TWI567010B - Bottle replacement device, substrate processing device, bottle replacement method, cap, cap replacement device and cap replacement method - Google Patents

Bottle replacement device, substrate processing device, bottle replacement method, cap, cap replacement device and cap replacement method Download PDF

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TWI567010B TW103125693A TW103125693A TWI567010B TW I567010 B TWI567010 B TW I567010B TW 103125693 A TW103125693 A TW 103125693A TW 103125693 A TW103125693 A TW 103125693A TW I567010 B TWI567010 B TW I567010B
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Description

瓶更換裝置、基板處理裝置、瓶更換方法、瓶蓋、瓶蓋更換裝置及瓶蓋更換方法
本發明，係關於瓶更換裝置、具備有該瓶更換裝置之基板處理裝置、及瓶更換方法。又，關於安裝於瓶之瓶蓋、瓶蓋更換裝置及瓶蓋更換方法。
例如，用以處理基板的處理裝置，係在處理基板時使用處理液。該處理液，係從收容處理液之瓶被供給至處理裝置。在像這樣的瓶之開口部係安裝有蓋，該蓋係具備有用於吸起處理液之吸管。例如在專利文獻1中，係記載有一種從瓶內將處理液供給至半導體製造裝置的裝置。
又，例如在處理基板之處理裝置中，係在處理基板時使用處理液。該處理液，係從收容處理液之瓶被供給至處理裝置。在瓶內沒有了處理液的情況下，將設於處理裝置之處理液用配管與瓶分開，並連接新的瓶與處理液用配管。以往，係例如專利文獻2所記載，可將連接有處理液供給管之瓶蓋裝卸自如地連接於瓶並供給處理液，而當瓶 變空時，從瓶拆卸瓶蓋，更換新的瓶。
記載於專利文獻1之裝置，係在瓶內沒有了處理液的情況下，從瓶拆卸具備有吸管的蓋，將吸管插入至新的瓶內並將蓋安裝於瓶之開口部，藉此，予以更換瓶。
又，在該方法中，係在瓶更換時，有處理液供給管與外氣接觸從而附著有塵埃之虞。對於該問題，例如記載於專利文獻3之構成，係藉由將安裝於瓶之蓋嵌入於安裝有處理液用配管的構件，使瓶蓋滑動(滑動至垂直於處理液用配管之延伸方向的方向)的方式，使設於瓶蓋之處理液用流路與處理液用配管相對向。然而，在記載於專利文獻3之構成中，會於瓶蓋與處理液用配管之間產生空隙，故很難說是能夠確實地連接兩者。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2000-31000號公報
[專利文獻2]日本特開2011-233789號公報
[專利文獻3]日本特開平9-20359號公報
然而，在記載於專利文獻1之裝置中，在更換瓶時，由於吸管係亦與蓋一起拆卸，因此，有產生塵埃 等附著於吸管部分的可能性。當塵埃附著於吸管時，在瓶更換之際，會導致塵埃等進入瓶內。
於是，本發明，係以提供一種可在瓶更換時抑制塵埃等進入瓶內之瓶更換裝置、基板處理裝置及瓶更換方法為目的。
又，於是，本發明，係以提供一種可確實地連接至處理液用配管之瓶蓋、更換該瓶蓋之瓶蓋更換裝置及瓶蓋更換方法為目的。
本發明之第一側面之瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的裝置。由瓶更換裝置所更換之瓶，係具備有密封瓶之開口部的瓶蓋。瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內；及處理液用連接部，設置於處理液用吸管部之瓶外側的端部。更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與瓶之處理液用連接部連接，且流通從瓶所供給之處理液的處理液用配管；及瓶載置部，將瓶搬送至連接處理液用連接部與處理液用配管的連接位置。
在該瓶更換裝置中，係將瓶蓋安裝於瓶之開口部，直接解除連接於處理液用配管之瓶之處理液用連接部與處理液用配管的連接，並連接處理液用配管與其他瓶之處理液用連接部。藉此，因為處理液用吸管部不會露出 於外部就可更換瓶，因此，不會有塵埃等附著於處理液用吸管部。因此，瓶更換時，可抑制塵埃等進入瓶內。
本發明之第二側面之瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的裝置。由瓶更換裝置所更換之瓶，係具備有密封瓶之開口部的瓶蓋。瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內；及處理液用連接部，設置於處理液用吸管部之瓶外側的端部。更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與瓶之處理液用連接部連接，且流通從瓶所供給之處理液的處理液用配管；瓶載置部，在連接處理液用連接部與處理液用配管的連接位置載置瓶；及導引部，在瓶載置部，以連接有瓶之處理液用連接部與處理液用配管的方式，進行瓶之定位。
在該瓶更換裝置中，係將瓶蓋安裝於瓶之開口部，直接解除連接於處理液用配管之瓶之處理液用連接部與處理液用配管的連接，並連接處理液用配管與其他瓶之處理液用連接部。藉此，因為處理液用吸管部不會露出於外部就可更換瓶，因此，不會有塵埃等附著於處理液用吸管部。因此，瓶更換時，可抑制塵埃等進入瓶內。又，由於具備有進行瓶之定位的導引部，因此，可確實地連接處理液用連接部與處理液用配管。
連接機構部，係亦可具備有沿著垂直方向使處理液用配管升降的升降部。在該情況下，升降部會使處理液用配管升降，藉此，可輕易地連接處理液用配管與處 理液用連接部。
瓶更換裝置，係亦可更具備殘量檢測部與連接控制部。在該情況下，殘量檢測部，係可檢測出連接於處理液用配管之瓶內之處理液的量為預定值以下的情形。又，連接控制部，係亦可在藉由殘量檢測部來檢測出瓶內之處理液的量為預定值以下時，以解除連接於處理液用配管之瓶之處理液用連接部與處理液用配管的連接，並連接處理液用配管與其他瓶之處理液用連接部的方式，控制更換機構。如此一來，連接控制部係控制更換機構，藉此，可自動地進行瓶之連接或連接之解除。
瓶更換裝置，係亦可更具備：瓶搬送機構，將瓶搬送至更換機構，並從更換機構將瓶搬送至預定位置。藉此，藉由瓶搬送機構進行瓶之搬送，從而可輕易進行瓶之更換。
作為瓶搬送機構，可使用起重機(Crane)、機械手臂或傳送帶。在該情況下，係使用起重機、機械手臂或傳送帶，可輕易地進行瓶之搬送。
瓶更換裝置，係亦可更具備有：搬送控制部，在更換機構進行連接於處理液用配管之瓶的更換時，以將解除了與處理液用配管之連接的瓶從更換機構搬送至預定位置，並將其他瓶搬送至更換機構的方式，控制瓶搬送機構。如此一來，搬送控制部係控制瓶搬送機構，藉此，可自動地進行瓶之搬送。
在本發明之第三側面之基板處理裝置，係具 備有：上述之瓶更換裝置；及基板處理部，使用從藉由瓶更換裝置所更換之瓶而供給的處理液，對基板進行處理。在該基板處理裝置中，係可藉由瓶更換裝置來更換收容在基板處理部所使用之處理液的瓶。
本發明之第四側面之瓶更換方法，係用以更換收容有處理液之瓶的方法。瓶，係具備有密封瓶之開口部的瓶蓋。瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內；及處理液用連接部，設置於處理液用吸管部之瓶外側的端部，且連接於流通有從瓶所供給之處理液的處理液用配管。在更換像這樣瓶的情況下，解除連接於處理液用配管之瓶之處理液用連接部與處理液用配管的連接，並連接處理液用配管與其他瓶之處理液用連接部。
