 참조)의 방향 등을 카메라로 감시하고, 감시 결과에 기초하여 보틀(B)을 회전시킬 수 있다.

이어서, 보틀(B)의 개구부에 장착되는 캡(C)에 대하여 설명한다. 도 3a ~ 도 5b에 도시한 바와 같이 캡(C)은, 보틀(B)의 상부에 형성된 개구부에 끼워 넣어져 장착된다. 캡(C)은 캡 본체부(C10), 커버(처리액용 커버)(C20), 태그(C30), 처리액용 스트로부(C40), 가스용 유로 형성부(C50) 및 4 개의 캡 가이드(C60)를 포함하여 구성된다.

캡 본체부(C10)에는, 보틀(B)의 개구부에 끼워 넣어짐으로써 보틀(B)과 계합하는 계합부(C11)가 형성된다. 캡 본체부(C10)는, 보틀(B)에 장착되었을 때 보틀(B)의 개구부를 밀봉한다.

처리액용 스트로부(C40)는, 보틀(B) 내의 처리액을 보틀(B) 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로(R1)를 형성한다. 처리액용 스트로부(C40)의 일단측은 캡 본체부(C10)에 매립되고, 타단측은 보틀(B)의 저부를 향해 연장되어 있다. 처리액용 스트로부(C40)의 일단측 부분(보틀(B)의 외측의 단부)에서의 처리액용 유로(R1)는 수직 방향을 따라 연장된다.

처리액용 스트로부(C40)의 일단측에는 처리액용 접속부(C45)가 설치된다. 처리액용 접속부(C45)는, 케미컬 카트(31)에 설치된, 보틀(B)로부터 공급된 처리액이 유통하는 처리액용 배관(D45)(도 6b 참조)에 접속된다. 처리액용 배관(D45)은 케미컬 카트(31)로부터 BCT 블록(5) 등으로 연장되어 있다. 본 실시예에서 처리액용 접속부(C45)는, 처리액용 스트로부(C40)의 일단의 직경을 크게 함으로써 형성된다. 처리액용 접속부(C45)의 내주면에는 예를 들면 O 링(S)이 장착되어, 처리액용 배관(D45)과의 밀폐성이 높아진다.

가스용 유로 형성부(C50)는, 보틀(B) 밖으로부터 보틀(B) 내로 가스(일례로서 질소 가스)를 공급하기 위한 가스용 유로(R2)를 형성한다. 가스용 유로 형성부(C50)는 캡 본체부(C10) 내에 매립되어 있다. 가스용 유로 형성부(C50)의 일단측 부분(보틀(B)의 외측의 단부)에서의 가스용 유로(R2)는, 수직 방향을 따라 연장된다. 가스용 유로(R2)를 거쳐 보틀(B) 내로 가스를 공급함으로써, 보틀(B) 내의 처리액이 처리액용 유로(R1)를 거쳐 보틀(B) 밖으로 밀려 나온다.

가스용 유로 형성부(C50)의 일단측에는 가스용 접속부(C55)가 설치된다. 가스용 접속부(C55)는, 케미컬 카트(31)에 설치된, 보틀(B)로 공급되는 가스가 유통하는 가스용 배관(D55)(도 9a 및 도 9b 참조)에 접속된다. 본 실시예에서 가스용 접속부(C55)는, 가스용 유로 형성부(C50)의 일단의 직경을 크게 함으로써 형성된다. 가스용 접속부(C55)의 내주면에는 예를 들면 O 링(S)이 장착된다.

또한 본 실시예에서는, 처리액용 유로(R1)를 형성하는 처리액용 스트로부(C40) 및 가스용 유로(R2)를 형성하는 가스용 유로 형성부(C50)를, 캡 본체부(C10)와는 별체로 했지만, 처리액용 스트로부(C40)와 캡 본체부(C10)가 일체로 성형되어 있어도 되고, 또한 가스용 유로 형성부(C50)와 캡 본체부(C10)가 일체로 성형되어 있어도 된다.

커버(C20)는 커버 본체부(C21), 한 쌍의 커버 가이드(C22) 및 스프링(C23)을 포함하여 구성된다. 커버 본체부(C21)는, 캡 본체부(C10)의 상면에서 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 노출 가능하게 덮는다. 스프링(C23)은, 커버 가이드(C22)가 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 덮는 방향으로 커버 본체부(C21)에 힘을 가한다. 또한 캡 본체부(C10)의 상면에는, 스프링(C23)에 의해 커버 본체부(C21)에 힘이 가해졌을 때, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)가 덮이는 위치에서 커버 본체부(C21)의 슬라이드를 정지시키는 스토퍼부(C12)가 설치되어 있다.

한 쌍의 커버 가이드(C22)는 커버 본체부(C21)를 사이에 개재하도록 배치되고, 커버 본체부(C21)의 측부에 각각 접속된다. 한 쌍의 커버 가이드(C22)는, 스프링(C23)에 의해 커버 본체부(C21)에 힘이 가해지는 방향에 대하여 직교하는 방향을 따라, 각각, 커버 본체부(C21)의 측부로부터 외측을 향해 연장된다.

4 개의 캡 가이드(C60)는 2 개씩의 조로 나눠지고, 캡 본체부(C10)를 사이에 개재하도록 일방의 조의 캡 가이드(C60)와 타방의 조의 캡 가이드(C60)가 배치된다. 일방의 조의 캡 가이드(C60)와 타방의 조의 캡 가이드(C60)는 캡 본체부(C10)의 측부에 각각 접속된다. 일방의 조의 캡 가이드(C60)와 타방의 조의 캡 가이드(C60)는, 스프링(C23)에 의해 커버 본체부(C21)에 힘이 가해지는 방향에 대하여 직교하는 방향을 따라, 각각, 캡 본체부(C10)의 측부로부터 외측을 향해 연장된다.

태그(C30)에는, 보틀(B) 내의 처리액의 종류 및 소비 기한 등의 처리액에 관한 정보 등이 기록되어 있다. 태그(C30)로서, 예를 들면 카메라 등으로 판독 가능한 바코드 등을 이용할 수 있다.

이어서, 케미컬 카트(31)의 상세에 대하여 설명한다. 케미컬 카트(31)는 보틀(B)로부터 처리액을 빼내고, 빼낸 처리액을 처리 블록(S2)의 BCT 블록(5), COT 블록(6), TCT 블록(7) 및 DEV 블록(8) 등의 처리액을 사용하는 소정의 블록으로 공급한다.

도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 케미컬 카트(31)는 가이드부(D10), 접속 기구부(D20), 카메라(D30) 및 슬라이드·회전 기구부(보틀 재치부)(D60)를 포함하여 구성된다. 가이드부(D10)는 접속 기구부(D20)의 하방 위치에 설치되고, 접속 기구부(D20)에 의해 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)이 보틀(B)의 캡(C)에 접속되도록, 보틀(B)의 위치 결정을 행한다.

