JPWO2013069716A1 - ロードポート、ｅｆｅｍ - Google Patents

Abstract

【課題】設置面積の大幅な増加を招くことなく、ウェーハ搬送室内に搬送可能なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能な装置を提供することを目的として、ロードポートを、載置テーブルを高さ方向に複数段設け、各載置テーブルをウェーハ搬送室の前面にＦＯＵＰを密着させ得るウェーハ出入位置に配置した状態で各載置テーブル上のＦＯＵＰ内に格納されているウェーハをウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能に構成し、載置テーブルを、ウェーハをＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡すＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間で前後方向に進退移動させる移動機構を備えた構成とした。

Description

本発明は、クリーンルーム内においてウェーハ搬送室の前面に設置するロードポート、及びこのようなロードポートを備えたＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）に関するものである。

半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、ウェーハを高清浄な環境で搬送・保管するためのＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる格納用容器が用いられ、ウェーハ搬送室とともにＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）を構成し、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室との間で出し入れする際や、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡しを行う際のインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）が重要な装置として利用されている。

ロードポートにＦＯＵＰを載置した状態では、ロードポートに設けたドア部をＦＯＵＰの背面に設けた扉に密着させた状態でこれらドア部及び扉が同時に開けられ、ウェーハ搬送室内に設けたアームロボット等のウェーハ搬送ロボットによって、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室内に取り出したり、ウェーハをウェーハ搬送室内からロードポートを通じてＦＯＵＰ内に収納できるようになされている。このようなウェーハ搬送ロボットを配置した空間であるウェーハ搬送室、及びロードポートとからなるモジュールは、上述のようにＥＦＥＭと呼ばれている。

ここで、ロードポートはウェーハ搬送室の前面に配置され、ロードポートを介してウェーハ搬送ロボットによってＦＯＵＰ内からウェーハ搬送室内に搬送されたウェーハは、ウェーハ搬送室の背面に配置された半導体処理装置で種々の処理または加工が施された後にウェーハ搬送室内からロードポートを通じてＦＯＵＰ内に再度収容される。

このようなロードポートをウェーハ搬送室の前面に複数並列した構成が知られている（特許文献１及び特許文献２参照）。各ロードポートの載置テーブルには、ロードポートの並列方向に平行な直線状の搬送ラインに沿って作動するＦＯＵＰ搬送装置によって上方からＦＯＵＰが移載されるとともに、処理済みのウェーハを収容したＦＯＵＰは、載置テープル上からＦＯＵＰ搬送装置に移載されるように構成されている。

特開２０１０−０９３２２７号公報 特開２００９−０１６６０４号公報

上述した構成であれば、ウェーハ搬送室の前面に並列するロードポートの数を増やすことによってウェーハ処理能力を向上させることができるが、並列配置する全てのロードポートの設置スペースを確保しなければならず、ウェーハ処理能力の向上を実現する一方で、ロードポート数の増加に伴う設置面積の広大化を招来し、さらには、高清浄な環境に維持しなければならいウェーハ搬送室の大型化をも伴うため、管理コストも増大してしまう。

そこで、本発明者は、設置面積の増大化を招来することなく、ウェーハ搬送室内に搬送可能（アクセス可能）なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能なロードポート、及びこのようなロードポートを備えたＥＦＥＭを発明した。

すなわち、本発明は、ウェーハ搬送室の前面に配置され、内部にウェーハを収容可能なＦＯＵＰを載置可能な載置テーブルを備えたロードポートに関するものである。ここで、ウェーハ搬送室の前面に本発明のロードポートを１台配置してもよく、複数台配置してもよい。

そして、本発明のロードポートは、載置テーブルを高さ方向に複数段設けており、各載置テーブルをウェーハ搬送室の前面にＦＯＵＰを密着させ得るウェーハ出入位置に配置した状態で各載置テーブル上のＦＯＵＰ内に格納されているウェーハをウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能に構成するとともに、少なくとも最上段の載置テーブル以外の載置テーブルを、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡すＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間で前後方向に進退移動させる移動機構を備えていることを特徴としている。

