JPH0920359A - 溶液供給装置 - Google Patents
溶液供給装置Info
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- JPH0920359A JPH0920359A JP7169422A JP16942295A JPH0920359A JP H0920359 A JPH0920359 A JP H0920359A JP 7169422 A JP7169422 A JP 7169422A JP 16942295 A JP16942295 A JP 16942295A JP H0920359 A JPH0920359 A JP H0920359A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器交換時、溶液と空気との接触の機会を軽
減する。 【構成】 溶液（レジスト）を収容する容器と、前記容
器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給口を気密的
に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給口部から外
した後前記溶液供給口部に気密的に取り付けられる配管
付キャップとを有する溶液供給装置であって、前記配管
付キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器
には接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり
前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在する
ガイド管が設けられている。前記キャップおよび配管付
キャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管
付キャップでキャップを押し出すことによって溶液供給
口部に固定できる構成となっている。
減する。 【構成】 溶液（レジスト）を収容する容器と、前記容
器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給口を気密的
に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給口部から外
した後前記溶液供給口部に気密的に取り付けられる配管
付キャップとを有する溶液供給装置であって、前記配管
付キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器
には接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり
前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在する
ガイド管が設けられている。前記キャップおよび配管付
キャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管
付キャップでキャップを押し出すことによって溶液供給
口部に固定できる構成となっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は溶液供給装置、特にＩＣ
等半導体装置の製造におけるレジスト塗布技術に適用し
て有効な技術に関する。
等半導体装置の製造におけるレジスト塗布技術に適用し
て有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造において、半導体薄板
（ウエハ）の表面にレジスト（ホトレジスト）を塗布す
る工程がある。これらの工程において、レジスト塗布装
置が使用されている。レジスト塗布技術については、た
とえば、株式会社プレスジャーナル発行「月刊Semicond
uctor World 」1985年９月号、同年８月15日発行、P187
（特開昭60-83327号公報）に記載されている。
（ウエハ）の表面にレジスト（ホトレジスト）を塗布す
る工程がある。これらの工程において、レジスト塗布装
置が使用されている。レジスト塗布技術については、た
とえば、株式会社プレスジャーナル発行「月刊Semicond
uctor World 」1985年９月号、同年８月15日発行、P187
（特開昭60-83327号公報）に記載されている。
【０００３】同文献には、スピンナの載置台上のウェー
ハ上にレジストポンプによってレジストタンク内のレジ
ストを供給する構造が記載されている。
ハ上にレジストポンプによってレジストタンク内のレジ
ストを供給する構造が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のレジストタンク
は、たとえば瓶構造の容器となり、容器の溶液供給口部
にはネジ式のキャップが取り付けられている。また、レ
ジストを供給する配管の先端部分は、前記キャップと同
様なネジ式のキャップの中心を貫通する構造（貫通型配
管付キャップ）となり、容器内に配管先端部分が挿入さ
れるようになっている。すなわち、前記配管付キャップ
の下に突出する配管先端部分は、容器内のレジストを上
層から下層に亘って配管内に案内するためのガイド管と
なる。
は、たとえば瓶構造の容器となり、容器の溶液供給口部
にはネジ式のキャップが取り付けられている。また、レ
ジストを供給する配管の先端部分は、前記キャップと同
様なネジ式のキャップの中心を貫通する構造（貫通型配
管付キャップ）となり、容器内に配管先端部分が挿入さ
れるようになっている。すなわち、前記配管付キャップ
の下に突出する配管先端部分は、容器内のレジストを上
層から下層に亘って配管内に案内するためのガイド管と
なる。
【０００５】レジストタンク（容器）の交換において
は、貫通型配管付キャップに対して相対的に容器を回転
させて容器を外す。また、新しい容器のキャップを外
し、貫通型配管付キャップに対して相対的に回転させて
新しい容器を取り付けている。
は、貫通型配管付キャップに対して相対的に容器を回転
させて容器を外す。また、新しい容器のキャップを外
し、貫通型配管付キャップに対して相対的に回転させて
新しい容器を取り付けている。
【０００６】この結果従来の容器の場合、キャップを外
し、貫通型配管付キャップを取り付けるため、容器内に
空気が混入してしまう。空気混入による塗布ムラを防止
するため、交換直後は空気が抜け切るまでレジストの空
出しをしなければならず、レジストが無駄となる。
し、貫通型配管付キャップを取り付けるため、容器内に
空気が混入してしまう。空気混入による塗布ムラを防止