보다 상세하게는, 도 7a ~ 도 8b에 도시한 바와 같이 가이드부(D10)는, 한 쌍의 벽부(D11), 한 쌍의 커버 가이드 홈(D12) 및 한 쌍의 캡 가이드 홈(D13)을 포함하여 구성된다. 한 쌍의 벽부(D11)는, 보틀(B)에 장착된 캡(C)의 캡 본체부(C10)를 사이에 개재하도록 배치된다.

한 쌍의 캡 가이드 홈(D13)은, 한 쌍의 벽부(D11)끼리가 대향하는 면에 각각 형성된다. 캡 가이드 홈(D13)은, 가이드부(D10)의 일방의 단부(캡(C)이 감합되는 측의 단부)로부터, 처리액용 배관(D45) 등과 접속되는 위치를 향해 보틀(B)이 반송되는 방향을 따라 연장된다. 캡 가이드 홈(D13)에는, 처리액용 배관(D45) 등과 접속되는 위치를 향해 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 캡(C)의 캡 가이드(C60)가 가이드부(D10)의 일방의 단부측으로부터 슬라이드 가능하게 감합된다.

캡 가이드 홈(D13)에서의, 가이드부(D10)의 일방의 단부로부터의 홈 길이는, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 캡 가이드 홈(D13)의 홈의 내측의 단부(D13a)에 캡 가이드(C60)가 접촉했을 때, 보틀(B)이 처리액용 배관(D45) 등에 접속되는 길이로 한다.

이와 같이, 한 쌍의 벽부(D11)에 의해 캡(C)의 캡 본체부(C10)를 개재함으로써, 처리액용 배관(D45) 등으로 접속되는 위치를 향해 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 캡(C)에 대하여, 반송 방향에 대하여 직교하는 방향의 위치 결정을 행할 수 있다. 또한, 캡 가이드 홈(D13)의 홈 길이를 상술한 길이로 함으로써, 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 캡(C)에 대하여 반송 방향의 위치 결정을 행할 수 있다.

한 쌍의 커버 가이드 홈(D12)은, 한 쌍의 벽부(D11)끼리가 대향하는 면에 각각 형성된다. 커버 가이드 홈(D12)은, 벽부(D11)의 일방의 단부로부터 캡 가이드 홈(D13)에 대하여 평행하게 연장된다. 커버 가이드 홈(D12)에는, 처리액용 배관(D45) 등과 접속되는 위치를 향해 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 커버(C20)의 커버 가이드(C22)가 가이드부(D10)의 일방의 단부측으로부터 슬라이드 가능하게 감합된다.

또한, 처리액용 배관(D45) 등과 접속되는 위치를 향해 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 커버 가이드 홈(D12)에서의 홈의 내측의 단부(D12a)는, 커버 가이드(C22)와 접촉하여 커버 본체부(C21)를 슬라이드시켜, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 노출시킨다. 커버 가이드 홈(D12)의 일방의 단부로부터의 홈 길이는, 캡 가이드 홈(D13)의 내측의 단부(D13a)에 캡 가이드(C60)가 접촉했을 때, 커버 본체부(C21)가 슬라이드하여 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 노출시키는 길이로 한다.

커버 가이드 홈(D12)의 홈 길이를 상술한 길이로 함으로써, 보틀(B)이 슬라이드·회전 기구부(D60)에 의해 반송될 시, 커버 본체부(C21)를 자동적으로 슬라이드시켜, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 노출시킬 수 있다. 반대로, 보틀(B)을 가이드부(D10)로부터 분리하면, 스프링(C23)에 의해 커버 본체부(C21)에 힘이 가해져, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)가 커버 본체부(C21)에 의해 덮인다.

접속 기구부(D20)에는, 보틀(B)로부터 BCT 블록(5) 등으로 공급되는 처리액이 흐르는 처리액용 배관(D45) 및 보틀(B) 내로 공급되는 가스가 통과하는 가스용 배관(D55)이 접속된다. 접속 기구부(D20)는, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 단부를 수직 방향을 따라 승강시킴으로써, 처리액용 배관(D45)과 캡(C)에 설치된 처리액용 접속부(C45)를 접속하고 또는 접속을 해제한다. 또한 접속 기구부(D20)는, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 단부를 수직 방향을 따라 승강시킴으로써, 가스용 배관(D55)과 캡(C)에 설치된 가스용 접속부(C55)를 접속하고 또는 접속을 해제한다.

보다 상세하게는, 도 9a 및 도 9b에 도시한 바와 같이, 접속 기구부(D20)는 승강부(D21) 및 회전부(D22)를 포함하여 구성된다. 승강부(D21)는 원기둥 형상을 가지고 있다. 승강부(D21)는 원기둥 형상의 축선 방향이 수직 방향과 평행이 되도록 배치된다. 승강부(D21)에는, 승강부(D21)의 상면으로부터 처리액용 배관(D45)의 단부 및 가스용 배관(D55)의 단부가 각각 접속된다. 처리액용 배관(D45)의 단부 및 가스용 배관(D55)의 단부는, 승강부(D21)의 하면으로부터 소정 길이 돌출되고, 각각 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)와의 접속부를 구성한다. 처리액용 배관(D45)의 단부 및 가스용 배관(D55)의 단부에서의 승강부(D21)의 하면으로부터 돌출되는 부위에는, 각각 예를 들면 O 링(S)이 장착된다. 승강부(D21)의 둘레면에는 돌기부(D21a)가 형성되어 있다.

회전부(D22)는 원통 형상을 가지고 있다. 회전부(D22)는 원통 형상의 축선 방향이 수직 방향과 평행이 되도록 배치된다. 회전부(D22)는 내부에 승강부(D21)를 회전 가능하게 수용한다. 회전부(D22)의 내주면에는 승강 가이드 홈(D22a)이 형성된다. 승강 가이드 홈(D22a)은, 회전부(D22)의 원통 형상의 축선 방향에 대하여 경사진 방향을 따라 연장된다. 승강 가이드 홈(D22a)에는 승강부(D21)의 돌기부(D21a)가 감합된다. 회전부(D22)는 도시하지 않은 구동원에 의해, 원통 형상의 축선을 회전축으로 하여 회전된다.

회전부(D22)는 가이드부(D10)에 회전 가능하게 지지된다. 또한, 회전부(D22)의 수직 방향의 위치는, 회전부(D22)가 회전했을 경우라도 변화하지 않는다. 이 때문에, 회전부(D22)가 회전하면, 승강부(D21)의 돌기부(D21a)가 승강 가이드 홈(D22a)에 감합되어 있음으로써, 승강부(D21)는 수직 방향을 따라 승강한다.