このようなロードポートであれば、高さ方向に複数段設けた各載置テーブルをウェーハ出入位置に位置付けることによって、各載置テーブルに載置したそれぞれのＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室の前面からウェーハ搬送室内に出し入れすることが可能になり、ロードポートの高さ方向においてウェーハ搬送室に対するウェーハのアクセス経路（搬入・搬出経路）が増加する。したがって、このようなロードポートをＥＦＥＭに用いれば、ロードポートを設置する面積の大幅な広大化を招来することなく、高さ方向の空間を有効に活用してウェーハ搬送処理能力を大きく向上させることができる。

さらに、本発明のロードポートでは、最上段の載置テーブルとして、ウェーハ出入位置及びＦＯＵＰ受渡位置を同じ位置に設定したものを適用することも可能であり、少なくとも最上段以外の載置テーブルを、移動機構によってウェーハ出入位置からＦＯＵＰ受渡位置へ前後方向に進退移動させて、最上段テーブルや、各載置テーブルよりも上方に配置されている載置テーブルと平面視において重ならない位置にまでウェーハ搬送室の前面から離反する方向へ移動させておけば、載置テーブルとＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰをスムーズに受け渡すことができる。また、本発明であれば、移動機構によるウェーハ出入位置とＦＯＵＰ受渡位置との間の載置テーブルの移動方向を前後方向に設定しているため、移動機構による載置テーブルの移動中に、高さ方向に隣り合う載置テーブル同士が干渉する事態を防止することができ、載置テーブルのウェーハ出入位置とＦＯＵＰ受渡位置との間の移動を単純な直線状の移動ラインに沿ってスムーズに行うことができる。

特に、本発明において、最上段の載置テーブルをウェーハ出入位置とＦＯＵＰ受渡位置との間で前後方向に進退移動可能に構成すれば、最上段の載置テーブルを他の載置テーブルと同様に作製し、同様の手順で扱うことができ、実用性に優れる。

さらに、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ライン数を少なくするには、少なくとも最上段の載置テーブル以外の載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置を、平面視において相互に一致する位置に設定することが好ましい。このような構成であれば、少なくとも最上段の載置テーブル以外の載置テーブルをＦＯＵＰ受渡位置に位置付ければ、このＦＯＵＰ受渡位置を通過する搬送ラインで作動するＦＯＵＰ搬送装置と最上段以外の載置テーブルとの間でＦＯＵＰの受け渡しを適切に行うことができる。なお、最上段の載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置も最上段以外の載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置と平面視において一致する位置に設定すれば、全ての載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置が平面視において一致し、このＦＯＵＰ受渡位置を通過する搬送ラインで作動するＦＯＵＰ搬送装置と全ての載置テーブルとの間でＦＯＵＰの受け渡しを適切に行うことができる。

また、本発明に係るＥＦＥＭは、１台以上の上述したロードポートと、そのロードポートを前面に隣接して設けたウェーハ搬送室とによって構成したことを特徴としている。ここで、本発明のＥＦＥＭは、ウェーハ搬送室の前面に配置するロードポートの台数を限定するものではない。

このようなＥＦＥＭであれば、上述した作用効果を奏するロードポートを備えているため、ロードポートの設置面積の増大化を招来することなく、高さ方向の空間を有効に利用してＥＦＥＭ全体のウェーハ搬送処理能力を向上させることができる。

本発明によれば、高さ方向に複数の載置テーブルを配置し、各載置テーブルに載せたＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室との間で出し入れ可能に構成しているため、ロードポートの幅寸法の大型化、ひいては設置面積の増大化を防止しつつ、ウェーハ搬送室内に搬送可能（アクセス可能）なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能なロードポート、及びこのようなサイド用ロードポートを備えたＥＦＥＭを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るロードポートを備えたＥＦＥＭと半導体処理装置との相対位置関係を模式的に示す平面図。 同実施形態に係るロードポートの全体外観図。 同実施形態に係るロードポートの側面図。 同実施形態に係るロードポートの正面図。 載置テーブルをＦＯＵＰ受渡位置に設定した同実施形態に係るロードポートの一部（ロードポートユニット）の側面図。 図３のＹ方向矢視図。 図３のＺ方向矢視図。 載置テーブルをウェーハ出入位置に設定した同実施形態に係るロードポートの一部（ロードポートユニット）の側面図。 図８のＹ方向矢視図。 同実施形態に係るロードポートの一変形例の図３対応図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係るロードポート１は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、共通のクリーンルームＡ内においてウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に隣接して配置されるものである。このロードポート１は、ウェーハ搬送室Ｂと共にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）を構成する。また、ウェーハ搬送室Ｂの背面Ｂ２には例えばウェーハ処理装置Ｄが隣接して設けられ、クリーンルームＡにおいて、ウェーハ処理装置Ｄ内、ウェーハ搬送室Ｂ内、及びＦＯＵＰｘ内は高清浄度に維持される一方、ロードポート１を配置した空間、換言すればウェーハ処理装置Ｄ外、ウェーハ搬送室Ｂ外、及びＦＯＵＰｘ外は比較的低清浄度となる。本実施形態では、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に複数台（図示例では２台）のロードポート１を並べて配置している。