在該瓶更換方法中，係將瓶蓋安裝於瓶之開口部，直接解除連接於處理液用配管之瓶之處理液用連接部與處理液用配管的連接，並連接處理液用配管與其他瓶之處理液用連接部。藉此，因為處理液用吸管部不會露出於外部就可更換瓶，因此，不會有塵埃等附著於處理液用吸管部。因此，瓶更換時，可抑制塵埃等進入瓶內。
在瓶更換方法中，亦可藉由使瓶及處理液用配管中之至少一方移動的方式，來解除處理液用連接部與處理液用配管的連接，或是連接處理液用連接部與處理液用配管。在該情況下，係藉由僅使瓶及處理液用配管中之至少一方移動的方式，可輕易地進行處理液用連接部與處 理液用配管之連接或是連接之解除。
在瓶更換方法中，亦可藉由使瓶及處理液用配管中之至少一方升降的方式，來連接處理液用連接部與處理液用配管或解除連接，或是，藉由使瓶及處理液用配管中之至少一方水平移動的方式，來連接處理液用連接部與處理液用配管或解除連接。在該情況下，係藉由僅使瓶及處理液用配管中之至少一方升降或水平移動的方式，可輕易地進行處理液用連接部與處理液用配管之連接或是連接之解除。
本發明之一側面之瓶蓋，係用於密封收容處理液之瓶的開口部者，具備有處理液用吸管部與處理液用連接部。處理液用吸管部，係形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內。處理液用連接部，係設於處理液用吸管部之瓶外側的端部，且連接於流通有從瓶所供給之處理液的處理液用配管。處理液用連接部，係藉由沿著處理液用吸管部之瓶外側之端部之處理液用流路的延伸方向，使與處理液用配管之距離相對接近並相對推壓的方式，連接於處理液用配管。
該瓶蓋中，係藉由沿著處理液用吸管部之瓶外側之端部之處理液用流路的延伸方向，使處理液用連接部與處理液用配管之距離相對接近且使處理液用連接部與處理液用配管相互推壓的方式，連接處理液用連接部與處理液用配管。如此一來，由於處理液用連接部，係藉由相對推壓於處理液用配管的方式，連接於處理液用配管，因 此，可確實地連接設於瓶蓋的處理液用連接部與處理液用配管。
處理液用吸管部之瓶外側之端部的處理液用流路，係亦可沿著垂直方向延伸，處理液用連接部係亦可連接於從上方向相對接近的處理液用配管。在該情況下，係能夠將瓶蓋與位於處理液用連接部之上方的處理液用配管連接。又，處理液用吸管部之瓶外側之端部的處理液用流路，係亦可沿著水平方向延伸，處理液用連接部係亦可連接於沿著水平方向而相對接近的處理液用配管。在該情況下，係在將安裝有瓶蓋的瓶搬送至水平方向時，亦可藉由瓶之搬送動作，進行處理液用連接部與處理液用配管的連接。
處理液用連接部，係藉由插入有處理液用配管的方式，連接於處理液用配管。在該情況下，係能夠更確實地連接處理液用連接部與處理液用配管。
瓶蓋，係亦可更具備：過濾器，過濾流經處理液用流路的處理液。在該情況下，係能夠在瓶蓋過濾處理液。又，僅更換瓶蓋，而過濾器亦會被更換，故維修性良好。
瓶蓋，係亦可更具備：處理液用罩蓋體，可覆蓋露出的處理液用連接部。該情況下，係在處理液用配管未連接於處理液用連接部時，可藉由處理液用罩蓋體覆蓋處理液用連接部。因此，可抑制塵埃等從處理液用連接部進入瓶內。
瓶蓋，係亦可更具備氣體用流路形成部與氣體用連接部。氣體用流路形成部，係形成用於從瓶外將氣體供給至瓶內的氣體用流路。氣體用連接部，係設於氣體用流路形成部之瓶外側的端部，且連接於流通有供給至瓶之氣體的氣體用配管。又，氣體用連接部，係藉由沿著氣體用流路形成部之瓶外側之端部之氣體用流路的延伸方向，使與氣體用配管之距離相對接近並相對推壓的方式，連接於氣體用配管。在該情況下，由於氣體用連接部，係藉由相對推壓於氣體用配管的方式，連接於氣體用配管，因此，可確實地連接設於瓶蓋的氣體用連接部與氣體用配管。
本發明之其他一側面的瓶蓋更換裝置，係用以更換具備有處理液用吸管部與處理液用連接部的瓶蓋，該處理液用吸管部，係形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內；該處理液用連接部，係設置於處理液用吸管部之瓶外側的端部，且連接於流通有從瓶所供給之處理液的處理液用配管。因此，瓶蓋更換裝置，係具有：第1蓋更換機構，從瓶拆卸瓶蓋，並在已拆卸下搬送時之蓋的其他瓶安裝瓶蓋；第2蓋更換機構，從瓶拆卸搬送時用的蓋；及吸管洗淨部，洗淨處理液用吸管部。在該瓶蓋更換裝置中，係藉由第1蓋更換機構及第2蓋更換機構，來進行瓶蓋之更換，進而使更換作業會變得容易。又，由於具備有吸管洗淨部，因此，能夠洗淨附著於處理液用吸管部的塵埃，並能夠抑制在瓶蓋更換 時塵埃進入瓶內。
本發明之另一其他一側面的瓶蓋更換方法，係用以更換具備有處理液用吸管部與處理液用連接部之瓶蓋的方法，該處理液用吸管部，係形成用於將瓶內之處理液供給至瓶外的處理液用流路，並且延伸至瓶內；該處理液用連接部，係設置於處理液用吸管部之瓶外側的端部，且連接於流通有從瓶所供給之處理液的處理液用配管。在該瓶蓋更換方法中，係從瓶拆卸瓶蓋，接下來，洗淨瓶蓋之處理液用吸管部，然後，將瓶蓋安裝於已拆卸下搬送時用之蓋的其他瓶。藉此，能夠從瓶拆卸具備有處理液用吸管部及處理液用連接部的瓶蓋，並在洗淨處理液用吸管部後，將瓶蓋安裝於其他瓶。又，藉由洗淨處理液用吸管部的方式，可抑制在更換瓶蓋時塵埃進入瓶內。
根據本發明之第一、第二及第四側面，可抑制在瓶更換時塵埃等進入瓶內。又，根據本發明之第三側面，可提供一種具備有第一及第二側面之瓶更換裝置的基板處理裝置。
又，根據本發明之一側面，可確實地將瓶蓋連接於處理液用配管。根據本發明之其他一側面及另外其他之一側面，可更換一側面之瓶蓋。
1‧‧‧塗佈/顯像裝置(基板處理裝置)
20‧‧‧蓋更換裝置(瓶蓋更換裝置)
21‧‧‧第1臂部
22‧‧‧第2臂部
30‧‧‧瓶更換裝置
31‧‧‧化學台車(更換機構)
32‧‧‧起重機(瓶搬送機構)
80‧‧‧搬送裝置(瓶搬送機構)
310‧‧‧搬送控制部
350‧‧‧連接控制部
400‧‧‧殘量檢測感應器(殘量檢測部)
B‧‧‧瓶
C，C1~C7‧‧‧蓋(瓶蓋)
C20‧‧‧蓋體(處理液用罩蓋體)
C40‧‧‧處理液用吸管部
C45‧‧‧處理液用連接部
C50‧‧‧氣體用流路形成部
C55‧‧‧氣體用連接部
D45‧‧‧處理液用配管
D55‧‧‧氣體用配管
F‧‧‧過濾器
R1‧‧‧處理液用流路
R2‧‧‧氣體用流路
[圖1]表示一實施形態之塗佈/顯像裝置的立體圖。
[圖2]表示處理液供給區塊之概略構成的平面圖。
[圖3]表示瓶之圖，(a)係側視圖，(b)係上視圖。
[圖4]表示安裝於蓋之蓋體之開關狀態的剖面圖，(a)係表示蓋體關閉之狀態的圖，(b)表示蓋體開啟之狀態的圖。
[圖5](a)係沿著圖4(a)中之Va-Va線的剖面圖，(b)係沿著圖4(b)中之Vb-Vb線的剖面圖。
[圖6]表示瓶設置於化學台車之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係從連接有瓶之側觀看化學台車的正視圖。
[圖7]表示將蓋嵌入於導引部之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係上視圖。
[圖8]表示蓋被嵌入於導引部之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係上視圖。
[圖9]表示連接處理液用連接部等與處理液用配管等之情形的圖，(a)係表示連接前之狀態的剖面圖，(b)係表示連接後之狀態的剖面圖。
[圖10]表示控制部的功能方塊圖。
[圖11]表示更換瓶之處理之流程的流程圖。
[圖12]表示更換瓶之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係正視圖。
[圖13]表示更換瓶之情形的側視圖。
[圖14]表示更換瓶之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係 正視圖。
[圖15]表示更換瓶之情形的側視圖。
