KR20200034593A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

통상, 제2 기판 반송 기구는, 기판 버퍼부로부터 오프너에 재치된 풉(FOUP)에 기판을 반송하도록 설정되어 있다. 그러나, 소정의 조건을 만족하는 경우에, 제2 기판 반송 기구는, 풉으로부터 기판 버퍼부에 기판을 반송한다. 즉, 제2 기판 반송 기구는, 통상의 기판 반송 동작과 상이한 동작을 행한다. 이에 의해, 제2 기판 반송 기구는, 특정 풉으로부터 모든 기판을 취출하고 나서 특정 풉에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 특정 풉의 재치 위치(오프너)에 특정 풉을 멈추게 할 수 있다. 이에 의해, 풉 반송 기구는, 특정 풉 이외의 풉을 반송할 수 있으므로, 풉의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치 및, 기판 처리 장치의 제어 방법에 관한 것이다. 또한, 기판은, 예를 들면, 반도체 기판, FPD(Flat Panel Display)용 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 세라믹 기판, 태양 전지용 기판을 들 수 있다. FPD는, 예를 들면, 액정 표시 장치, 유기 EL(electroluminescence) 표시 장치 등을 들 수 있다.
종래의 기판 처리 장치는, 인덱서 블록(인덱서 장치)와, 처리 블록과, 풉 버퍼 장치(스토커 장치)를 구비하고 있다. 인덱서 블록의 후면에는, 처리 블록이 접속되어 있다. 인덱서 블록의 전면에는, 풉 버퍼 장치가 접속되어 있다(예를 들면, 일본국 특허 공개 2012-209288호 공보, 일본국 특허 공개 2013-157650호 공보, 일본국 특허 공개 2010-171314호 공보 참조).
인덱서 블록의 전면의 외벽에는, 수평 방향으로 늘어서 2개의 오프너가 설치되어 있다. 또, 인덱서 블록과 처리 블록 사이에는, 상하 방향(수직 방향)으로 복수의 기판을 재치(載置)하는 것이 가능한 기판 버퍼부가 설치되어 있다(일본국 특허 공개 2012-209288호 공보 참조).
인덱서 블록의 내부에는, 2대의 기판 반송 기구가 설치되어 있다. 제1 기판 반송 기구는, 제1 오프너에 재치된 풉(FOUP:front opening unified pod)과 기판 버퍼부 사이에서 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 또, 제2 기판 반송 기구는, 제2 오프너에 재치된 풉과 기판 버퍼부 사이에서 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 즉, 제1 기판 반송 기구는, 제1 오프너를 위해서 기판을 반송하고, 제2 기판 반송 기구는, 제2 오프너를 위해서 기판을 반송한다. 이에 의해, 풉으로부터 기판을 효율적으로 취출(取出)할 수 있음과 더불어, 풉에 기판을 효율적으로 수납할 수 있다.
풉 버퍼 장치는, 풉을 보관하기 위해서 풉을 재치하는 선반과, 이 선반과 2개의 오프너 사이에서 풉을 반송하는 풉 반송 기구를 구비하고 있다. 일본국 특허 공개 2013-157650호 공보에는, 2개의 파지부를 갖는 풉 반송 기구와, 2개의 파지부에 의한 풉의 교환 동작(치환 동작)이 개시되어 있다.
일본국 특허 공개 2010-171314호 공보에는, 기판을 취출하기 위해서 이용되는 취출용 오프너와, 기판을 수납하기 위해서 이용되는 수납용 오프너와, 기판이 취출되어 비게 된 풉을 보관하는 보관 선반을 구비한 풉 버퍼 장치가 개시되어 있다. 또, 일본국 특허 공개 2012-209288호 공보, 국제 공개 제WO2013/069716호에는, 상하 방향으로 배치된 복수의 오프너가 개시되어 있다.
그러나, 이러한 구성을 갖는 종래예의 경우에는, 다음과 같은 문제가 있다. 풉의 반송 효율이 나쁘면, 인덱서 블록의 기판 반송 기구가 풉 대기의 상태가 될 가능성이 있다. 그로 인해, 기판 처리의 스루풋을 향상시키기 위해서, 풉의 반송 효율을 향상시키는 것이 바람직하다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 풉의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 이하의 요소를 포함한다: 복수의 기판을 수납 가능한 캐리어로부터 반송된 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리 블록; 상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제1 캐리어 재치부; 상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제2 캐리어 재치부; 상기 처리 블록에 기판을 송출하기 위해, 및 상기 처리 블록으로부터 기판을 되돌리기 위해서 이용되고, 복수의 기판을 재치하는 것이 가능한 기판 버퍼부; 기판을 반송하는 기판 반송 기구;모든 기판이 취출되어 비게 된 상기 캐리어를 재치하는 빈 캐리어; 상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구; 상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하도록 설정됨과 더불어, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어에 기판을 반송하도록 설정되고, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 적어도 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 상기 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에, 특정 캐리어를 반송하고, 상기 기판 반송 기구는, 상기 특정 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하고, 그 후, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 특정 캐리어에, 상기 처리 블록에서 처리된 처리가 끝난 기판을 반송하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 기판 반송 기구에 의해 상기 특정 캐리어로부터 모든 기판을 취출하고 나서 상기 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 상기 특정 캐리어의 재치 위치에 상기 특정 캐리어를 멈추게 한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 통상, 기판 반송 기구는, 기판 버퍼부로부터 제2 캐리어 재치부에 재치된 캐리어에 기판을 반송하도록 설정되어 있다. 그러나, 소정의 조건을 만족하는 경우에, 기판 반송 기구는, 캐리어로부터 기판 버퍼부에 기판을 반송한다. 즉, 기판 반송 기구는, 통상의 기판 반송 동작과 상이한 동작을 행한다. 이에 의해, 캐리어 반송 기구는, 특정 캐리어로부터 모든 기판을 취출하고 나서 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 특정 캐리어의 재치 위치에 특정 캐리어를 멈추게 할 수 있다. 이에 의해, 캐리어 반송 기구는, 특정 캐리어 이외의 캐리어를 반송할 수 있으므로, 캐리어의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 캐리어의 반송 대기가 저감되므로, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 상술한 기판 처리 장치의 일례는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 상기 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에, 상기 특정 캐리어를 반송하는 것이다. 예를 들면, 소정의 제2 캐리어 재치부에 캐리어가 재치되어 있지 않지만, 다른 제2 캐리어 재치부에 캐리어가 재치되어 있는 경우가 있다. 이러한 경우에도, 캐리어 반송 기구는, 특정 캐리어로부터 모든 기판을 취출하고 나서 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 특정 캐리어의 재치 위치에 특정 캐리어를 멈추게 할 수 있다.
또, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제1 캐리어 재치부의 상류에 설치된 상류측 보관 선반을 더 구비하고, 상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 캐리어로부터 모든 기판을 취출해 제1의 빈 캐리어를 생성하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 제1의 빈 캐리어를, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어로 치환하는 치환 동작을 행하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 상기 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고, 상기 미리 설정된 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 제1의 빈 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인 것이 바람직하다.
캐리어의 반송 효율의 향상을 위해서, 캐리어 반송 기구는 치환 동작을 행한다. 이 때, 캐리어 반송 기구는, 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 치환 동작을 위해, 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송을 개시한다. 이에 의해, 제1의 빈 캐리어를 생성하는 시점에 있어서, 캐리어 반송 기구가 제1의 빈 캐리어를 반송할 수 있는 상태로 할 수 있다. 그로 인해, 빈 캐리어가 생성될 때에 맞춰, 그 빈 캐리어를 반송할 수 있으므로, 캐리어의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 제2의 빈 캐리어에 모든 기판을 수납하여 처리가 끝난 기판 캐리어를 생성하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 제3의 빈 캐리어로 치환하는 치환 동작을 행하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 상기 치환 동작을 위해서 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 상기 제3의 빈 캐리어의 반송 동작을 개시하고, 상기 미리 설정된 시간은, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 상기 제3의 빈 캐리어를 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인 것이 바람직하다.
캐리어의 반송 효율의 향상을 위해서, 캐리어 반송 기구는 치환 동작을 행한다. 이 때, 캐리어 반송 기구는, 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 치환 동작을 위해, 빈 캐리어 선반에 재치된 제3의 빈 캐리어의 반송을 개시한다. 처리가 끝난 기판 캐리어를 생성하는 시점에 있어서, 캐리어 반송 기구가 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태로 할 수 있다. 그로 인해, 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성될 때에 맞춰, 그 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있으므로, 캐리어의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또, 상술한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 제1 캐리어 재치부의 상류에 설치된 상류측 보관 선반을 더 구비하고, 상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 캐리어로부터 모든 기판을 취출해 제1의 빈 캐리어를 생성하고, 또, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 제2의 빈 캐리어에 모든 기판을 수납해 처리가 끝난 기판 캐리어를 생성하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 제1의 빈 캐리어를, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 상기 캐리어로 치환하는 제1 치환 동작을 행하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1 치환 동작 후, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 제3의 빈 캐리어를, 상기 2개의 파지부 중 어느 하나에 의해 파지된 상기 제1의 빈 캐리어로 치환하는 제2 치환 동작을 행하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제2 치환 동작 후, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를, 상기 2개의 파지부 중 어느 하나에 의해 파지된 상기 제3의 빈 캐리어로 치환하는 제3 치환 동작을 행하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점이, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 제1의 시간 전에, 상기 제1 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점이, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 제2의 시간 전에, 상기 제1 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고, 상기 미리 설정된 제1의 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 제1의 빈 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간이며, 상기 미리 설정된 제2의 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인 것이 바람직하다.
캐리어의 반송 효율의 향상을 위해서, 캐리어 반송 기구는 제1~제3의 치환 동작을 행한다. 이 때, 캐리어 반송 기구는, 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점 및, 처리가 끝난 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점 중 어느 한 늦은 쪽보다 미리 설정된 시간 전에, 치환 동작을 위해, 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송을 개시한다. 예를 들면, 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점을 기준으로 캐리어의 반송을 개시해도, 캐리어 반송 기구가 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되었을 때에, 기판 반송 기구가 제2의 빈 캐리어에 기판을 한창 수납하고 있는 경우가 있다. 이 경우, 캐리어 반송 기구에 대기 시간이 발생한다. 본 발명에 의하면, 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점 혹은, 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점에 맞춰, 제1의 빈 캐리어 또는 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태로 할 수 있다. 그로 인해, 연속해서 캐리어를 치환하는 경우에 있어서의 캐리어 반송의 대기 시간을 감소하면서, 캐리어의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 제어 방법으로서, 복수의 기판을 수납 가능한 캐리어로부터 반송된 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리 블록과, 상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제1 캐리어 재치부와, 상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제2 캐리어 재치부와, 상기 처리 블록에 기판을 송출하기 위해, 및 상기 처리 블록으로부터 기판을 되돌리기 위해서 이용되고, 복수의 기판을 재치하는 것이 가능한 기판 버퍼부와,
기판을 반송하는 기판 반송 기구와, 모든 기판이 취출되어 비게 된 상기 캐리어를 재치하는 빈 캐리어 선반과, 상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구를 구비한 기판 처리 장치의 제어 방법은, 이하의 요소를 포함한다: 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 설정하는 공정; 상기 기판 버퍼부로부터 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어에 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 설정하는 공정; 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 적어도 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구에 의해, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에, 특정 캐리어를 반송하는 공정; 상기 기판 반송 기구에 의해, 상기 특정 캐리어로부터 상기 기판 버퍼에 기판을 반송하고, 그 후, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 특정 캐리어에 상기 처리 블록에서 처리된 처리가 끝난 기판을 반송하는 공정; 상기 캐리어 반송 기구에 의해, 상기 기판 반송 기구에 의해 상기 특정 캐리어로부터 기판을 전부 취출하고 나서 상기 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 상기 특정 캐리어의 재치 위치 상기 재치 위치에 상기 특정 캐리어를 멈추게 하는 공정.
본 발명에 따른 기판 처리 장치의 제어 방법에 의하면, 통상, 기판 반송 기구는, 기판 버퍼부로부터 제2 캐리어 재치부에 재치된 캐리어에 기판을 반송하도록 설정되어 있다. 그러나, 소정의 조건을 만족하는 경우에, 기판 반송 기구는, 캐리어로부터 기판 버퍼부에 기판을 반송한다. 즉, 기판 반송 기구는, 통상의 기판 반송 동작과 상이한 동작을 행한다. 이에 의해, 캐리어 반송 기구는, 특정 캐리어로부터 모든 기판을 취출하고 나서 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 특정 캐리어의 재치 위치에 특정 캐리어를 멈추게 할 수 있다. 이에 의해, 캐리어 반송 기구는, 특정 캐리어 이외의 캐리어를 반송할 수 있으므로, 캐리어의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 캐리어의 반송 대기가 저감되므로, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치 및, 기판 처리 장치의 제어 방법에 의하면, 풉을 효율적으로 반송할 수 있다.
발명을 설명하기 위해서 현재 적합하다고 생각되는 몇 가지 형태가 도시되어 있는데, 발명이 도시된 바와 같은 구성 및 방책으로 한정되는 것은 아님을 이해하길 바란다.
도 1은, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 종단면도이다.
도 2는, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다.
도 3a는, 인덱서 블록의 4개의 오프너를 나타내는 정면도이며, 도 3b는, 2개의 기판 반송 기구로부터 본 4개의 오프너의 배면도이다.
도 4는, 인덱서 블록의 기판 반송 기구를 나타내는 도면이다.
도 5는, 도포 처리부의 배치를 나타내는 처리 블록의 우측면도이다.
도 6은, 열처리부의 배치를 나타내는 처리 블록의 좌측면도이다.
도 7a는, 풉 반송 기구로부터 본, 풉 버퍼 장치의 선반을 나타내는 도면이고, 도 7b는, 선반으로부터 본, 4개의 오프너와 풉 반송 기구를 나타내는 정면도이다.
도 8a~도 8d는, 제1 기판 반송 기구에 의한, 풉으로부터 이송 버퍼부에 기판을 반송하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 9a~도 9d는, 제2 기판 반송 기구에 의한, 복귀 버퍼부로부터 풉에 기판을 반송하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10a~도 10d는, 풉 반송 기구에 의한 2개의 풉의 치환 동작에 대해서 설명하기 위한 도면이다.
도 11은, 입력 포트로부터 출력 포트로의 풉의 반송 동작과, 기판 반송 동작을 설명하기 위한 플로차트이다.
도 12는, 풉 버퍼 장치의 동작 우선 순위를 나타내는 도면이다.
도 13a~도 13d는, 풉의 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14a~도 14d는, 도 13d에 이어지는 풉의 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 15a~도 15d는, 도 14d에 이어지는 풉의 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은, 도 15d에 이어지는 풉의 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 17a~도 17c는, 그 외의 풉의 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치에 있어서의 풉의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 19는, 실시예 3에 따른 기판 처리 장치에 있어서의 풉의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 20a는, 실시예 4에 따른 기판 처리 장치에 있어서의 풉의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이며, 도 20b는, 2개의 파지부에 의해 치환 동작을 행하지 않을 때의 풉 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 21은, 변형예에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다.