회전부(D22)가 회전하여 승강부(D21)가 내려감으로써, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)이 하방측으로 이동하여 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)에 각각 접속된다. 즉, 처리액용 접속부(C45)에 대하여, 처리액용 스트로부(C40)의 일단측 부분(보틀(B)의 외측의 단부)에서의 처리액용 유로(R1)의 연장 방향(수직 방향)을 따라 상방향으로부터 처리액용 배관(D45)을 근접시켜, 처리액용 배관(D45)을 처리액용 접속부(C45)에 누름으로써, 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)이 접속된다. 마찬가지로, 가스용 접속부(C55)에 대하여, 가스용 유로 형성부(C50)의 일단측 부분에서의 가스용 유로(R2)의 연장 방향을 따라 상방향으로부터 가스용 배관(D55)을 근접시켜, 가스용 배관(D55)을 가스용 접속부(C55)에 누름으로써, 가스용 접속부(C55)와 가스용 배관(D55)이 접속된다.

한편, 회전부(D22)가 반대 방향으로 회전하면, 승강부(D21)가 상승함으로써 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)이 상방측으로 이동하고, 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)와 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 접속이 각각 해제된다.

이와 같이, 회전부(D22)를 회전시켜 승강부(D21)를 승강시킴으로써, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)과 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 접속하거나 혹은 접속을 해제할 수 있다. 또한 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 선단부는, 각각 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55) 내에 삽입됨으로써 접속된다.

회전부(D22)의 내주면에는, 승강 가이드 홈(D22a)의 상측의 단부로부터 상방을 향해 연장되는 노치(D22b)가 형성된다. 노치(D22b)가 형성됨으로써, 노치(D22b)를 개재하여 승강부(D21)의 돌기부(D21a)를 승강 가이드 홈(D22a) 내에 감합할 수 있다. 예를 들면, 노치(D22b)를 승강 가이드 홈(D22a)의 하방측의 단부에 형성한 경우, 승강부(D21)를 하방측으로 이동시켰을 때 돌기부(D21a)가 노치(D22b)를 통하여 승강부(D21)가 하방측으로 낙하하는 것이 상정된다. 따라서, 노치(D22b)를 승강 가이드 홈(D22a)의 상방측의 단부에 형성함으로써, 승강부(D21)의 낙하를 방지할 수 있다. 또한, 승강부(D21)를 하방측으로 이동시켰을 때, 승강 가이드 홈(D22a)의 하방측의 단부에 돌기부(D21a)가 접촉함으로써, 승강부(D21)가 하방측으로 이동했을 때의 위치 결정을 행할 수 있다.

또한 승강부(D21)는, 회전부(D22)가 회전했을 때 함께 회전하지 않도록, 승강부(D21)의 회전을 규제하는 가이드 등과 계합하고 있어도 된다.

슬라이드·회전 기구부(D60)는, 크레인(32)에 의해 케미컬 카트(31) 내에 보틀(B)이 반송된 위치와, 접속 기구부(D20)에 의해 보틀(B)의 캡(C)에 처리액용 배관(D45) 등이 접속되는 위치와의 사이에서 보틀(B)을 반송한다. 슬라이드·회전 기구부(D60)는, 수평 방향으로 보틀(B)을 슬라이드시키는 기능과 보틀(B)을 회전시키는 기능을 가진다. 슬라이드·회전 기구부(D60)는, 보틀(B)을 수평 방향으로 슬라이드시켜 캡(C)을 가이드부(D10)에 감합한다.

또한 슬라이드·회전 기구부(D60)는, 캡(C)이 가이드부(D10)에 감합 가능한 방향 및 크레인(32)에 의해 잡기 쉬운 방향이 되도록 보틀(B)을 회전시킨다. 또한 슬라이드·회전 기구부(D60)는, 보틀(B)에 장착된 캡(C)의 캡 가이드(C60)(도 3b 등 참조)의 방향 등을 카메라(D30)로 감시하고, 감시 결과에 기초하여 보틀(B)을 회전시킬 수 있다.

카메라(D30)는, 크레인(32)에 의해 케미컬 카트(31) 내에 보틀(B)이 반송된 위치와, 접속 기구부(D20)에 의해 보틀(B)의 캡(C)에 처리액용 배관(D45) 등이 접속되는 위치 간의 반송 경로 상에서, 캡(C)을 상방으로부터 촬상(撮像)한다. 카메라(D30)에 의한 촬상 결과는, 캡(C)의 방향을 판단하기 위하여 이용된다. 또한, 카메라(D30)에 의한 촬상 결과는, 캡(C)의 상면에 부착된 태그(C30)를 판독하기 위하여 이용된다.

이어서 캡 교환 장치(20), 보틀 교환 장치(30) 및 캡 교환 장치(20)로 보틀(B)을 반송하는 반송 장치(80)를 제어하는 제어부에 대하여 설명한다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 제어부(300)는 반송 제어부(310), 캡 교환 제어부(320), 슬라이드·회전 기구 제어부(330), 화상 처리부(340) 및 접속 제어부(350)를 포함하여 구성된다. 또한 제어부(300)는, 처리액 공급 블록(S4)에 설치되어 있어도 되고, 예를 들면 도포·현상 장치(1) 전체를 제어하는 제어부와 일체로 설치되어 있어도 된다.

반송 제어부(310)는, 보틀 보관 장소와 캡 교환 장치(20)와의 사이에서 보틀(B)이 반송되도록 반송 장치(80)를 제어하고, 얼라이먼트 스테이지(33)와 케미컬 카트(31)와의 사이에서 보틀(B)이 반송되도록 크레인(32)과 얼라이먼트 스테이지(33)를 제어한다.

캡 교환 제어부(320)는, 보틀 교환 장치(30)로부터 수취한 빈 보틀(B)의 개구부에 장착된 스트로 부착의 캡(C)과, 보틀 보관 장소로부터 반송된 새로운 보틀(B)의 개구부에 장착된 반송시용의 캡이 교환되도록, 제 1 암(21) 및 제 2 암(22)을 제어한다.

슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 크레인(32)에 의해 케미컬 카트(31) 내에 보틀(B)이 반송된 위치와, 접속 기구부(D20)에 의해 보틀(B)의 캡(C)에 처리액용 배관(D45) 등이 접속되는 위치와의 사이에서 보틀(B)이 반송되도록, 슬라이드·회전 기구부(D60)를 제어한다. 또한 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 캡(C)을 가이드부(D10)에 감합 가능한 방향 및 크레인(32)에 의해 잡기 쉬운 방향으로 보틀(B)이 회전되도록, 슬라이드·회전 기구부(D60)를 제어한다.

화상 처리부(340)는, 카메라(D30)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 보틀(B)의 방향을 검출한다. 또한 화상 처리부(340)는, 캡(C)의 상면에 부착된 태그(C30)를 판독하고, 보틀(B) 내의 처리액의 종류 등을 파악한다.