[圖16]表示更換瓶之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係正視圖。
[圖17]表示更換瓶之情形的側視圖。
[圖18]表示更換瓶之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係正視圖。
[圖19](a)~(f)，係表示蓋更換裝置進行蓋之更換之情形的圖。
[圖20]表示連接機構部之變形例的圖，(a)係表示連接前之狀態的剖面圖，(b)係表示連接後之狀態的剖面圖。
[圖21]表示使瓶升降而連接配管之變形例的圖，(a)係表示連接前之狀態的正視圖，(b)係表示舉起瓶而連接之狀態的正視圖。
[圖22]表示將變形例之蓋嵌入於導引部之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係上視圖。
[圖23]表示將變形例之蓋嵌入於導引部之情形的圖，(a)係側視圖，(b)係上視圖。
[圖24]表示變形例之蓋的圖，(a)係上視圖，(b)係側視圖。
[圖25]表示設於蓋(該蓋係在側面具有處理液用連接部等)之蓋體之開關狀態的剖面圖，(a)係表示蓋體關閉之狀態的圖，(b)表示蓋體開啟之狀態的圖。
[圖26]表示設於蓋(該蓋係在側面具有處理液用連接 部等)之蓋體之變形例的剖面圖，(a)係表示蓋體關閉之狀態的圖，(b)表示蓋體開啟之狀態的圖。
[圖27]表示在處理液用流路具有過濾器之蓋的剖面圖。
[圖28]表示在處理液用流路具有過濾器之蓋之變形例的剖面圖。
以下，參照圖面說明本發明的一實施形態。另外，在圖面之說明中，相同之要素，係賦予相同符號，並省略重複之說明。
如圖1所示，塗佈/顯像裝置(基板處理裝置)1，係具備有：載體區塊S1；處理區塊S2，鄰接於載體區塊S1；介面區塊S3，鄰接於處理區塊S2；及處理液供給區塊S4。
載體區塊S1，係具有：載體站3，用於設置複數個載體2；及搬入/搬出部4，介設於載體站3與處理區塊S2之間。載體2，係在密封狀態下收容複數片晶圓，並裝卸自如地設置於載體站3上。載體2之一方的側面，係設有用於取出放入晶圓的開關門。在搬入/搬出部4，係設有複數個開關門4a，該開關門係各別對應於設置在載體站3的複數個載體2。在搬入/搬出部4內，係收容有收授臂部，該收授臂部係從設置於載體站3的載體2取出晶圓並傳遞至處理區塊S2，且從處理區塊S2接收晶圓 而返回到載體2內。
處理區塊S2，係具有：下層反射防止膜形成(BCT)區塊5，作為在晶圓表面上形成下層之反射防止膜的基板處理部；光阻膜形成(COT)區塊6，作為在下層之反射防止膜上形成光阻膜的基板處理部；上層反射防止膜形成(TCT)區塊7，作為在光阻膜上形成上層之反射防止膜的基板處理部；及顯像處理(DEV)區塊8，作為進行顯像處理的基板處理部。該些區塊，係從地面側以DEV區塊8、BCT區塊5、COT區塊6、TCT區塊7的順序予以層疊。
介面區塊S3，與對晶圓施予曝光處理的曝光裝置E1連接。在介面區塊S3，係收容有收授臂部，該收授臂部係從處理區塊S2將晶圓傳遞至曝光裝置E1，且從曝光裝置E1接收曝光處理後之晶圓而返回到處理區塊S2內。
處理液供給區塊S4，係將在處理區塊S2之BCT區塊5等對晶圓進行各處理時所使用的處理液供給至處理區塊S2。另外，設置處理液供給區塊S4之位置，係不限定於圖1所示之位置，又，個數亦不限定為1個。關於處理液供給區塊S4之構成，詳細如後述。
在像這樣的塗佈/顯像裝置1中，首先，收容了複數片晶圓之載體2會被設置於載體站3。接下來，載體2之開關門與搬入/搬出部4之開關門4a皆開啟，而設置於搬入/搬出部4內之收授臂部係將載體2內之晶圓搬 入至搬入/搬出部4內。被搬送至搬入/搬出部4內的晶圓，係被搬送至處理區塊S2之BCT區塊5。
在BCT區塊5中，於晶圓之表面上形成有下層反射防止膜。在BCT區塊5形成有下層反射防止膜的晶圓，係被搬送至COT區塊6。在COT區塊6中，於晶圓之下層反射防止膜上形成有光阻膜。
在COT區塊6形成有光阻膜的晶圓，係被搬送至TCT區塊7。在TCT區塊7中，於晶圓之光阻膜上形成有上層反射防止膜。在TCT區塊7形成有上層反射防止膜的晶圓，係被搬送至曝光裝置E1內。
在曝光裝置E1中，對所搬送之晶圓的光阻膜施予曝光處理。曝光處理後之晶圓，係被搬送至DEV區塊8。在DEV區塊8中，對晶圓施予曝光後烘烤(PEB)處理、顯像處理及後烘烤處理。施予後烘烤處理的晶圓，係從DEV區塊8被搬送至載體2。
另外，塗佈/顯像裝置1之構成只不過是一例。塗佈/顯像裝置，係只要是具備塗佈單元、顯像處理單元等的處理單元與加熱/冷卻單元等的前處理/後處理單元與搬送裝置即可，該些各單元的個數或種類、佈線等係可適當進行變更。
接下來，詳細說明關於處理液供給區塊S4。如圖2所示，處理液供給區塊S4，係構成包含有蓋更換裝置20及瓶更換裝置30。在此，處理液供給區塊S4，係將收容於瓶B內之處理液供給至處理區塊S2的BCT區塊 5等。
蓋更換裝置20，係構成包含有第1臂部21、第2臂部22及吸管洗淨部23。在蓋更換裝置20中，係從瓶保管場所(預定位置)，藉由搬送裝置(瓶搬送機構)80來搬送收容有處理液的瓶B。作為搬送裝置80，例如可使用起重機。又，作為搬送裝置80，除了起重機以外，亦可使用機械手臂或輸送機。第1臂部21及第2臂部22，係用以更換附有吸管之蓋(瓶蓋)C(參閱圖3)與搬送時用之蓋，該附有吸管之蓋C係安裝於從瓶更換裝置30所接收之空的瓶B之開口部，該搬送時用之蓋係安裝於從瓶保管場所搬送之新的瓶B之開口部。
當附有吸管之蓋C被安裝於新的瓶B時，第1臂部21或第2臂部22，係將安裝了蓋C之新的瓶收授至瓶更換裝置30之對準平台33。關於蓋更換裝置20之蓋C的更換動作，詳細如後述。另外，蓋更換裝置20，係不必設於塗佈/顯像裝置1附近，亦可設於與塗佈/顯像裝置1不同的位置。又，本來，在瓶B安裝有附有吸管之蓋C的情況下，不需要設置蓋更換裝置20。
瓶更換裝置30，係構成包含有複數個化學台車(更換機構)31、起重機(瓶搬送機構)32及對準平台33。連接於處理區塊S2之BCT區塊5等之處理液用配管的一端，係位於化學台車31。處理液用配管被連接於搬送至化學台車31之瓶B，且從化學台車31供給處理液至BCT區塊5等。
起重機32，係以在設置於處理液供給區塊S4之頂棚的軌道行走的OHT(Overhead Hoist Transfer)作為一例，且握持瓶B，在化學台車31與對準平台33之間搬送瓶B。
對準平台33，係使瓶B旋轉至根據起重機32容易握持之方向。另外，對準平台33，係利用攝像機來監視被安裝於瓶B之蓋C之蓋導引C60(參閱圖3(b)等)的方向等，基於監視結果可使瓶B旋轉。
接下來，說明關於安裝於瓶B之開口部的蓋C。如圖3~圖5所示，蓋C，係螺入而安裝在設置於瓶B之上部的開口部。蓋C，係構成包含有蓋本體部C10、蓋體(處理液用罩蓋體)C20、標籤C30、處理液用吸管部C40、氣體用流路形成部C50及4個蓋導引C60。
在蓋本體部C10，係形成有藉由螺入至瓶B之開口部的方式，與瓶B卡合的卡合部C11。蓋本體部C10，係在被安裝於瓶B時，密封瓶B之開口部。
處理液用吸管部C40，係形成用於將瓶B內之處理液供給至瓶B外的處理液用流路R1。處理液用吸管部C40之一端側，係埋入至蓋本體部C10，另一端係朝向瓶B之底部延伸。處理液用吸管部C40之一端側部分(瓶B之外側的端部)的處理液用流路R1，係沿著垂直方向延伸。
在處理液用吸管部C40之一端側，係設有處理液用連接部C45。處理液用連接部C45，係設於化學台 車31，且連接於流通有從瓶B供給之處理液的處理液用配管D45(參閱圖6(b))。處理液用配管D45，係從化學台車31朝BCT區塊5等延伸。在本實施形態中，處理液用連接部C45，係藉由增大處理液用吸管部C40之一端之徑的方式，予以形成。在處理液用連接部C45之內周面，係例如安裝有O形環S，可提高與處理液用配管D45的密閉性。