도 22는, 변형예에 따른 기판 처리 장치의 종단면도이다.
[실시예 1]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 1을 설명한다.
도 1은, 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 종단면도이다. 도 2는 실시예 1에 따른 기판 처리 장치의 횡단면도이다. 도 3a는, 인덱서 블록의 4개의 오프너를 나타내는 정면도이다. 도 3b는, 2개의 기판 반송 기구로부터 본 4개의 오프너의 배면도이다.
도 1 또는 도 2를 참조한다. 기판 처리 장치(1)는, 기판(W)에 레지스트막 등을 형성하고, 또, 노광된 기판(W)을 현상하는 장치이다. 기판 처리 장치(1)는, 인덱서 블록(2)(이하 적절히, 「ID 블록(2)」이라 부름), 처리 블록(3), 풉 버퍼 장치(4)(스토커 장치) 및 인터페이스 블록(IF)을 구비하고 있다. 인터페이스 블록(IF)은, 처리 블록(3)의 후면에 연결되어 있다. 처리 블록(3)은, ID 블록(2)의 후면에 연결되어 있고, 풉 버퍼 장치(4)는, ID 블록(2)의 전면에 연결되어 있다.
〔ID(인덱서) 블록(2)〕
ID 블록(2)은, 캐리어에 기판(W)을 수도해 반송한다. ID 블록(2)은, 4개의 오프너(5A~5D)(도 3a 참조), 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B) 및 기판 버퍼부(7)를 구비하고 있다. 4개의 오프너(5A~5D)는, ID 블록(2)의 전면의 벽부(8)에 설치되어 있다.
도 3a에 나타낸 바와 같이, 4개의 오프너(5A~5D)는, 제1 오프너열(9)과 제2 오프너열(10)의 2개의 그룹으로 나뉜다. 제1 오프너열(9)은, 상하 방향으로 배치된 2개의 오프너(5A, 5B)를 갖는다. 제2 오프너열(10)은, 상하 방향으로 배치된 2개의 오프너(5C, 5D)를 갖는다. 또, 제2 오프너열(10)은, 제1 오프너열(9)에 수평 방향(Y방향)으로 늘어서 배치되어 있다. 또한, 도 3a에 있어서, 제1 오프너(5A)는, 제2 오프너(5B)의 상방에 설치되어 있다. 제3 오프너(5C)는, 제4 오프너(5D)의 상방에 설치되어 있다.
4개의 오프너(5A~5D)는 각각, 캐리어를 재치한다. 캐리어는, 예를 들면 풉(F)(FOUP)이 이용된다. 또한, 개폐 가능한 덮개부를 갖는 캐리어이면, 캐리어는, 풉(F)으로 한정되지 않는다. 이하, 캐리어를 풉(F)에 의해 설명한다. 풉(F)은, 수평 자세의 복수(예를 들면 25장)의 기판(W)을 수납하는 것이 가능하다. 풉(F)은, 기판(W)을 출입시키기 위한 개구부를 갖고, 기판(W)이 수납되는 풉 본체와, 개구부를 막기 위한 덮개부를 갖는다.
4개의 오프너(5A~5D)는 각각, 재치된 풉(F)의 덮개부를 개폐한다. 4개의 오프너(5A~5D)는 각각, 재치대(12), 개구부(14), 셔터(16) 및 셔터 구동부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 풉(F)은, 재치대(12)에 재치된다. 개구부(14)는, 풉(F)내부와 ID 블록(2) 내부 사이에서 기판(W)의 수도를 행하기 위한 개구이다. 셔터(16)는, 개구부(14)를 막기 위한 것이다. 또, 셔터(16)는, 덮개부를 풉 본체에 로크하고, 그 로크를 해제한다. 또, 셔터(16)는, 덮개부를 유지하도록 구성되어 있다. 셔터(16)는, 예를 들면, 덮개부를 진공 흡착하여 유지한다. 셔터(16)는, 전동 모터를 갖는 셔터 구동부에 의해 상하 방향 및 전후방향으로 이동된다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 제1 오프너열(9)(오프너(5A)를 포함함)에 대향한 위치에 배치되어 있다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 제2 오프너열(10)(오프너(5C)를 포함함)에 대향한 위치에 배치되어 있다. 제1 기판 반송 기구(6A)는, 제1 오프너열(9)의 2개의 오프너(5A, 5B)의 각각에 재치된 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판(W)을 반송한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 제2 오프너열(10)의 2개의 오프너(5C, 5D)의 각각에 재치된 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판(W)을 반송한다.
도 3b, 도 4에 나타낸 바와 같이, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)는 각각, 2개의 핸드(21(21A, 21B)), 진퇴 구동부(23) 및 승강 회전 구동부(25)를 구비하고 있다. 2개의 핸드(21A, 21B)는 각각, 기판(W)을 유지한다. 2개의 핸드(21A, 21B)는 개개로 수평 방향으로 진퇴 가능하고, 예를 들면, 풉(F)으로부터 1장의 기판(W)을 취출하거나, 2장의 기판(W)을 취출하거나 할 수 있다. 2개의 핸드(21A, 21B)는 각각, Y자형상 또는 U자형상 등 선단이 2개로 나뉜 형상으로 구성되어 있다. 또한, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)는 각각, 2개의 핸드(21A, 21B)를 구비하고 있는데, 3개 이상의 핸드를 구비하고 있어도 된다.
진퇴 구동부(23)는, 2개의 핸드(21A, 21B)를 이동 가능하게 지지함과 더불어, 2개의 핸드(21A, 21B)를 진퇴 이동시킨다. 진퇴 구동부(23)는, 제1 핸드(21A)를 구동하기 위해서, 예를 들면, 전동 모터와, 직선형상의 나사축과, 나사축과 맞물리는 구멍부를 갖는 가동 부재와, 가동 부재를 가이드하는 가이드부를 구비하고 있다. 제1 핸드(21A)는 가동 부재에 지지되어 있다. 마찬가지로, 진퇴 구동부(23)는, 제2 핸드(21B)를 구동하기 위해서, 예를 들면, 전동 모터, 나사축, 가동 부재 및 가이드부를 구비하고 있다.
승강 회전 구동부(25)는, 진퇴 구동부(23)를 승강 및 회전시킴으로써, 2개의 핸드(21A, 21B)를 승강 및 회전시킨다. 승강 회전 구동부(25)는, 지주부(25A)와 회전부(25B)를 구비하고 있다. 지주부(25A)는, 상하 방향으로 연장되도록 설치되어 있다. 지주부(25A)는, ID 블록(2)의 바닥부에 고정되어 있다. 그로 인해, 지주부(25A), 즉 승강 회전 구동부(25)의 수평 방향(특히 Y방향)의 위치는, 이동되지 않고 고정되어 있다.
회전부(25B)는, 지주부(25A)를 따라서 승강된다. 지주부(25A)는, 예를 들면, 전동 모터(도시하지 않음), 2개의 풀리(27) 및 벨트(28)를 구비하고 있다. 벨트(28)는, 2개의 풀리(27) 사이에 걸쳐놓아져 있다. 회전부(25B)는, 벨트(28)에 장착되어 있다. 전동 모터의 회전은, 2개의 풀리(27) 중 어느 하나에 전달되어, 벨트(28)를 이동시킨다. 회전부(25B)는, 벨트(28)의 이동과 함께 이동된다.
또, 회전부(25B)는, 진퇴 구동부(23)를 지주부(25A)를 따른 수직축(AX1a) 또는 수직축(AX1b) 둘레로 회전시킨다. 이에 의해, 2개의 핸드(21A, 21B)의 방향이 바뀐다. 회전부(25B)는, 예를 들면 전동 모터, 2개의 풀리 및 벨트를 구비하고 있다.
상술한 바와 같이, 지주부(25A), 즉 승강 회전 구동부(25)의 수평 방향의 위치는, 이동하지 않고 고정되어 있다. 그로 인해, 진퇴 구동부(23)의 회전 중심인 수직축(AX1a, AX1b)의 수평 방향의 위치도 고정된다. 이와 같이, 승강 회전 구동부(25)의 수평 방향의 위치가 고정된다. 이에 의해, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 2개의 오프너(5A, 5B)의 각 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판(W)을 반송할 수 있으나, 2개의 오프너(5C, 5D)의 각 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판을 반송할 수 없다. 마찬가지로, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 2개의 오프너(5C, 5D)의 각 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판(W)을 반송할 수 있으나, 2개의 오프너(5A, 5B)의 각 풉(F)과 기판 버퍼부(7) 사이에서 기판(W)의 반송을 행할 수 없다.
도 1, 도 2로 되돌아온다. 기판 버퍼부(7)는, 복수(예를 들면 52장)의 기판(W)을 재치하는 것이 가능하다. 기판 버퍼부(7)에 있어서, 각 기판(W)은 수평 자세로 지지되고, 복수의 기판(W)은 상하 방향으로 배치된다. 기판 버퍼부(7)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 지주(29A), 복수의 재치판(29B) 및 3개의 지지핀(29C)을 구비하고 있다. 지주(29A)는, 수직 방향(Z방향)으로 연장되어 있다. 복수의 재치판(29B)은 각각, ID 블록(2)으로부터 처리 블록(3)을 향하는 +X방향으로 수평으로 연장되도록 지주(29A)에 지지되고 있다. 3개의 지지핀(29C)은 각각, 재치판(29B)의 상면에 설치되어 있다. 기판(W)은 지지핀(29C) 상에 지지된다. 기판 버퍼부(7)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, ID 블록(2)과 처리 블록(3) 사이 또는 그 부근에 설치되어 있다.
또한, 2개의 오프너(5A, 5B)는 각각, 제1 캐리어 재치부에 상당한다. 2개의 오프너(5C, 5D)는 각각 제 2 캐리어 재치부에 상당한다. 제1 기판 반송 기구(6A) 및 제2 기판 반송 기구(6B)는, 본 발명의 기판 반송 기구에 상당한다.
〔처리 블록(3)〕
처리 블록(3)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 도포 블록(31)과 현상 블록(32)을 구비하고 있다. 도포 블록(31)과 현상 블록(32)은, 서로 수평 방향(X방향)으로 배치되어 있다.
도포 블록(31)은, 상하 방향으로 배치된 2개의 도포 처리층(31A, 31B)을 구비하고 있다. 현상 블록(32)은, 상하 방향으로 배치된 2개의 현상 처리층(32A, 32B)을 구비하고 있다. 2개의 도포 처리층(31A, 31B) 및 2개의 현상 처리층(32A, 32B)은 각각, 제3 기판 반송 기구(33), 반송 스페이스(34), 액처리부(SC), 및 열처리부(37)를 구비하고 있다.
또한, 상술한 기판 버퍼부(7)는, 2개의 이송 버퍼부(SBF1, SBF2)와, 2개의 복귀 버퍼부(RBF1, RBF2)를 구비하고 있다. 이송 버퍼부(SBF1, SBF2) 및 복귀 버퍼부(RBF1, RBF2)는 각각, 13개의 재치판(29B)를 갖고, 13장의 기판(W)을 재치하는 것이 가능하다. 예를 들면, 이송 버퍼부(SBF1)와 복귀 버퍼부(RBF1)는, 제1 도포 처리층(31A)용이며, 이송 버퍼부(SBF2)와 복귀 버퍼부(RBF2)는, 제2 도포 처리층(31B)용이다. 또한, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)는 각각, 이송 버퍼부(SBF1, SBF2) 및 복귀 버퍼부(RBF1, RBF2)의 전부에 대해 기판(W)을 반송할 수 있다.
제3 기판 반송 기구(33)는, 4개의 처리층(31A, 31B, 32A, 32B)의 각각에 있어서, 기판(W)을 반송하기 위한 것이다. 제3 기판 반송 기구(33)는, 2개의 핸드(41), 진퇴 구동부(42), 회전 구동부(43), 제1 이동 기구(44) 및 제2 이동 기구(45)를 구비하고 있다.
2개의 핸드(41)는 각각, Y자형상 또는 U자형상 등 선단이 2개로 나뉜 형상으로 구성되어 있다. 2개의 핸드(41)는 각각, 기판(W)을 유지한다. 진퇴 구동부(42)는, 2개의 핸드(41)를 개개로 진퇴시킨다. 회전 구동부(43)는, 진퇴 구동부(42)를 수직축(AX2) 둘레로 회전시킨다. 이에 의해, 2개의 핸드(41)의 방향을 바꿀 수 있다. 제1 이동 기구(44)는, 회전 구동부(43)를 도 1의 좌우 방향(X방향)으로 이동시킨다. 이에 의해, 진퇴 구동부(42)를 X방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 이동 기구(45)는, 제1 이동 기구(44)를 상하 방향(Z방향)으로 이동시킨다. 이에 의해, 진퇴 구동부(42)를 Z방향으로 이동시킬 수 있다.
또한, 진퇴 구동부(42), 회전 구동부(43), 제1 이동 기구(44) 및 제2 이동 기구(45)는 각각, 전동 모터를 구비하고 있다.
제3 기판 반송 기구(33)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 스페이스(34)에 설치된다. 반송 스페이스(34)는, 수평 방향(X방향)으로 직선형으로 연장되도록 구성되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 스페이스(34)는, 기판 처리 장치(1)의 상방으로부터 본 경우에, 장방형의 공간이다. 액처리부(SC)와 열처리부(37)는, 반송 스페이스(34)를 사이에 두도록 배치되어 있다.
도 5는, 액처리부(SC)의 배치를 나타내는 처리 블록(3)의 우측면도이다. 4개의 처리층(31A, 31B, 32A, 32B)은 각각, 4개의 액처리부(SC)를 구비하고 있다. 4개의 액처리부(SC)는, 수평 방향으로 2열 또한, 상하 방향으로 2단의 2열×2단으로 배치되어 있다. 도포 처리층(31A(31B))에 있어서의 4개의 액처리부(SC)는, 2개의 도포 유닛(BARC)과 2개의 도포 유닛(RESIST)이다. 또, 현상 처리층(32A(32B))에 있어서의 4개의 액처리부(SC)는, 4개의 현상 유닛(DEV)이다.
도포 유닛(BARC)은, 기판(W)에 반사 방지막을 형성하는 것이다. 도포 유닛(RESIST)은, 기판(W)에 포토레지스트 등의 레지스트막을 형성하는 것이다. 현상 유닛(DEV)은, 노광된 기판(W)을 현상하는 것이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 액처리부(SC)는, 유지 회전부(47), 노즐(48) 및 노즐 이동 기구(49)를 구비하고 있다. 유지 회전부(47)는, 예를 들면 진공 흡착으로 기판(W)을 유지하여, 유지한 기판(W)을 수직축(Z방향) 둘레로 회전시키는 것이다. 노즐(48)은, 기판(W)에 도포액(예를 들면 반사 방지막 형성용 액 또는 포토레지스트액) 또는 현상액을 공급하는 것이다. 노즐 이동 기구(49)는, 노즐(48)을 이동시키는 것이다.
