JP5940257B2 - リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 - Google Patents
リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5940257B2 JP5940257B2 JP2011168599A JP2011168599A JP5940257B2 JP 5940257 B2 JP5940257 B2 JP 5940257B2 JP 2011168599 A JP2011168599 A JP 2011168599A JP 2011168599 A JP2011168599 A JP 2011168599A JP 5940257 B2 JP5940257 B2 JP 5940257B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die pad
- lead frame
- resin
- metal
- back surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 80
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 80
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 62
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 5
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49503—Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
- H01L23/4951—Chip-on-leads or leads-on-chip techniques, i.e. inner lead fingers being used as die pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49503—Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4842—Mechanical treatment, e.g. punching, cutting, deforming, cold welding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49541—Geometry of the lead-frame
- H01L23/49548—Cross section geometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/03—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12042—LASER
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Geometry (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
このようなパワー素子が組み込まれた半導体パッケージ(半導体装置ともいう)は、その内部に高電流が流れ、かつ、高電圧下で動作するため、大量の熱が発生することになる。従って、半導体パッケージ内部のチップ(半導体素子)で発生する熱を外部に放出するために、ダイパッドの下面にヒートスプレッダを挿入したり、ヒートスラグを取り付けることになる。しかし、最近では半導体パッケージの製造コストを節減するために、ダイパッドの裏面を半導体パッケージの外部に直接露出させる方法が試みられている。
従って、樹脂バリが形成されることによって、半導体パッケージの裏面がきちんとした形状に露出されず、熱放出通路となるダイパッドの裏面の一部又は全部が樹脂で覆われてしまい、熱放出効果を低下させる原因となっていた。
また、特許文献2では、パンチでダイパッドの裏面を押圧することによって、ダイパッドの裏面の露出面周囲に突出壁を形成し、この突出壁によって、封止樹脂が突出壁より内側のダイパッドの裏面に侵入するのを防止している。
そして、特許文献2の場合は、ダイパッドの裏面の周囲に突出壁を形成して封止樹脂の侵入を防止しているが、通常ダイパッドの裏面が露出する半導体パッケージ構造の場合は、樹脂封止時にダイパッドを樹脂成型金型の上型で押さえることができないため、突出壁の高さに僅かなバラつきがあった場合は、突出壁の隙間から樹脂が入り込み、ダイパッドの裏面の突出壁内部に厚い樹脂バリを形成するという問題があった。
前記ダイパッドの裏面の外周部に、パッケージ下面方向に突出する第1の金属バリが形成され、前記第1の金属バリの先端が平坦となって揃っており、しかも、前記第1の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間が形成されている。
ここで、前記第1、第2の金属バリの高さは0μmを超え10μm以下とするのがよい。
前記ダイパッドを打ち抜き形成した際に同時に形成された第1’の金属バリをパンチで押圧することによって、前記ダイパッドの外周部に先端が平坦となって揃った第1の金属バリを形成し、しかも前記第1の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間を形成する。
なお、前記第1、第2の金属バリの高さは0μmを超え10μm以下であるのが好ましい。
(1)金属バリ(即ち、第1、第2の金属バリ)を叩き、先端を平坦に形成したので、樹脂成型金型の下型に対する面圧が増え、樹脂の注入圧に対して強固にできる。
(2)ダイパッドの周縁領域に下地金属が不均一に露出するよう、面積の小さい不均一の除去しやすい樹脂バリを形成することで、後工程で容易に樹脂バリを除去できる。
(4)リードフレーム製作時の追加の工数をかけることが無いのでコストパフォーマンスが高い。
(5)そして、金属バリを叩き、先端を平坦に形成し、金属バリの高さを0μmを超え10μm以下にした場合は、隣り合う金属バリの間から封止樹脂を不均一に漏らすことができる。
図1(A)〜(C)に示すように、本発明の第1の実施の形態に係るリードフレーム10は、使用にあっては底面が露出するダイパッド11を有している。このリードフレーム10はパンチとダイを用いるプレス加工によって製造され、ダイパッド11の他に、リード13、サポートリード14を有している。
まずは、リードフレーム10のダイパッド11上に半導体素子21を固定し、半導体素子21と各リード13とをボンディングワイヤ(図示せず)によって連結する。この後、この中間製品を下型と上型(図示せず)に入れて、樹脂封止を行う。なお、金型内に中間製品を入れて樹脂を注入することは周知であるので、詳しい説明は省略する。
Claims (8)
- 半導体素子を載せるダイパッドの裏面が露出するタイプの半導体装置に使用するリードフレームにおいて、