氣體用流路形成部C50，係形成用於從瓶B外將氣體(以氮氣作為一例)供給至瓶B內的氣體用流路R2。氣體用流路形成部C50，係埋入至蓋本體部C10內。氣體用流路形成部C50之一端側部分(瓶B之外側的端部)的氣體用流路R2，係沿著垂直方向延伸。藉由經由氣體用流路R2將氣體供給至瓶B內的方式，瓶B內之處理液會經由處理液用流路R1而被推出至瓶B外。
在氣體用流路形成部C50之一端側，係設有氣體用連接部C55。氣體用連接部C55，係設於化學台車31，且連接於流通有供給至瓶B之氣體的氣體用配管D55(參閱圖9)。在本實施形態中，氣體用連接部C55，係藉由增大氣體用流路形成部C50之一端之徑的方式，予以形成。在氣體用連接部C55之內周面，係例如安裝有O形環S。
另外，在本實施形態中，雖係將形成處理液用流路R1之處理液用吸管部C40及形成氣體用流路R2之氣體用流路形成部C50與蓋本體部C10分開設置，但 處理液用吸管部C40與蓋本體部C10亦可一體成型，又，氣體用流路形成部C50與蓋本體部C10亦可一體成型。
蓋體C20，係構成包含有蓋體本體部C21、一對蓋體導引C22及彈簧C23。蓋體本體部C21，係在蓋本體部C10之上面，可覆蓋露出的處理液用連接部C45及氣體用連接部C55。彈簧C23，係將蓋體本體部C21推彈至蓋體導引C22所覆蓋處理液用連接部C45及氣體用連接部C55的方向。另外，在蓋本體部C10之上面，係設置有止動件部C12，該止動件部C12係在藉由彈簧C23推彈蓋體本體部C21後，在覆蓋了處理液用連接部C45及氣體用連接部C55的位置，使蓋體本體部C21之滑動停止。
一對蓋體導引C22，係將蓋體本體部C21夾在中間而配置，且分別連接於蓋體本體部C21之側部。一對蓋體導引C22，係沿著與藉由彈簧C23推彈蓋體本體部C21之方向垂直的方向，分別從蓋體本體部C21之側部朝向外側延伸。
4個蓋導引C60，係被分成2個1組，且以將蓋本體部C10夾在中間的方式，配置一方之組的蓋導引C60與另一方之組的蓋導引C60。一方之組的蓋導引C60與另一方之組的蓋導引C60，皆係分別連接於蓋本體部C10之側部。一方之組的蓋導引C60與另一方之組的蓋導引C60，係沿著與藉由彈簧C23推彈蓋體本體部C21之方 向垂直的方向，分別從蓋體本體部C10之側部朝向外側延伸。
在標籤C30，係記錄有瓶B內之處理液之種類及保存期限等之關於處理液的資訊。作為標籤C30，例如能夠使用以攝像機等可讀取之條碼等。
接下來，詳細說明關於化學台車31。化學台車31，係從瓶B吸出處理液，並將所吸出之處理液供給至處理區塊S2之BCT區塊5、COT區塊6、TCT區塊7及DEV區塊8等之使用處理液的預定區塊。
如圖6所示，化學台車31，係構成包含有導引部D10、連接機構部D20、攝像機D30及滑動/旋轉機構部(瓶載置部)D60。導引部D10，係設於連接機構部D20之下方位置，以藉由連接機構部D20而使處理液用配管D45及氣體用配管D55連接於瓶B之蓋C的方式，進行瓶B之定位。
更詳細來說，如圖7及圖8所示之導引部D10，係構成包含有一對壁部D11、一對蓋體導引溝D12及一對蓋導引溝D13。一對壁部D11，係配置成將安裝於瓶B之蓋C的蓋本體部C10夾在中間。
一對蓋導引溝D13，係分別設於一對壁部D11彼此相對向的面。蓋導引溝D13，係從導引部D10之一方的端部(嵌入有蓋C之側的端部)，朝向與處理液用配管D45等連接之位置，沿著瓶B被搬送之方向延伸。蓋導引溝D13，係在藉由滑動/旋轉機構部D60使瓶B朝向與處 理液用配管D45等連接之位置搬送時，蓋C之蓋導引C60係從導引部D10之一方的端部側可滑動地予以嵌入。
蓋導引溝D13中之從導引部D10之一方的端部起的溝長度，係如圖8(a)及圖8(b)所示，在蓋導引C60抵接於蓋導引溝D13之溝之裏側的端部D13a時，設成為瓶B連接於處理液用配管D45等的長度。
如此一來，藉由以一對壁部D11來夾住蓋C之蓋本體部C10的方式，在藉由滑動/旋轉機構部D60使瓶B朝向與處理液用配管D45等連接的位置搬送時，可針對蓋C，進行垂直於搬送方向之方向的定位。又，藉由將蓋導引溝D13之溝長度設成為上述之長度的方式，在藉由滑動/旋轉機構部D60搬送瓶B時，可針對蓋C進行搬送方向之定位。
一對蓋體導引溝D12，係分別設置於一對壁部D11彼此相對向的面。蓋體導引溝D12，係從壁部D11之一方的端部平行地延伸於蓋導引溝D13。蓋體導引溝D12，係在藉由滑動/旋轉機構部D60使瓶B朝向與處理液用配管D45等連接之位置搬送時，蓋體C20之蓋體導引C22係從導引部D10之一方的端部側可滑動地予以嵌入。
又，在藉由滑動/旋轉機構部D60使瓶B朝向與處理液用配管D45等連接的位置搬送時，如圖8(a)及圖8(b)所示，蓋體導引溝D12之溝之裏側的端部D12a，係與蓋體導引C22抵接並使蓋體本體部C21滑動，從而使 處理液用連接部C45及氣體用連接部C55露出。從蓋體導引溝D12之一方之端部的溝長度，係在蓋導引C60抵接於蓋導引溝D13之裏側的端部D13a時，設成為蓋體本體部C21滑動而使處理液用連接部C45及氣體用連接部C55露出的長度。
藉由將蓋體導引溝D12之溝長度設成為上述之長度的方式，在藉由滑動/旋轉機構部D60搬送瓶B時，能夠使蓋體本體部C21自動地滑動，而使處理液用連接部C45及氣體用連接部C55露出。相反地，當從導引部D10拆卸瓶B時，藉由彈簧C23推彈蓋體本體部C21，並藉由蓋體本體部C21覆蓋處理液用連接部C45及氣體用連接部C55。
在連接機構部D20，係連接有從瓶B供給至BCT區塊5等之處理液流動的處理液用配管D45及供給至瓶B內之氣體通過的氣體用配管D55。連接機構部D20，係藉由沿著垂直方向使處理液用配管D45及氣體用配管D55之端部升降的方式，連接處理液用配管D45與設於蓋C的處理液用連接部C45或解除連接。且，連接機構部D20，係藉由沿著垂直方向使處理液用配管D45及氣體用配管D55之端部升降的方式，連接氣體用配管D55與設於蓋C的氣體用連接部C55或解除連接。
更詳細來說，如圖9(a)及圖9(b)所示，連接機構部D20，係構成包含有升降部D21及旋轉部D22。升降部D21，係具有圓柱形狀。升降部D21，係配置為圓柱 形狀之軸線方向與垂直方向平行。在升降部D21，係從升降部D21之上面分別連接有處理液用配管D45之端部及氣體用配管D55之端部。處理液用配管D45之端部及氣體用配管D55之端部，係從升降部D21之下面突出預定長度，且分別構成處理液用連接部C45及氣體用連接部C55的連接部。在處理液用配管D45之端部及氣體用配管D55之端部之從升降部D21之下面突出的部位，係分別安裝有例如O形環S。在升降部D21之周面，係設有突起部D21a。
旋轉部D22，係具有圓筒形狀。旋轉部D22，係配置為圓筒形狀之軸線方向與垂直方向平行。旋轉部D22，係在內部可旋轉地收容升降部D21。在旋轉部D22之內周面，係設有升降導引溝D22a。升降導引溝D22a，係沿著傾斜於旋轉部D22之圓筒形狀之軸線方向的方向延伸。在升降導引溝D22a，係嵌入有升降部D21之突起部D21a。旋轉部D22，係藉由未圖示之驅動源，使圓筒形狀之軸線作為旋轉軸而旋轉。
旋轉部D22，係可旋轉地支撐於導引部D10。又，旋轉部D22之垂直方向的位置，係即使在旋轉部D22旋轉的情況下亦不會改變。因此，當旋轉部D22旋轉時，升降部D21之突起部D21a會被嵌入於升降導引溝D22a，藉此，升降部D21會沿著垂直方向進行升降。
藉由旋轉部D22旋轉而升降部D21下降的方式，處理液用配管D45及氣體用配管D55會移動至下方 側，且分別連接於瓶B之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55。亦即，對處理液用連接部C45，沿著處理液用吸管部C40之一端側部分(瓶B之外側的端部)之處理液用流路R1的延伸方向(垂直方向)，從上方向接近處理液用配管D45，將處理液用配管D45推壓至處理液用連接部C45，藉此，連接處理液用連接部C45與處理液用配管D45。相同地，對氣體用連接部C55，沿著氣體用流路形成部C50之一端側部分之氣體用流路R2的延伸方向，從上方向接近氣體用配管D55，將氣體用配管D55推壓至氣體用連接部C55，藉此，連接氣體用連接部C55與氣體用配管D55。