도 6은, 열처리부(37)의 배치를 나타내는 처리 블록(3)의 좌측면도이다. 4개의 처리층(31A, 31B, 32A, 32B)은, 열처리부(37)를 구비하고 있다. 열처리부(37)는, 열처리를 행하고, 기판(W)이 재치되는 플레이트(51)(도 2 참조)를 구비하고 있다. 열처리부(37)는, 3열×5단으로 배치할 수 있도록 구성되어 있다. 도포 처리층(31A(31B))은, 14개의 열처리부(37)를 구비하고 있다. 즉, 도포 처리층(31A(31B))은, 3개의 밀착 강화 처리부(PAHP)와, 2개의 냉각부(CP)와, 9개의 가열 냉각부(PHP)를 구비하고 있다. 또, 현상 처리층(32A(32B))은, 2개의 냉각부(CP)와, 7개의 가열 냉각부(PHP)를 구비하고 있다. 또한, 액처리부(SC) 및 열처리부(37) 그 외의 유닛(예를 들면 에지 노광부(EEW))의 개수는, 적절히 변경된다.
밀착 강화 처리부(PAHP)는, 헥사메틸디실라잔(HMDS) 등의 밀착 강화제를 기판(W)에 도포하여 가열함으로써, 기판(W)과 반사 방지막의 밀착성을 향상시키는 것이다. 밀착 강화 처리부(PAHP)는, 가열 후에 기판(W)을 냉각하는 기능도 갖고 있다. 냉각부(CP)는, 기판(W)을 냉각한다. 가열 냉각부(PHP)는, 가열 처리와 냉각 처리를 이 차례대로 계속해서 행한다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 도포 처리층(31A)으로부터 현상 처리층(32A)으로의 기판(W)의 반송은, 기판 재치부(PS1)를 통해 행해진다. 현상 처리층(32A)으로부터 인터페이스 블록(IF)으로의 기판(W)의 반송은, 기판 재치부(PS2)를 통해 행해진다. 인터페이스 블록(IF)으로부터 현상 처리층(32A)으로의 기판(W)의 반송은, 기판 재치부(PS4)를 통해 행해진다. 현상 처리층(32A)으로부터 도포 처리층(31A)으로의 기판(W)의 반송은, 기판 재치부(PS5)를 통해 행해진다. 또한, 후술하는 기판 재치부(PS3)를 포함하는 5개의 기판 재치부(PS1~PS5)는, 1장 또는 복수장의 기판(W)을 재치할 수 있다.
〔인터페이스 블록(IF)〕
인터페이스 블록(IF)은, 기판 처리 장치(1)와 별체인 외부의 노광기(EXP)와 인접한다. 인터페이스 블록(IF)은, 노광기(EXP)에 레지스트막이 형성된 기판(W)을 송출하고, 노광기(EXP)로부터, 노광된 기판(W)을 수취한다.
인터페이스 블록(IF)은, 3개의 기판 반송 기구(TC4, TC5, TD), 재치 겸 냉각부(P-CP), 기판 재치부(PS3), 이송 버퍼부(SBF3), 복귀 버퍼부(RBF3), 에지 노광부(EEW), 및 가열 냉각 유닛(PHP), 노광 전 세정 유닛(53), 및 노광 후 세정 유닛(55)을 구비하고 있다. 3개의 기판 반송 기구(TC4, TC5, TD)는, 도 4에 나타낸 제1 기판 반송 기구(6A)와 동일하게 구성되어 있으므로, 이들의 상세한 설명을 생략한다.
재치 겸 냉각부(P-CP)는, 노광기(EXP)로부터 기판(W)을 수취해, 노광기(EXP)에 기판(W)을 송출하기 위해서 이용되는 냉각 기능부의 기판 재치대이다. 이송 버퍼부(SBF3) 및 복귀 버퍼부(RBF3)는, 복수의 기판(W)을 재치할 수 있다. 에지 노광부(EEW)는, 기판(W)의 주연부를 노광한다. 가열 냉각 유닛(PHP)은, 이 블록(IF)에 있어서, 노광 후 베이크(PEB) 처리를 행한다. 노광 전 세정 유닛(53)은, 노광 처리 전의 기판(W)을 세정해, 건조시킨다. 노광 후 세정 유닛(55)은, 노광 처리 후의 기판(W)을 세정한다.
〔처리 블록(3)과 인터페이스 블록(IF)의 동작예〕
여기서, 처리 블록(3)과 인터페이스 블록(IF)의 동작예를 설명한다. 도포 처리층(31A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(33)는, 이송 버퍼부(SBF1)로부터 기판(W)을 수취한다. 제3 기판 반송 기구(33)는, 수취한 기판(W)을, 도 5, 도 6에 나타낸 밀착 강화 처리부(PAHP), 냉각부(CP), 도포 유닛(BARC)의 차례로 반송한다. 그 후, 제3 기판 반송 기구(33)는, 도포 유닛(BARC)에서 반사 방지막이 형성된 기판(W)을, 가열 냉각부(PHP), 냉각부(CP), 도포 유닛(RESIST), 가열 냉각부(PHP)의 순서로 반송한다. 제3 기판 반송 기구(33)는, 도포 유닛(RESIST)에서 레지스트막이 형성된 기판(W)을 기판 재치부(PS1)에 반송한다.
현상 처리층(32A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(33)는, 기판 재치부(PS1)로부터 기판 재치부(PS2)에 기판(W)을 반송한다.
인터페이스 블록(IF)에 있어서, 제4 기판 반송 기구(TC4)는, 기판 재치부(PS2)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을, 에지 노광부(EEW), 노광 전 세정 유닛(53), 재치 겸 냉각부(P-CP)의 차례로 반송한다. 제6 기판 반송 기구(TD)는, 재치 겸 냉각부(P-CP)로부터 노광기(EXP)에 기판(W)을 반송한다. 또, 제6 기판 반송 기구(TD)는, 노광기(EXP)로부터 기판 재치부(PS3)에, 노광기(EXP)로 노광된 기판(W)을 반송한다. 제5 기판 반송 기구(TC5)는, 기판 재치부(PS3)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을, 노광 후 세정 유닛(55), 가열 냉각 유닛(PHP), 기판 재치부(PS4)에 기판(W)을 반송한다.
현상 처리층(32A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(33)는, 기판 재치부(PS4)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을, 냉각부(CP), 현상 유닛(DEV), 가열 냉각 유닛(PHP), 기판 재치부(PS5)의 차례로 반송한다.
도포 처리층(31A)에 있어서, 제3 기판 반송 기구(33)는, 기판 재치부(PS5)로부터 복귀 버퍼부(RBF2)에, 현상 후의 기판(W)을 반송한다.
〔풉 버퍼 장치(4)〕
도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 풉 버퍼 장치(4)는, 복수(예를 들면, 12개)의 선반(61)과, 풉(F)을 반송하는 풉 반송 기구(62)를 구비하고 있다.
복수의 선반(61)은, 2개의 오프너열(9, 10)(예를 들면, 도 1에 나타낸 2개의 오프너(5C, 5D))와 대향하여 배치되어 있다. 풉 반송 기구(62)는, 2개의 오프너열(9, 10)과 복수의 선반(61) 사이에 배치되어 있다. 또, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 오프너열(9, 10)을 사이에 끼고, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)의 반대측에 설치되어 있다.
또한, 도 7a는, 풉 반송 기구(62)로부터 본, 풉 버퍼 장치(4)의 선반(61)을 나타내는 도면이다. 도 7b는, 선반(61)으로부터 본, 4개의 오프너(5A~5D)와 풉 반송 기구(62)를 나타내는 정면도이다.
선반(61)은, 풉(F)을 재치하는 것이다. 선반(61)은, 도 1에 나타낸 풉 버퍼 장치(4)의 좌측(정면측)의 벽부(64)에 설치되어 있다. 선반(61)은, 도 7a에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 2개의 입력 포트(IP1, IP2)(입력 로드 포트라고도 함)와, 2개의 출력 포트(OP1, OP2)(출력 로드 포트라고도 함)와, 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2)과, 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2)과, 4개의 빈 풉선반(EB1~EB4)을 구비하고 있다. 또한, 선반(61)의 개수 및 역할은, 필요에 따라서 설정된다.
2개의 입력 포트(IP1, IP2)는, 공장 내에서 풉(F)을 반송하는 외부 반송 기구(OHT(Overhead Hoist Transport))로부터 풉(F)을 수취하기 위해서 이용된다. 2개의 출력 포트(OP1, OP2)는, 외부 반송 기구(OHT)에 처리가 끝난 기판(W)이 수납된 풉(F)을 인도하기 위해서 이용된다. 2개의 입력 포트(IP1, IP2) 및 2개의 출력 포트(OP1, OP2)는, 선반(61)의 최상단에 설치되어 있다. 외부 반송 기구(OHT)와 풉(F)의 수도를 행하기 위해서, 풉 버퍼 장치(4)의 천정 부분은, 개방되어 있다.
예를 들면 2개의 오프너(5A, 5B)가 기판(W)의 취출(이송)용으로서 설정되는 경우, 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2)은, 2개의 오프너(5A, 5B)에 반송할 수 없는 풉(F)을 보관하기 위해서 이용된다. 또, 예를 들면 2개의 오프너(5C, 5D)가 기판(W)의 수납(되돌림)용으로서 설정되는 경우, 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2)은, 2개의 오프너(5C, 5D)로부터 출력 포트(OP1, OP2)에 반송할 수 없는 풉(F)을 보관하기 위해서 이용된다. 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4)은, 기판(W)이 취출되어 비게 된 풉(F)을 보관하기 위해서 이용된다.
풉 반송 기구(62)는, 도 7b에 나타낸 바와 같이, 2개의 파지부(65A, 65B), 2개의 다관절 암(66A, 66B), 승강 구동부(67) 및 수평 구동부(68)를 구비하고 있다. 2개의 파지부(65A, 65B)는 각각, 풉(F)을 파지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 2개의 파지부(65A, 65B)는 각각, 풉(F)의 상부에 설치된 돌기(69)를 파지하도록 구성되어 있다. 제1 파지부(65A)는, 제1 다관절 암(66A)의 제1 단부에 수직축(AX3a) 둘레로 회전 가능하게 장착되어 있다. 또, 제2 파지부(65B)는, 제2 다관절 암(66B)의 제1 단부에 수직축(AX4a) 둘레로 회전 가능하게 장착되어 있다.
2개의 다관절 암(66A, 66B)은 각각, 예를 들면 스카라(SCARA)형으로 구성된다. 제1 다관절 암(66A)은, 2개의 수직축(AX3b, AX3c)의 각각의 둘레에 연결된 지지 부재가 회전함으로써, 파지부(65A)를 수평 방향의 소정의 위치로 이동시킨다. 또, 제1 다관절 암(66A)은, 제1 파지부(65A)를 수직축(AX3a) 둘레에서 회전시켜 풉(F)의 방향을 조정한다. 마찬가지로, 제2 다관절 암(66B)은, 2개의 수직축(AX4b, AX4c)의 각각의 둘레에 연결된 지지 부재가 회전함으로써, 파지부(65B)를 수평 방향의 소정의 위치로 이동시킨다. 또, 제2 다관절 암(66B)은, 제2 파지부(65B)를 수직축(AX4a) 둘레에서 회전시켜 풉(F)의 방향을 조정한다. 2개의 다관절 암(66A, 66B)은 각각, 승강 구동부(67)에 장착되어 있다.
승강 구동부(67)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 2개의 구동부(67A, 67B)를 구비하고 있다. 제1 구동부(67A)는, 제1 다관절 암(66A)을 상하 방향으로 승강시키고, 제2 구동부(67B)는, 제2 다관절 암(66B)을 상하 방향으로 승강시킨다. 즉, 2개의 파지부(65A, 65B)는, 서로 독립적으로 승강된다. 2개의 구동부(67A, 67B)는, 서로 수평 방향(예를 들면 X방향)으로 늘어서 배치되어 있다.
제1 파지부(65A) 및 제1 다관절 암(66A)은, 제2 파지부(65B) 및 제2 다관절 암(66B)보다 상방에 설치되어 있다. 즉, 제1 파지부(65A) 및 제1 다관절 암(66A)은, 충돌을 방지하기 위해, 제2 파지부(65B) 및 제2 다관절 암(66B)보다 하방으로 이동할 수 없도록 구성되어 있다. 또한, 이 점, 승강 구동부(67)는, 파지부(65B)보다 상방 및 하방에 파지부(65A)를 이동할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
수평 구동부(68)는, 승강 구동부(67)를 수평 방향(Y방향)으로 이동시킨다. 이에 의해, 2개의 파지부(65A, 65B)는, 2개의 다관절 암(66A, 66B)의 수평 방향의 가동 범위에서 다다르지 않는 풉(F)에 가까워질 수 있다. 또, 도 7b에 있어서, 2개의 파지부(65A, 65B)는 각각, 선반(61) 및 4개의 오프너(5A~5D)의 전부에 풉(F)을 반송할 수 있다.
또한, 2개의 파지부(65A, 65B), 2개의 다관절 암(66A, 66B), 승강 구동부(67)(2개의 구동부(67A, 67B)) 및 수평 구동부(68)는 각각, 전동 모터를 구비하고 있다. 또, 2개의 구동부(67A, 67B)는 각각, 예를 들면 2개의 풀리와 벨트를 구비하고 있어도 된다. 또, 파지부 및 다관절 암 등은, 필요에 따라서 2세트 이외여도 된다.
기판 처리 장치(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 1개 또는 복수의 제어부(71)와 조작부(73)를 구비하고 있다. 제어부(71)는, 예를 들면 중앙 연산 처리 장치(CPU)를 구비하고 있다. 제어부(71)는, 기판 처리 장치(1)의 각 구성을 제어한다. 조작부(73)는, 표시부(예를 들면 액정 모니터), 기억부 및 입력부를 구비하고 있다. 기억부는, 예를 들면, ROM(Read-Only Memory), RAM(Random-Access Memory), 및 하드 디스크 중 적어도 1개를 구비하고 있다. 입력부는, 키보드, 마우스, 터치 패널 및 각종 버튼 중 적어도 1개를 구비하고 있다. 기억부에는, 기판 처리의 각종 조건 및 기판 처리 장치(1)의 제어에 필요한 동작 프로그램 등이 기억되어 있다.
<기판 처리 장치(1)의 동작>
다음에 기판 처리 장치(1)의 동작에 대해서 설명한다. 우선, 기판 처리 장치(1)의 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)의 동작에 대해서 설명한다.
