JP2010171314A - ストッカー装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
装置の大型化を抑えることができるとともに、効率良く基板の払出及び回収が行えるストッカー装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】
基板処理装置本体1に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープFを載置するオープナー10a〜10dと、フープFを把持して搬送する搬送機構と、オープナー10a〜10dの上方に位置してフープFを載置する棚20とを備え、棚20は、外部搬送装置からフープFを受け取るための受取棚21と、外部搬送装置にフープFを引き渡すための引渡棚22と、基板Wが払出された後の空になったフープFを保管する処理中用保管棚BF1、BF2とを含み、オープナー10a〜10dは、基板Wを払出すための払出専用オープナー10a、10bと、基板を回収するための回収専用オープナー10c、10dとを含むことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
すなわち、オープナーに相当する装置と、インデクサ機構とで構成される基板処理装置において、オープナーに相当する装置のフープFを載置する載置台とインデクサ機構との間には、2段からなるフープFを収納できる直方体状のコンテナが備えられている。このコンテナは、上下に昇降するようになっている。
すなわち、基板Wの払出が終了して空になったフープFを別の位置に搬送させ、他の未処理の基板Wを収納したフープFを代わりに搬送して、フープF内の基板を払出すことで、多くの基板Wを基板処理装置に供給することができるが、所定の処理が終了した基板Wを回収する空のフープFが、予めオープナーに待機するようにしていなければ回収できなく、基板Wを回収する空のフープが遅れて搬送されると、待機している時間が発生するなど、効率良く回収することができない。また、予め、空のフープFを搬送して処理済みの基板Wを回収するルールを決めておかなければ、円滑な運用は難しい。
すなわち、請求項1に記載の発明は、枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置において、基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、フープを把持して搬送する搬送機構と、少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、前記オープナーの上方に位置してフープを載置する棚とを備え、前記棚は、外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするものである。
図1は、本発明の実施例に係るストッカー装置2を備えた基板処理装置の側面から見た部分縦断面図であり、図2は、図1で示したストッカー装置2を備えた基板処理装置のストッカー装置2のA‐A断面図であり、また、図3は、図1で示したストッカー装置2を備えた基板処理装置のB‐B断面図である。
インデクサブロック3は、基板Wの搬送を行うインデクサ機構7を備えている。このインデクサ機構7は、ストッカー装置2のオープナー10にセットされたフープF内の基板Wを取り出して、処理ブロック4との間に介在する載置台8へ搬送する。この載置台8は、積層構造の処理ブロック4の各段ごとに配設されておりインデクサブロック3と処理ブロック4間の基板Wの受渡しのために用いられる。なお、処理済みの基板Wが載置台8に載置されたときは、インデクサ機構7は、載置台8からフープF内へ基板Wを収納する。
ストッカー装置2は、インデクサブロック3と隣接する面に、複数枚の基板Wを多段に収納する容器であるフープF内の基板Wの払出及び回収を行うために、フープFを載置するオープナー10と、フープFを載置して保管する棚20とを備え、さらに、フープFを把持して搬送する搬送機構30とを備えている。
図3に示すように、搬送機構30は、フープFの上部を把持する把持部31と、この把持部31と接続し、前後進移動する多関節アーム機構32とを備えている。この多関節アーム機構32は、基端側が支持ブロック33によって支えられ、この支持ブロック33は、第1移動機構34によって、オープナー10a〜10dの並設方向である、ストッカー装置の幅(X軸)方向に移動するようになっている。さらに、この第1移動機構34は、一対の第2移動機構35によって上下(Z軸)方向に移動するようになっている。これにより搬送機構30は、フープFをオープナー10及び棚20の各位置へ自在に搬送することができるようになっている。
図4を参照して、外部搬送装置40とストッカー装置2との間のフープFの受渡しについて説明する。
図5は、外部搬送装置40及び本実施例の基板処理装置におけるフープFの搬送に係る制御系のブロック図である。
次に、ストッカー装置の動作の説明を図6から図8、図27及び図28を参照して説明する。
まず、図6のフローチャートを参照して動作の説明をする。
外部搬送装置40によってフープFが受取棚21に搬送され、載置される。
フープFが受取棚21に載置されると、まず、払出専用のオープナー10a、10bが空いているかどうか(搬送できるか否か)を判定する。具体的には、オープナー10a、10bに設けられた図示しないセンサーが、フープFの存在の有無を検出することにより、オープナー10a、10bが空いているかどうかを制御部83が判定する。空いている(搬送できる)場合は、オープナー10a、10bのいずれか一方にフープFが搬送される。例えば、オープナー10aのみが、空いている場合は、フープFを受取棚21からオープナー10aに搬送する。また、両方とも空いている場合は、オープナー10aを優先して置くようにしてもよい。
