JP5942576B2 - 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 115
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 229910001172 neodymium magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N oxalonitrile Chemical compound N#CC#N JMANVNJQNLATNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012109185A JP5942576B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
| US13/861,746 US9563054B2 (en) | 2012-05-11 | 2013-04-12 | Optical device, optical scanner, and image display device |
| CN201310141346.9A CN103389575B (zh) | 2012-05-11 | 2013-04-22 | 光学器件、光扫描仪以及图像显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012109185A JP5942576B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013235213A JP2013235213A (ja) | 2013-11-21 |
| JP2013235213A5 JP2013235213A5 (enExample) | 2015-06-18 |
| JP5942576B2 true JP5942576B2 (ja) | 2016-06-29 |
Family
ID=49533891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012109185A Active JP5942576B2 (ja) | 2012-05-11 | 2012-05-11 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9563054B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5942576B2 (enExample) |
| CN (1) | CN103389575B (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6550207B2 (ja) | 2013-10-29 | 2019-07-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP2015087444A (ja) | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP6233010B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| JP6330321B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| JP6343994B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-06-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| JP6381364B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2018-08-29 | カルソニックカンセイ株式会社 | ヘッドアップディスプレイ装置 |
| JP6673632B2 (ja) * | 2014-09-08 | 2020-03-25 | ファナック株式会社 | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 |
| JP6507550B2 (ja) * | 2014-09-30 | 2019-05-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、画像表示装置およびプロジェクター |
| JP6565459B2 (ja) * | 2015-08-06 | 2019-08-28 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
| JP6610202B2 (ja) * | 2015-11-27 | 2019-11-27 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
| JP7035305B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2022-03-15 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| CN110376689B (zh) * | 2019-07-22 | 2021-02-12 | 上海营湾医疗科技有限公司 | 光电耦合透镜组 |
| CN114077049A (zh) * | 2020-08-14 | 2022-02-22 | 台湾东电化股份有限公司 | 光学元件驱动机构 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2987750B2 (ja) | 1995-05-26 | 1999-12-06 | 日本信号株式会社 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
| JP4409186B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2010-02-03 | 日本信号株式会社 | プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP4926596B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2012-05-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
| JP4400608B2 (ja) | 2006-10-19 | 2010-01-20 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
| JP4232834B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
| JP2009134196A (ja) | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Seiko Epson Corp | 光学デバイスおよび画像形成装置 |
| JP2010044208A (ja) * | 2008-08-12 | 2010-02-25 | Hoya Corp | 共焦点光学装置 |
| JP5402124B2 (ja) | 2009-03-18 | 2014-01-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 |
| JP2010230792A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 |
| JP5392048B2 (ja) | 2009-12-11 | 2014-01-22 | 株式会社豊田中央研究所 | 光偏向装置および光偏向装置の製造方法 |
| WO2011080883A1 (ja) | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社ニコン | 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
| JP5630015B2 (ja) | 2009-12-28 | 2014-11-26 | 株式会社ニコン | 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
| JP2011137961A (ja) | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Nikon Corp | 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
| JP2011138888A (ja) | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Nikon Corp | 電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
| JP5577742B2 (ja) | 2010-02-23 | 2014-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP5659672B2 (ja) * | 2010-10-06 | 2015-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置 |
| JP2012108164A (ja) | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP2012108165A (ja) | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP2012123116A (ja) | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP2012123117A (ja) | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP5598296B2 (ja) | 2010-12-08 | 2014-10-01 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP2012128307A (ja) | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Seiko Epson Corp | 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置 |
-
2012
- 2012-05-11 JP JP2012109185A patent/JP5942576B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-12 US US13/861,746 patent/US9563054B2/en active Active
- 2013-04-22 CN CN201310141346.9A patent/CN103389575B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20130301100A1 (en) | 2013-11-14 |
| JP2013235213A (ja) | 2013-11-21 |
| CN103389575B (zh) | 2018-04-03 |
| CN103389575A (zh) | 2013-11-13 |
| US9563054B2 (en) | 2017-02-07 |
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| JP2013231871A (ja) | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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