ここで、図１はロードポート１とその周辺を上から見た平面図として、クリーンルームＡにおけるロードポート１及びウェーハ搬送室Ｂの相対位置関係を模式的に示すとともに、これらロードポート１及びウェーハ搬送室Ｂによって構成されるＥＦＥＭとウェーハ処理装置Ｄとの相対位置関係を模式的に示している。

ウェーハ搬送室Ｂ内には、図１に示すように、ＦＯＵＰｘ内のウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に搬送したり、ウェーハ処理装置Ｄ内で適宜の処理が施されたウェーハをＦＯＵＰｘ内に搬送可能なウェーハ搬送ロボットＢ３を設けている。本実施形態では、ウェーハ搬送ロボットＢ３を、ウェーハ搬送室Ｂの幅方向に延伸するスライドレールＢ４に沿ってスライド可能に設定し、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に並列配置した各ロードポート１の載置テーブル３に載置されたＦＯＵＰｘ内にアクセス可能に構成している。また、本実施形態のロードポート１は、後述するように複数の載置テーブル３を多段状に有するものであり、ウェーハ搬送ロボットＢ３を、ウェーハ搬送室Ｂの高さ方向に延伸するスライドレール（図示省略）に沿ってスライド可能に設定し、高さ方向に並ぶ各載置テーブル３に載置されたＦＯＵＰｘ内にアクセス可能に構成している。なお、ウェーハ搬送室Ｂ内に、ロードポート１に設けた載置テーブル３の数と同数又は載置テーブル３の数に対する比率が１：１以外の比率となる数（例えば２：１等）のウェーハ搬送ロボットＢ３を設けても構わない。ここで、ウェーハ搬送ロボットＢ３は、ウェーハを１枚ずつ搬送可能なものであってもよいし、ウェーハを複数枚ずつ搬送可能なものや、或いはＦＯＵＰｘ内の全てのウェーハを一度に搬送可能なものであってもよい。また、ウェーハ搬送室Ｂ内に、ウェーハ搬送ロボットＢ３に代えて、又は加えて、ＦＯＵＰｘ内とウェーハ処理装置Ｄ内との間でウェーハを複数枚格納したカセットごと搬送可能なカセット搬送機構を設けることも可能である。

ＦＯＵＰｘは、内部に複数のウェーハを高さ方向に多段状に収容可能に構成され、ＯＨＰ（Overhead Hoist
Transfer）などのＦＯＵＰ搬送装置によって把持可能なフランジ部ｘ１を上面に設け、両側面にはハンドルｘ２を設けた既知のものであり、詳細な説明は省略する。

ロードポート１は、図２乃至図４に示すように、ほぼ矩形板状をなし略鉛直姿勢で配置されるフレーム２と、このフレーム２の高さ方向に所定間隔で複数段配置した載置テーブル３と、フレーム２のうち各載置テーブル３の上面とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定しウェーハ搬送室Ｂ内に連通し得る開口部４と、各開口部４を開閉するドア部５とを備えたものである。

載置テーブル３には、フラットな上向き面（ＦＯＵＰ載置面）よりも上向きに突出させた突起３１を形成しており、これらの突起３１をＦＯＵＰｘの底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置テーブル３上におけるＦＯＵＰｘの位置決めを図っている。また、載置テーブル３の後端部には、ＦＯＵＰｘの前面を前方から支持するストッパ部３２を設けている。