도 2에 있어서, 풉 반송 기구(62)는 오프너(5A)에 풉(F)을 반송한다. 오프너(5A)의 셔터(16)는, 오프너(5A)의 재치대(12)에 재치된 풉(F)의 덮개의 로크를 풀면서, 덮개를 유지한다. 그 후, 풉(F)으로부터 덮개를 떼어내면서 하방향으로 슬라이드함으로써, 개구부(14)(도 3b 참조)를 개방한다. 2개의 오프너(5A, 5B)(도 3b 참조)와, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 통상 동작으로서 기판(W)의 취출(송출)용으로 미리 설정되어 있다. 그로 인해, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 예를 들면 오프너(5A)에 재치된 풉(F)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 풉(F)으로부터 취출한 기판(W)은, 기판 버퍼부(7)에 반송된다.
〔제1 기판 반송 기구(6A)에 의한 기판(W)의 취출 동작〕
도 8a에 있어서, 제1 기판 반송 기구(6A)의 진퇴 구동부(23)는, 2개의 핸드(21(21A, 21B))를 전진시킴으로써, 2개의 핸드(21)를 풉(F) 내에 진입시킨다. 진입 후, 승강 회전 구동부(25)(도 4 참조)는, 2개의 핸드(21)를 조금 상승시킨다. 이에 의해, 2개의 핸드(21)에 의해서 2장의 기판(W)을 들어올려 유지한다. 2장의 기판(W)을 들어올린 후, 진퇴 구동부(23)는, 2장의 기판(W)을 유지한 상태에서 2개의 핸드(21)를 후퇴시킨다.
풉(F)으로부터 2장의 기판(W)을 취출한 후, 취출한 2장의 기판(W)을 기판 버퍼부(7)의 이송 버퍼부(SBF1)에 반송한다. 구체적인 동작을 차례대로 설명한다. 승강 회전 구동부(25)는, 수직축(AX1a)을 따라서 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 승강(도 8b에서는 상승)시킴과 더불어, 수직축(AX1a) 둘레로 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 회전시킨다. 이에 의해, 유지하는 2장의 기판(W)을 두고, 이송 버퍼부(SBF1)의 소정의 높이 위치로 2개의 핸드(21)를 이동시키면서, 그 이송 버퍼부(SBF1)에 2개의 핸드(21)를 향하게 한다.
도 8c에 있어서, 진퇴 구동부(23)는, 2장의 기판(W)을 유지한 상태의 2개의 핸드(21)를 전진시킴으로써, 2개의 핸드(21)를 이송 버퍼부(SBF1)의 영역에 진입시킨다. 진입 후, 승강 회전 구동부(25)는, 2개의 핸드(21)를 조금 하강시킨다. 이에 의해, 2개의 핸드(21)에 의해서 2장의 기판(W)을 지지핀(29C) 상에 둔다. 2장의 기판(W)을 둔 후, 진퇴 구동부(23)는, 기판(W)을 유지하지 않는 상태의 2개의 핸드(21)를 후퇴시킨다.
이송 버퍼부(SBF1)에 2장의 기판(W)을 반송한 후, 다시, 풉(F)으로부터 1장 또는 2장의 기판(W)을 취출한다. 구체적으로는, 도 8d에 있어서, 승강 회전 구동부(25)는, 수직축(AX1a)을 따라서 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 승강(도 8d에서는 하강)시킴과 더불어, 수직축(AX1a) 둘레로 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 회전시킨다. 이에 의해, 다음에 취출하는 1장 또는 2장의 기판(W)에 대향하는 위치로 2개의 핸드(21)를 이동시키면서, 그 1장 또는 2장의 기판(W)에 2개의 핸드(21)를 향하게 한다. 그 후, 풉(F)으로부터 1장 또는 2장의 기판(W)을 취출한다.
또, 풉(F)으로부터 모든 기판(W)을 취출할 때까지, 도 8a~도 8d의 동작을 반복한다. 이 때, 도 1에 나타낸 처리 블록(3)의 2개의 도포 처리층(31A, 31B)에 병행 처리를 행하게 한다. 그로 인해, 풉(F)으로부터 취출한 2장의 기판(W)을 이송 버퍼부(SBF1)에 반송한 경우, 다음에 취출한 2장의 기판(W)은, 이송 버퍼부(SBF2)에 반송된다. 이 다음에 취출한 2장의 기판(W)은, 다시, 이송 버퍼부(SBF1)에 반송된다.
「이송 버퍼부(SBF1)」 및 「이송 버퍼부(SBF2)」에 번갈아 기판(W)이 분배된다. 또한, 도 8a~도 8c에 나타낸 바와 같이, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 풉(F)의 아래의 단(86)부터 차례대로 기판(W)을 취출하고, 이송 버퍼부(SBF1)의 재치판(29B)에 아래부터 차례대로 둔다.
또한, 도 8d에 있어서, 제1 도포 처리층(31A)의 제3 기판 반송 기구(33)는, 이송 버퍼부(SBF1)의 재치판(29B)에 재치된 1장의 기판(W)을 수취하고 있다. 수취한 기판(W)은, 제1 도포 처리층(31A)에 있어서 소정의 처리가 행해진다.
〔제2 기판 반송 기구(6B)에 의한 기판(W)의 수납(되돌림) 동작〕
도 9a에 있어서, 복귀 버퍼부(RBF1)의 아래로부터 1~3단째의 재치판(29B)에는, 3장의 기판(W)이 재치되어 있다. 이 3장의 기판(W)은, 제3 기판 반송 기구(33)로 반송된 기판(W)이며, 제1 도포 처리층(31A)에서 소정의 처리가 행해진 기판(W)이다. 제2 기판 반송 기구(6B)의 진퇴 구동부(23)는, 2개의 핸드(21)를 전진시킴으로써, 2개의 핸드(21)를 복귀 버퍼부(RBF1)의 영역에 진입시킨다. 진입 후, 2개의 핸드(21)에 의해서 2장의 기판(W)을 들어올려 유지한다. 2장의 기판(W)을 들어올린 후, 진퇴 구동부(23)는, 2장의 기판(W)을 유지한 상태에서 2개의 핸드(21)를 후퇴시킨다.
복귀 버퍼부(RBF1)로부터 2장의 기판(W)을 수취한 후, 예를 들면 오프너(5C)에 재치된 풉(F)에, 수취한 2장의 기판(W)을 풉(F) 내에 수납한다. 구체적인 동작을 차례대로 설명한다. 승강 회전 구동부(25)는, 수직축(AX1b)을 따라서 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 승강(도 9b에서는 상승)시킴과 더불어, 수직축(AX1b) 둘레로 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)를 회전시킨다. 이에 의해, 반송처의 풉(F)의 아래로부터 3, 4단째의 수납 스페이스에 대향하는 위치로 2개의 핸드(21)를 이동시키면서, 그 수납 스페이스에 2개의 핸드(21)를 향하게 한다.
도 9c에 있어서, 진퇴 구동부(23)는, 2장의 기판을 유지한 상태의 2개의 핸드(21)를 전진시킴으로써, 2개의 핸드(21)를 풉(F) 내에 진입시킨다. 진입 후, 2개의 핸드(21)에 의해서 2장의 기판(W)을 풉(F) 내의 아래로부터 3, 4단째에 둔다. 2장의 기판(W)을 둔 후, 진퇴 구동부(23)는, 기판(W)을 유지하지 않는 상태의 2개의 핸드(21)를 후퇴시킨다.
풉(F)에 처리가 끝난 2장의 기판(W)을 수납한 후, 다시, 복귀 버퍼부(RBF1) 이외의 예를 들면 복귀 버퍼부(RBF2)로부터 1장 또는 2장의 기판(W)을 수취한다. 즉, 다음에 취출하는 1장 또는 2장의 기판(W)에 대향하는 위치로 2개의 핸드(21)를 이동시키면서, 그 1장 또는 2장의 기판(W)에 2개의 핸드(21)를 향하게 한다. 그 후, 1장 또는 2장의 기판(W)을 수취한다.
이 도 9a~도 9d와 같은 동작을 반복함으로써, 풉(F)에 기판(W)을 수납한다. 이 때, 도 1에 나타낸 처리 블록(3)의 2개의 도포 처리층(31A, 31B)에서는, 병행 처리가 행해지고 있다. 그로 인해, 복귀 버퍼부(RBF1)로부터 풉(F)에 2장의 기판(W)을 반송한 후, 복귀 버퍼부(RBF2)로부터 풉(F)에 2장의 기판(W)을 반송한다. 그 후, 다시, 복귀 버퍼부(RBF1)로부터 풉(F)에 2장의 기판(W)을 반송한다.
이와 같이, 「복귀 버퍼부(RBF1)」 및 「복귀 버퍼부(RBF2)」로부터 번갈아 기판(W)이 풉(F)에 되돌려진다. 또한, 도 9a~도 9c에 나타낸 바와 같이, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 버퍼부(RBF1)로부터 아래서부터 차례대로 기판(W)을 수취해, 풉(F)의 아래의 단(86)부터 차례대로 수납한다.
풉(F) 내에 모든 기판(W)이 수납되면, 오프너(5C)의 셔터(16)는, 풉 본체에 덮개를 장착하면서 개구부(14)를 닫는다. 그 후, 오프너(5C)의 셔터(16)는, 오프너(5C)의 재치대(12)에 재치된 풉(F)의 덮개를 로크하고, 덮개의 유지를 개방한다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 오프너(5C)로부터 풉(F)을 반송한다. 또한, 「풉(F) 내에 모든 기판(W)이 수납된다」라는 것은, 풉(F)에 24장의 기판(W)이 수납되어 있었었던 경우에, 24장의 기판(W)이 수납된 것을 나타낸다.
도 9d에 있어서, 제1 도포 처리층(31A)의 제3 기판 반송 기구(33)는, 복귀 버퍼부(RBF1)의 재치판(29B)에 처리가 끝난 1장의 기판(W)을 재치하고 있다.
〔2개의 오프너(5A, 5B)에 대한 기판 반송 동작〕
다음에, 2개의 오프너(5A, 5B)에 재치된 2개의 풉(FA, FB)에 대한 제1 기판 반송 기구(6A)의 동작을 설명한다.
2개의 오프너(5A, 5B) 및 제1 기판 반송 기구(6A)는, 통상 동작으로서, 풉(F)으로부터 기판(W)을 취출하는(송출하는) 동작을 행하도록 미리 설정되어 있다. 도 3b를 참조한다. 제1 기판 반송 기구(6A)는, 오프너(5A)에 재치된 풉(FA)으로부터 기판(W)을 취출한다. 취출한 기판(W)은, 기판 버퍼부(7)에 반송된다. 그리고, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 풉(FA)으로부터 모든 기판(W)을 취출한다. 여기서, 도 3b에 나타낸 오프너(5B)가 설치되어 있지 않는 것으로 가정한다. 이 경우, 풉 반송 기구(62)에 의해 오프너(5A)의 비게 된 풉(FA)이 다른 풉(F)으로 치환될 때까지, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 대기 상태가 되어 버린다. 그 때문에, 처리 블록(3)에 기판(W)을 공급할 수 없게 된다.
그러나, 풉 버퍼 장치(4)는, 오프너(5A)에 추가해 오프너(5B)를 구비하고 있다. 그로 인해, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 오프너(5A)의 풉(FA)으로부터 기판(W)을 전부 취출한 후, 오프너(5B)의 풉(FB)으로부터 기판(W)의 취출을 개시할 수 있다. 이에 의해, 제1 기판 반송 기구(6A)의 대기 시간을 감소할 수 있다. 또, 2개의 오프너(5A, 5B)가, 제1 기판 반송 기구(6A)의 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)의 승강 경로를 따라서 상하 방향으로 설치되어 있다. 그로 인해, 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23) 등을 Y방향으로 이동시키지 않아도 되므로, 기판(W)의 반송 효율의 저하를 방지하면서, 제1 기판 반송 기구(6A)의 2개의 핸드(21)를 이동할 수 있다.
또한, 오프너(5B)의 풉(FB)으로부터 기판(W)을 전부 취출한 후, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 풉(FA) 대신에 오프너(5A)에 재치된 제3의 풉(F)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 즉, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 오프너(5A)에 재치된 풉(F)과 오프너(5B)에 재치된 풉(F)에 대해 풉 단위로 번갈아 기판(W)을 취출하도록 구성되어 있다.
〔2개의 오프너(5C, 5D)에 대한 기판 반송 동작〕
다음에, 2개의 오프너(5C, 5D)에 재치된 2개의 풉(FC, FD)에 대한 제2 기판 반송 기구(6B)의 동작을 설명한다.
2개의 오프너(5C, 5D) 및 제2 기판 반송 기구(6B)는, 통상 동작으로서, 풉(F)에 기판(W)을 수납하는(되돌리는) 동작을 행하도록 미리 설정되어 있다. 도 3b를 참조한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 오프너(5C)에 재치된 풉(FC)에 기판 버퍼부(7)로부터 수취한 기판(W)을 전부 수납한다. 여기서, 도 3b에 나타내는 오프너(5D)가 설치되어 있지 않는 것으로 가정한다. 이 경우, 풉 반송 기구(62)에 의해 오프너(5C)에 재치된 풉(FC)(모든 처리가 끝난 기판(W)이 수납되어 있음)가 다른 풉(F)으로 치환될 때까지, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 대기 상태가 되어 버린다. 그 때문에, 처리 블록(3)에 의해 처리된 기판(W)을 풉(F)에 수납할 수 없게 된다.
그러나, 풉 버퍼 장치(4)는, 오프너(5C)에 추가해 오프너(5D)를 구비하고 있다. 그 때문에, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 오프너(5C)의 풉(FC)에 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납한 후, 오프너(5D)의 풉(FD)에 기판(W)의 수납을 개시할 수 있다. 이에 의해, 제2 기판 반송 기구(6B)의 대기 시간을 감소할 수 있다. 또, 2개의 오프너(5C, 5D)가, 제2 기판 반송 기구(6B)의 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23)의 승강 경로를 따라서 상하 방향으로 설치되어 있다. 그로 인해, 2개의 핸드(21) 및 진퇴 구동부(23) 등을 Y방향으로 이동시키지 않아도 되므로, 기판(W)의 반송 효율의 저하를 방지하면서, 제2 기판 반송 기구(6B)의 2개의 핸드(21)를 이동시킬 수 있다.
또한, 오프너(5D)의 풉(FD)으로부터 기판(W)을 전부 수납한 후, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 오프너(5C)에 재치된 제3의 풉(F)에 기판(W)의 수납을 개시한다. 즉, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 오프너(5C)에 재치된 풉(F)과 오프너(5D)에 재치된 풉(F)에 대해 풉 단위로 번갈아 기판(W)을 수납하도록 구성되어 있다.