另一方面，當旋轉部D22在相反方向旋轉時，則藉由升降部D21上升的方式，處理液用配管D45及氣體用配管D55會移動至上方側，且分別解除瓶B之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55與處理液用配管D45及氣體用配管D55之連接。
如此一來，藉由使旋轉部D22旋轉並使升降部D21升降的方式，能夠連接處理液用配管D45及氣體用配管D55與瓶B之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55或解除連接。另外，處理液用配管D45及氣體用配管D55之前端部，係藉由分別插入至處理液用連接部C45及氣體用連接部C55內的方式予以連接。
在旋轉部D22之內周面，係設有從升降導引溝D22a之上側的端部朝向上方延伸之缺口D22b。藉由設 有缺口D22b的方式，可經由缺口D22b，將升降部D21之突起部D21a嵌入於升降導引溝D22a內。例如，在升降導引溝D22a之下方側的端部設置缺口D22b的情況下，使升降部D21移動至下方側時，突起部D21a會通過缺口D22b，升降部D21會落下至下方側。因此，藉由在升降導引溝D22a之上方側的端部設置缺口D22b的方式，可防止升降部D21落下。又，在使升降部D21移動至下方側時，突起部D21a會抵接於升降導引溝D22a之下方側的端部，藉此，可進行升降部D21移動至下方側時之定位。
另外，升降部D21，係亦可在旋轉部D22旋轉時，以不會一同旋轉的方式，與規定升降部D21之旋轉的導引件等卡合。
滑動/旋轉機構部D60，係在藉由起重機32將瓶B搬送至化學台車31內的位置與藉由連接機構部D20將處理液用配管D45等連接至瓶B之蓋C的位置之間，搬送瓶B。滑動/旋轉機構部D60，係具有使瓶B朝水平方向滑動的功能與使瓶B旋轉的功能。滑動/旋轉機構部D60，係使瓶B朝水平方向滑動，並將蓋C嵌入於導引部D10。
又，滑動/旋轉機構部D60，係以朝向蓋C可嵌入於導引部D10之方向及根據起重機32容易握持之方向的方式，使瓶B旋轉。另外，滑動/旋轉機構部D60，係利用攝像機D30來監視被安裝於瓶B之蓋C之蓋導引 C60(參閱圖3(b)等)的方向等，基於監視結果可使瓶B旋轉。
攝像機D30，係在藉由起重機32將瓶B搬送至化學台車31內的位置與藉由連接機構部D20將處理液用配管D45等連接至瓶B之蓋C的位置之間的搬送經路上，從上方對蓋C進行拍攝。攝像機D30之攝像結果，係用以判斷蓋C之方向。且，攝像機D30之攝像結果，係用以讀取附加於蓋C之上面的標籤C30。
接下來，針對蓋更換裝置20、瓶更換裝置30及控制將瓶B搬送至蓋更換裝置20之搬送裝置80的控制部進行說明。如圖10所示，控制部300，係構成包含有搬送控制部310、蓋更換控制部320、滑動/旋轉機構控制部330、圖像處理部340及連接控制部350。另外，控制部300，係亦可設置於處理液供給區塊S4，例如亦可與控制塗佈/顯像裝置1全體之控制部一體設置。
搬送控制部310，係以在瓶保管場所與蓋更換裝置20之間搬送瓶B的方式控制搬送裝置80，且以在對準平台33與化學台車31之間搬送瓶B的方式，控制起重機32與對準平台33。
蓋更換控制部320，係以更換附有吸管之蓋C與搬送時用之蓋的方式，控制第1臂部21及第2臂部22，該附有吸管之蓋C係安裝於從瓶更換裝置30所接收之空的瓶B之開口部，該搬送時用之蓋係安裝於從瓶保管場所搬送之新的瓶B之開口部。
滑動/旋轉機構控制部330，係以在藉由起重機32將瓶B搬送至化學台車31內的位置與藉由連接機構部D20使處理液用配管D45等連接至瓶B之蓋C的位置之間，搬送瓶B的方式，控制滑動/旋轉機構部D60。又，滑動/旋轉機構控制部330，係以使瓶B朝向可將蓋C嵌入於導引部D10之方向及根據起重機32容易握持之方向旋轉的方式，控制滑動/旋轉機構部D60。
圖像處理部340，係基於由攝像機D30所拍攝之畫像，檢測出瓶B之方向。又，圖像處理部340，係讀取附加於蓋C之上面的標籤C30，從而掌握瓶B內之處理液的種類等。
連接控制部350，係以連接處理液用配管D45及氣體用配管D55與瓶B之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55或解除連接的方式，控制旋轉部D22之旋轉並使升降部D21上下。
另外，在控制部300，係輸入有殘量檢測感應器(殘量檢測部)400之檢測結果，該殘量檢測感應器400係用以檢測在化學台車31中供給處理液之瓶B內之處理液的殘量。基於該殘量檢測感應器400之檢測結果，控制部300進行瓶B之更換作業。另外，殘量檢測感應器400，係亦可檢測緩衝槽(該緩衝槽係用以暫時儲存從瓶B供給的處理液)內之處理液的殘量，且亦可基於在處理液用配管D45內流動之處理液的流量來檢測處理液的殘量。且，殘量檢測感應器400，係基於使用攝像機所拍攝的結 果，檢測處理液之殘量等，藉由各種方法，可檢測處理液之殘量。
接下來，使用圖11所示之流程圖，說明更換化學台車31之瓶B時之各部動作的流程。首先，搬送控制部310，係基於殘量檢測感應器400之檢測結果，來判斷在化學台車31中供給處理液之瓶B之處理液的殘量是否已下降至預定值以下(步驟S101)。處理液之殘量不是預定值以下的情況下(步驟S101：NO)，搬送控制部310會重複步驟S101之判斷處理。處理液之殘量為預定值以下的情況下(步驟S101：YES)，搬送控制部310，係控制搬送裝置80，將收容有處理液的瓶B從瓶保管場所搬送到蓋更換裝置20(步驟S102)。
接下來，連接控制部350，係基於殘量檢測感應器400之檢測結果，來判斷在化學台車31中供給處理液之瓶B之處理液的殘量是否為零(步驟S103)。在殘留有處理液之殘量的情況下(步驟S103：NO)，連接控制部350會重複步驟S103之判斷處理。處理液之殘量為零的情況下(步驟S103：YES)，控制部300，係控制各部，將空的瓶B搬送到蓋更換裝置20(步驟S104)。
具體而言，連接控制部350，係如圖12(a)及圖12(b)所示，使連接機構部D20之旋轉部D22旋轉，並使升降部D21上升，而解除處理液用配管D45及氣體用配管D55與瓶B之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之連接。
接下來，滑動/旋轉機構控制部330，係如圖13所示，使滑動/旋轉機構部D60滑動，並使空的瓶B移動至攝像機D30正下方的位置。且，滑動/旋轉機構控制部330，係基於由圖像處理部340所檢測出之蓋C的方向，以朝向根據起重機32容易握持蓋C之方向的方式，使滑動/旋轉機構部D60旋轉。然後，滑動/旋轉機構控制部330，係使滑動/旋轉機構部D60滑動至可藉由起重機32來握持空的瓶B之位置。
接下來，搬送控制部310，係控制起重機32，如圖14(a)及圖14(b)所示，藉由起重機32吊起空的瓶B，如圖15所示，從滑動/旋轉機構部D60上摘除空的瓶B。且，搬送控制部310，係控制起重機32，將所吊起之空的瓶B搬送到對準平台33。搬送控制部310，係控制對準平台33，以朝向根據蓋更換裝置20之第1臂部21或第2臂部22容易握持空的瓶B之方向的方式，使瓶B旋轉。蓋更換控制部320，係控制第1臂部21或第2臂部22，並將對準平台33上之空的瓶B搬入至蓋更換裝置20內。
當收容有處理液之瓶B與空的瓶B被搬送至蓋更換裝置20時，蓋更換控制部320，係更換附有吸管之蓋C與搬送時用之蓋(步驟S105)，該附有吸管之蓋係安裝於空的瓶B之開口部，該搬送時用之蓋係安裝於收容有處理液之新的瓶B之開口部。關於蓋更換裝置20之更換動作，詳細如後述。
接下來，控制部300，係控制各部，將蓋更換後之收容有處理液的瓶B搬送到化學台車31(步驟S106)。具體而言，蓋更換控制部320，係控制第1臂部21或第2臂部22，將蓋更換後之收容有處理液的瓶B搬送至對準平台33上。搬送控制部310，係控制對準平台33，以朝向根據起重機32容易握持收容處理液之瓶B之方向的方式，使瓶B旋轉。且，搬送控制部310，係如圖16(a)及圖16(b)所示，藉由起重機32，將對準平台33上之瓶B搬送到化學台車31內之滑動/旋轉機構部D60。