접속 제어부(350)는, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)과 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)가 접속되거나 혹은 접속이 해제되도록, 회전부(D22)의 회전을 제어하여 승강부(D21)를 상하시킨다.

또한 제어부(300)에는, 케미컬 카트(31)에서 처리액을 공급하고 있는 보틀(B) 내의 처리액의 잔량을 검출하는 잔량 검출 센서(잔량 검출부)(400)의 검출 결과가 입력된다. 이 잔량 검출 센서(400)에 의한 검출 결과에 기초하여, 제어부(300)는 보틀(B)의 교환 작업을 행한다. 또한 잔량 검출 센서(400)는, 보틀(B)로부터 공급된 처리액을 일시적으로 저류하는 버퍼 탱크 내의 처리액의 잔량을 검출해도 되고, 처리액용 배관(D45) 내를 흐르는 처리액의 유량에 기초하여 처리액의 잔량을 검출해도 된다. 또한, 잔량 검출 센서(400)는 카메라를 이용하여 촬상한 결과에 기초하여 처리액의 잔량을 검출하는 등, 다양한 방법에 의해 처리액의 잔량을 검출할 수 있다.

이어서, 케미컬 카트(31)의 보틀(B)을 교환하는 경우에서의 각 부의 동작의 흐름을, 도 11에 나타낸 순서도를 이용하여 설명한다. 우선, 반송 제어부(310)는 잔량 검출 센서(400)에 의한 검출 결과에 기초하여, 케미컬 카트(31)에서 처리액을 공급하고 있는 보틀(B)의 처리액의 잔량이 소정값 이하로 저하되었는지 여부를 판단한다(단계(S101)). 처리액의 잔량이 소정값 이하가 아닐 경우(단계(S101) : NO), 반송 제어부(310)는 단계(S101)의 판단 처리를 반복한다. 처리액의 잔량이 소정값 이하일 경우(단계(S101) : YES), 반송 제어부(310)는 반송 장치(80)를 제어하여, 처리액이 수용된 보틀(B)을 보틀 보관 장소로부터 캡 교환 장치(20)로 반송한다(단계(S102)).

이어서, 접속 제어부(350)는, 잔량 검출 센서(400)에 의한 검출 결과에 기초하여, 케미컬 카트(31)에서 처리액을 공급하고 있는 보틀(B)의 처리액의 잔량이 없어졌는지 여부를 판단한다(단계(S103)). 처리액의 잔량이 남아 있을 경우(단계(S103) : NO), 접속 제어부(350)는 단계(S103)의 판단 처리를 반복한다. 처리액의 잔량이 없어졌을 경우(단계(S103) : YES), 제어부(300)는 각 부를 제어하여, 빈 보틀(B)을 캡 교환 장치(20)로 반송한다(단계(S104)).

구체적으로, 접속 제어부(350)는 도 12a 및 도 12b에 도시한 바와 같이, 접속 기구부(D20)의 회전부(D22)를 회전시켜 승강부(D21)를 상승시키고, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)과 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)와의 접속을 해제한다.

이어서, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는 도 13에 도시한 바와 같이, 슬라이드·회전 기구부(D60)를 슬라이드시켜, 카메라(D30)의 직하(直下)의 위치로 빈 보틀(B)을 이동시킨다. 그리고, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 화상 처리부(340)에 의해 검출된 캡(C)의 방향에 기초하여, 크레인(32)에 의해 캡(C)을 잡기 쉬운 방향이 되도록 슬라이드·회전 기구부(D60)를 회전시킨다. 이 후, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 빈 보틀(B)을 크레인(32)에 의해 잡을 수 있는 위치까지 슬라이드·회전 기구부(D60)를 슬라이드시킨다.

이어서, 반송 제어부(310)는 크레인(32)을 제어하여, 도 14a 및 도 14b에 도시한 바와 같이, 크레인(32)에 의해 빈 보틀(B)을 잡아 올려, 도 15에 도시한 바와 같이 슬라이드·회전 기구부(D60) 상으로부터 빈 보틀(B)을 제거한다. 그리고, 반송 제어부(310)는 크레인(32)을 제어하여, 잡아 올린 빈 보틀(B)을 얼라이먼트 스테이지(33)로 반송한다. 반송 제어부(310)는 얼라이먼트 스테이지(33)를 제어하여, 캡 교환 장치(20)의 제 1 암(21) 또는 제 2 암(22)에 의해 빈 보틀(B)을 잡기 쉬운 방향이 되도록 보틀(B)을 회전시킨다. 캡 교환 제어부(320)는, 제 1 암(21) 또는 제 2 암(22)을 제어하여, 얼라이먼트 스테이지(33) 상의 빈 보틀(B)을 캡 교환 장치(20) 내로 반입한다.

처리액이 수용된 보틀(B)과 빈 보틀(B)이 캡 교환 장치(20)로 반송되면, 캡 교환 제어부(320)는, 빈 보틀(B)의 개구부에 장착된 스트로 부착의 캡(C)과, 처리액이 수용된 새로운 보틀(B)의 개구부에 장착된 반송시용의 캡을 교환한다(단계(S105)). 캡 교환 장치(20)에서의 교환 동작에 대하여 상세하게는 후술한다.

이어서, 제어부(300)는 각 부를 제어하여, 캡의 교환 후의 처리액이 수용된 보틀(B)을 케미컬 카트(31)로 반송한다(단계(S106)). 구체적으로, 캡 교환 제어부(320)는 제 1 암(21) 또는 제 2 암(22)을 제어하고, 캡의 교환 후의 처리액이 수용된 보틀(B)을 얼라이먼트 스테이지(33) 상으로 반송한다. 반송 제어부(310)는 얼라이먼트 스테이지(33)를 제어하고, 크레인(32)에 의해 처리액을 수용하는 보틀(B)을 잡기 쉬운 방향이 되도록 보틀(B)을 회전시킨다. 그리고 반송 제어부(310)는 도 16a 및 도 16b에 도시한 바와 같이, 크레인(32)에 의해 얼라이먼트 스테이지(33) 상의 보틀(B)을 케미컬 카트(31) 내의 슬라이드·회전 기구부(D60)로 반송한다.

이어서, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 처리액을 수용하는 보틀(B)을 처리액용 배관(D45) 등과의 접속 위치로 반송한다(단계(S107)). 구체적으로, 우선 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 슬라이드·회전 기구부(D60)를 슬라이드시켜, 도 17에 도시한 바와 같이, 카메라(D30)의 직하의 위치에 처리액을 수용하는 보틀(B)을 이동시킨다. 그리고, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 화상 처리부(340)에 의해 검출된 캡(C)의 방향에 기초하여, 가이드부(D10)에 캡(C)을 감합할 수 있는 캡(C)의 방향이 되도록, 슬라이드·회전 기구부(D60)를 회전시킨다.