するため、交換直後は空気が抜け切るまでレジストの空
出しをしなければならず、レジストが無駄となる。
【０００７】また、容器交換時、前記ガイド管部分が空
気に晒され、ガイド管の周面に付着しているレジストが
乾燥して硬化してしまい、異物となって新しい容器内に
持ち込まれることになる。異物は塗布ムラの原因の一つ
となる。
気に晒され、ガイド管の周面に付着しているレジストが
乾燥して硬化してしまい、異物となって新しい容器内に
持ち込まれることになる。異物は塗布ムラの原因の一つ
となる。
【０００８】本発明の目的は、容器交換時、溶液と空気
との接触の機会を軽減することができる溶液供給装置を
提供することにある。
との接触の機会を軽減することができる溶液供給装置を
提供することにある。
【０００９】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００１１】（１）溶液（レジスト）を収容する容器
と、前記容器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給
口を気密的に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給
口部から外した後前記溶液供給口部に気密的に取り付け
られる配管付キャップとを有する溶液供給装置であっ
て、前記配管付キャップの配管はキャップ部分までとな
り、前記容器には接続時前記配管付キャップの配管と連
通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘
って延在するガイド管が設けられている。前記キャップ
および配管付キャップは溶液供給口部に対して摺動自在
となり、配管付キャップでキャップを押し出すことによ
って溶液供給口部に固定できる構成となっている。前記
溶液供給口部，キャップ，配管付キャップは気密を維持
できるようにゴム等の弾性体で形成されている。前記配
管付キャップには容器内に不活性の気体（窒素ガス）を
導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部には容器
内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設けられてい
る。前記配管付キャップには配管内を気体が通過した場
合気体を検出できる気体センサが取り付けられている。
前記配管付キャップには異物供給防止用のフィルターが
設けられている。
と、前記容器の溶液供給口部に取り付けられて溶液供給
口を気密的に塞ぐキャップと、前記キャップを溶液供給
口部から外した後前記溶液供給口部に気密的に取り付け
られる配管付キャップとを有する溶液供給装置であっ
て、前記配管付キャップの配管はキャップ部分までとな
り、前記容器には接続時前記配管付キャップの配管と連
通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘
って延在するガイド管が設けられている。前記キャップ
および配管付キャップは溶液供給口部に対して摺動自在
となり、配管付キャップでキャップを押し出すことによ
って溶液供給口部に固定できる構成となっている。前記
溶液供給口部，キャップ，配管付キャップは気密を維持
できるようにゴム等の弾性体で形成されている。前記配
管付キャップには容器内に不活性の気体（窒素ガス）を
導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部には容器
内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設けられてい
る。前記配管付キャップには配管内を気体が通過した場
合気体を検出できる気体センサが取り付けられている。
前記配管付キャップには異物供給防止用のフィルターが
設けられている。
【００１２】
【作用】前記（１）の手段によれば、（ａ）前記配管付
キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器に
は接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり前
記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在するガ
イド管が設けられていることから、容器交換時、容器側
のガイド管と配管付キャップ側の配管とは突き当て状態
となり、レジスト内に空気が混入し難くなり、レジスト
の空出しを少なくできレジストが無駄とならなくなる。
キャップの配管はキャップ部分までとなり、前記容器に
は接続時前記配管付キャップの配管と連通状態となり前
記溶液供給口部から容器底内面近傍に亘って延在するガ
イド管が設けられていることから、容器交換時、容器側
のガイド管と配管付キャップ側の配管とは突き当て状態
となり、レジスト内に空気が混入し難くなり、レジスト
の空出しを少なくできレジストが無駄とならなくなる。
【００１３】（ｂ）容器交換時、容器側のガイド管と配
管付キャップ側の配管とは突き当て状態となり、従来の
ような貫通型配管付キャップの場合のように容器内に配
管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド管部分が空気
に晒されて異物を発生させることがない。
管付キャップ側の配管とは突き当て状態となり、従来の
ような貫通型配管付キャップの場合のように容器内に配
管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド管部分が空気
に晒されて異物を発生させることがない。
【００１４】（ｃ）前記キャップおよび配管付キャップ
は溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャッ
プでキャップを相対的に押し出すことによって配管付キ
ャップに溶液供給口部を固定できる構成となっているこ
とから、容器内のレジストが空気に触れる機会が少なく
なる。
は溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャッ
プでキャップを相対的に押し出すことによって配管付キ
ャップに溶液供給口部を固定できる構成となっているこ
とから、容器内のレジストが空気に触れる機会が少なく
なる。
【００１５】（ｄ）前記キャップおよび配管付キャップ
は溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャッ
プでキャップを押し出すことによって溶液供給口部に固
定できる構成となっていることから、作業性が良くな
る。
は溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャッ
プでキャップを押し出すことによって溶液供給口部に固
定できる構成となっていることから、作業性が良くな
る。
【００１６】（ｅ）前記溶液供給口部，キャップ，配管
付キャップは気密を維持できるようにゴム等の弾性体で
形成されていることから、供給するレジスト中に空気が
混入することがない。
付キャップは気密を維持できるようにゴム等の弾性体で
形成されていることから、供給するレジスト中に空気が
混入することがない。
【００１７】（ｆ）前記配管付キャップには容器内に窒
素ガスを導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部
には容器内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設け
られている。したがって、前記導入孔から容器に高圧の
窒素ガスを導入することによって自動的にレジストを順
次供給できる。
素ガスを導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部
には容器内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設け
られている。したがって、前記導入孔から容器に高圧の
窒素ガスを導入することによって自動的にレジストを順
次供給できる。
【００１８】（ｇ）前記配管付キャップには配管内を気
体が通過した場合気体を検出できる気体センサが取り付
けられている。したがって、気体通過時点でレジストの
供給を停止すれば、ウエハへのレジスト塗布は停止さ
れ、レジスト塗布ムラを防止できる。
体が通過した場合気体を検出できる気体センサが取り付
けられている。したがって、気体通過時点でレジストの
供給を停止すれば、ウエハへのレジスト塗布は停止さ
れ、レジスト塗布ムラを防止できる。
【００１９】（ｈ）前記配管付キャップには異物供給防
止用のフィルターが設けられている。したがって、容器
内に仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運ばれる
ことがない。
止用のフィルターが設けられている。したがって、容器
内に仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運ばれる
ことがない。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００２１】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【００２２】（実施例１）図１は本発明の一実施例（実
施例１）による溶液供給装置の一部を示す斜視図、図２
は本実施例１の溶液供給装置における接続前の容器と配
管付キャップとを示す断面図、図３は本実施例１の溶液
供給装置における接続状態の容器と配管付キャップとを
示す断面図、図４は本実施例１の溶液供給装置における
接続後の容器と配管付キャップとを示す断面図、図５は
本実施例１の溶液供給装置を用いたレジスト塗布装置の
概略構成図である。
施例１）による溶液供給装置の一部を示す斜視図、図２
は本実施例１の溶液供給装置における接続前の容器と配
管付キャップとを示す断面図、図３は本実施例１の溶液
供給装置における接続状態の容器と配管付キャップとを
示す断面図、図４は本実施例１の溶液供給装置における
接続後の容器と配管付キャップとを示す断面図、図５は
本実施例１の溶液供給装置を用いたレジスト塗布装置の
概略構成図である。
【００２３】本実施例１の溶液供給装置が適用されるレ
ジスト塗布装置の概略構成は、図５に示すように、左側
のウエハ処理部１と、その右側の溶液供給装置２とから
なっている。
ジスト塗布装置の概略構成は、図５に示すように、左側
のウエハ処理部１と、その右側の溶液供給装置２とから
なっている。
【００２４】ウエハ処理部１には、スピンコート装置
（スピンナー）２１が配置されている。このスピンコー
ト装置２１は、スピンテーブル２２と、このスピンテー
ブル２２を回転させるスピンモータ２３とからなってい
る。スピンテーブル２２は、スピンモータ２３の回転軸
２４に支持されている。スピンテーブル２２上には、半
導体薄板（ウエハ）２５が真空吸着によって保持され
る。ウエハ２５が高速で回転されている状態で、レジス
ト供給用の配管３３から供給されるレジスト（溶液）８
によって、ウエハ２５の主面にレジストが塗布される。
（スピンナー）２１が配置されている。このスピンコー
ト装置２１は、スピンテーブル２２と、このスピンテー
ブル２２を回転させるスピンモータ２３とからなってい
る。スピンテーブル２２は、スピンモータ２３の回転軸
２４に支持されている。スピンテーブル２２上には、半
導体薄板（ウエハ）２５が真空吸着によって保持され
る。ウエハ２５が高速で回転されている状態で、レジス
ト供給用の配管３３から供給されるレジスト（溶液）８
によって、ウエハ２５の主面にレジストが塗布される。
【００２５】溶液供給装置２は、溶液供給部３と、レジ
スト供給を行うボンベ４等によって構成されている。
スト供給を行うボンベ４等によって構成されている。
【００２６】前記溶液供給部３には、容器５が収容され
ている。前記容器５は、図１乃至図５に示すように、た
とえば、上部が細い瓶構造となり、この細い部分には溶
液供給口部６が嵌合状態で取り付けられている。容器５
は耐薬品性の樹脂、たとえば、四フッ化エチレン樹脂で
形成されている。また、溶液供給口部６は、耐薬品性の
弾性体、たとえば耐薬品性のゴムで形成されている。
ている。前記容器５は、図１乃至図５に示すように、た
とえば、上部が細い瓶構造となり、この細い部分には溶
液供給口部６が嵌合状態で取り付けられている。容器５
は耐薬品性の樹脂、たとえば、四フッ化エチレン樹脂で
形成されている。また、溶液供給口部６は、耐薬品性の
弾性体、たとえば耐薬品性のゴムで形成されている。
【００２７】溶液供給口部６の中心には、ガイド管７が
貫通状態で取り付けられている。前記ガイド管７は上端
は溶液供給口部６の上面から突出しない構造となるとと
もに、下端は容器５の底内面近傍にまで延在している。
ガイド管７は容器５内の溶液、すなわちレジスト８をそ
の上層から下層に亘って容器５外に案内するため設けら
れている。
貫通状態で取り付けられている。前記ガイド管７は上端
は溶液供給口部６の上面から突出しない構造となるとと
もに、下端は容器５の底内面近傍にまで延在している。
ガイド管７は容器５内の溶液、すなわちレジスト８をそ
の上層から下層に亘って容器５外に案内するため設けら