払出専用のオープナー10a、10bが共に空いていない場合(他のフープが載置されていて搬送できない場合)は、次に、処理前用保管棚BFBが空いているかどうかを判定する。この判定は、上述したオープナー10a、10bの場合と同様に、処理前用保管棚BFBに設けられた図示しないセンサーからの検出信号に基づき、制御部83が判定する。このような判定手法は、他のオープナー10c、10eや、その他の棚20についても同様であるので、以下ではその説明は省略する。処理前用保管棚BFBが空いている場合は、フープFを受取棚21から処理前用保管棚BFBに搬送する。一方、処理前用保管棚BFBが空いていない場合は、受取棚21において処理前用保管棚BFBが空くまで待機する。
処理前用保管棚BFBが空いている場合は、搬送機構30によって、フープFが処理前用保管棚BFBに載置される。
処理前用保管棚BFBに載置されたフープFは、払出専用のオープナー10a、10bが空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理前用保管棚BFBからオープナー10a、10bのいずれか一方に搬送する。空いていない場合は、その位置(処理前用保管棚BFB)において、オープナー10a、10bのいずれか一方が空くまで待機する。
オープナー10a、10bのいずれか一方に空が生じた場合は、搬送機構30によって、フープFが空いているいずれか一方のオープナー10a又は10bに載置される。そして、オープナー10a、10bによってフープFの蓋が開けられ、順次、基板処理装置内に基板Wの払出が行われる。
インデクサ機構7によって、フープF内の基板Wの払出が終了した後、回収専用のオープナー10c、10dが空いているかどうかを判定する。空いている場合は基板Wの払出しが終了したオープナー10a又は10bから、空きが生じているオープナー10c又は10dに、空のフープFを搬送する。例えば、オープナー10c、10dの両方とも空いている場合は、オープナー10cを優先して置くようにしてもよい。
回収専用のオープナー10c、10dが共に空いていない場合は、次に、処理中用保管棚BF1、BF2が空いているかどうかを判定する。空いている場合は払出専用のオープナー10a又は10bから、処理中用保管棚BF1、BF2のいずれか一方に空のフープFを搬送する。例えば、両方とも空いている場合は、処理中用保管棚BF1を優先して置くようにしてもよい。一方、空いていない場合は、払い出しの終わったオープナー10a又は10bにおいて、処理中用保管棚BF1、BF2のいずれか一方が空くまで待機する。
処理中用保管棚BF1、BF2に空きがある場合、搬送機構30によって、空のフープFが、空いている処理中用保管棚BF1又はBF2に搬送される。
処理中用保管棚BF1、BF2にフープFが載置された後、回収専用のオープナー10c、10dのいずれか一方が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理中用保管棚BF1又はBF2から、回収専用のオープナー10c、10dのいずれか一方に搬送される。このとき、処理中用保管棚BF1とBF2ともに、載置されている場合、2つのフープの内、先に保管されたフープFを、空いている回収専用のオープナー10c又は10dに搬送する。
回収専用オープナー10c、10dに空きがある場合、空のフープFが、空いている回収専用のオープナー10c又は10dに搬送される。
空のフープFが搬送されたオープナー10c又は10dでは、所定の処理が終了した基板Wを順次、フープF内に回収する。基板Wの回収後、オープナー10c又は10dによってフープFの蓋が閉じられる。
フープF内への基板Wの回収が終了した後、引渡棚22が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、基板Wの回収を終了したオープナー10c又は10dから引渡棚22に、処理済みの基板Wを収納したフープFを搬送する。
引渡棚22が空いていない場合は、次に、処理後用保管棚BFAが空いているかどうかを判定する。空いている場合は、回収専用のオープナー10c又は10dから処理後用保管棚BFAに処理済みの基板Wを収納したフープFを搬送する。一方、空いていない場合は、その位置(回収専用のオープナー10c又は10d)において、処理後用保管棚BFAが空くまで待機する。
処理後用保管棚BFAに空きが生じた場合、搬送機構30によって、フープFを処理後用保管棚BFAに搬送する。
処理後用保管棚BFAにフープFを載置した後、引渡棚22が空いているかどうかを判定する。空いている場合は、処理後用保管棚BFAから引渡棚22に処理済みの基板Wを収納したフープFを搬送する。一方、空いていない場合は、その位置(処理後用保管棚BFA)において、引渡棚22が空くまで待機する。
引渡棚22に空きが生じると、搬送機構30によって、フープFを引渡棚22に搬送する。そして、そのフープFは、外部搬送装置40によって次の装置などに搬送されるまで、その位置で待機される。
次に、図7(1)〜(11)を参照して、複数個のフープFを順次、図6のフローチャートに基づいて動作させたときに、どのような搬送されるのかを説明をする。なお、ここで、フープFは、外部搬送装置40によって、搬送される順番に「フープ1、2、…」と、番号を付して記載している。
以下では、実施例に係るストッカー装置2の効果を、ストッカー装置2を備えていない従来装置と比較して説明する。