接下來，滑動/旋轉機構控制部330，係將收容處理液的瓶B搬送到與處理液用配管D45等之連接位置(步驟S107)。具體而言，首先，滑動/旋轉機構控制部330，係使滑動/旋轉機構部D60滑動，如圖17所示，使收容處理液之瓶B移動至攝像機D30正下方的位置。且，滑動/旋轉機構控制部330，係基於由圖像處理部340所檢測出之蓋C的方向，以朝向可將蓋C嵌入於導引部D10之蓋C之方向的方式，使滑動/旋轉機構部D60旋轉。
此時，圖像處理部340，係讀取附加於蓋C之上面的標籤C30，從而掌握瓶B內之處理液的種類等。當不是收容搬入至化學台車31之瓶B所需要之處理液之瓶B的情況下，或是超過保存期限等的情況下，滑動/旋轉機構控制部330係不會將瓶B搬送至與處理液用配管D45的連接位置。當不是收容所需要之處理液之瓶B等的 情況下，控制部300，係控制各部，可進行將瓶B送回到瓶保管場所等之處理。
讀取了標籤C30之結果，若為收容所需要之處理液之瓶B的情況下，滑動/旋轉機構控制部330，係使滑動/旋轉機構部D60滑動，將瓶B搬送至與處理液用配管D45等的連接位置。
接下來，連接控制部350，係如圖18(a)及圖18(b)所示，使旋轉部D22旋轉，並使升降部D21移動至下方，將處理液用配管D45及氣體用配管D55分別連接於蓋C之處理液用連接部C45及氣體用連接部C55(步驟S108)。連接後，進行瓶B內之除泡等，通過處理液用配管D45將瓶B內之處理液供給到BCT區塊5等。
接下來，使用圖19(a)~圖19(f)，說明在蓋更換裝置20中更換被安裝於收容有處理液之瓶B之搬送時用之蓋與安裝於空的瓶B之附有吸管之蓋C的步驟。另外，在圖19(a)~圖19(f)中，為了方便說明，而將空的瓶B設成為空瓶BX，將搬送時間用之蓋設成為搬送時用蓋CX。
在此，係如圖19(a)所示，安裝有蓋C之空瓶BX與安裝有搬送時用蓋CX之瓶B，係從被搬入至蓋更換裝置20內的狀態開始進行蓋之更換作業。首先，蓋更換控制部320，係控制第2臂部22，如圖19(b)及圖19(c)所示，從瓶B拆卸搬送時用蓋CX。接下來，蓋更換控制部320，係控制第1臂部21，如圖19(c)及圖19(d)所示， 從空瓶BX拆卸蓋C，藉由吸管洗淨部23來洗淨蓋C之處理液用吸管部C40。
且，蓋更換控制部320，係控制第1臂部21，如圖19(e)所示，將蓋C安裝於瓶B。然後，蓋更換控制部320，係控制第2臂部22，將搬送時用蓋CX安裝於空瓶BX。如此一來，藉由以蓋更換控制部320控制第1臂部21及第2臂部22的方式，自動地更換附有吸管之蓋C與搬送時用蓋CX。
本實施形態，係構成為如上述，瓶更換裝置30，係將蓋C安裝於瓶B之開口部，直接解除連接於處理液用配管D45之瓶B之處理液用連接部C45與處理液用配管D45之連接，並連接處理液用配管D45與其他瓶B之處理液用連接部C45。藉此，因為處理液用吸管部C40不會露出於外部就可更換瓶B，因此，不會有塵埃等附著於處理液用吸管部C40。因此，在更換瓶B時，可抑制塵埃等進入瓶B內。又，由於具備有進行瓶B之定位的導引部D10，因此，可確實地連接處理液用連接部C45與處理液用配管D45。
化學台車31之連接機構部D20，係藉由使處理液用配管D45沿著垂直方向移動的方式，解除處理液用連接部C45與處理液用配管D45之連接，或是，連接處理液用連接部C45與處理液用配管D45。在該情況下，係僅使處理液用配管D45移動，就可輕易地進行處理液用連接部C45與處理液用配管D45之連接或是連接之解除。
控制部300，係基於由殘量檢測感應器400所檢測出之瓶B內之處理液的殘量，來更換設置於化學台車31之瓶B。特別是，連接控制部350，係在更換瓶B時，控制旋轉部D22之旋轉，使升降部D21升降。如此一來，連接控制部350係控制升降部D21之升降，藉此，可自動地進行瓶B之連接或連接之解除。
瓶更換裝置30，係具備有將瓶B搬入至化學台車31，並從化學台車31搬出瓶B之起重機32及搬送裝置80。藉此，藉由起重機32及搬送裝置80進行瓶之搬送，從而可輕易進行瓶之更換。
作為起重機32及搬送裝置80，可使用起重機、機械手臂或傳送帶。在該情況下，係使用起重機、機械手臂或傳送帶，可輕易地進行瓶之搬送。
起重機32及搬送裝置80，係藉由搬送控制部310來控制。如此一來，搬送控制部310係控制起重機32及搬送裝置80，藉此，可自動地進行瓶B之搬送。
塗佈/顯像裝置1，係具備：處理液供給區塊S4，具有瓶更換裝置30。藉此，可藉由瓶更換裝置30來更換收容了在BCT區塊5等所使用之處理液的瓶B。
以上，雖說明了本發明之一實施形態，但本發明並不限定於上述實施形態者。例如，在上述實施形態中，如圖9(a)及圖9(b)所示，雖係藉由使旋轉部D22旋轉的方式，使升降部D21升降，但如圖20(a)及圖20(b)所示，驅動部D23係亦可使用直接使連接有處理液用配管 D45及氣體用配管D55之端部之升降部D24升降的連接機構部D20A。另外，並不特別限定使升降部D24升降的機構，可使用各種機構。
又，如圖21(a)及圖21(b)所示，藉由使瓶B相對於固定有處理液用配管D45及氣體用配管D55之端部的配管固定部D25升降的方式，亦可分別連接處理液用配管D45及氣體用配管D55與處理液用連接部C45及氣體用連接部C55。在該情況下，亦可在滑動/旋轉機構部D60A附加使瓶B升降的機構。另外，並不特別限定使瓶B升降的機構，可使用各種機構。
雖然在使用圖9(a)等所說明之實施形態中，係使處理液用配管D45及氣體用配管D55側升降，在使用圖21(a)等所說明之變形例中，係使瓶B側升降，但亦可使處理液用配管D45及氣體用配管D55側與瓶B側兩者相對移動從而進行配管之連接。
在實施形態中，如圖3(b)等所示，蓋C之蓋本體部C10雖係設成為具有圓柱形狀，但蓋本體部C10之形狀係不限定於圓柱形狀。例如，如圖22(a)及圖22(b)所示之蓋C1，亦可使用四角柱形之蓋本體部C10A。在該情況下，可在插入至蓋本體部C10A之導引部D10之側的角部設置傾斜面X。藉此，可將蓋本體部C10A輕易地嵌入於導引部D10。
又，在上述實施形態中，如圖3(b)等所示，雖係設成為在蓋C設置蓋導引C60之構成，但如圖22(a) 及圖22(b)所示，亦可為不設置蓋導引的構成。在該情況下，藉由使蓋本體部C10A之側面與導引部D10之壁部D11接觸的方式，可進行蓋C1之定位。
在實施形態中，雖係在蓋C之上面設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部，但如圖23(a)及圖23(b)所示，亦可在蓋C2之側面設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部。在該情況下，處理液用吸管部C40之瓶B外側之端部的處理液用流路R1，係沿著水平方向延伸。相同地，氣體用流路形成部C50之瓶B外側之端部的氣體用流路R2，係沿著水平方向延伸。
該蓋C2，係藉由沿著水平方向而使其移動的方式，嵌入於導引部D10。因此，在將安裝有蓋C之瓶B搬送至水平方向時，亦可藉由瓶B之搬送動作來分別進行處理液用連接部C45及氣體用連接部C55與處理液用配管D45及氣體用配管D55。藉由在蓋C2之側面設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部的方式，可抑制塵埃等經由處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部而進入至瓶B內。
又，如圖24(a)及圖24(b)所示，在蓋C3之側面設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部的情況下，亦可將處理液用連接部C45之開口部及氣體用連接部C55之開口部彼此排列配置於水平方向。