이 때, 화상 처리부(340)는 캡(C)의 상면에 부착된 태그(C30)를 판독하고, 보틀(B) 내의 처리액의 종류 등을 파악한다. 케미컬 카트(31)로 반입된 보틀(B)이 요구한 처리액을 수용하는 보틀(B)이 아닐 경우, 혹은 소비 기한이 지나 있는 등의 경우, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는, 보틀(B)을 처리액용 배관(D45)과의 접속 위치로 반송하지 않는다. 요구한 처리액을 수용하는 보틀(B)이 아닌 등의 경우, 제어부(300)는 각 부를 제어하여, 보틀 보관 장소로 보틀(B)을 되돌리는 등의 처리를 행할 수 있다.

태그(C30)를 판독한 결과, 요구한 처리액을 수용하는 보틀(B)인 경우, 슬라이드·회전 기구 제어부(330)는 슬라이드·회전 기구부(D60)를 슬라이드시켜, 처리액용 배관(D45) 등과의 접속 위치로 보틀(B)을 반송한다.

이어서, 접속 제어부(350)는 도 18a 및 도 18b에 도시한 바와 같이, 회전부(D22)를 회전시켜 승강부(D21)를 하방으로 이동시켜, 캡(C)의 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)에 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)을 각각 접속한다(단계(S108)). 접속 후, 보틀(B) 내의 기포 제거 등을 행하고, 보틀(B) 내의 처리액을 처리액용 배관(D45)을 통하여 BCT 블록(5) 등으로 공급한다.

이어서 캡 교환 장치(20)에서, 처리액이 수용된 보틀(B)에 장착된 반송시용의 캡과 빈 보틀(B)에 장착된 스트로 부착의 캡(C)을 교환하는 순서에 대하여 도 19a ~ 도 19f를 이용하여 설명한다. 또한 도 19a ~ 도 19f에서 설명을 용이하게 하기 위하여, 빈 보틀(B)을 빈 보틀(BX)이라 하고, 반송시용의 캡을 반송시용 캡(CX)이라 한다.

여기서는 도 19a에 도시한 바와 같이, 캡(C)이 장착된 빈 보틀(BX)과 반송시용 캡(CX)이 장착된 보틀(B)이, 캡 교환 장치(20) 내로 반입되어 있는 상태로부터 캡의 교환 작업이 개시된다. 먼저, 캡 교환 제어부(320)는 제 2 암(22)을 제어하여, 도 19b 및 도 19c에 도시한 바와 같이, 보틀(B)로부터 반송시용 캡(CX)을 분리한다. 이어서, 캡 교환 제어부(320)는 제 1 암(21)을 제어하여, 도 19c 및 도 19d에 도시한 바와 같이, 빈 보틀(BX)로부터 캡(C)을 분리하고, 캡(C)의 처리액용 스트로부(C40)를 스트로 세정부(23)에 의해 세정한다.

그리고, 캡 교환 제어부(320)는 제 1 암(21)을 제어하여, 도 19e에 도시한 바와 같이 캡(C)을 보틀(B)에 장착한다. 이 후, 캡 교환 제어부(320)는 제 2 암(22)을 제어하여, 반송시용 캡(CX)을 빈 보틀(BX)에 장착한다. 이와 같이, 캡 교환 제어부(320)가 제 1 암(21) 및 제 2 암(22)을 제어함으로써, 스트로 부착의 캡(C)과 반송시용 캡(CX)이 자동적으로 교환된다.

본 실시예는 이상과 같이 구성되고, 보틀 교환 장치(30)는 보틀(B)의 개구부에 캡(C)을 장착한 채로, 처리액용 배관(D45)에 접속된 보틀(B)의 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)의 접속을 해제하고, 처리액용 배관(D45)과 다른 보틀(B)에서의 처리액용 접속부(C45)를 접속한다. 이에 의해, 처리액용 스트로부(C40)가 외부에 노출되지 않고 보틀(B)을 교환할 수 있으므로, 처리액용 스트로부(C40)에 먼지 등이 부착하지 않는다. 따라서, 보틀(B)의 교환 시에, 보틀(B) 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다. 또한, 보틀(B)의 위치 결정을 행하는 가이드부(D10)를 구비하고 있으므로, 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 확실히 접속할 수 있다.

케미컬 카트(31)의 접속 기구부(D20)는, 처리액용 배관(D45)을 수직 방향을 따라 이동시킴으로써 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)의 접속을 해제하고, 혹은 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 접속한다. 이 경우에는, 처리액용 배관(D45)을 이동시키는 것만으로, 용이하게 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)의 접속 혹은 접속의 해제를 행할 수 있다.

제어부(300)는, 잔량 검출 센서(400)에 의해 검출되는 보틀(B) 내의 처리액의 잔량에 기초하여, 케미컬 카트(31)에 설치된 보틀(B)을 교환한다. 특히 접속 제어부(350)는, 보틀(B)의 교환 시에 회전부(D22)의 회전을 제어하여 승강부(D21)를 승강시킨다. 이와 같이, 접속 제어부(350)가 승강부(D21)의 승강을 제어함으로써, 보틀(B)의 접속 혹은 접속의 해제를 자동으로 행할 수 있다.

보틀 교환 장치(30)는 케미컬 카트(31)로 보틀(B)을 반입하고, 케미컬 카트(31)로부터 보틀(B)을 반출하는 크레인(32) 및 반송 장치(80)를 구비한다. 이에 의해, 크레인(32) 및 반송 장치(80)에 의해 보틀의 반송이 행해져, 보틀의 교환이 용이해진다.

크레인(32) 및 반송 장치(80)로서 크레인, 로봇 암 또는 컨베이어를 이용할 수 있다. 이 경우에는, 크레인, 로봇 암 또는 컨베이어를 이용하여, 보틀의 반송을 용이하게 행할 수 있다.

크레인(32) 및 반송 장치(80)는 반송 제어부(310)에 의해 제어된다. 이와 같이, 반송 제어부(310)가 크레인(32) 및 반송 장치(80)를 제어함으로써, 보틀(B)의 반송을 자동으로 행할 수 있다.

도포·현상 장치(1)는 보틀 교환 장치(30)를 가지는 처리액 공급 블록(S4)을 구비한다. 이에 의해, BCT 블록(5) 등에서 이용되는 처리액을 수용하는 보틀(B)을, 보틀 교환 장치(30)에 의해 교환할 수 있다.