〔풉 반송 기구(62)에 의한 2개의 풉(F)의 치환 동작〕
다음에, 풉 반송 기구(62)의 2개의 파지부(65A, 65B)에 의한 2개의 풉(F)의 치환 동작에 대해서 설명한다. 4개의 오프너(5A~5D)의 각각에 재치된 풉(F)은, 다른 풉(F)으로 치환된다. 이 경우, 풉 반송의 효율화를 위해, 풉 반송 기구(62)의 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용하여 치환 동작이 행해진다. 또한, 4개의 오프너(5A~5D) 이외의 반송, 예를 들면 입력 포트(IP1)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB1)으로의 풉 반송은, 2개의 파지부(65A, 65B) 중 한쪽을 이용하여 행해진다.
도 10a에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해, 미처리 기판 풉 선반(IB2)에 재치된 미처리의 풉(F6)(사선으로 나타남)을 파지한다. 그리고, 풉 반송 기구(62)는, 다관절 암(66A) 및 구동부(67A)에 의해, 파지한 미처리의 풉(F6)을, 미처리 기판 풉 선반(IB2)(선반(61))과 4개의 오프너(5A~5D) 사이의 반송 스페이스로 이동시킨다.
도 10b에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해, 오프너(5B)에 재치된 비게 된 풉(F4)을 파지한다. 그리고, 풉 반송 기구(62)는, 다관절 암(66B) 및 구동부(67B)에 의해, 파지한 빈 풉(F4)을 오프너(5B)로부터 반송 스페이스로 이동시킨다. 또한, 상측의 파지부(65A)는, 미처리의 풉(F6)이 하측의 파지부(65B) 등에 충돌하지 않는 위치로 이동하고 있다.
도 10c에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해 파지된 미처리의 풉(F6)을, 빈 풉(F4) 대신에 오프너(5B)에 재치한다. 그리고, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의한 파지를 해제한다. 상측의 파지부(65A)는, 반송 스페이스로 이동된다. 또한, 하측의 파지부(65B)는, 상측의 파지부(65A)에 의해서 파지된 풉(F6)에 충돌하지 않는 위치로 이동하고 있다.
도 10d에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 파지된 빈 풉(F4)을 예를 들면 빈 풉 선반(EB2)에 재치한다. 그리고, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의한 파지를 해제한다. 이와 같이, 치환 동작을 행함으로써, 풉(F)의 반송을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 이 설명에서는, 미처리의 풉(F6)을 상측의 파지부(65A)로 파지하고, 빈 풉(F4)을 하측의 파지부(65B)로 파 지하고 있었는데, 반대로 파지해도 된다. 즉, 미처리의 풉(F6)을 하측의 파지부(65B)로 파지하고, 빈 풉(F4)을 상측의 파지부(65A)로 파지해도 된다.
〔풉 버퍼 장치(4)의 동작예 1〕
다음에, 도 11에 나타낸 플로차트에 따라서, 풉 버퍼 장치(4)의 동작에 대해서 설명한다. 도 11은, 입력 포트로부터 출력 포트로의 풉(F1)의 반송 동작과, 기판 반송 동작을 설명하기 위한 플로차트이다. 「풉(F1)」이란, 소정의 풉(F)이다. 즉, 「풉(F1)」에 주목해, 「풉(F1)」을 일례로 하여 풉 반송 등을 설명한다. 소정의 풉(F1)으로 풉을 한정하지 않는 경우에는, 「풉(F)」으로 나타낸다. 도 12는, 풉 버퍼 장치(4)의 동작 우선 순위를 나타내는 도면이다.
또한, 이 설명에 있어서, 기판(W)의 취출을 위한 오프너를 「이송 오프너」라 부르고, 기판(W)의 수납을 위한 오프너를 「복귀 오프너」라 부른다.
외부 반송 기구(OHT)에 의해서, 풉(F1)이 예를 들면 입력 포트(IP1)에 반송된다(단계 S01). 기판 처리 장치(1)는, 공장의 호스트 컴퓨터로부터 풉(F1)에 수납되어 있는 기판(W)에 대해 처리를 실행한다는 지시를 받는다(단계 S02).
기판 처리 장치(1)의 제어부(71)는, 입력 포트(IP1)의 풉(F1)을, 2개의 이송 오프너(5A, 5B) 중 한쪽에 반송할 수 있는지 여부를 판정한다(단계 S03). 이 판정에 있어서, 각각의 오프너(5A, 5B)에 풉(F)이 재치되어 있는지 여부는, 스케줄 관리 소프트(스케줄러)로 관리된 풉(F)의 현재 위치에 따라, 또는, 이송 오프너(5A, 5B)의 각각의 재치대(12)에 설치된 예를 들면 광학식 센서의 정보에 의한다. 이러한 판정 방법은, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 및 선반(61)의 경우도 마찬가지이다. 스케줄 관리 소프트는, 기판 처리 장치(1)의 제어부(71)에서 실행된다.
판정 결과, 2개의 이송 오프너(5A, 5B) 중 어느 한쪽에 반송할 수 있는 경우에는 단계 S04로 진행되고, 반송할 수 없는 경우에는 단계 S05로 진행된다.
단계 S04에 있어서, 제어부(71)는, 또한, 이송 오프너(5A, 5B)의 양쪽에 풉(F)이 배치되어 있지 않은 경우, 복귀 오프너(5C, 5D) 중 적어도 한쪽에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 및 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4)의 전부에 풉(F)(빈 풉을 포함함)이 재치되어 있지 않은 경우를 전부 만족하는지 여부를 판정한다. 판정 결과, 상술한 조건을 전부 만족하는 경우(예를 들면, 후술하는 도 13a, 도 13b 및 도 17c 참조)에는, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터, 이송 오프너(5A, 5B)가 아니라, 풉(F)이 재치되어 있지 않은 반송 가능한 복귀 오프너(예를 들면, 5C)에 풉(F1)을 반송한다(단계 S06). 또한, 기판 처리 장치(1)의 스케줄러, 및 풉 버퍼 장치(4)의 동작 우선 순위(도 12 참조)에 따라, 풉(F1)은 이송 오프너(5A(5B))에 반송되고, 모든 기판(W)이 취출된 후, 복귀 오프너(5C(5D))에 반송되도록 미리 설정되어 있다.
또, 단계 S04의 판정 결과, 조건 중 적어도 1개를 만족하지 않는 경우에는, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 이송 오프너(5A, 5B) 중 반송할 수 있는 쪽에 풉(F1)을 반송한다(단계 S07).
한편, 단계 S03에 있어서, 이송 오프너(5A, 5B)의 양쪽에 다른 풉(F)이 재치되어 있고, 풉(F1)을 반송할 수 없는 경우에는, 제어부(71)는, 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2) 중 한쪽에 풉(F1)을 반송할 수 있는지 여부, 또한 풉(F1)을 반송할지 여부를 판정한다(단계 S05). 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2)의 양쪽에 다른 풉(F)이 재치되어 있기 때문에, 선반(IB1, IB2)의 어느 것에도 풉(F1)을 반송할 수 없는 경우에는, 입력 포트(IP1)에서 풉(F1)을 대기시킨다. 또, 제어부(71)가 반송하지 않는다고 판정한 경우에도 입력 포트(IP1)에서 풉(F1)을 대기시킨다. 반송 가능하고, 또한 제어부(71)가 반송한다고 판정한 경우, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2) 중 한쪽에 풉(F1)을 반송한다(단계 S08).
풉(F1)이 복귀 오프너(5C, 5D)의 한쪽에 재치된 경우, 단계 S09A에 있어서, 풉(F1)으로부터 기판(W)이 취출되고, 취출된 기판(W)은, 기판 버퍼부(7)에 반송된다. 통상, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D)는 풉(F)에 기판(W)을 수납하기 위해서 이용된다. 그러나, 기판(W)을 정체없이 반송할 수 있는 경우(상술한 단계 S04의 조건을 만족하는 경우)에는, 복귀 오프너(5C, 5D)의 한쪽에 재치된 미처리 기판 풉(F)으로부터 처리 전의 기판(W)을 취출한다. 이에 의해, 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납할 때까지의 동안에, 예를 들면, 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)을 이동시키지 않고 그대로 둘 수 있다(단계 S10). 그로 인해, 풉 반송 기구(62)는, 다른 풉(F)을 반송할 수 있으므로, 풉(F)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 풉(F1)이 이송 오프너(5A, 5B)의 한쪽에 재치된 경우, 단계 S09B에 있어서, 풉(F1)으로부터 기판(W)이 취출되고, 취출된 기판(W)은, 기판 버퍼부(7)에 반송된다. 제1 기판 반송 기구(6A)가 풉(F1)으로부터 기판(W)을 전부 취출한 후, 비게 된 풉(F1)은, 이송 오프너(5A)로부터 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4) 중 어느 하나에 반송된다(단계 S11). 예를 들면, 처리 블록(3)에서 처리된 최초의 기판(W)이 기판 버퍼부(7)로 되돌아온 타이밍에서, 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4) 중 어느 하나로부터 2개의 복귀 오프너(5C, 5D)의 반송 가능한 한쪽에 풉(F1)이 반송된다(단계 S12). 또한, 단계 S09B에서 비게 된 풉(F1)은, 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4)을 통하지 않고, 직접 복귀 오프너(5C, 5D)의 한쪽에 반송해도 된다.
단계 S13에 있어서, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 예를 들면 복귀 오프너(5C)에 재치된 빈 풉(F1)에 처리가 끝난 기판(W)을 수납한다. 즉, 기판 버퍼부(7)에 되돌려진 처리가 끝난 기판(W)을 빈 풉(F1)에 반송한다. 빈 풉(F1)에 모든 기판(W)이 수납된 경우에 있어서, 미리 호스트 컴퓨터로부터 출력의 지시가 있었던 경우(FIFO(first-in first-out)의 동작 우선 순위에 변경이 있었던 경우), 처리가 끝난 기판(W)을 수납한 풉(F1)을 2개의 출력 포트(OP1, OP2) 중 한쪽에 반송한다(단계 S14, S15).
호스트 컴퓨터로부터 출력의 지시가 없었던 경우, 제어부(71)는, 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2) 중 한쪽에 풉(F1)을 반송할 수 있는지 여부, 또한 풉(F1)을 반송할지 여부를 판정한다(단계 S16). 반송할 수 없는 경우 또는, 제어부(71)가 반송하지 않는다고 판정한 경우에는, 풉(F1)을 복귀 오프너(5C)에 대기시켜, 반송 가능하고, 또한 제어부(71)가 반송한다고 판정한 경우, 풉 반송 기구(62)는 복귀 오프너(5C)로부터 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2) 중 한쪽에 풉(F1)을 반송한다(단계 S17).
처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1(OB2))에 반송된 풉(F1)은, FIFO의 동작 우선 순위에 따라, 2개의 출력 포트(OP1, OP2) 중 한쪽에 반송된다(단계 S15). 출력 포트(OP1(OP2))에 반송된 풉(F1)은, 외부 반송 기구(OHT)에 의해서, 출력 포트(OP1(OP2))로부터 다음의 장치를 향해 반송된다.
도 12는, 풉 버퍼 장치(4)의 동작 우선 순위를 나타내는 도면이다. 이 도 12와 같이, 하류측의 복귀 동작이 상류측의 이송 동작보다 우선하여 행해진다. 도 11에 나타낸 부호 P1~P6은, 도 12에 나타낸 우선 1~우선 6에 각각 대응한다. 풉(F)의 처리 개시의 순번(우선 순위), 및 장치(1)로부터의 출력의 순번은 호스트 컴퓨터의 지시에 따라서 행해지고, 기본적으로는, FIFO(first-in first-out)로 행해진다. 또한, 도 12에 나타낸 동작 우선 순위는, 풉 반송 기구(62)가 단일의 파지부만을 갖는 경우, 혹은, 풉 반송 기구(62)가 복수의 파지부를 갖고 있어도 상술한 2개의 파지부(65A, 65B)에 의한 치환 동작을 하지 않고 1개의 파지부로 풉(F)을 반송하는 경우에 적용된다. 그 때문에, 본 실시예와 같이, 4개의 오프너(5A~5D)에 있어서의 치환 동작의 경우에는, 예를 들면 우선 순위가 반대가 되어, 도 12에 나타낸 동작 우선 순위는, 적용되지 않는다.
〔풉 버퍼 장치(4)의 동작예 2〕
다음에, 복수의 풉(F)을 반송하는 경우의 동작예를 설명한다. 또한, 이 반송은, 도 11에 나타낸 플로차트의 동작이 적용되고, 도 12에 나타낸 동작 우선 순위가 일부 적용된다.
외부 반송 기구(OHT)는, 복수의 풉(F)을 차례대로 공급한다. 외부 반송 기구(OHT)는, 2개의 입력 포트(IP1, IP2) 중 어느 것에도 반송할 수 없는 경우를 제외하고, 2개의 입력 포트(IP1, IP2) 중 한쪽에 풉(F)을 반송한다. 또한, 외부 반송 기구(OHT)로부터 입력 포트(IP1, IP2) 중 한쪽에 풉(F)이 반송된 순번에 번호가 매겨진다. 예를 들면 2번째의 풉(F)은 「F2」로서 나타내어지고, 5번째의 풉(F)은 「F5」로서 나타내어진다. 도 13a~13d 등에 있어서, 도시의 편의에 따라, 예를 들면 풉(F1)은, 「1」로서 나타내어진다.
도 13a에 있어서, 입력 포트(IP1)에는 풉(F1)이 반송되고, 입력 포트(IP2)에는 풉(F2)이 반송된다. 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 복귀 오프너(5C)에 풉(F1)을 반송한다(우선 5).
도 13b에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP2)로부터 복귀 오프너(5D)에 풉(F2)을 반송한다(우선 5). 입력 포트(IP1)는, 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F3)을 수취한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 기판(W)의 반송은, 풉(F)의 반송과 병행하여 행해진다.
도 13c에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 이송 오프너(5A)에 풉(F3)을 반송한다(우선 5). 입력 포트(IP2)는, 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F4)을 수취한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)으로부터 계속해서 기판(W)을 취출한다. 또한, 제2 기판 반송 기구(6B)가 풉(F1)으로부터 기판(W)을 취출하고 있는 도중이므로, 풉(F2)은, 취출 대기의 상태이다.
도 13d에 있어서, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP2)로부터 이송 오프너(5B)에 풉(F4)을 반송한다(우선 5). 입력 포트(IP1)는, 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F5)을 수취한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 종료한다. 그 후, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5D)에 재치된 풉(F2)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)에 수납되어 있었던 기판(W)은, 처리 블록(3)에 의한 처리 후에 기판 버퍼부(7)에 제일 먼저 되돌아오는 것을 제어부(71)에 의해 실행되는 스케줄 관리 소프트로 알고 있다(계산되고 있다). 그로 인해, 기판(W)이 전부 취출되어 비게 된 풉(F1)은, 복귀 오프너(5C)에 그대로 놓인다.
또한, 「풉(F1)」, 「풉(F2)」, 「풉(F3)」, 「풉(F4)」의 차례로 처리 블록(3)에 의한 처리가 행해질 예정이며, 또, 제2 기판 반송 기구(6B)가 풉(F2)으로부터 기판(W)을 취출하고 있는 도중이다. 그로 인해, 풉(F3)은, 취출 대기의 상태이다.