如圖25(a)及圖25(b)所示，在蓋C4之側面分 別設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部的情況下，亦可以覆蓋該些處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部的方式設置蓋體C20A。該情況下，蓋體C20A，係構成包含有蓋體本體部C21A、蓋體導引C22A、彈簧C23A。
蓋體本體部C21A，係具有可撓性。蓋體本體部C21A，係在露出或覆蓋處理液用連接部C45等時，在密接於蓋C4之上面及側面的狀態下滑動。蓋體導引C22A，係固定於蓋體本體部C21A的端部。蓋體導引C22A，係在蓋C4被嵌入於導引部D10時，以與導引部D10之卡合部卡合，而處理液用連接部C45等之開口部露出的方式，使蓋體本體部C21A滑動。彈簧C23A，係將蓋體本體部C21A推彈至覆蓋處理液用連接部C45等之開口部的方向。
藉此，即使是在蓋C4之側面設置處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部的情況下，仍在蓋C4被嵌入於導引部D10時，蓋體導引C22A會與導引部D10之卡合部卡合，藉此，蓋體本體部C21A會滑動。藉此，處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部會露出，且可分別連接處理液用連接部C45及氣體用連接部C55與處理液用配管D45及氣體用配管D55。
又，當從導引部D10拆卸蓋C4時，彈簧C23A會推彈蓋體本體部C21A，藉此，蓋體本體部C21A會滑動，從而藉由蓋體本體部C21A覆蓋處理液用連接部 C45及氣體用連接部C55之開口部。
如圖26(a)及圖26(b)所示，亦可使用板狀之蓋體本體部C21B來代替具有可撓性之蓋體本體部C21A。在該情況下，蓋C5被嵌入於導引部D10時，蓋體導引C22B會卡合於導引部D10之卡合部，並移動至擠壓彈簧C23B的方向。伴隨著該蓋體導引C22B之移動，蓋體本體部C21B，係形成為將蓋體導引C22B附近設成為軸而轉動，且與蓋C5之上面平行之狀態。且，伴隨著蓋體導引C22B的進一步移動，蓋體本體部C21B會與蓋C5之上面重疊。如此一來，即使為具有板狀之蓋體本體部C21B的蓋體C20B，亦可藉由使蓋體本體部C21B轉動的方式，使處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部露出。
又，藉由從導引部D10拆卸蓋C5的方式，彈簧C23B會將與蓋C5之上面重疊的蓋體本體部C21B推彈至從蓋C5之上面推出之方向。藉此，蓋體本體部C21B，係以將蓋體導引C22B附近設成為軸而倒下的方式轉動，藉由蓋體本體部C21B覆蓋處理液用連接部C45及氣體用連接部C55之開口部。
又，如圖27所示之蓋C6般，亦可在蓋本體部C10內設置過濾器F，該過濾器F係過濾在處理液用吸管部C40A的途中流經處理液用流路R1的處理液。在該情況下，係能夠在蓋C過濾處理液。又，僅更換蓋C，而過濾器F亦會被更換，故維修性良好。
又，在處理液用流路R1設置過濾器F的情況下，如圖28所示之蓋C7般，亦可在比處理液用吸管部C40A之過濾器F更往瓶B之位置處連接分歧管C80，並在由處理液用吸管部C40A所形成之處理液用流路R1處連接由分歧管C80所形成的排放用流路R3。在該情況下，係在通過處理液用流路R1供給處理液之前，可通過排放用流路R3進行流經處理液用流路R1之處理液的除泡。
另外，在上述之實施形態中，雖係以搬送裝置80將瓶B從瓶保管場所搬送至處理液供給區塊S4，但亦可以手動來進行搬運。又，瓶更換裝置30之瓶B的更換亦可以手動來進行。
31‧‧‧化學台車
32‧‧‧起重機
C40‧‧‧處理液用吸管部
C22‧‧‧蓋體導引
C60‧‧‧蓋導引
D10‧‧‧導引部
D20‧‧‧連接機構部
D21‧‧‧升降部
D30‧‧‧攝像機
D45‧‧‧處理液用配管
D60‧‧‧滑動/旋轉機構部
B‧‧‧瓶
C‧‧‧蓋

Claims (18)

  1. 一種瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的瓶更換裝置，其特徵係，前述瓶，係具備有密封前述瓶之開口部的瓶蓋，前述瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內；及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，前述更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與前述瓶之前述處理液用連接部連接，且流通從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管；及瓶載置部，將前述瓶搬送至連接前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接位置，前述連接機構部，係具備有使前述處理液用配管沿著垂直方向升降之升降部。
  2. 一種瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的瓶更換裝置，其特徵係，前述瓶，係具備有密封前述瓶之開口部的瓶蓋，前述瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內； 及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，前述更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與前述瓶之前述處理液用連接部連接，且流通從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管；瓶載置部，在連接前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接位置載置前述瓶；及導引部，以在前述瓶載置部連接有前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的方式，進行瓶之定位，前述連接機構部，係具備有使前述處理液用配管沿著垂直方向升降之升降部。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之瓶更換裝置，其中，更具備有：殘量檢測部，檢測出連接於前述處理液用配管之前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下；及連接控制部，係在藉由前述殘量檢測部檢測出前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下時，以解除連接於前述處理液用配管之前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接，並連接前述處理液用配管與其他之前述瓶之前述處理液用連接部的方式，控制前述更換機構。
  4. 一種瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的瓶更換裝置，其特徵係， 前述瓶，係具備有密封前述瓶之開口部的瓶蓋，前述瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內；及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，前述更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與前述瓶之前述處理液用連接部連接，且流通從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管；及瓶載置部，將前述瓶搬送至連接前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接位置，更具備有：殘量檢測部，檢測出連接於前述處理液用配管之前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下；及連接控制部，係在藉由前述殘量檢測部檢測出前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下時，以解除連接於前述處理液用配管之前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接，並連接前述處理液用配管與其他之前述瓶之前述處理液用連接部的方式，控制前述更換機構。
