JP5942576B2 - 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 - Google Patents

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6550207B2 (ja) 2013-10-29 2019-07-24 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP2015087444A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6233010B2 (ja) * 2013-12-26 2017-11-22 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6330321B2 (ja) * 2013-12-26 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6343994B2 (ja) * 2014-03-25 2018-06-20 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6381364B2 (ja) * 2014-08-22 2018-08-29 カルソニックカンセイ株式会社 ヘッドアップディスプレイ装置
JP6673632B2 (ja) * 2014-09-08 2020-03-25 ファナック株式会社 レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機
JP6507550B2 (ja) * 2014-09-30 2019-05-08 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、画像表示装置およびプロジェクター
JP6565459B2 (ja) * 2015-08-06 2019-08-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6610202B2 (ja) * 2015-11-27 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 光学デバイスおよび画像表示装置
JP7035305B2 (ja) * 2016-09-28 2022-03-15 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
CN110376689B (zh) * 2019-07-22 2021-02-12 上海营湾医疗科技有限公司 光电耦合透镜组
CN114077049A (zh) * 2020-08-14 2022-02-22 台湾东电化股份有限公司 光学元件驱动机构

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2987750B2 (ja) 1995-05-26 1999-12-06 日本信号株式会社 プレーナ型電磁アクチュエータ
JP4409186B2 (ja) * 2003-02-25 2010-02-03 日本信号株式会社 プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法
JP4926596B2 (ja) * 2006-08-08 2012-05-09 スタンレー電気株式会社 光偏向器及びその製造方法
JP4400608B2 (ja) 2006-10-19 2010-01-20 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置
JP4232834B2 (ja) * 2007-03-07 2009-03-04 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP2009134196A (ja) 2007-11-30 2009-06-18 Seiko Epson Corp 光学デバイスおよび画像形成装置
JP2010044208A (ja) * 2008-08-12 2010-02-25 Hoya Corp 共焦点光学装置
JP5402124B2 (ja) 2009-03-18 2014-01-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
JP2010230792A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Seiko Epson Corp 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
JP5392048B2 (ja) 2009-12-11 2014-01-22 株式会社豊田中央研究所 光偏向装置および光偏向装置の製造方法
WO2011080883A1 (ja) 2009-12-28 2011-07-07 株式会社ニコン 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
JP5630015B2 (ja) 2009-12-28 2014-11-26 株式会社ニコン 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
JP2011137961A (ja) 2009-12-28 2011-07-14 Nikon Corp 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
JP2011138888A (ja) 2009-12-28 2011-07-14 Nikon Corp 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
JP5577742B2 (ja) 2010-02-23 2014-08-27 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5659672B2 (ja) * 2010-10-06 2015-01-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置
JP2012108164A (ja) 2010-11-15 2012-06-07 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2012108165A (ja) 2010-11-15 2012-06-07 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2012123116A (ja) 2010-12-07 2012-06-28 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2012123117A (ja) 2010-12-07 2012-06-28 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP5598296B2 (ja) 2010-12-08 2014-10-01 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置
JP2012128307A (ja) 2010-12-17 2012-07-05 Seiko Epson Corp 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置

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