또한, 이 캡(C)에서는, 처리액용 스트로부(C40)의 보틀(B) 외측의 단부에서의 처리액용 유로(R1)의 연장 방향을 따라, 처리액용 접속부(C45)에 처리액용 배관(D45)이 근접된다. 그리고, 처리액용 배관(D45)이 처리액용 접속부(C45)에 눌려, 처리액용 접속부(C45)에 처리액용 배관(D45)이 접속된다. 이와 같이, 처리액용 접속부(C45)는, 처리액용 배관(D45)이 눌림으로써 처리액용 배관(D45)에 접속되므로, 캡(C)에 설치된 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 확실히 접속할 수 있다.

처리액용 스트로부(C40)의 보틀(B) 외측의 단부에서의 처리액용 유로(R1)를, 수직 방향을 따라 연장시킨다. 이 경우에는, 캡(C)의 상방에 위치하는 처리액용 배관(D45)과 처리액용 접속부(C45)를 접속할 수 있다.

처리액용 접속부(C45)에 처리액용 배관(D45)을 삽입함으로써, 처리액용 접속부(C45)와 처리액용 배관(D45)을 보다 확실히 접속할 수 있다.

캡(C)은 처리액용 접속부(C45)를 노출 가능하게 덮는 커버(C20)를 구비한다. 이 경우에는, 처리액용 접속부(C45)에 처리액용 배관(D45)이 접속되어 있지 않을 때, 처리액용 접속부(C45)를 커버(C20)에 의해 덮을 수 있다. 따라서, 먼지 등이 처리액용 접속부(C45)로부터 보틀(B) 내로 들어가는 것을 억제할 수 있다.

또한 캡(C)에서는, 가스용 유로 형성부(C50)의 보틀(B) 외측의 단부에서의 가스용 유로(R2)의 연장 방향을 따라, 가스용 접속부(C55)에 가스용 배관(D55)이 근접된다. 그리고, 가스용 배관(D55)이 가스용 접속부(C55)에 눌려, 가스용 접속부(C55)에 가스용 배관(D55)이 접속된다. 이와 같이, 가스용 접속부(C55)는, 가스용 배관(D55)이 눌림으로써 가스용 배관(D55)에 접속되므로, 캡(C)에 설치된 가스용 접속부(C55)와 가스용 배관(D55)을 확실히 접속할 수 있다.

캡 교환 장치(20)는, 상기의 캡(C)을, 보틀(B)에 대하여 착탈하는 제 1 암(21) 및 제 2 암(22)을 구비한다. 이에 의해, 캡 교환 장치(20)의 제 1 암(21) 및 제 2 암(22)에 의해 캡(C)을 교환할 수 있어, 캡(C)의 교환 작업이 용이해진다. 또한 본원에서는, 캡(C)의 착탈을 행하는 제 1 암(21)을 제 1 캡 교환 기구, 반송시용 캡(CX)의 착탈을 행하는 제 2 암(22)을 제 2 캡 교환 기구로 한다.

이상, 본 발명의 일실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면 상기 실시예에서는, 도 9a 및 도 9b에 도시한 바와 같이, 회전부(D22)를 회전시킴으로써 승강부(D21)를 승강시키는 것으로 했지만, 도 20a 및 도 20b에 도시한 바와 같이, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 단부가 접속된 승강부(D24)를, 구동부(D23)가 직접, 승강시키는 접속 기구부(D20A)를 이용해도 된다. 또한, 승강부(D24)를 승강시키는 기구에 대해서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 기구를 이용할 수 있다.

또한 도 21a 및 도 21b에 도시한 바와 같이, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)의 단부가 고정된 배관 고정부(D25)에 대하여, 보틀(B)을 승강시킴으로써, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)과 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)를 각각 접속할 수도 있다. 이 경우, 슬라이드·회전 기구부(D60A)에 보틀(B)을 승강시키는 기구를 부가해도 된다. 또한, 보틀(B)을 승강시키는 기구에 대해서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 기구를 이용할 수 있다.

도 9a 등을 이용하여 설명한 실시예에서는 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)측을 승강시키고, 도 21a 등을 이용하여 설명한 변형예에서는 보틀(B)측을 승강시키는 것으로 했지만, 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)측과 보틀(B)측의 쌍방을 상대적으로 이동시켜 배관의 접속을 행할 수도 있다.

실시예에서 도 3b 등에 도시한 바와 같이, 캡(C)의 캡 본체부(C10)는 원기둥 형상을 가지는 것으로 했지만, 캡 본체부(C10)의 형상은 원기둥 형상에 한정되지 않는다. 예를 들면 도 22a 및 도 22b에 도시한 캡(C1)과 같이, 사각 기둥 형상의 캡 본체부(C10A)를 이용할 수도 있다. 이 경우, 캡 본체부(C10A)에서의 가이드부(D10)에 삽입되는 측의 모서리부에 경사면(X)을 형성할 수 있다. 이에 의해, 캡 본체부(C10A)를 가이드부(D10)에 용이하게 감합할 수 있다.

또한 상기 실시예에서는, 도 3b 등에 도시한 바와 같이 캡(C)에 캡 가이드(C60)를 설치하는 것으로 했지만, 도 22a 및 도 22b에 도시한 바와 같이, 캡 가이드를 설치하지 않은 구성이어도 된다. 이 경우, 캡 본체부(C10A)의 측면과 가이드부(D10)의 벽부(D11)를 접촉시킴으로써, 캡(C1)의 위치 결정을 할 수 있다.

실시예에서는, 캡(C)의 상면에 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 형성되는 것으로 했지만, 도 23a 및 도 23b에 도시한 바와 같이, 캡(C2)의 측면에 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 처리액용 스트로부(C40)의 보틀(B)의 외측의 단부에서의 처리액용 유로(R1)는 수평 방향을 따라 연장된다. 마찬가지로, 가스용 유로 형성부(C50)의 보틀(B)의 외측의 단부에서의 가스용 유로(R2)는 수평 방향을 따라 연장된다.

이 캡(C2)은, 수평 방향을 따라 이동됨으로써 가이드부(D10)에 감합된다. 따라서, 캡(C2)이 장착된 보틀(B)을 수평 방향으로 반송할 경우에, 보틀(B)의 반송 동작에 의해 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)와 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)과의 접속도 각각 행할 수 있다. 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부를 캡(C2)의 측면에 형성함으로써, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부를 통하여 보틀(B) 내로 먼지 등이 들어가는 것을 억제할 수 있다.

또한 도 24a 및 도 24b에 도시한 바와 같이, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부를 캡(C3)의 측면에 형성할 경우, 처리액용 접속부(C45)의 개구부와 가스용 접속부(C55)의 개구부를 서로 수평 방향으로 나란히 배치할 수도 있다.

도 25a 및 도 25b에 도시한 바와 같이, 캡(C4)의 측면에 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 각각 형성되어 있을 경우, 이들 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부를 덮도록 커버(C20A)를 설치해도 된다. 이 경우, 커버(C20A)는 커버 본체부(C21A), 커버 가이드(C22A), 스프링(C23A)을 포함하여 구성된다.