도 14a에 있어서, 4개의 오프너(5A~5D)가 4개의 풉(F1~F4)으로 메워져 있으므로, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 풉(F5)을 반송한다(우선 6). 동일한 이유에 의해, 입력 포트(IP2)가 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F6)을 수취한 후, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP2)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB2)에 풉(F6)을 반송한다(우선 6).
도 14b에 있어서, 2개의 입력 포트(IP1, IP2)는, 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F7, F8)을 수취한다. 4개의 오프너(5A~5D) 및 2개의 미처리 기판 풉 선반(IB1, IB2)이 6개의 풉(F1~F6)으로 메워져 있다. 그 때문에, 풉 버퍼 장치(4)에 더 이상의 풉(F)을 받아들일 수 없다. 이에 의해, 외부 반송 기구(OHT)는, 2개의 입력 포트(IP1, IP2) 중 한쪽이 반송 가능하게 될 때까지, 풉(F)의 공급을 정지한다.
제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5D)에 재치된 풉(F2)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 종료한다. 그 후, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F3)로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 복귀 오프너(5D)에 재치된 풉(F2)에 수납되어 있었던 기판(W)은, 처리 블록(3)에 의한 처리 후에 기판 버퍼부(7)에 풉 단위로 2번째로 되돌아오는 것을 제어부(71)에 의해 실행되는 스케줄 관리 소프트로 알고 있다. 그로 인해, 기판(W)이 전부 취출되어 비게 된 풉(F2)은, 복귀 오프너(5D)에 그대로 놓인다.
도 14c에 있어서, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F3)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 종료한다. 그 후, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5B)에 재치된 풉(F4)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 기판 처리 장치(1)는 계속적으로 처리를 행하므로, 비게 된 풉(F3)을 이송 오프너(5A)로부터 빈 풉 선반(EB1)에 반송하고, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F5)을 이송 오프너(5A)에 반송한다.
풉 반송 기구(62)는, 우선, 상측의 파지부(65A)에 의해 미처리 기판 풉 선반(IB1)의 풉(F5)을 파지하고, 미처리 기판 풉 선반(IB1)으로부터 풉(F5)을 이동시킨다. 하측의 파지부(65B)는, 풉(F)을 파지하고 있지 않은 상태이다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 이송 오프너(5A)에 있어서, 비게 된 풉(F3)을 풉(F5)으로 치환한다. 구체적으로는, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 이송 오프너(5A)의 비게 된 풉(F3)을 파지하고, 이송 오프너(5A)로부터 풉(F3)을 이동시킨다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해 이송 오프너(5A)에 풉(F5)을 둔다. 풉(F5)을 둔 후, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 비게 된 풉(F3)을 빈 풉 선반(EB1)에 둔다.
도 14d에 있어서, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)가 2개의 풉(F5, F4)으로 메워져 있으므로, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 풉(F7)을 반송한다(우선 6).
도 15a에 있어서, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5B)에 재치된 풉(F4)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 종료한다. 그 후, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F5)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 기판 처리 장치(1)는 계속적으로 처리를 행하기 위해서, 비게 된 풉(F4)을 이송 오프너(5B)로부터 빈 풉 선반(EB2)에 반송하고, 미처리 기판 풉 선반(IB2)에 재치된 풉(F6)을 오프너(5B)에 반송한다.
풉 반송 기구(62)는, 우선, 상측의 파지부(65A)에 의해 미처리 기판 풉 선반(IB2)의 풉(F6)을 파지하고, 미처리 기판 풉 선반(IB2)으로부터 풉(F6)을 이동시킨다. 하측의 파지부(65B)는, 어느 풉(F)도 파지하고 있지 않은 상태이다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 이송 오프너(5B)에 있어서, 비게 된 풉(F4)을 풉(F6)으로 치환한다. 구체적으로는, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 이송 오프너(5B)의 비게 된 풉(F4)을 파지하고, 이송 오프너(5B)로부터 풉(F4)을 이동시킨다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해 이송 오프너(5B)에 풉(F6)을 둔다. 풉(F6)을 둔 후, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 비게 된 풉(F4)을 빈 풉 선반(EB2)에 둔다.
도 15b에 있어서, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)가 2개의 풉(F5, F6)으로 메워져 있으므로, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP2)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB2)에 풉(F8)을 반송한다(우선 6).
도 15c에 있어서, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F5)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 종료한다. 그 후, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5B)에 재치된 풉(F6)으로부터 기판(W)의 취출을 개시한다. 또, 풉 반송 기구(62)는, 빈 풉(F5)을 빈 풉 선반(EB3)에 반송한다.
풉 반송 기구(62)는, 우선, 상측의 파지부(65A)에 의해 미처리 기판 풉 선반(IB1)의 풉(F7)을 파지하고, 미처리 기판 풉 선반(IB1)으로부터 풉(F7)을 이동시킨다. 하측의 파지부(65B)는, 어느 풉(F)도 파지하고 있지 않은 상태이다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 이송 오프너(5A)에 있어서, 비게 된 풉(F5)을 풉(F7)으로 치환한다. 구체적으로는, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 이송 오프너(5A)의 비게 된 풉(F5)을 파지하고, 이송 오프너(5A)로부터 풉(F5)을 이동시킨다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해 이송 오프너(5A)에 풉(F7)을 둔다. 풉(F7)을 둔 후, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 비게 된 풉(F5)을 빈 풉 선반(EB3)에 둔다. 입력 포트(IP2)는, 외부 반송 기구(OHT)로부터 풉(F10)을 수취한다.
또한, 도 13d에 있어서, 풉(F1)으로부터 모든 기판(W)의 취출이 종료된다. 취출된 기판(W)은, 기판 버퍼부(7)를 통해, 처리 블록(3)으로 보내진다. 처리 블록(3)은, 기판(W)에 대해 소정의 처리를 행한다. 처리 블록(3)에 의해 소정의 처리가 행해진 처리가 끝난 기판(W)은, 제3 기판 반송 기구(33)에 의해, 기판 버퍼부(7)에 되돌려진다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 기판 버퍼부(7)에 되돌려진 기판(W)을 풉(F1)에 수납한다.
도 15d에 있어서, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)에 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납한다. 그 후, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5D)에 재치된 풉(F2)에 기판(W)의 수납을 개시한다. 그 후, 가령, 복귀 오프너(5D)에 재치된 풉(F2)에 처리가 끝난 기판(W)이 전부 수납된 경우, 복귀 오프너(5C)에 재치되는 풉(F3)에 처리가 끝난 기판(W)의 수납을 개시한다.
풉 반송 기구(62)는, 처리가 끝난 풉(F1)을 출력 포트(OP1)에 반송한다. 풉 반송 기구(62)는, 우선, 상측의 파지부(65A)에 의해 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 빈 풉(F3)을 파지하고, 빈 풉 선반(EB1)으로부터 빈 풉(F3)을 이동시킨다. 하측의 파지부(65B)는, 어느 풉(F)도 파지하고 있지 않은 상태이다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 복귀 오프너(5C)에 있어서, 처리가 끝난 기판(W)이 수납된 풉(F1)을 빈 풉(F3)으로 치환한다. 구체적으로는, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 복귀 오프너(5C)의 풉(F1)을 파지하고, 복귀 오프너(5C)로부터 풉(F1)을 이동시킨다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 상측의 파지부(65A)에 의해 복귀 오프너(5C)에 빈 풉(F3)을 둔다. 빈 풉(F3)을 둔 후, 풉 반송 기구(62)는, 하측의 파지부(65B)에 의해 처리가 끝난 풉(F1)을 출력 포트(OP1)에 둔다.
또, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)가 2개의 풉(F7, F6)으로 메워져 있으므로, 풉 반송 기구(62)는, 입력 포트(IP1)로부터 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 풉(F9)을 반송한다(우선 6).
도 16에 있어서, 출력 포트(OP1)에 재치된 풉(F1)은, 외부 반송 기구(OHT)에 의해, 출력 포트(OP1)로부터 반송된다.
또, 도 16에 나타낸 상태의 추후의 도 17a에 있어서, 처리가 끝난 기판(W)이 수납된 풉(F4)이 2개의 출력 포트(OP1, OP2) 중 어느 것에도 반송할 수 없는 경우에는, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2) 중 한쪽(예를 들면 부호 OB1)에 복귀 오프너(5D)로부터 풉(F4)을 반송한다. 또한, 이 때, 풉 반송의 효율화를 위해서, 풉 반송 기구(62)는, 복귀 오프너(5D)에 있어서, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용하여, 풉(F4)을 빈 풉(F6)으로 치환하고 있다.
또한, 도 17a에 나타낸 상태의 추후의 도 17b에 있어서, 처리가 끝난 기판(W)이 수납된 풉(F6)이 2개의 출력 포트(OP1, OP2) 및 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2) 중 어느 것에도 반송할 수 없는 경우에는, 더 이상 반송할 수 없다. 그 때문에, 2개의 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1, OB2) 중 한쪽이 빈 경우, 혹은, 2개의 출력 포트(OP1, OP2) 중 한쪽이 비고, 풉(F4, F5)보다 순번이 우선되는 경우가 될 때까지, 복귀 오프너(5D)에 있어서, 풉(F6)은 대기된다.
또한, 도 17b에 나타낸 상태로부터 시간이 경과해, 입력 포트(IP1)가 풉(F16)을 수취했을 때, 이송 오프너(5A, 5B)가 아니라, 복귀 오프너(5D)에 풉(F16)을 반송하면, 풉 반송이 효율화된다. 즉, 도 17c에 나타낸 바와 같이, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)의 양쪽에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 어느 하나에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 및 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4)의 전부에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우를 전부 만족할 때, 풉 반송 기구(62)는, 풉(F)이 재치되어 있지 않은 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 한쪽(도 17c에서는 복귀 오프너(5D))에 풉(F16)을 반송한다. 이 경우, 예를 들면, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F15)에 처리가 끝난 기판(W)이 전부 수납된 후, 복귀 오프너(5D)로부터 기판(W)의 취출을 개시한다.
본 실시예에 의하면, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)의 각각에 재치된 풉(F)으로부터 기판 버퍼부(7)에 기판(W)을 반송하도록 설정되어 있다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 기판 버퍼부(7)로부터 2개의 복귀 오프너(5C, 5D)의 각각에 재치된 풉(F)에 기판(W)을 반송하도록 설정되어 있다. 2개의 이송 오프너(5A, 5B)의 전부에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 적어도 어느 하나에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 및 4개의 빈 풉 선반(EB1~EB4)에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우의 전부를 만족할 때, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 어느 하나에, 특정 풉(F)을 반송한다. 여기서, 특정 풉(F)은, 예를 들면, 도 13a에 있어서의 풉(F1), 도 13b에 있어서의 풉(F2), 및 도 17c에 있어서의 풉(F16)을 들 수 있다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 기판 버퍼부(7)로부터 풉(F)에 기판(W)을 반송하도록 설정되어 있다. 그러나, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 특정 풉(F)으로부터 기판 버퍼부(7)에 기판(W)을 반송하고, 그 후, 기판 버퍼부(7)로부터 특정 풉(F)에, 처리 블록(3)에서 처리된 처리가 끝난 기판(W)을 반송한다. 풉 반송 기구(62)는, 제2 기판 반송 기구(6B)에 의해 특정 풉(F)으로부터 모든 기판(W)을 취출하고 나서 특정 풉(F)에 모든 처리가 끝난 기판(W)을 수납할 때까지의 동안에, 특정 풉(F)의 재치 위치(예를 들면 풉(F1)의 경우에는, 이송 오프너(5C))에 특정 풉(F)을 멈추게 하도록 되어 있다.
통상, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 기판 버퍼부(7)로부터 오프너(5C(5D))에 재치된 풉(F)에 기판(W)을 반송하도록 설정되어 있다. 그러나, 소정의 조건을 만족하는 경우에, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 풉(F)으로부터 기판 버퍼부(7)에 기판(W)을 반송한다. 즉, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 통상의 기판 반송 동작과 상이한 동작을 행한다. 이에 의해, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 특정 풉(F)으로부터 모든 기판(W)을 취출하고 나서 특정 풉(F)에 모든 처리가 끝난 기판(W)을 수납할 때까지의 동안에, 특정 풉(F)의 재치 위치(오프너(5C(5D)))에 특정 풉(F)을 멈추게 할 수 있다. 이에 의해, 풉 반송 기구(62)는, 특정 풉(F) 이외의 풉(F)을 반송할 수 있으므로, 풉(F)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 풉(F)의 반송 대기가 저감되므로, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 2개의 이송 오프너(5A, 5B)의 전부에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 어느 하나에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우, 및 빈 풉 선반(EB1(EB2~EB4))에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우에, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D) 중 어느 하나에, 특정 풉(F)을 반송한다. 여기서, 특정 풉(F)은, 예를 들면, 도 13b에 있어서의 풉(F2), 및 도 17c에 있어서의 풉(F16)을 들 수 있다. 예를 들면, 소정의 복귀 오프너(예를 들면 오프너(5C))에 풉(F)이 재치되어 있지 않지만, 다른 복귀 오프너(예를 들면 오프너(5D))에 풉(F)이 재치되어 있는 경우가 있다. 이러한 경우에도, 풉 반송 기구(62)는, 특정 풉(F2(F16))으로부터 모든 기판(W)을 취출하고 나서 특정 풉(F2(F16))에 모든 처리가 끝난 기판(W)을 수납할 때까지의 동안에, 특정 풉(F2(F16))의 재치 위치(예를 들면 오프너(5C))에 특정 풉(F)을 멈추게 할 수 있다.
또, 기판 처리 장치(1)에 있어서, 제1 기판 반송 기구(6A) 및 제2 기판 반송 기구(6B)는 각각, 횡방향으로 배치된 예를 들면 2개의 오프너(5A, 5C)가 아니라, 상하 방향으로 배치된 예를 들면 2개의 오프너(5A, 5B)에 각각 재치된 풉(F)에 관한 기판(W)의 반송을 행한다. 그로 인해, 오프너를 늘린 경우에도, 진퇴 가능한 핸드(21)를 횡방향으로 슬라이드 이동시키지 않고, 승강 및 회전에 의해서 기판(W)이 반송되므로, 기판(W)의 반송을 심플하게 행할 수 있다. 따라서, 기판 반송의 대기 시간을 감소할 수 있음과 더불어, 기판 반송 효율의 저하를 방지할 수 있다. 그 결과, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 제1 오프너열(9)의 예를 들면 오프너(5A)에 재치된 풉(F)으로부터 모든 기판을 취출한 후, 제1 오프너열(9)의 오프너(5B)에 재치된 다른 풉(F)으로부터 기판(W)을 취출한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 제2 오프너열(10)의 오프너(5C)에 재치된 풉(F)에 모든 기판을 수납한 후, 제2 오프너열(10)의 오프너(5D)에 재치된 다른 풉(F)에 기판(W)을 수납한다.