図27を参照する。図27において、「ldn」はフープFをオープナー101に載置する動作を意味する。「snd」は、フープFからの基板Wの払出動作を意味する。「rtn」は、フープFへの基板の回収動作を意味する。「ulf」はフープFを装置から搬出する動作を意味する。「wt」は、待機状態(非動作状態)を意味する。なお、例えば「ldn1」内の数字「1」は、搬送対象であるフープの番号を示し、この場合は、1個目のフープの動作を示している。また、例えば、12個目のフープFがオープナー101に載置する動作の場合は、「ldn12」と表現する。この動作の説明では、12個のフープを流したときを例にとって説明する。
図28を参照する。図28中の各記号や数字の意味は、図27の場合と同様である。なお、1フープの1処理工程の動作は、上述した通りである。
図8は、本実施例のストッカー装置2を備えた(4台のオープナー10a〜10dと2つの処理中用保管棚BF1、BF2)基板処理装置における動作図である。なお、オープナー10a、10bは、未処理の基板Wを払い出す払出専用のオープナーとして、また、オープナー10c、10dは、処理済みの基板Wを回収する回収専用のオープナーとして用いる。
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。なお、上述した実施例と重複する部分の説明は省略する。
ストッカー装置2は、フープFの受渡しを行う受取棚21及び引渡棚22(以下、特に区別しないときは、「受渡し位置」と記載する。)に、外部搬送装置40の把持部42と搬送機構30の把持部31とが、同時に、受渡し位置に入ることによって起こる干渉を防止するためのインターロック機構70を備えてもよい。なお、後述するインターロック機構70A〜Eを、特に区別しないときは、「インターロック機構70」と記載する。
図9は、スライド式のインターロック機構70Aを示し、(a)はその側面図、(b)は正面図である。
図10は、回転開閉式の別のインターロック機構70Bを示し、(a)はその側面図、(b)は正面図である。
図11は、インターロック機構70A及び70Bとは別の構成例であるインターロック機構70Cを示し、(a)はその側面図、(b)はその正面図である。
図12は、インターロック機構70Cの別の構成例であるインターロック機構70Dを示し、(a)はその側面図、(b)はその正面図である。
図13は、インターロック機構70Cのさらに別の構成例であるインターロック機構70Eを示す。
上述した実施例では、図1〜図3に示すように、ストッカー装置2は、搬送機構30によるフープFの移動を、搬送機構30と各棚との間にフープFを通すことができる空間SP1を設けることにより、XZ平面方向に自在に移動することができるものであった。その反面、空間SP1を設けることによりストッカー装置2の長さ(Y軸方向の長さ)が長くなる。これに対して、図14に示すように、搬送機構30は、フープFを引き寄せてから回転して、搬送機構30の第1移動機構34の真上にあたる位置に支持させてから、XZ平面上を移動してフープを搬送するよう構成すれば、上記の空間SP1を設ける必要がない。したがって、ストッカー装置2(基板処理装置)の長さ(Y軸)方向の寸法が抑えることができ、装置の大型化を抑えることができる。
上述した実施例では、ストッカー装置2は、外部搬送装置40によるフープFの受渡しを、受取棚21又は引渡棚22において行っていたが、図15に示すように、搬送機構30を挟んでオープナー10と対向する位置にフープを載置するロードポート12を配設し、このロードポート12において、外部搬送装置40及び人(作業者)によるフープFの受渡しを行ってもよい。
上述した実施例では、図1〜図3に示すように、ストッカー装置2は、搬送機構30により、フープFを搬送機構30とオープナー10及び棚20との間にある空間SP1を通すことで、XZ平面方向に自在に移動することができるものであったが、図18〜図20に示すように、左右水平に開閉する機構を備えた棚50を設けることで、棚50が閉じているときはフープFを載置して、一方、開いているときは、その位置でフープを高さ(Z軸)方向に移動するようにし、また、空間SP2を設けることによりフープFを幅(X軸)方向に移動させることで、XZ平面に移動できるものであってもよい。
図1の実施例装置が備えるフープ移動用の空間SP1を省いて、装置の長さを短くすることができる別の実施例を説明する。
上述した実施例では、ストッカー装置2は、処理前用保管棚BFBと、処理中用保管棚BFと、及び、処理後用保管棚BFAとの、それぞれの位置関係を特に指定していなかったが、処理前用保管棚BFBは、他の処理中用保管棚BFなどの棚よりも、受取棚21の近辺に配設してもよい。同様に、処理後用保管棚BFAは、他の処理中用保管棚BFなどの棚よりも、引渡棚22の近辺に配設してもよい。また、処理中用保管棚BFは、他の棚BFB、BFAよりも払出専用のオープナー10と回収専用のオープナー10の間近辺に、それぞれ配設してもよい。これにより、効率の良いフープの搬送ができる。
上述した実施例では、ストッカー装置2は、1つの処理前用保管棚BFBと、2つの処理中用保管棚BFと、1つの処理後用保管棚BFAで構成されたものであったが、例えば、2つの処理前用保管棚BFAと、3つの処理中用保管棚BFと、2つの処理後用保管棚BFAとで構成されたものであってもよいし、3つの処理前用保管棚BFBと、2つの処理中用保管棚BFと、4つの処理後用保管棚BFAとで構成されたものであってもよい。
上述した実施例では、4台のオープナー10a〜10dの内、左側2台のオープナー10a、10bを基板Wの払出専用に、右側2台のオープナー10c、10dが基板Wの回収専用に、それぞれ役割を区別して用いたが、右側2台のオープナー10c、10dを基板Wの払出専用に、左側2台のオープナー10a、10bを基板Wの回収専用に、それぞれ役割を区別してもよい。