ドア部５は、ＦＯＵＰｘを載置テーブル３に載置した状態においてＦＯＵＰｘの背面に設けた扉に密着した状態でその扉を開ける開状態と、隣接するウェーハ搬送室Ｂの内部空間とＦＯＵＰｘの内部空間とを遮断する閉状態との間で作動可能なものであり、具体的な開閉構造は既知のものに準じたものである。全てのドア部５の閉状態から開状態への切替方向（開放移動方向）を同一方向に設定することが可能であり、本実施形態では、各ドア部５の開放移動方向を例えば「上方向」に設定している。また、最上段の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向と、上から２段目以降の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向とを相互に異ならせたり、最下段の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向と、下から２段目以降の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向とを相互に異ならせたり、或いは、偶数段の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向と、奇数段の載置テーブル３に対応付けて設けたドア部５の開放移動方向とを相互に異ならせることも可能である。

また、本実施形態に係るロードポート１は、後述するウェーハ出入位置（Ｐ）に位置付けた載置テーブル３上のＦＯＵＰｘ内に格納されたウェーハの枚数や位置をマッピングするマッピング装置６を備えている。マッピング装置６は、載置テーブル３ごとに個別に対応付けて複数設けてもよいし、全ての載置テーブル３に共用可能なものであってもよい。マッピング装置６の一例としては、フレーム２のうちＦＯＵＰｘと対面する反対側の面（ウェーハ搬送室Ｂ側の面）に設けられ且つ高さ方向に延びるマッピング用レールと、このマッピング用レールに沿って移動するマッピングアームと、マッピングアームに設けたセンサとを備えたものを挙げることができる。また、各載置テーブル３にパージポートを設けることもできる。

このようなロードポート１は、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に隣接して配置されるものであり、ＦＯＵＰｘの扉を密着させて開閉し、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１側からウェーハをＦＯＵＰｘ内とウェーハ搬送室Ｂ内との間で出し入れするために用いられるものである。本実施形態では、図１に示すように、フレーム２の背面がウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に接した状態でロードポート１をウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に配置し、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に沿って延伸する直線上の搬送ラインＬ（動線）で作動するＦＯＵＰ搬送装置によって搬送されたＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付けた載置テーブル３上にロードポート１の上方から搬送して載置できるとともに、所定の処理（本実施形態では洗浄処理）を終えたウェーハを格納したＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付けた載置テーブル３上からＦＯＵＰ搬送装置に引き渡すことができるように設定している。なお、図１では、後述するウェーハ出入位置（Ｐ）にある載置テーブル３を実線で示し、ＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）にある載置テーブル３を実線で示している。

このようなウェーハ搬送室Ｂと共にＥＦＥＭを構成するロードポート１は、各載置テーブル３を、ウェーハ搬送装置Ｈとの間でＦＯＵＰｘを受け渡すことが可能なＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）と、ＦＯＵＰｘ内に収容されたウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に払い出すとともに、ウェーハ処理装置Ｄで処理されたウェーハをＦＯＵＰｘ内に収容可能なウェーハ出入位置（Ｐ）との間で前後方向に進退移動可能に構成している。本実施形態のロードポート１は、各載置テーブル３に対応付けて、載置テーブル３をＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）とウェーハ出入位置（Ｐ）との間で前後方向に進退移動させる移動機構７を備えている。

本実施形態では、フレーム２を構成するフレーム要素２１と、載置テーブル３と、移動機構７とをユニット化したロードポートユニット１Ｕを、高さ方向に複数連設してロードポート１を構成している。図５乃至図９には、単体のロードポートユニット１Ｕを示す。各ロードポートユニット１Ｕには、フレーム要素２１に形成した開口部を開閉するドア部５及びマッピング装置６もユニット化して設けている。