이에 의해, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 풉(F)으로부터 모든 기판(W)을 취출한 후, 다른 풉(F)으로부터 기판(W)을 취출할 수 있다. 또, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 풉(F)에 모든 기판(W)을 수납한 후, 다른 풉(F)에 기판(W)을 수납할 수 있다.
[실시예 2]
다음에, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 또한, 실시예 1과 중복되는 설명은 생략한다. 도 18은, 실시예 2에 따른 기판 처리 장치(1)에 있어서의 풉의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이다.
실시예 1에서는, 예를 들면, 도 10a~도 10d 및 도 15a에 나타낸 바와 같이, 이송 오프너(5B)에 재치된 풉(F4)을, 미처리 기판 풉 선반(IB2)에 재치된 풉(F6)으로 치환하는(바꾸는) 치환 동작에 대해서 설명했다. 또, 예를 들면, 도 15d에 나타낸 바와 같이, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F1)을, 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 빈 풉(F3)으로 치환하는 치환 동작에 대해서 설명했다.
그러나, 풉(F)의 반송 효율이 나쁘면, 제1 기판 반송 기구(6A)(제2 기판 반송 기구(6B))가 풉 대기의 상태가 될 가능성이 있다. 그로 인해, 실시예 2에 있어서도, 풉(F)의 반송 효율을 향상시키고 있다.
도 18에서는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F24)을, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 다른 풉(F25)으로 치환하고 있다. 여기서, 풉(F24)으로부터 모든 기판(W)위 취출을 끝낸 시점 또는 그 부근보다 전부터(모든 기판(W)의 취출을 끝낸 시점 또는 그 부근으로부터 거슬러올라가), 풉 반송 기구(62)가 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F25)의 반송을 개시하면, 오프너(5A)에 재치된 풉(F24)을 원활하게 반송할 수 있다.
구체적으로 설명한다. 제1 기판 반송 기구(6A)는, 2개의 이송 오프너(5A, 5B) 중 어느 하나에 재치된 풉(F24)으로부터 모든 기판(W)을 취출한다. 그 결과, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 빈 풉(F24)을 생성한다.
그리고, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용함으로써, 2개의 오프너(5A, 5B) 중 어느 하나에 재치된 제1의 빈 풉(F24)을, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F25)으로 치환하는 치환 동작을 행한다. 이 때, 풉 반송 기구(62)는, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL1 전에, 치환 동작을 위해서 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F25)의 반송 동작을 개시한다. 치환 동작시, 예를 들면, 상측의 파지부(65A)로 풉(F25)을 파지하고, 하측의 파지부(65B)로 풉(F24)을 파지한다.
시점 t3이라고 예측되는 시점은, 스케줄 관리 소프트 또는, 기판 버퍼부(7)의 재치판(29B)에 기판(W)이 재치되어 있는 것을 검지하는 광학 센서의 정보에 의거해, 제어부(71)의 계산에 의해 예측된다.
또한, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3은, 예를 들면, 풉(F)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 끝낸 시점 또는 그 부근의 시점이다. 시점 t3은, 예를 들면, 제1 기판 반송 기구(6A)의 핸드(21)가 풉(F)으로부터 최후의 기판(W)을 취출한 시점, 셔터(16)에 의해 빈 풉(F)이 덮개로 닫힌 시점, 혹은, 재치대(12)의 슬라이드 기구(전동 모터로 구동함)에 의해서, 풉(F)이 벽부(8)로부터 슬라이드하여 떨어진 시점을 들 수 있다.
또, 미리 설정된 시간 TL1(시점 t1~ 시점 t2)은, 예를 들면 실험 결과에 의거해 설정된다. 미리 설정된 시간 TL1은, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F)의 반송 동작의 개시 t1(개시 시점)에서부터 풉 반송 기구(62)가 제1의 빈 풉(F24)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t2까지의 시간이다.
또한, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F)의 반송 동작의 개시 t1(개시 시점)은, 예를 들면, 풉 반송 기구(62)가 정지하고 있는 상태로부터, 풉 반송 기구(62)의 2개의 파지부(65A, 65B), 2개의 다관절 암(66A, 66B), 승강 구동부(67) 및 수평 구동부(68) 중 적어도 1개가 움직이기 시작하는 시점 또는 그 부근의 시점이다.
또, 풉 반송 기구(62)가 제1의 빈 풉(F24)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t2란, 예를 들면, 풉 반송 기구(62)의 다관절 암(66A(66B)), 승강 구동부(67) 및 수평 구동부(68) 중 적어도 1개에 의해서, 파지부(65A(65B))를 풉(F24)에 대향시킨 상태가 되는 시점 또는 그 부근의 시점을 나타낸다. 이 때, 풉(F24)에 대향시키는 파지부(65A(65B))는, 풉(F)을 파지하고 있지 않은 상태이다.
본 실시예에 의하면, 풉(F)의 반송 효율의 향상을 위해서, 풉 반송 기구(62)는 치환 동작을 행한다. 이 때, 풉 반송 기구(62)는, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL1 전에, 치환 동작을 위해, 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F25)의 반송을 개시한다. 이에 의해, 제1의 빈 풉(F24)을 생성하는 시점 t3에 있어서, 풉 반송 기구(62)가 제1의 빈 풉(F24)을 반송할 수 있는 상태(시점 t2와 그 부근)로 할 수 있다. 그로 인해, 빈 풉(F24)이 생성될 때(시점 t3)에 맞춰, 그 빈 풉(F24)을 반송할 수 있으므로, 풉(F)의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 이 설명에 있어서, 이송 오프너(5A(5B))에 재치된 풉(F24)을 미처리 기판 풉 선반(IB1(IB2))에 재치된 풉(F25)으로 치환했다. 이 점, 도 18의 파선과 같이, 이송 오프너(5A(5B))에 재치된 풉(F24)은, 입력 포트(IP1(1P2))에 재치된 풉(F)으로 치환되어도 된다. 미처리 기판 풉 선반(IB1(IB2)) 및 입력 포트(IP1(1P2))는, 본 발명의 상류측 보관 선반에 상당한다.
[실시예 3]
다음에, 도면을 참조해 본 발명의 실시예 3을 설명한다. 또한, 실시예 1, 2와 중복되는 설명은 생략한다. 도 19는, 실시예 3에 따른 기판 처리 장치(1)에 있어서의 풉(F)의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이다.
실시예 2에서는, 이송 오프너(5A(5B))에 재치된 빈 풉(F24)의 치환 동작에 대해서 설명했다. 본 실시예에서는, 복귀 오프너(5C(5D))에 재치된 처리가 끝난 기판 풉(F22)의 치환 동작에 대해서 설명한다.
도 19에서는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F22)을, 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 다른 빈 풉(F23)으로 치환하고 있다. 여기서, 처리 블록(3)에서 처리된 기판(W)을 전부 풉(F22)에 수납을 끝낸 시점 또는 그 부근보다 전부터, 풉 반송 기구(62)가 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 빈 풉(F23)의 반송을 개시하면, 복귀 오프너(5C)에 재치된 풉(F22)을 원활하게 반송할 수 있다.
구체적으로 설명한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 제2의 빈 풉(F22)에 처리가 끝난 기판(W)을 모두 수납한다. 그 결과, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 생성하고 있다.
그리고, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용함으로써, 복귀 오프너(5C)에 재치된 처리가 끝난 기판 풉(F22)을, 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 제3의 빈 풉(F23)으로 치환하는 치환 동작을 행한다. 이 때, 풉 반송 기구(62)는, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL2 전에, 치환 동작을 위해서 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 제3의 빈 풉(F23)의 반송을 개시한다. 치환 동작 시, 예를 들면, 상측의 파지부(65A)로 풉(F25)을 파지하고, 하측의 파지부(65B)로 풉(F22)을 파지한다.
또한, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8은, 예를 들면, 제2의 빈 풉(F22)에 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납을 끝낸 시점 또는 그 부근의 시점이다. 시점 t8은, 예를 들면, 제2 기판 반송 기구(6B)의 핸드(21)가 풉(F22)에 최후의 기판(W)을 수납한 시점, 셔터(16)에 의해 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 덮개로 닫힌 시점, 혹은, 재치대(12)의 슬라이드 기구에 의해서, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 벽부(8)로부터 슬라이드하여 떨어진 시점을 들 수 있다.
또, 미리 설정된 시간 TL2(시점 t6~시점 t7)는, 예를 들면 실험 결과에 의거해 설정된다. 미리 설정된 시간 TL2는, 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 제3의 빈 풉(23)을 반송하는 동작의 개시 t6(개시 시점)에서부터 풉 반송 기구(62)가 처리가 끝난 기판 풉(22)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t7까지의 시간이다.
또한, 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 제3의 빈 풉(23)을 반송하는 동작의 개시 t6이란, 예를 들면, 풉 반송 기구(62)가 정지하고 있는 상태로부터, 풉 반송 기구(62)의 2개의 파지부(65A, 65B), 2개의 다관절 암(66A, 66B), 승강 구동부(67) 및 수평 구동부(68) 중 적어도 1개가 움직이기 시작하는 시점 또는 그 부근의 시점이다.
또, 풉 반송 기구(62)가 제3의 빈 풉(F)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t7이란, 예를 들면, 풉 반송 기구(62)의 다관절 암(66A(66B)), 승강 구동부(67) 및 수평 구동부(68) 중 적어도 1개에 의해서, 파지부(65A(65B))를 처리가 끝난 기판 풉(F22)에 대향시킨 상태가 된 시점 또는 그 부근의 시점이다. 이 때, 미처리 풉(F22)에 대향시키는 파지부(65A(65B))는, 풉(F)을 파지하고 있지 않은 상태이다.
본 실시예에 의하면, 풉(F)의 반송 효율의 향상을 위해서, 풉 반송 기구(62)는 치환 동작을 행한다. 이 때, 풉 반송 기구(62)는, 처리가 끝난 기판 풉(F)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL2 전에, 치환 동작을 위해, 빈 풉 선반(EB1(EB2~EB4))에 재치된 제3의 빈 풉(F23)의 반송을 개시한다. 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 생성하는 시점 t8에 있어서, 풉 반송 기구(62)가 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태(시점 t7과 그 부근)로 할 수 있다. 그로 인해, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성될 때에 맞춰, 그 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있으므로, 풉(F)의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
[실시예 4]
다음에, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예 4를 설명한다. 또한, 실시예 1~3과 중복되는 설명은 생략한다. 도 20a는, 실시예 4에 따른 기판 처리 장치에 있어서의 풉(F)의 치환 동작을 설명하기 위한 도면이다. 도 20b는, 2개의 파지부(65A, 65B)에 의해 치환 동작을 행하지 않을 때의 풉 반송 동작을 설명하기 위한 도면이다.
실시예 2에서는, 이송 오프너(5A(5B))에 재치된 빈 풉(F24)의 치환 동작에 대해서 설명했다. 또, 실시예 3에서는, 이송 오프너(5C(5D))에 재치된 처리가 끝난 기판 풉(F22)의 치환 동작에 대해서 설명했다. 이들에 대해, 본 실시예에서는, 복수의 치환 동작이 연속해서 행해지는 경우에 대해서 설명한다.
도 20a에 있어서, 입력 포트(IP1(IP2))로부터 처리가 끝난 기판 풉 선반(OB1(OB2))까지의 6개의 풉(F21~26)을, 연속하는 5회의 치환 동작(DISP1~DISP5)에 의해서, 미처리 기판 풉 선반(IB1(IB2))으로부터 출력 포트(OP1(OP2))로 이동시킨다. 각 풉(F21~26)은, 풉 반송 기구(62)에 의해서 도 20a의 좌단에서부터 차례대로 파지되어, 부호 DISP1, 부호 DISP2, 부호 DISP3, 부호 DISP4, 부호 DISP5의 차례대로 치환 동작이 행해진다.
또한, 치환 동작 시, 예를 들면, 상측의 파지부(65A)로 풉(F26)을 파지하고, 하측의 파지부(65B)로 풉(F25)을 파지한다. 상측의 파지부(65A)로 풉(F24)을 파지하고, 하측의 파지부(65B)로 풉(F23)을 파지한다. 상측의 파지부(65A)로 풉(F22)을 파지하고, 하측의 파지부(65B)로 풉(F21)을 파지한다.
본 실시예의 치환 동작을 구체적으로 설명한다. 제1 기판 반송 기구(6A)는, 이송 오프너(5A)에 재치된 풉(F24)으로부터 모든 기판(W)을 취출한다. 그 결과, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 제1의 빈 풉(F24)을 생성한다. 제2 기판 반송 기구(6B)는, 복귀 오프너(5C)에 재치된 제2의 빈 풉(F22)에 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납한다. 그 결과, 제2 기판 반송 기구(6B)는, 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 생성한다. 제1 기판 반송 기구(6A)에 의한 기판(W)의 취출은, 제2 기판 반송 기구(6B)에 의한 기판(W)의 수납과 병행하여 행해진다.
그리고, 예를 들면, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용함으로써, 이송 오프너(5A(5B))에 재치된 제1의 빈 풉(F24)을, 미처리 기판 풉 선반(IB1(IB2))에 재치된 풉(F25)으로 치환하는 치환 동작을 행한다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용함으로써, 빈 풉 선반(EB1(EB2~EB4))에 재치된 제3의 빈 풉(F23)을, 예를 들면 상측의 파지부(65A)에 의해 파지된 제1의 빈 풉(F24)으로 치환하는 치환 동작을 행한다. 그 후, 풉 반송 기구(62)는, 2개의 파지부(65A, 65B)를 이용함으로써, 복귀 오프너(5C(5D))에 재치된 처리가 끝난 기판 풉(F22)을, 하측의 파지부(65B)에 의해 파지된 제3의 빈 풉(F23)으로 치환하는 치환 동작을 행한다.
이들의 처음의 치환 동작의 개시는, 어느 한 늦은 쪽에 의거해 행해진다. 즉, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점이, 처리가 끝난 기판 풉(F)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에는, 풉 반송 기구(62)는, 제1의 빈 풉(F)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL3 전에, 치환 동작을 위해 미처리 기판 풉 선반(IB1)에 재치된 풉(F26)의 반송을 개시한다.
또, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점이, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에는, 풉 반송 기구(62)는, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 TL4 전에, 치환 동작을 위해 빈 풉 선반(EB1)에 재치된 제3의 빈 풉(F23)의 반송을 개시한다.
또한, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3은, 예를 들면, 풉(F24)으로부터 모든 기판(W)의 취출을 끝낸 시점 또는 그 부근의 시점이다(실시예 2 참조). 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8은, 예를 들면, 제2의 빈 풉(F22)에 처리가 끝난 기판(W)을 전부 수납을 끝낸 시점 또는 그 부근의 시점이다(실시예 3 참조).