  5. 一種瓶更換裝置，係具備有更換收容處理液之瓶之更換機構的瓶更換裝置，其特徵係，前述瓶，係具備有密封前述瓶之開口部的瓶蓋， 前述瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內；及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，前述更換機構，係具備有：連接機構部，具備有與前述瓶之前述處理液用連接部連接，且流通從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管；瓶載置部，在連接前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接位置載置前述瓶；及導引部，以在前述瓶載置部連接有前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的方式，進行瓶之定位，更具備有：殘量檢測部，檢測出連接於前述處理液用配管之前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下；及連接控制部，係在藉由前述殘量檢測部檢測出前述瓶內之前述處理液的量為預定值以下時，以解除連接於前述處理液用配管之前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接，並連接前述處理液用配管與其他之前述瓶之前述處理液用連接部的方式，控制前述更換機構。
  6. 如申請專利範圍第1或2項之瓶更換裝置，其中，更具備有： 瓶搬送機構，將前述瓶搬送至前述更換機構，並從前述更換機構將瓶搬送至預定位置。
  7. 如申請專利範圍第6項之瓶更換裝置，其中，前述瓶搬送機構，係起重機、機械手臂或傳送帶。
  8. 如申請專利範圍第6項之瓶更換裝置，其中，更具備有：搬送控制部，在前述更換機構進行連接於前述處理液用配管之前述瓶的更換時，以將解除了與前述處理液用配管之連接的前述瓶從前述更換機構搬送至前述預定位置，並將其他之前述瓶搬送至前述更換機構的方式，控制前述瓶搬送機構。
  9. 一種基板處理裝置，其特徵係，具備有：瓶更換裝置，如申請專利範圍第1~8項中任一項之瓶更換裝置；及基板處理部，使用從藉由前述瓶更換裝置所更換之前述瓶供給的前述處理液，對基板進行處理。
  10. 一種瓶更換方法，係更換收容處理液之瓶之瓶更換方法，其特徵係，前述瓶，係具備有密封前述瓶之開口部的瓶蓋，前述瓶蓋，係具備有：處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內；及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述 瓶外側的端部，且連接於流通從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管，藉由使前述瓶及前述處理液用配管中之至少一方升降的方式，解除連接於前述處理液用配管之前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接，並連接前述處理液用配管與其他之前述瓶的前述處理液用連接部，或是，藉由使前述瓶及前述處理液用配管中之至少一方水平移動的方式，解除連接於前述處理液用配管之前述瓶之前述處理液用連接部與前述處理液用配管的連接，並連接前述處理液用配管與其他之前述瓶的前述處理液用連接部。
  11. 一種瓶蓋，係密封收容處理液之瓶之開口部之瓶蓋，其特徵係，具備有：蓋本體部，密封前述瓶之開口部；處理液用吸管部，形成用於將前述瓶內之前述處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內；及處理液用連接部，設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，且連接於流通從前述瓶供給之前述處理液的處理液用配管；處理液用罩蓋體，可覆蓋露出的前述處理液用連接部，前述處理液用連接部，係藉由沿著前述處理液用吸管部之前述瓶外側之端部之前述處理液用流路的延伸方向，使與前述處理液用配管之距離相對接近並相對推壓的方 式，連接於前述處理液用配管，前述處理液用罩蓋體，係具備有：蓋體本體部，設置為可相對於前述蓋本體部滑動，並且可覆蓋露出的前述處理液用連接部；及彈簧，將前述蓋體本體部推彈至覆蓋前述處理液用連接部的方向，在前述蓋體本體部，係設置有止動件部，該止動件部係在藉由前述彈簧推彈前述蓋體本體部後，在覆蓋了前述處理液用連接部的位置，使前述蓋體本體部之滑動停止。
  12. 如申請專利範圍第11項之瓶蓋，其中，前述處理液用吸管部之前述瓶外側之端部的前述處理液用流路，係沿著垂直方向延伸，前述處理液用連接部係連接於從上方向相對接近的前述處理液用配管。
  13. 如申請專利範圍第11項之瓶蓋，其中，前述處理液用吸管部之前述瓶外側之端部的前述處理液用流路，係沿著水平方向延伸，前述處理液用連接部係連接於沿著水平方向而相對接近的前述處理液用配管。
  14. 如申請專利範圍第11~13項中任一項之瓶蓋，其中，前述處理液用連接部，係藉由插入有前述處理液用配管的方式，連接於前述處理液用配管。
  15. 如申請專利範圍第11~13項中任一項之瓶蓋，其中，更具備有：過濾器，過濾流經前述處理液用流路之前述處理液。
  16. 如申請專利範圍第11~13項中任一項之瓶蓋，其 中，更具備有：氣體用流路形成部，係形成用於從前述瓶外將氣體供給至前述瓶內的氣體用流路；及氣體用連接部，係設於前述氣體用流路形成部之前述瓶外側的端部，且連接於流通有供給至前述瓶之氣體的氣體用配管，前述氣體用連接部，係藉由沿著前述氣體用流路形成部之前述瓶外側之端部之前述氣體用流路的延伸方向，使與前述氣體用配管之距離相對接近並相對推壓的方式，連接於前述氣體用配管。
  17. 一種瓶蓋更換裝置，係用以更換具備有處理液用吸管部與處理液用連接部之瓶蓋的瓶蓋更換裝置，該處理液用吸管部，係形成用於將瓶內之處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內，該處理液用連接部，係設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，且連接於流通有從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管，該瓶蓋更換裝置，其特徵係，具有：第1蓋更換機構，從前述瓶拆卸前述瓶蓋，並將前述瓶蓋安裝於已拆卸下搬送時用之蓋的其他瓶；第2蓋更換機構，從前述瓶拆卸前述搬送時用的蓋；及吸管洗淨部，洗淨前述處理液用吸管部。
  18. 一種瓶蓋更換方法，係用以更換具備有處理液用吸管部與處理液用連接部之瓶蓋的瓶蓋更換方法，該處理 液用吸管部，係形成用於將瓶內之處理液供給至前述瓶外的處理液用流路，並且延伸至前述瓶內，該處理液用連接部，係設置於前述處理液用吸管部之前述瓶外側的端部，且連接於流通有從前述瓶所供給之前述處理液的處理液用配管，該瓶蓋更換方法，其特徵係，從前述瓶拆卸前述瓶蓋，接下來，洗淨前述瓶蓋之前述處理液用吸管部，然後，將前述瓶蓋安裝於已拆卸下搬送時用之蓋的其他瓶。
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