移動機構７は、図５等に示すように、載置テーブル３を下方から支持するメインスライドベース７１と、メインスライドベース７１の下方に配置され且つメインスライドベース７１を前後方向にスライド移動可能に支持する中間スライドベース７２と、中間スライドベース７２の下方に配置され且つ中間スライドベース７２を前後方向にスライド移動可能に支持する固定ベース７３とを備え、固定ベース７３をフレーム２に固定したものである。載置テーブル３とメインスライドベース７１との間には、載置テーブル３をメインスライドベース７１に対して進退移動させる第１アクチュエータ７４を設けるとともに、中間スライドベース７２と固定ベース７３との間には、中間スライドベース７２を固定ベース７３に対して進退移動させる第２アクチュエータ７５を設けている。各アクチュエータ（第１アクチュエータ７４、第２アクチュエータ７５）は、例えば油圧シリンダを用いて構成することができる。本実施形態では、第１アクチュエータ７４を、中間スライドベース７２に固定した第１シリンダ本体７４１と、先端部が載置テーブル３に固定され且つ第１シリンダ本体７４１に対して突没動作可能な第１ピストンロッド７４２とを用いて構成し、第２アクチュエータ７５を、固定ベース７３に固定した第２シリンダ本体７５１と、先端部が中間スライドベース７２に固定され且つ第２シリンダ本体７５１に対して突没動作可能な第２ピストンロッド７５２とを用いて構成している。メインスライドベース７１の下向き面には、長手方向をメインスライドベース７１の進退移動方向に一致させた姿勢で配置されてメインスライドベース７１の進退移動をガイドする第１レール７６（例えば２本のレール）を設けるとともに、固定ベース７３の上向き面には、長手方向を中間スライドベース７２の進退移動方向に一致させた姿勢で配置されて中間スライドベース７２の進退移動をガイドする第２レール７７（例えば２本のレール）を設けている。なお、各アクチュエータ（第１アクチュエータ７４、第２アクチュエータ７５）の駆動源は共通のものであってもよいし、それぞれ個別のものであってもよい。また、本実施形態でおける載置ステージ３を載置ステージ本体と捉えるとともに、本実施形態でおけるメインスライドレール７１を、載置ステージ本体を支持した状態でスライド移動可能な載置ステージ支持スライダと捉えた場合、本発明の載置ステージは、載置ステージ本体と、載置ステージ支持スライダとを備えたものであるといえる。この場合であっても、移動機構は、この載置ステージをウェーハ出入位置（Ｐ）とＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）との間で前後方向に進退移動させるものであることに変わりはない。

本実施形態のロードポート１は、載置テーブル３をＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付けた際に、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインＬがＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）を横切るように設定している（図１参照）。

載置テーブル３、移動機構７、ドア部５及びマッピング装置６の動作は図示しない制御部によって制御されている。なお、メンテナンスや部品交換時などを除いた通常使用時は、移動機構７の全部又は一部をカバー８で覆っているが、図５乃至図９では説明の便宜上、カバー８を取り外した状態を示している。

次に、このような本実施形態に係るロードポート１の使用方法及びＥＦＥＭの使用方法について、ロードポート１を用いてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す際のロードポート１の動作手順、及びロードポート１を介してＦＯＵＰｘ内のウェーハをウェーハ搬送室Ｂひいてはウェーハ処理装置Ｄに出し入れする際のロードポート１の動作手順を中心に説明する。

先ず、搬送ラインＬに沿ってＦＯＵＰ搬送装置により搬送されたＦＯＵＰｘを受け取る場合には、複数の載置テーブル３のうちＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す載置テーブル３をＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付けておく（図２等では最下段の載置テーブル３）。そして、ＦＯＵＰ搬送装置によって搬送されたＦＯＵＰｘをロードポート１の載置テーブル３上に受け取る（図３参照）。この際、載置テーブル３自体は昇降することなく、ＦＯＵＰ搬送装置側が適宜に昇降動作することにより、高さ位置の異なる各載置テーブル３にＦＯＵＰを受け渡すことができる。こうしてＦＯＵＰｘをロードポート１の載置テーブル３上に受け取った時点で、載置テーブル３上に設けた突起３１がＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合し、載置テーブル３に設けたストッパ部３２がＦＯＵＰｘの前面に当接または近接する。また、この時点で、載置テーブル３上に載置されたＦＯＵＰｘは、背面に設けた扉がウェーハ搬送室Ｂの後方を向く姿勢となっている。

次いで、本実施形態のロードポート１は、移動機構７によって載置テーブル３をＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）からウェーハ出入位置（Ｐ）へスライド移動させる。具体的には、各アクチュエータ７４，７５を駆動させて各ピストンロッド７４２，７５２を各シリンダ本体７４１，７５２内に収容する方向に移動させ、メインスライダベース７１及び中間スライダベース７２をウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に近付く方向へスライド移動させる。その結果、載置テーブル３はウェーハ出入位置（Ｐ）に位置付けられ、載置テーブル３上のＦＯＵＰｘの扉がロードポート１のドア部５に密着（接触又は近接を含む）した状態になる。なお、この時点で、載置ステージ３、メインスライダベース７１、中間スライダベース７２及び固定ベース７３は平面視において重なった状態にある。