커버 본체부(C21A)는 가요성을 가진다. 커버 본체부(C21A)는 처리액용 접속부(C45) 등을 노출 혹은 덮을 시, 캡(C4)의 상면 및 측면에 밀착한 상태로 슬라이드한다. 커버 가이드(C22A)는 커버 본체부(C21A)의 단부에 고정된다. 커버 가이드(C22A)는, 캡(C4)이 가이드부(D10)에 감합될 때, 가이드부(D10)의 계합부와 계합하여, 처리액용 접속부(C45) 등의 개구부가 노출되도록 커버 본체부(C21A)를 슬라이드시킨다. 스프링(C23A)은, 처리액용 접속부(C45) 등의 개구부가 덮이는 방향으로 커버 본체부(C21A)에 힘을 가한다.

이에 의해, 캡(C4)의 측면에 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 형성되어 있는 경우라도, 캡(C4)이 가이드부(D10)에 감합되었을 때, 커버 가이드(C22A)가 가이드부(D10)의 계합부와 계합함으로써 커버 본체부(C21A)가 슬라이드한다. 이에 의해, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 노출되어, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)와 처리액용 배관(D45) 및 가스용 배관(D55)을 각각 접속할 수 있다.

또한, 캡(C4)을 가이드부(D10)로부터 분리하면, 스프링(C23A)이 커버 본체부(C21A)에 힘을 가함으로써 커버 본체부(C21A)가 슬라이드하고, 커버 본체부(C21A)에 의해 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 덮인다.

가요성을 가지는 커버 본체부(C21A) 대신에, 도 26a 및 도 26b에 도시한 바와 같이, 판상(板狀)의 커버 본체부(C21B)를 이용해도 된다. 이 경우, 캡(C5)이 가이드부(D10)에 감합되었을 때, 커버 가이드(C22B)가 가이드부(D10)의 계합부에 계합하여 스프링(C23B)을 밀어 압축하는 방향으로 이동한다. 이 커버 가이드(C22B)의 이동에 수반하여, 커버 본체부(C21B)가 커버 가이드(C22B)의 근방을 축으로 하여 회동하고, 캡(C5)의 상면과 평행한 상태가 된다. 그리고, 커버 가이드(C22B)의 추가의 이동에 수반하여, 커버 본체부(C21B)가 캡(C5)의 상면에 중첩된다. 이와 같이, 판상의 커버 본체부(C21B)를 가지는 커버(C20B)라도, 커버 본체부(C21B)를 회동시킴으로써, 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부를 노출시킬 수 있다.

또한, 캡(C5)을 가이드부(D10)로부터 분리함으로써, 스프링(C23B)이 캡(C5)의 상면에 중첩된 커버 본체부(C21B)를 캡(C5)의 상면으로부터 밀어내는 방향으로 힘을 가한다. 이에 의해, 커버 본체부(C21B)가 커버 가이드(C22B)의 근방을 축으로 하여 넘어지도록 회동하고, 커버 본체부(C21B)에 의해 처리액용 접속부(C45) 및 가스용 접속부(C55)의 개구부가 덮인다.

또한 도 27에 도시한 캡(C6)과 같이, 캡 본체부(C10) 내에서, 처리액용 스트로부(C40A)의 도중에 처리액용 유로(R1)를 흐르는 처리액을 여과하는 필터(F)를 설치해도 된다. 이 경우에는, 캡(C)에서 처리액을 여과할 수 있다. 또한, 캡(C)을 교환하는 것만으로 필터(F)도 교환되게 되어, 메인트넌스성이 좋다.

또한, 처리액용 유로(R1)에 필터(F)를 설치할 경우, 도 28에 도시한 캡(C7)과 같이, 처리액용 스트로부(C40A)에서의 필터(F)보다 보틀(B)의 위치에 분기관(C80)을 접속하고, 처리액용 스트로부(C40A)에 의해 형성되는 처리액용 유로(R1)에, 분기관(C80)에 의해 형성되는 벤트용 유로(R3)를 접속해도 된다. 이 경우에는, 처리액용 유로(R1)를 통하여 처리액을 공급하기 전에, 벤트용 유로(R3)를 통하여 처리액용 유로(R1)를 흐르는 처리액의 기포 제거를 행할 수 있다.

또한 이상의 실시예에서는, 보틀 보관 장소로부터 처리액 공급 블록(S4)까지의 보틀(B)의 반송을 반송 장치(80)로 행했지만, 수동으로 운반해도 된다. 또한, 보틀 교환 장치(30)에서의 보틀(B)의 교환도 수동으로 행해도 된다.

1 : 도포·현상 장치(기판 처리 장치)
20 : 캡 교환 장치(보틀 캡 교환 장치)
21 : 제 1 암
22 : 제 2 암
30 : 보틀 교환 장치
31 : 케미컬 카트(교환 기구)
32 : 크레인(보틀 반송 기구)
80 : 반송 장치(보틀 반송 기구)
310 : 반송 제어부
350 : 접속 제어부
400 : 잔량 검출 센서(잔량 검출부)
B : 보틀
C, C1 ~ C7 : 캡(보틀 캡)
C20 : 커버(처리액용 커버)
C40 : 처리액용 스트로부
C45 : 처리액용 접속부
C50 : 가스용 유로 형성부
C55 : 가스용 접속부
D45 : 처리액용 배관
D55 : 가스용 배관
F : 필터
R1 : 처리액용 유로
R2 : 가스용 유로

Claims (20)