れている。
【００２８】また、溶液供給口部６の中心から外れた位
置には、前記ガイド管７と同様の方向に沿って導孔９が
設けられている。この導孔９は、図５に示すように、前
記ボンベ４に接続された圧送用配管１０から送り込まれ
た不活性の気体、たとえば、窒素ガス（Ｎ2 ガス）１１
を容器５内に導入する孔となる。
置には、前記ガイド管７と同様の方向に沿って導孔９が
設けられている。この導孔９は、図５に示すように、前
記ボンベ４に接続された圧送用配管１０から送り込まれ
た不活性の気体、たとえば、窒素ガス（Ｎ2 ガス）１１
を容器５内に導入する孔となる。
【００２９】溶液供給口部６の容器５から抜けた部分
は、図１および図２に示すように、矩形体１２となって
いる。また、前記矩形体１２の両側には、横方向に沿っ
て嵌合用の嵌合溝１３が設けられている。溶液供給口部
６の溶液供給口１４、すなわちガイド管７の上端孔部分
を塞ぐキャップ１５は、図１に示すように、コの字断面
となるとともに、その両側内面に、前記嵌合溝１３に摺
動自在に嵌合する嵌合凸条１６を有する構造となってい
る。キャップ１５は弾性体、たとえば耐薬品性のゴムで
形成されている。したがって、溶液供給口部６にキャッ
プ１５を側方から摺動嵌合させることによって、溶液供
給口部６の溶液供給口１４を気密的に塞ぐようになる。
また、キャップ１５を外すときはキャップ１５を横方向
に摺動させればよい。
は、図１および図２に示すように、矩形体１２となって
いる。また、前記矩形体１２の両側には、横方向に沿っ
て嵌合用の嵌合溝１３が設けられている。溶液供給口部
６の溶液供給口１４、すなわちガイド管７の上端孔部分
を塞ぐキャップ１５は、図１に示すように、コの字断面
となるとともに、その両側内面に、前記嵌合溝１３に摺
動自在に嵌合する嵌合凸条１６を有する構造となってい
る。キャップ１５は弾性体、たとえば耐薬品性のゴムで
形成されている。したがって、溶液供給口部６にキャッ
プ１５を側方から摺動嵌合させることによって、溶液供
給口部６の溶液供給口１４を気密的に塞ぐようになる。
また、キャップ１５を外すときはキャップ１５を横方向
に摺動させればよい。
【００３０】前記溶液供給部３には、前記容器５の溶液
供給口部６に取り付けられる配管付キャップ３０が設け
られている。
供給口部６に取り付けられる配管付キャップ３０が設け
られている。
【００３１】配管付キャップ３０は、図１および図２に
示すように、キャップ３１と、キャップ３１の天井部３
２に配管３３の先端部分を貫通状態で取り付けた構造と
なっている。キャップ３１は前記キャップ１５と同様な
構造となり、コの字断面の両側の内側に設けた嵌合凸条
３４が、溶液供給口部６の嵌合溝１３に摺動嵌合するよ
うになっている。配管３３の先端は従来の配管付キャッ
プと異なり、天井部３２の下面から外に突出しない構造
となっている。これは、キャップ３１を容器５の溶液供
給口部６に横方向から摺動させて嵌合したり、摺動させ
て取り外すためである。キャップ３１は弾性体、たとえ
ば耐薬品性のゴムで形成されている。これによって、配
管付キャップ３０は容器５の溶液供給口部６に気密的に
取り付けられることになる。
示すように、キャップ３１と、キャップ３１の天井部３
２に配管３３の先端部分を貫通状態で取り付けた構造と
なっている。キャップ３１は前記キャップ１５と同様な
構造となり、コの字断面の両側の内側に設けた嵌合凸条
３４が、溶液供給口部６の嵌合溝１３に摺動嵌合するよ
うになっている。配管３３の先端は従来の配管付キャッ
プと異なり、天井部３２の下面から外に突出しない構造
となっている。これは、キャップ３１を容器５の溶液供
給口部６に横方向から摺動させて嵌合したり、摺動させ
て取り外すためである。キャップ３１は弾性体、たとえ
ば耐薬品性のゴムで形成されている。これによって、配
管付キャップ３０は容器５の溶液供給口部６に気密的に
取り付けられることになる。
【００３２】前記配管３３は、溶液供給部３からウエハ
処理部１に亘って延在し、先端はウエハ処理部１のスピ
ンテーブル２２上方に位置している。この配管３３は、
容器５内のレジスト８をウエハ処理部１のウエハ２５上
に案内する管である。配管３３は耐薬品性の透明性の樹
脂、たとえば四フッ化エチレン樹脂で形成されている。
処理部１に亘って延在し、先端はウエハ処理部１のスピ
ンテーブル２２上方に位置している。この配管３３は、
容器５内のレジスト８をウエハ処理部１のウエハ２５上
に案内する管である。配管３３は耐薬品性の透明性の樹
脂、たとえば四フッ化エチレン樹脂で形成されている。
【００３３】配管付キャップ３０の天井部３２には、図
２に示すように、発光素子３６と受光素子３７とからな
る気体センサ３８が内蔵されている。発光素子３６と受
光素子３７は、図２に示すように、配管３３を挟むよう
に配置され、配管３３内をレジスト８が通過している状
態と、Ｎ2 ガスや空気等の気体が通過する状態とを光学
的に検出するようになっている。これにより、ウエハ２
５上に気体が混じったレジスト８が供給されないように
なる。前記発光素子３３および受光素子３４から延びる
配線は、図示はしないが制御装置に接続される。なお、
図５では発光素子３６，受光素子３７等は省略してあ
る。
２に示すように、発光素子３６と受光素子３７とからな
る気体センサ３８が内蔵されている。発光素子３６と受
光素子３７は、図２に示すように、配管３３を挟むよう
に配置され、配管３３内をレジスト８が通過している状
態と、Ｎ2 ガスや空気等の気体が通過する状態とを光学
的に検出するようになっている。これにより、ウエハ２
５上に気体が混じったレジスト８が供給されないように
なる。前記発光素子３３および受光素子３４から延びる
配線は、図示はしないが制御装置に接続される。なお、
図５では発光素子３６，受光素子３７等は省略してあ
る。
【００３４】一方、前記配管３３の途中には、図２に示
すように、フィルター３９が取り付けられ、異物を通過
させないようになっている。前記フィルター３９の取り
付け位置は限定されるものではない。たとえば、配管３
３の途中ではなく、先端（内端）に取り付けるようにす
れば、交換が容易となる。
すように、フィルター３９が取り付けられ、異物を通過
させないようになっている。前記フィルター３９の取り
付け位置は限定されるものではない。たとえば、配管３
３の途中ではなく、先端（内端）に取り付けるようにす
れば、交換が容易となる。
【００３５】他方、前記配管付キャップ３０のキャップ
３１には、前記溶液供給口部６の導孔９に連通状態とな
る導入孔４０が設けられている。この導入孔４０には、
前記ボンベ４に接続される圧送用配管１０の先端が接続