次に、本実施形態のロードポート１は、ＦＯＵＰｘ内のウェーハをロードポート１の開口部４を経由してウェーハ搬送室Ｂ内に順次払い出す処理を行う。この払い出し処理は、ロードポート１のドア部５をＦＯＵＰｘの扉に密着させた状態で閉状態から開状態とし、開口部４を開放した状態で、マッピング装置６によってマッピング処理を行い、マッピング処理工程において異常が検出されなかったウェーハをウェーハ搬送ロボットＢ３のアーム部上に載置した状態でＦＯＵＰｘ外へ払い出す処理である。本実施形態では、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に配置した各ロードポート１上に載置されたＦＯＵＰｘ内へアクセス可能なウェーハ搬送ロボットＢ３が、ロードポート１上においてＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）からウェーハ出入位置（Ｐ）へスライド移動させた載置テーブル３上のＦＯＵＰｘ内へアクセス可能に構成している。

引き続いて、ウェーハ搬送室Ｂ内のウェーハ搬送ロボットＢ３によって、ウェーハ搬送室Ｂを経由してウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に搬送する。ウェーハ処理装置Ｄ内で適宜の処理を施したウェーハを、ウェーハ搬送ロボットＢ３によりウェーハ搬送室Ｂ内及びロードポート１の開口部４を経由してＦＯＵＰｘ内に移送して収納する。次いで、ロードポート１のドア部５をＦＯＵＰｘの扉に密着させた状態で開状態から閉状態にする。

この後のロードポート１の動作手順は上述した手順と逆になり、移動機構７によって載置テーブル３をウェーハ出入位置（Ｐ）からＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）へスライド移動させる。具体的には、各アクチュエータ７４，７５を駆動させて各ピストンロッド７４２，７５２を各シリンダ本体７４１，７５２内から突出する方向に移動させ、メインスライダベース７１及び中間スライダベース７２をウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１から離間する方向へスライド移動させる。その結果、載置テーブル３はＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付けられ、載置テーブル３上のＦＯＵＰｘはウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１から所定距離離れた状態で保持される。なお、この時点で、載置テーブル３、メインスライダベース７１、中間スライダベース７２及び固定ベース７３は平面視において前後方向（載置テーブル３の移動方向）に連なった状態にある。

以上の工程を経て、本実施形態のロードポート１は、密閉された内部空間に処理済みのウェーハを収納しているＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）に位置付け、直線上の搬送ラインＬに従ってＦＯＵＰｘを搬送するＦＯＵＰ搬送装置に、載置テーブル３上のＦＯＵＰｘを引き渡すことが可能である。

このように、本実施形態に係るロードポート１は、複数の載置テーブル３を多段状に配置し、各載置テーブル３をウェーハ出入位置（Ｐ）に位置付けることにより、ウェーハ出入位置（Ｐ）にあるＦＯＵＰｘ内のウェーハを、各載置テーブル３に対応付けた形成した開口部４を通じてウェーハ搬送室Ｂ内に搬送可能（アクセス可能）な状態にすることができる。このようなロードポート１をウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に隣接する位置に配置したＥＦＥＭを構成することにより、ロードポート１を設置する面積の大幅な増加を招来することなく、高さ方向の空間を有効に活用してロードポート１とウェーハ搬送室Ｂとの間におけるウェーハのアクセス経路を増加させることができ、ウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１からロードポート１を経由してＦＯＵＰｘ内のウェーハがウェーハ搬送室Ｂ内ひいてはウェーハ処理装置Ｄ内に搬送可能な状態になり、大量のウェーハを処理することができる。

さらに、本実施形態のロードポート１は、移動機構７によるウェーハ出入位置（Ｐ）とＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）との間の載置テーブル３の移動方向をウェーハ搬送室Ｂの前面Ｂ１に対して接離する水平方向に設定しているため、移動機構７による載置テーブル３の移動中に、高さ方向に隣り合う載置テーブル３同士が干渉する事態を防止することができ、載置テーブル３のウェーハ出入位置（Ｐ）とＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）との間の移動を単純な直線状の移動ラインに沿ってスムーズに行うことができる。

特に、本実施形態のロードポート１は、最上段の載置テーブル３も含めて全ての載置テーブル３をウェーハ出入位置（Ｐ）とＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）との間で前後方向に進退移動可能に構成し、各載置テーブル３のＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）を平面視において相互に一致する位置に設定しているため、最上段の載置テーブル３を他の載置テーブル３と同様の使用手順で扱うことができ、操作性に優れるとともに、このＦＯＵＰ受渡位置（Ｑ）を通過する搬送ラインで作動するＦＯＵＰ搬送装置と全ての載置テーブル３との間でＦＯＵＰｘの受け渡しを適切に行うことができ、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ライン数の低減及び単純化を図ることができる。