1. 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 보틀 교환 장치로서,
   상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고,
   상기 보틀 캡은,
   상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
   상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고,
   상기 교환 기구는,
   상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 접속되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와,
   상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치로 상기 보틀을 반송하는 보틀 재치부를 구비하고 있고,
   상기 접속 기구부는, 상기 처리액용 배관을 수직 방향을 따라 승강시키는 승강부를 구비하는 보틀 교환 장치.
2. 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 보틀 교환 장치로서,
   상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고,
   상기 보틀 캡은,
   상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
   상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고,
   상기 교환 기구는,
   상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 접속되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와,
   상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치에 상기 보틀을 재치하는 보틀 재치부와,
   상기 보틀 재치부에서 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관이 접속되도록 보틀의 위치 결정을 행하는 가이드부를 구비하고 있고,
   상기 접속 기구부는, 상기 처리액용 배관을 수직 방향을 따라 승강시키는 승강부를 구비하는 보틀 교환 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것을 검출하는 잔량 검출부와,
   상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어하는 접속 제어부를 더 구비하는 보틀 교환 장치.
4. 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 보틀 교환 장치로서,
   상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고,
   상기 보틀 캡은,
   상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
   상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고,
   상기 교환 기구는,
   상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 접속되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와,
   상기 보틀을 수평 방향으로 슬라이드시킴으로써 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치로 상기 보틀을 반송하는 보틀 재치부를 구비하고 있고,
   상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것을 검출하는 잔량 검출부와,
   상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어하는 접속 제어부를 더 구비하는 보틀 교환 장치.
5. 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 교환 기구를 구비하는 보틀 교환 장치로서,
   상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고,
   상기 보틀 캡은,
   상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
   상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고,
   상기 교환 기구는,
   상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 접속되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관을 구비하는 접속 기구부와,
   상기 보틀을 수평 방향으로 슬라이드시킴으로써 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관을 접속하는 접속 위치에 상기 보틀을 재치하는 보틀 재치부와,
   상기 보틀 재치부에서 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관이 접속되도록 보틀의 위치 결정을 행하는 가이드부를 구비하고 있고,
   상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것을 검출하는 잔량 검출부와,
   상기 잔량 검출부에 의해 상기 보틀 내의 상기 처리액의 양이 소정값 이하가 된 것이 검출되었을 경우에, 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관과의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부를 접속하도록 상기 교환 기구를 제어하는 접속 제어부를 더 구비하는 보틀 교환 장치.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 교환 기구로 상기 보틀을 반송하고, 상기 교환 기구로부터 소정 위치로 보틀을 반송하는 보틀 반송 기구를 더 구비하는 보틀 교환 장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 보틀 반송 기구는 크레인, 로봇 암 또는 컨베이어인 보틀 교환 장치.
8. 제 6 항에 있어서,
   상기 교환 기구가 상기 처리액용 배관에 접속된 상기 보틀의 교환을 행할 경우, 상기 처리액용 배관과의 접속이 해제된 상기 보틀을 상기 교환 기구로부터 상기 소정 위치로 반송하고, 다른 상기 보틀을 상기 교환 기구로 반송하도록 상기 보틀 반송 기구를 제어하는 반송 제어부를 더 구비하는 보틀 교환 장치.
9. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 보틀 교환 장치와,
   상기 보틀 교환 장치에 의해 교환된 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액을 이용하여 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리부를 구비하는 기판 처리 장치.
10. 처리액이 수용되는 보틀을 교환하는 보틀 교환 방법으로서,
    상기 보틀은, 상기 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡을 구비하고 있고,
    상기 보틀 캡은,
    상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
    상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비하고 있고,
    상기 처리액용 배관을 수직 방향을 따라 승강시킴으로써, 상기 처리액용 배관에 접속되는 상기 보틀의 상기 처리액용 접속부와 상기 처리액용 배관의 접속을 해제하고, 상기 처리액용 배관과 다른 보틀의 처리액용 접속부를 접속하는, 보틀 교환 방법.
11. 처리액이 수용되는 보틀의 개구부를 밀봉하는 보틀 캡으로서,
    상기 보틀의 개구를 밀봉하는 캡 본체부와,
    상기 보틀 내의 상기 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와,
    상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부와,
    상기 처리액용 접속부를 노출 가능하게 덮는 처리액용 커버를 구비하고,
    상기 처리액용 접속부는, 상기 처리액용 스트로부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 처리액용 유로의 연장 방향을 따라, 상기 처리액용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜 상대적으로 눌림으로써 상기 처리액용 배관에 접속되고,
    상기 처리액용 커버는 상기 캡 본체부에 슬라이드가 가능하도록 설치되고, 또한, 상기 처리액용 접속부를 노출 가능하게 덮는 커버 본체부와, 상기 처리액용 접속부를 덮는 방향으로 상기 커버 본체부에 힘을 가하는 스프링을 구비하고,
    상기 캡 본체부에는 상기 스프링에 의해 상기 커버 본체부에 힘이 가해졌을 때 상기 처리액용 접속부가 덮이는 위치에서 상기 커버 본체부의 슬라이드를 정지시키는 스토퍼부가 설치되어 있는 보틀 캡.
12. 제 11 항에 있어서,
    상기 처리액용 스트로부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 처리액용 유로는 수직 방향을 따라 연장되고, 상기 처리액용 접속부는, 상방향으로부터 상대적으로 근접되는 상기 처리액용 배관에 접속되는 보틀 캡.
13. 제 11 항에 있어서,
    상기 처리액용 스트로부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 처리액용 유로는 수평 방향을 따라 연장되고, 상기 처리액용 접속부는, 수평 방향을 따라 상대적으로 근접되는 상기 처리액용 배관에 접속되는 보틀 캡.
14. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액용 접속부는, 상기 처리액용 배관이 삽입됨으로써 상기 처리액용 배관에 접속되는 보틀 캡.
15. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액용 유로를 흐르는 상기 처리액을 여과하는 필터를 더 구비하는 보틀 캡.
16. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보틀 밖으로부터 상기 보틀 내로 가스를 공급하기 위한 가스용 유로를 형성하는 가스용 유로 형성부와,
    상기 가스용 유로 형성부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로 공급되는 가스가 유통하는 가스용 배관에 접속되는 가스용 접속부를 더 구비하고,
    상기 가스용 접속부는, 상기 가스용 유로 형성부의 상기 보틀 외측의 단부에서의 상기 가스용 유로의 연장 방향을 따라, 상기 가스용 배관과의 거리를 상대적으로 근접시켜 상대적으로 눌림으로써 상기 가스용 배관에 접속되는 보틀 캡.
17. 보틀 내의 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와, 상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비한 보틀 캡을 교환하는 보틀 캡 교환 장치로서,
    상기 보틀 캡을 상기 보틀로부터 분리하고, 반송시용의 캡이 분리된 다른 보틀에 상기 보틀 캡을 장착하는 제 1 캡 교환 기구와,
    상기 반송시용의 캡을 상기 보틀로부터 분리하는 제 2 캡 교환 기구와,
    상기 처리액용 스트로부를 세정하는 스트로 세정부를 가지는 보틀 캡 교환 장치.
18. 보틀 내의 처리액을 상기 보틀 밖으로 공급하기 위한 처리액용 유로를 형성하고, 또한 상기 보틀 내로 연장되는 처리액용 스트로부와 상기 처리액용 스트로부에서의 상기 보틀 외측의 단부에 설치되고, 상기 보틀로부터 공급된 상기 처리액이 유통하는 처리액용 배관에 접속되는 처리액용 접속부를 구비한 보틀 캡을 교환하는 보틀 캡 교환 방법으로서,
    상기 보틀 캡을 상기 보틀로부터 분리하고,
    이어서, 상기 보틀 캡의 상기 처리액용 스트로부를 세정하고,
    이 후, 반송시용의 캡이 분리된 다른 보틀에 상기 보틀 캡을 장착하는 보틀 캡 교환 방법.
    
19. 삭제
20. 삭제

Images