される。ボンベ４のバルブ４１の開閉制御によって、窒
素ガス１１の容器５への供給，停止を制御できる。
３１には、前記溶液供給口部６の導孔９に連通状態とな
る導入孔４０が設けられている。この導入孔４０には、
前記ボンベ４に接続される圧送用配管１０の先端が接続
される。ボンベ４のバルブ４１の開閉制御によって、窒
素ガス１１の容器５への供給，停止を制御できる。
【００３６】本実施例１では、バルブ４１を開くことに
よって、容器５のレジスト８の表面に窒素ガス１１によ
って圧力が加わり、これによってガイド管７，配管３３
内をレジスト８が流れてレジスト塗布が行われる。
よって、容器５のレジスト８の表面に窒素ガス１１によ
って圧力が加わり、これによってガイド管７，配管３３
内をレジスト８が流れてレジスト塗布が行われる。
【００３７】本実施例１の溶液供給装置２において、配
管付キャップ３０に接続されている容器５の交換を行う
ときは、配管付キャップ３０の嵌合凸条３４に沿う方向
に相対的に容器５を摺動させて配管付キャップ３０から
容器５を外し、その後、新しい容器５を取り付ける。こ
の取付時、配管付キャップ３０の嵌合凸条３４と新しい
容器５のキャップ１５の嵌合凸条１６を同一線となるよ
うにし、その後容器５を嵌合凸条３４に沿う方向に移動
させることによって、キャップ１５の取り外しと、配管
付キャップ３０への容器５の取り付けが同時に行え、容
器５内のレジスト８が空気に触れないようにすることが
できる。なお、配管付キャップ３０から容器５を取り外
した後は、時間をおくことなく直ぐに新しい容器５を配
管付キャップ３０に取り付ける。これによって、配管付
キャップ３０の配管３３の先端部分に付着するレジスト
の乾燥硬化を防ぐことができる。この際、乾燥化し始め
たレジストを拭いて除去した後、新しい容器５を取り付
けるようにしてもよい。
管付キャップ３０に接続されている容器５の交換を行う
ときは、配管付キャップ３０の嵌合凸条３４に沿う方向
に相対的に容器５を摺動させて配管付キャップ３０から
容器５を外し、その後、新しい容器５を取り付ける。こ
の取付時、配管付キャップ３０の嵌合凸条３４と新しい
容器５のキャップ１５の嵌合凸条１６を同一線となるよ
うにし、その後容器５を嵌合凸条３４に沿う方向に移動
させることによって、キャップ１５の取り外しと、配管
付キャップ３０への容器５の取り付けが同時に行え、容
器５内のレジスト８が空気に触れないようにすることが
できる。なお、配管付キャップ３０から容器５を取り外
した後は、時間をおくことなく直ぐに新しい容器５を配
管付キャップ３０に取り付ける。これによって、配管付
キャップ３０の配管３３の先端部分に付着するレジスト
の乾燥硬化を防ぐことができる。この際、乾燥化し始め
たレジストを拭いて除去した後、新しい容器５を取り付
けるようにしてもよい。
【００３８】本実施例１の溶液供給装置は以下の効果が
得られる。
得られる。
【００３９】（１）配管付キャップ３０の配管３３はキ
ャップ３１部分までとなり、容器５には接続時、前記配
管付キャップ３０の配管３３と連通状態となり前記溶液
供給口部６から容器底内面近傍に亘って延在するガイド
管７が設けられていることから、容器交換時、容器５側
のガイド管７と配管付キャップ３０側の配管３３とは突
き当て状態となり、レジスト８内に空気が混入し難くな
り、レジストの空出しを少なくできレジストが無駄とな
らなくなる。
ャップ３１部分までとなり、容器５には接続時、前記配
管付キャップ３０の配管３３と連通状態となり前記溶液
供給口部６から容器底内面近傍に亘って延在するガイド
管７が設けられていることから、容器交換時、容器５側
のガイド管７と配管付キャップ３０側の配管３３とは突
き当て状態となり、レジスト８内に空気が混入し難くな
り、レジストの空出しを少なくできレジストが無駄とな
らなくなる。
【００４０】（２）容器交換時、容器５側のガイド管７
と配管付キャップ３０側の配管３３とは突き当て状態と
なり、従来のような貫通型配管付キャップの場合のよう
に容器内に配管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド
管部分が空気に晒されて異物を発生させることがない。
これにより、ウエハ２５の主面に異物を供給することが
防げる。
と配管付キャップ３０側の配管３３とは突き当て状態と
なり、従来のような貫通型配管付キャップの場合のよう
に容器内に配管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド
管部分が空気に晒されて異物を発生させることがない。
これにより、ウエハ２５の主面に異物を供給することが
防げる。
【００４１】（３）キャップ１５および配管付キャップ
３０のキャップ３１は溶液供給口部６に対して摺動自在
となり、配管付キャップ３０でキャップ１５を相対的に
押し出すことによって配管付キャップ３０に容器５の溶
液供給口部６を固定できる構成となっていることから、
容器５内のレジスト８が空気に触れる機会が少なくな
る。これによって、レジスト８の乾燥による異物発生が
防止できる。また、レジスト８と空気の混入も防げる。
３０のキャップ３１は溶液供給口部６に対して摺動自在
となり、配管付キャップ３０でキャップ１５を相対的に
押し出すことによって配管付キャップ３０に容器５の溶
液供給口部６を固定できる構成となっていることから、
容器５内のレジスト８が空気に触れる機会が少なくな
る。これによって、レジスト８の乾燥による異物発生が
防止できる。また、レジスト８と空気の混入も防げる。
【００４２】（４）キャップ１５および配管付キャップ
３０のキャップ３１は溶液供給口部６に対して摺動自在
となり、配管付キャップ３０でキャップ１５を相対的に
押し出すことによって配管付キャップ３０に溶液供給口
部６を固定できる構成となっていることから、作業性が
良くなる。すなわち、新しい容器５の取り付けはワンタ
ッチで行えることになる。
３０のキャップ３１は溶液供給口部６に対して摺動自在
となり、配管付キャップ３０でキャップ１５を相対的に
押し出すことによって配管付キャップ３０に溶液供給口
部６を固定できる構成となっていることから、作業性が
良くなる。すなわち、新しい容器５の取り付けはワンタ
ッチで行えることになる。
【００４３】（５）溶液供給口部６，キャップ１５，配
管付キャップ３０のキャップ３１は気密を維持できるよ
うにゴム等の弾性体で形成されていることから、供給す
るレジスト８中に空気が混入することがない。したがっ
て、レジストの塗布ムラが発生し難くなり、均一，均質
なレジスト塗布が達成できる。
管付キャップ３０のキャップ３１は気密を維持できるよ