また、本実施形態に係るＥＦＥＭは、上述した作用効果を奏するロードポート１を備えているため、ロードポート１の設置面積の増大化を招来することなく、高さ方向の空間を有効に利用してＥＦＥＭ全体のウェーハ搬送処理能力を向上させることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、図２等に示す高さ方向に複数の載置テーブルを一列に配置した構成をモジュール化し、このモジュール（ロードポートモジュール）を複数備えた構成を有するロードポートであってもよい。この場合、ロードポートは、複数段に配置した載置テーブルの列（載置テーブル列）をモジュール数に応じて複数列有するものになる。

また、移動機構による載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との移動距離を、載置テーブル毎に異ならせてもよい。この場合、例えば、最上段の載置テーブルの移動距離を最も短く設定し、上から２段目以降の載置テーブルの移動距離を下段に向かって漸次長く設定すれば、全ての載置テーブルＦＯＵＰ受渡位置に位置付けた際に、全ての載置テーブルが平面視において重ならず、各載置テーブルとＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡すことが可能になる。さらに、この場合であれば、移動機構として、載置テーブルの移動距離に相当する寸法を有するステージ上で載置テーブルをウェーハ搬送室の前面に接離する方向にスライド移動させるものを適用することができる。

また、最上段の載置テーブルのウェーハ出入位置及びＦＯＵＰ受渡位置を同じ位置に設定した構成を採用することも可能である。この場合、上から二段目以降の載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置は、最上段の載置テーブルのＦＯＵＰ受渡位置よりもウェーハ搬送室の前面から離れた位置に設定すればよい。

上述した実施形態では、ユニット化したロードポートユニットを高さ方向に連続して設けたロードポートを示したが、共通のフレームに複数段の載置テーブルを配置したロードポートを構成することもできる。なお、ロードポートユニットであれば、ユニット同士の連結又は連結状態の解除を行うことによって載置テーブルの段数変更を容易に行うことができるというメリットがある。

また、載置テーブルの段数は、４段に限られず、図１０に示すように載置テーブルを２段にして設けたロードポートや、載置テーブルを３段にして設けたロードポート、或いは載置テーブルを５段以上にして設けたロードポートであっても構わない。なお、図１０では、上述した実施形態の各部に対応する部材や位置に同一の符号を付している。

また、ウェーハ搬送室の前面に１台又は３台以上のロードポートを配置した態様など、その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

本発明は、半導体製造産業、半導体製造装置産業において好適に利用される。

１…ロードポート
３…載置テーブル
７…移動機構
Ｂ…ウェーハ搬送室
ｘ…ＦＯＵＰ

Claims (4)

1. ウェーハ搬送室の前面に配置され、内部にウェーハを収容可能なＦＯＵＰを載置可能な載置テーブルを備えたロードポートであり、
   前記載置テーブルを高さ方向に複数段設け、
   前記各載置テーブルを前記ウェーハ搬送室の前面に前記ＦＯＵＰを密着させ得るウェーハ出入位置に配置した状態で前記各載置テーブル上の前記ＦＯＵＰ内に格納されているウェーハを前記ウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能に構成し、
   少なくとも最上段の載置テーブル以外の載置テーブルを、ウェーハＦＯＵＰ搬送装置との間で前記ＦＯＵＰを受け渡すＦＯＵＰ受渡位置と前記ウェーハ出入位置との間で前後方向に進退移動させる移動機構を備えていることを特徴とするロードポート。
2. 前記最上段の載置テーブルを前記ウェーハ出入位置と前記ＦＯＵＰ受渡位置との間で前後方向に進退移動可能に構成している請求項１に記載のロードポート。
3. 少なくとも最上段の載置テーブル以外の前記載置テーブルの前記ＦＯＵＰ受渡位置を、平面視において相互に一致する位置に設定している請求項１又は２記載のロードポート。
4. 請求項１乃至３の何れかに記載の１台以上のロードポートと、前記ロードポートを前面に隣接して設けたウェーハ搬送室とによって構成したことを特徴とするＥＦＥＭ。
   

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