또, 미리 설정된 시간 TL3(시점 t11~시점 t12) 및 시간 TL4(시점 t11~시점 t13)는, 예를 들면 실험 결과에 의거해 설정된다. 시간 TL3은, 입력 포트(IP1)에 재치된 풉(F26)을 반송하는 동작의 개시 t11(개시 시점)로부터 풉 반송 기구(62)가 제1의 빈 풉(F24)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t12까지의 시간이다. 시간 TL4(시점 t11~ 시점 t13)는, 입력 포트 IP1에 재치된 풉(F26)을 반송하는 동작의 개시 t11(개시 시점)로부터 풉 반송 기구(62)가 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t13까지의 시간이다.
또한, 입력 포트 IP1에 재치된 풉(F26)을 반송하는 동작의 개시 t11은, 실시예 2, 3의 경우와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
또, 풉 반송 기구(62)가 제1의 빈 풉(F24)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t12란, 실시예 2의 경우와 동일하므로, 그 설명을 생략한다. 또, 풉 반송 기구(62)가 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태가 되는 시점 t13은, 실시예 3의 경우와 동일하므로, 그 설명을 생략한다.
본 실시예에 의하면, 풉(F)의 반송 효율의 향상을 위해서, 풉 반송 기구(62)는 제1~제5의 치환 동작을 행한다. 이 때, 풉 반송 기구(62)는, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점 및, 처리가 끝난 풉(F22)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점 중 어느 한 늦은 쪽보다도 미리 설정된 시간(시간 TL3 또는 시간 TL4) 전에, 치환 동작을 위해, 입력 포트(IP1(IP2))에 재치된 풉(F26)의 반송을 개시한다. 예를 들면, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점을 기준으로 풉(F)의 반송을 개시해도, 풉 반송 기구(62)가 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태가 되었을 때에, 제2 기판 반송 기구(6B)가 제2의 빈 풉(F22)에 기판(W)을 힌창 수납하고 있는 경우가 있다. 이 경우, 풉 반송 기구(62)에 대기 시간이 발생한다. 본 발명에 의하면, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3 혹은, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8에 맞춰, 제1의 빈 풉(F24) 또는 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태로 할 수 있다. 그로 인해, 연속해서 풉(F)을 치환하는 경우에 있어서의 풉 반송의 대기 시간을 감소하면서, 풉(F)의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 20b는, 치환 동작을 행하지 않는 경우의 풉 반송 동작을 나타내는 도면이다. 도 20b에 있어서, 풉(F21)은, 처리가 끝난 기판 풉(OB1(OB2))으로부터 출력 포트(OP1(OP2))로 반송된다(부호 TR1 참조). 그 후, 파지부를 되돌림 오프너(5C(5D))로 이동시킨다(부호 MV1 참조). 그 후, 풉(F22)은, 되돌림 오프너(5C(5D))로부터 처리가 끝난 기판 풉(OB1(OB2))으로 반송된다(부호 TR2). 그 후, 파지부는, 빈 풉 선반(EB1(EB2~EB4))으로 이동된다(부호 MV2 참조). 이와 같이, 2개의 파지부(65A, 65B)에 의해 치환 동작을 행하지 않는 경우에는, 풉(F)을 1개씩 반송해야 한다.
도 20a에 나타낸 바와 같이, 치환 동작이 많을수록 풉의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 풉 반송 기구(62)는, 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3이라고 예측되는 시점 및, 처리가 끝난 풉(F22)이 생성되는 시점 t8이라고 예측되는 시점 중 어느 한 늦은 쪽을 기준으로부터 거슬러 올라가, 풉(26)의 반송을 개시한다. 제1의 빈 풉(F24)이 생성되는 시점 t3 혹은, 처리가 끝난 기판 풉(F22)이 생성되는 시점 t8에 맞춰, 제1의 빈 풉(F24) 또는 처리가 끝난 기판 풉(F22)을 반송할 수 있는 상태로 할 수 있다. 그로 인해, 풉(F)의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 치환 동작은 5회였다. 이 점, 도 20a에 나타낸 바와 같이, 치환 동작은, 4회(부호 DISP2~부호 DISP5)여도 된다. 또, 치환 동작은, 3회(부호 DISP2~부호 DISP4)여도 된다. 또, 이송 오프너(5A(5B))의 제1의 빈 풉(F24)은, 입력 포트(IP1(IP2))의 풉(26)으로 치환해도 된다.
본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 일은 없고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 상술한 각 실시예에서는, 제1 오프너열(9)은 2개의 오프너(5A, 5B)를 구비하고, 제2 오프너열(10)은 2개의 오프너(5C, 5D)를 구비하고 있었다. 이 점, 제1 오프너열(9) 및 제2 오프너열(10)은 각각, 3개 이상의 오프너를 구비하고 있어도 된다. 이 때, 셔터(16)가 상하 방향으로 이동시키지 않고, 셔터(16)를 좌우 방향(Y방향)으로 이동시켜도 된다. 이에 의해, 3개 이상의 오프너를 상하 방향으로 배치해도 ID 블록의 높이를 억제할 수 있다.
예를 들면, 제1 오프너열(9)은, 3개의 오프너(5A, 5B, 5E)를 구비하고 있는 것으로 한다. 이 경우, 제1 기판 반송 기구(6A)는, 「오프너(5A)」, 「오프너(5B)」, 「오프너(5E)」의 차례대로 순환하도록 풉 단위로 기판(W)을 취출하도록 해도 된다.
(2) 상술한 각 실시예 및 변형예(1)에서는, 2개의 오프너(5A, 5B)가 이송 오프너로서 이용되고, 2개의 오프너(5C, 5D)가 복귀 오프너로서 이용되었는데, 역할이 반대여도 된다. 즉, 2개의 오프너(5C, 5D)가 이송 오프너로서 이용되고, 2개의 오프너(5A, 5B)가 복귀 오프너로서 이용되어도 된다. 이 경우, 도 13a, 도 13b에 있어서, 풉(F1, F2)은, 각각 복귀 오프너(5A, 5B)에 반송되고, 차례대로 기판(W)이 취출된다.
(3) 상술한 실시예 및 각 변형예에서는, 도 11에 있어서, 단계 S03의 판정을 한 후에, 단계 S04의 판정을 행했다. 이 점, 단계 S04의 판정 후에, 단계 S03의 판정을 행해도 된다. 이 때, 단계 S04의 판정에서, 전부 만족되는 경우(YES)에 단계 S06으로 진행되고, 전부를 만족하지 않는 경우(NO)에 단계 S03으로 진행된다. 그리고, 단계 S03의 판정에서, 반송할 수 있다고 판정된 경우(YES)에 단계 S07로 진행되고, 반송할 수 없다고 판정된 경우(NO)에 단계 S05로 진행된다. 또한, 이 변형예의 경우, 단계 S08로부터 되돌려지는 화살표는, 단계 S04, S03의 순번의 판정을 행하게 하기 위해서, 단계 S04의 앞쪽의 상태로 되돌려져도 된다.
(4) 상술한 실시예 및 각 변형예에서는, ID 블록(2)은, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B)를 구비하고 있었다. 이 점, 2개의 기판 반송 기구(6A, 6B) 대신에, ID 블록(2)은, Y방향으로 이동할 수 있는 제7 기판 반송 기구(91)를 구비하고 있어도 된다(도 21 참조). 이 경우, 제7 기판 반송 기구(91)는, 2개의 핸드(21A, 21B) 및 진퇴 구동부(23) 등을 Y방향으로 이동시키는 수평 이동 기구(93)를 구비하고 있다. 수평 이동 기구(93)는, 전동 모터를 구비하고 있다. 도 21에 나타낸 바와 같이, 4개의 오프너(95A~95D)는, 수평 방향(Y방향)으로 늘어서 배치되어 있어도 된다.
(5) 상술한 실시예 및 각 변형예에서는, 처리 블록(3)은, 수평 방향(Y방향)으로 서로 배치된 도포 블록(31)과 현상 블록(32)을 구비하고 있었다. 이 점, 처리 블록(3)은, 도 22에 나타낸 바와 같이, 단일의 블록이며, 상하 방향으로 배치된 4개의 도포 처리층(97A~97D)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 예를 들면, 4개의 도포 처리층(97A~97D)은 각각, 제3 기판 반송 기구, 5행×3단의 열처리부, 및 4행×1단의 도포 유닛(SC)을 구비하고 있어도 된다.
(6) 상술한 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 도 11의 단계 S04 대신`에 다음과 같이 동작시켜도 된다. 4개의 오프너(5A~5D) 및 빈 풉 선반(EB1~EB4)의 전부에 풉(F)이 재치되어 있지 않은 경우에(도 13a 참조), 풉 반송 기구(62)는, 2개의 복귀 오프너(5C, 5D)의 전부에 풉(F)을 반송하고, 그 후, 2개의 이송 오프너(5A, 5B) 중 어느 한쪽에 풉(F)을 반송한다(도 13a~도 13c 참조).
본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시할 수 있고, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

Claims (6)

  1. 기판을 처리하는 기판 처리 장치는, 이하의 요소를 포함한다:
    복수의 기판을 수납 가능한 캐리어로부터 반송된 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리 블록;
    상기 캐리어를 각각 재치(載置)하는 2개 이상의 제1 캐리어 재치부;
    상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제2 캐리어 재치부;
    상기 처리 블록에 기판을 송출하기 위해, 및 상기 처리 블록으로부터 기판을 되돌리기 위해서 이용되고, 복수의 기판을 재치하는 것이 가능한 기판 버퍼부;
    기판을 반송하는 기판 반송 기구;
    모든 기판이 취출(取出)되어 비게 된 상기 캐리어를 재치하는 빈 캐리어 선반과,
    상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구;
    상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하도록 설정됨과 더불어, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어에 기판을 반송하도록 설정되고,
    상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 적어도 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 상기 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부중 어느 하나에, 특정 캐리어를 반송하고,
    상기 기판 반송 기구는, 상기 특정 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하고, 그 후, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 특정 캐리어에, 상기 처리 블록에서 처리된 처리가 끝난 기판을 반송하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 기판 반송 기구에 의해 상기 특정 캐리어로부터 모든 기판을 취출하고 나서 상기 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 상기 특정 캐리어의 재치 위치에 상기 특정 캐리어를 멈추게 하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 상기 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에, 상기 특정 캐리어를 반송하는, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 캐리어 재치부의 상류에 설치된 상류측 보관 선반을 더 구비하고,
    상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 캐리어로부터 모든 기판을 취출해 제1의 빈 캐리어를 생성하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 제1의 빈 캐리어를, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어로 치환하는 치환 동작을 행하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 상기 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고,
    상기 미리 설정된 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 제1의 빈 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 제2의 빈 캐리어에 모든 기판을 수납하여 처리가 끝난 기판 캐리어를 생성하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써,
    상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 제3의 빈 캐리어로 치환하는 치환 동작을 행하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 시간 전에, 상기 치환 동작을 위해서 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 상기 제3의 빈 캐리어의 반송 동작을 개시하고,
    상기 미리 설정된 시간은, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 상기 제3의 빈 캐리어를 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 캐리어 재치부의 상류에 설치된 상류측 보관 선반을 더 구비하고,
    상기 기판 반송 기구는, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 캐리어로부터 모든 기판을 취출해 제1의 빈 캐리어를 생성하고, 또, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 제2의 빈 캐리어에 모든 기판을 수납하여 처리가 끝난 기판 캐리어를 생성하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 캐리어를 파지하는 2개의 파지부를 구비하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 제1의 빈 캐리어를, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 상기 캐리어로 치환하는 제1 치환 동작을 행하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1 치환 동작 후, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 빈 캐리어 선반에 재치된 제3의 빈 캐리어를, 상기 2개의 파지부 중 어느 하나에 의해 파지된 상기 제1의 빈 캐리어로 치환하는 제2 치환 동작을 행하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제2 치환 동작 후, 상기 2개의 파지부를 이용함으로써, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에 재치된 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를, 상기 2개의 파지부 중 어느 하나에 의해 파지된 상기 제3의 빈 캐리어로 치환하는 제3 치환 동작을 행하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점이, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 제1의 시간 전에, 상기 제1 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고,
    상기 캐리어 반송 기구는, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점이, 상기 제1의 빈 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 늦은 경우에, 상기 처리가 끝난 기판 캐리어가 생성되는 시점이라고 예측되는 시점보다 미리 설정된 제2의 시간 전에, 상기 제1 치환 동작을 위해서 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작을 개시하고,
    상기 미리 설정된 제1의 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 제1의 빈 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간이며,
    상기 미리 설정된 제2의 시간은, 상기 상류측 보관 선반에 재치된 캐리어의 반송 동작의 개시부터 상기 캐리어 반송 기구가 상기 처리가 끝난 기판 캐리어를 반송할 수 있는 상태가 되는 시점까지의 시간인, 기판 처리 장치.
  6. 복수의 기판을 수납 가능한 캐리어로부터 반송된 기판에 대해 소정의 처리를 행하는 처리 블록과,
    상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제1 캐리어 재치부와,
    상기 캐리어를 각각 재치하는 2개 이상의 제2 캐리어 재치부와,
    상기 처리 블록에 기판을 송출하기 위해, 및 상기 처리 블록으로부터 기판을 되돌리기 위해 이용되고, 복수의 기판을 재치하는 것이 가능한 기판 버퍼부와,
    기판을 반송하는 기판 반송 기구와,
    모든 기판이 취출되어 비게 된 상기 캐리어를 재치하는 빈 캐리어 선반과,
    상기 캐리어를 반송하는 캐리어 반송 기구를 구비한 기판 처리 장치의 제어 방법은, 이하의 요소를 포함한다:
    상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어로부터 상기 기판 버퍼부에 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 설정하는 공정;
    상기 기판 버퍼부로부터 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부의 각각에 재치된 상기 캐리어에 기판을 반송하도록 상기 기판 반송 기구를 설정하는 공정;
    상기 2개 이상의 제1 캐리어 재치부의 전부에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 적어도 어느 하나에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우, 및 빈 캐리어 선반에 상기 캐리어가 재치되어 있지 않은 경우에, 상기 캐리어 반송 기구에 의해, 상기 2개 이상의 제2 캐리어 재치부 중 어느 하나에, 특정 캐리어를 반송하는 공정;
    상기 기판 반송 기구에 의해, 상기 특정 캐리어로부터 상기 기판 버퍼에 기판을 반송하고, 그 후, 상기 기판 버퍼부로부터 상기 특정 캐리어에 상기 처리 블록에서 처리된 처리가 끝난 기판을 반송하는 공정;
    상기 캐리어 반송 기구에 의해, 상기 기판 반송 기구에 의해 상기 특정 캐리어로부터 기판을 모두 취출하고 나서 상기 특정 캐리어에 모든 처리가 끝난 기판을 수납할 때까지의 동안에, 상기 특정 캐리어의 재치 위치에 상기 특정 캐리어를 멈추게 하는 공정.
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