うにゴム等の弾性体で形成されていることから、供給す
るレジスト８中に空気が混入することがない。したがっ
て、レジストの塗布ムラが発生し難くなり、均一，均質
なレジスト塗布が達成できる。
【００４４】（６）配管付キャップ３０には容器５内に
窒素ガス１１を導入する導入孔４０が設けられ、前記溶
液供給口部６には容器５内と前記導入孔４０とを連通状
態とする導孔９が設けられている。したがって、前記導
入孔４０から容器５に高圧の窒素ガス１１を導入するこ
とによって自動的にレジストを順次供給できる。
窒素ガス１１を導入する導入孔４０が設けられ、前記溶
液供給口部６には容器５内と前記導入孔４０とを連通状
態とする導孔９が設けられている。したがって、前記導
入孔４０から容器５に高圧の窒素ガス１１を導入するこ
とによって自動的にレジストを順次供給できる。
【００４５】（７）配管付キャップ３０には配管３３内
を気体が通過した場合気体を検出できる気体センサ３８
が取り付けられている。したがって、気体通過時点でレ
ジストの供給を停止すれば、ウエハ２５へのレジスト塗
布は停止され、レジスト塗布ムラを防止できる。
を気体が通過した場合気体を検出できる気体センサ３８
が取り付けられている。したがって、気体通過時点でレ
ジストの供給を停止すれば、ウエハ２５へのレジスト塗
布は停止され、レジスト塗布ムラを防止できる。
【００４６】（８）配管付キャップ３０には異物供給防
止用のフィルター３９が設けられている。したがって、
容器５内に仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運
ばれることがなく、塗布ムラの発生を防止できる。
止用のフィルター３９が設けられている。したがって、
容器５内に仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運
ばれることがなく、塗布ムラの発生を防止できる。
【００４７】（実施例２）図６は本発明の他の実施例
（実施例２）による溶液供給装置の一部を示す断面図で
ある。本実施例２では、容器５を容易に潰れるような薄
いもので形成しておく。また、溶液供給口部６には本実
施例１のような導孔９を設けない。これは、本実施例１
が外圧によるレジストの押し出しによる塗布である機構
とは異なり、配管３３側からの真空吸引式によるレジス
ト供給機構によるものである。本実施例２の溶液供給装
置では、容器５がレジスト８の減少とともに潰れるた
め、容器５内のレジスト８を最後まで残さずに使い切る
ことができる効果がある。
（実施例２）による溶液供給装置の一部を示す断面図で
ある。本実施例２では、容器５を容易に潰れるような薄
いもので形成しておく。また、溶液供給口部６には本実
施例１のような導孔９を設けない。これは、本実施例１
が外圧によるレジストの押し出しによる塗布である機構
とは異なり、配管３３側からの真空吸引式によるレジス
ト供給機構によるものである。本実施例２の溶液供給装
置では、容器５がレジスト８の減少とともに潰れるた
め、容器５内のレジスト８を最後まで残さずに使い切る
ことができる効果がある。
【００４８】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
装置製造におけるレジスト塗布装置に適用した例につい
て説明したが、ガラス膜を形成するＳＯＧ（Spine On G
lass）塗布技術にも適用できる。本発明は少なくとも溶
液を塗布する技術には適用できる。
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
装置製造におけるレジスト塗布装置に適用した例につい
て説明したが、ガラス膜を形成するＳＯＧ（Spine On G
lass）塗布技術にも適用できる。本発明は少なくとも溶
液を塗布する技術には適用できる。
【００５０】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【００５１】（１）配管付キャップの配管はキャップ部
分までとなり、容器には接続時、前記配管付キャップの
配管と連通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面
近傍に亘って延在するガイド管が設けられていることか
ら、容器交換時、容器側のガイド管と配管付キャップ側
の配管とは突き当て状態となり、レジスト内に空気が混
入し難くなり、レジストの空出しを少なくできレジスト
が無駄とならなくなる。
分までとなり、容器には接続時、前記配管付キャップの
配管と連通状態となり前記溶液供給口部から容器底内面
近傍に亘って延在するガイド管が設けられていることか
ら、容器交換時、容器側のガイド管と配管付キャップ側
の配管とは突き当て状態となり、レジスト内に空気が混
入し難くなり、レジストの空出しを少なくできレジスト
が無駄とならなくなる。
【００５２】（２）容器交換時、容器側のガイド管と配
管付キャップ側の配管とは突き当て状態となり、従来の
ような貫通型配管付キャップの場合のように容器内に配
管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド管部分が空気
に晒されて異物を発生させることがない。これにより、
ウエハの主面に異物を供給することが防げる。
管付キャップ側の配管とは突き当て状態となり、従来の
ような貫通型配管付キャップの場合のように容器内に配
管先端部分を挿入しなくなり、前記ガイド管部分が空気
に晒されて異物を発生させることがない。これにより、
ウエハの主面に異物を供給することが防げる。
【００５３】（３）キャップおよび配管付キャップのキ
ャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付
キャップでキャップを相対的に押し出すことによって配
管付キャップに容器の溶液供給口部を固定できる構成と
なっていることから、容器内のレジストが空気に触れる
機会が少なくなる。これによって、レジストの乾燥によ
る異物発生が防止できる。また、レジストと空気の混入
も防げる。
ャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付
キャップでキャップを相対的に押し出すことによって配
管付キャップに容器の溶液供給口部を固定できる構成と
なっていることから、容器内のレジストが空気に触れる
機会が少なくなる。これによって、レジストの乾燥によ
る異物発生が防止できる。また、レジストと空気の混入
も防げる。
【００５４】（４）キャップおよび配管付キャップのキ
ャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付