F …フープ
1 …基板処理装置本体
2 …ストッカー装置
10a〜10d …オープナー
20 …棚
21 …受取棚
22 …引渡棚
23 …保管棚
BF1、BF2 …処理中用保管棚
BFB …処理前用保管棚
BFA …処理後用保管棚
30 …搬送機構
31 …把持部
34 …第1移動機構
35 …第2移動機構
40 …外部搬送装置
42 …把持部
50 …棚
51a、51b …棚本体
52 …棚開閉機構
82 …基板処理装置の主制御部
83 …ストッカー装置の制御部
Claims (10)
- 枚葉式の基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置において、
基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、
フープを把持して搬送する搬送機構と、
少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、
前記オープナーの上方に位置してフープを載置する棚とを備え、
前記棚は、
外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、
外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、
基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、
前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1に記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、基板が払出された後の空になったフープを、他のフープが前記回収専用オープナーに載置されていることによりその回収専用オープナーに搬送できない場合は、前記空になったフープを前記処理中用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1又は2に記載のストッカー装置において、
前記棚は、さらに、未処理の基板を収納したフープを保管する処理前用保管棚を含みことを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1乃至3に記載のストッカー装置において、
前記棚は、さらに、処理済みの基板を収納したフープを保管する処理後用保管棚を含むことを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、前記受取棚に載置されたフープを、他のフープが前記払出専用オープナーに載置されていることにより前記払出専用オープナーに搬送できない場合は、前記受取棚に載置されたフープを前記処理前用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記制御手段は、基板の回収が終了した後のフープを、他のフープが前記引渡棚に載置されていることにより前記引渡棚に搬送できない場合は、前記基板の回収が終了した後のフープを前記処理後用保管棚に搬送させることを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記棚は、左右水平方向に開閉する機構を備え、開状態においてフープの上下移動を許容することを特徴とするストッカー装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載のストッカー装置において、
前記搬送機構は、前記オープナー及び前記棚に対面して、水平及び上下移動可能に構成され、かつ、搬送の対象であるフープを引き寄せてから鉛直軸周りに回転して、前記フープを水平搬送経路の真上にあたる位置に支持し、その状態で水平及び上下移動して、前記フープを所定位置にまで搬送することを特徴とするストッカー装置。 - 基板に対して所定の処理を行う枚葉式の基板処理装置本体と、
前記基板処理装置本体に連結して設置するストッカー装置とを備え、
前記ストッカー装置は、
前記基板処理装置本体に対して基板の払出及び回収を行うために、複数枚の基板を収納する容器であるフープを載置するオープナーと、
フープを把持して搬送する搬送機構と、
少なくともフープの搬送を制御する制御手段と、
前記オープナーの上方に位置して、フープを載置する棚とを備え、
前記棚は、
外部搬送装置からフープを受け取るための受取棚と、
外部搬送装置にフープを引き渡すための引渡棚と、
基板が払出された後の空になったフープを保管する処理中用保管棚とを含み、
前記オープナーは、基板を払出すための払出専用オープナーと、基板を回収するための回収専用オープナーとを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項9に記載の基板処理装置において、
前記制御手段は、前記搬送機構を制御して、
前記受取棚に載置されたフープを前記払出専用オープナーに搬送させる第1搬送工程と、
前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを前記回収専用オープナーに搬送させる第2A搬送工程と、
前記払出専用オープナーに載置され、基板を払出した後のフープを、一旦、処理中用保管棚に搬送して保管させ、その後、前記保管されたフープを回収専用オープナーに搬送させる第2B搬送工程と、
前記回収専用オープナーに載置され、基板を回収した後のフープを、前記引渡棚に搬送させる第3搬送工程とを実行させることを特徴とする基板処理装置。
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