キャップでキャップを相対的に押し出すことによって配
管付キャップに溶液供給口部を固定できる構成となって
いることから、作業性が良くなる。すなわち、新しい容
器の取り付けはワンタッチで行えることになる。
ャップは溶液供給口部に対して摺動自在となり、配管付
キャップでキャップを相対的に押し出すことによって配
管付キャップに溶液供給口部を固定できる構成となって
いることから、作業性が良くなる。すなわち、新しい容
器の取り付けはワンタッチで行えることになる。
【００５５】（５）溶液供給口部，キャップ，配管付キ
ャップのキャップは気密を維持できるようにゴム等の弾
性体で形成されていることから、供給するレジスト中に
空気が混入することがない。したがって、レジストの塗
布ムラが発生し難くなり、均一，均質なレジスト塗布が
達成できる。
ャップのキャップは気密を維持できるようにゴム等の弾
性体で形成されていることから、供給するレジスト中に
空気が混入することがない。したがって、レジストの塗
布ムラが発生し難くなり、均一，均質なレジスト塗布が
達成できる。
【００５６】（６）配管付キャップには容器内に窒素ガ
スを導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部には
容器内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設けられ
ている。したがって、前記導入孔から容器に高圧の窒素
ガスを導入することによって自動的にレジストを順次供
給できる。
スを導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部には
容器内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設けられ
ている。したがって、前記導入孔から容器に高圧の窒素
ガスを導入することによって自動的にレジストを順次供
給できる。
【００５７】（７）配管付キャップには配管内を気体が
通過した場合気体を検出できる気体センサが取り付けら
れている。したがって、気体通過時点でレジストの供給
を停止すれば、ウエハへのレジスト塗布は停止され、レ
ジスト塗布ムラを防止できる。
通過した場合気体を検出できる気体センサが取り付けら
れている。したがって、気体通過時点でレジストの供給
を停止すれば、ウエハへのレジスト塗布は停止され、レ
ジスト塗布ムラを防止できる。
【００５８】（８）配管付キャップには異物供給防止用
のフィルターが設けられている。したがって、容器内に
仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運ばれること
がなく、塗布ムラの発生を防止できる。
のフィルターが設けられている。したがって、容器内に
仮に異物が存在してもウエハ主面に異物が運ばれること
がなく、塗布ムラの発生を防止できる。
【図１】本発明の一実施例（実施例１）による溶液供給
装置の一部を示す斜視図である。
装置の一部を示す斜視図である。
【図２】本実施例１の溶液供給装置における接続前の容
器と配管付キャップとを示す断面図である。
器と配管付キャップとを示す断面図である。
【図３】本実施例１の溶液供給装置における接続状態の
容器と配管付キャップとを示す断面図である。
容器と配管付キャップとを示す断面図である。
【図４】本実施例１の溶液供給装置における接続後の容
器と配管付キャップとを示す断面図である。
器と配管付キャップとを示す断面図である。
【図５】本実施例１の溶液供給装置を用いたレジスト塗
布装置の概略構成図である。
布装置の概略構成図である。
【図６】本発明の他の実施例（実施例２）による溶液供
給装置における接続状態の容器と配管付キャップとを示
す断面図である。
給装置における接続状態の容器と配管付キャップとを示
す断面図である。
１…ウエハ処理部、２…溶液供給装置、３…溶液供給
部、４…ボンベ、５…容器、６…溶液供給口部、７…ガ
イド管、８…レジスト、９…導孔、１０…圧送用配管、
１１…窒素ガス、１２…矩形体、１３…嵌合溝、１４…
溶液供給口、１５…キャップ、１６…嵌合凸条、２１…
スピンコート装置、２２…スピンテーブル、２３…スピ
ンモータ、２４…回転軸、２５…ウエハ、３０…配管付
キャップ、３１…キャップ、３２…天井部、３３…配
管、３４…嵌合凸条、３６…発光素子、３７…受光素
子、３８…気体センサ、３９…フィルター、４０…導入
孔、４１…バルブ。
部、４…ボンベ、５…容器、６…溶液供給口部、７…ガ
イド管、８…レジスト、９…導孔、１０…圧送用配管、
１１…窒素ガス、１２…矩形体、１３…嵌合溝、１４…
溶液供給口、１５…キャップ、１６…嵌合凸条、２１…
スピンコート装置、２２…スピンテーブル、２３…スピ
ンモータ、２４…回転軸、２５…ウエハ、３０…配管付
キャップ、３１…キャップ、３２…天井部、３３…配
管、３４…嵌合凸条、３６…発光素子、３７…受光素
子、３８…気体センサ、３９…フィルター、４０…導入
孔、４１…バルブ。
Claims (6)
- 【請求項１】 溶液を収容する容器と、前記容器の溶液
供給口部に取り付けられて溶液供給口を気密的に塞ぐキ
ャップと、前記キャップを溶液供給口部から外した後前
記溶液供給口部に気密的に取り付けられる配管付キャッ
プとを有する溶液供給装置であって、前記配管付キャッ
プの配管はキャップ部分までとなり、前記容器には接続
時前記配管付キャップの配管と連通状態となり前記溶液
供給口部から容器底内面近傍に亘って延在するガイド管
が設けられていることを特徴とする溶液供給装置。 - 【請求項２】 前記キャップおよび配管付キャップは溶
液供給口部に対して摺動自在となり、配管付キャップで
キャップを押し出すことによって溶液供給口部に固定で
きる構成となっていることを特徴とする請求項１記載の
溶液供給装置。 - 【請求項３】 前記溶液供給口部，キャップ，配管付キ
ャップは気密を維持できるように弾性体で形成されてい
ることを特徴とする請求項１または請求項２記載の溶液
供給装置。 - 【請求項４】 前記配管付キャップには容器内に気体を
導入する導入孔が設けられ、前記溶液供給口部には容器
内と前記導入孔とを連通状態とする導孔が設けられてい
ることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１
項記載の溶液供給装置。 - 【請求項５】 前記配管付キャップには配管内を気体が
通過した場合気体を検出できる気体センサが取り付けら
れていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいず
れか１項記載の溶液供給装置。 - 【請求項６】 前記配管付キャップには異物供給防止用
のフィルターが設けられていることを特徴とする請求項
１乃至請求項５のいずれか１項記載の溶液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7169422A JPH0920359A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 溶液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7169422A JPH0920359A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 溶液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0920359A true JPH0920359A (ja) | 1997-01-21 |
Family
ID=15886306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7169422A Pending JPH0920359A (ja) | 1995-07-05 | 1995-07-05 | 溶液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0920359A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011233789A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給機構 |
| CN103400785A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于光刻胶瓶的导管 |
| JP2015034016A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 |
| JP2015035462A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ボトルキャップ、ボトルキャップ交換装置、及び、ボトルキャップ交換方法 |
| KR20150018453A (ko) | 2013-08-08 | 2015-02-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법 |
| KR20170129760A (ko) * | 2015-03-26 | 2017-11-27 | 호야 가부시키가이샤 | 레지스트액 보관 용기, 레지스트액 공급 장치, 레지스트액 도포 장치, 레지스트액 보존 장치 및 마스크 블랭크의 제조 방법 |
| US9989855B2 (en) | 2016-02-18 | 2018-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical supply unit capable of automatically replacing a canister and a substrate treatment apparatus having the same |
-
1995
- 1995-07-05 JP JP7169422A patent/JPH0920359A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011233789A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Tokyo Electron Ltd | 処理液供給機構 |
| JP2015034016A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 |
| JP2015035462A (ja) * | 2013-08-08 | 2015-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ボトルキャップ、ボトルキャップ交換装置、及び、ボトルキャップ交換方法 |
| KR20150018453A (ko) | 2013-08-08 | 2015-02-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 보틀 교환 장치, 기판 처리 장치, 보틀 교환 방법, 보틀 캡, 보틀 캡 교환 장치 및 보틀 캡 교환 방법 |
| TWI567010B (zh) * | 2013-08-08 | 2017-01-21 | Tokyo Electron Ltd | Bottle replacement device, substrate processing device, bottle replacement method, cap, cap replacement device and cap replacement method |
| US10000331B2 (en) | 2013-08-08 | 2018-06-19 | Tokyo Electron Limited | Bottle change apparatus, substrate treatment apparatus, bottle change method, bottle cap, bottle cap change apparatus and bottle cap change method |
| CN103400785A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种用于光刻胶瓶的导管 |
| KR20170129760A (ko) * | 2015-03-26 | 2017-11-27 | 호야 가부시키가이샤 | 레지스트액 보관 용기, 레지스트액 공급 장치, 레지스트액 도포 장치, 레지스트액 보존 장치 및 마스크 블랭크의 제조 방법 |
| US9989855B2 (en) | 2016-02-18 | 2018-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Chemical supply unit capable of automatically replacing a canister and a substrate treatment apparatus having the same |
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