前記ダイパッドの裏面の外周部に、パッケージ下面方向に突出する第1の金属バリが形成され、前記第1の金属バリの先端が平坦となって揃っており、しかも、前記第1の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間が形成されていることを特徴とする特徴とするリードフレーム。 - 請求項1記載のリードフレームにおいて、前記ダイパッドの周辺に前記ダイパッドの裏面と同一面を有する複数の外部端子が形成され、前記複数の外部端子の各端子外周部に、パッケージ下面方向に突出する第2の金属バリが形成され、前記第2の金属バリの先端が平坦となって揃っており、しかも、前記第2の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間が形成されていることを特徴とするリードフレーム。
- 請求項2記載のリードフレームにおいて、前記第1、第2の金属バリの高さは0μmを超え10μm以下であることを特徴とするリードフレーム。
- 半導体素子を載せるダイパッドの裏面が露出するタイプの半導体装置に使用するリードフレームの製造方法において、
前記ダイパッドを打ち抜き形成した際に同時に形成された第1’の金属バリをパンチで押圧することによって、前記ダイパッドの外周部に先端が平坦となって揃った第1の金属バリを形成し、しかも前記第1の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間を形成することを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 請求項4記載のリードフレームの製造方法において、前記ダイパッドの周辺に前記ダイパッドの裏面と同一面を有する複数の外部端子を打ち抜き形成した際に、同時に前記複数の外部端子の各端子外周部に形成された第2’の金属バリをパンチで押圧することによって、前記各端子外周部に先端が平坦となって揃った第2の金属バリを形成し、しかも前記第2の金属バリの各針の間に樹脂を不均一に滲み出させる隙間を形成することを特徴とするリードフレームの製造方法。
- 請求項5記載のリードフレームの製造方法において、前記第1、第2の金属バリの高さは0μmを超え10μm以下であることを特徴とするリードフレームの製造方法。
- 半導体素子を載せるダイパッドの裏面が露出するタイプの半導体装置において、露出している前記ダイパッドの裏面の外周部に、パッケージ下面方向に突出する第1の金属バリが形成され、先端が平坦となって揃っている前記第1の金属バリの各針の隙間から前記ダイパッドの裏面に不均一に滲み出た樹脂が除去されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7記載の半導体装置において、前記ダイパッドの周辺に前記ダイパッドの裏面と同一面を有する複数の外部端子が形成され、前記複数の外部端子の各端子外周部に、パッケージ下面方向に突出する第2の金属バリが形成され、先端が平坦となって揃っている前記第2の金属バリの各針の隙間から前記ダイパッドの裏面に不均一に滲み出た樹脂が除去されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011168599A JP5940257B2 (ja) | 2011-08-01 | 2011-08-01 | リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 |
US14/236,168 US9147646B2 (en) | 2011-08-01 | 2012-07-03 | Lead frame, method for manufacturing lead frame and semiconductor device using same |
PCT/JP2012/066958 WO2013018485A1 (ja) | 2011-08-01 | 2012-07-03 | リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 |
CN201280038284.2A CN103718291B (zh) | 2011-08-01 | 2012-07-03 | 引线框、引线框的制造方法和使用该引线框的半导体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011168599A JP5940257B2 (ja) | 2011-08-01 | 2011-08-01 | リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013033822A JP2013033822A (ja) | 2013-02-14 |
JP5940257B2 true JP5940257B2 (ja) | 2016-06-29 |
Family
ID=47629017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011168599A Active JP5940257B2 (ja) | 2011-08-01 | 2011-08-01 | リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9147646B2 (ja) |
JP (1) | JP5940257B2 (ja) |
CN (1) | CN103718291B (ja) |
WO (1) | WO2013018485A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8956920B2 (en) * | 2012-06-01 | 2015-02-17 | Nxp B.V. | Leadframe for integrated circuit die packaging in a molded package and a method for preparing such a leadframe |
JP6266219B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2018-01-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5167794A (en) * | 1990-04-16 | 1992-12-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method for producing lead frame material |
JPH0410346A (ja) | 1990-04-26 | 1992-01-14 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
US5227421A (en) | 1990-05-01 | 1993-07-13 | Nippon Paint Co., Ltd. | Aqueous pigment-dispersed paste, processes for producing it and therefrom water paint composition |
JPH0410346U (ja) * | 1990-05-16 | 1992-01-29 | ||
JPH0697340A (ja) * | 1991-12-24 | 1994-04-08 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームの製造方法 |
JPH05267385A (ja) * | 1992-03-17 | 1993-10-15 | Rohm Co Ltd | ワイヤーボンディング装置 |
JPH0794635A (ja) * | 1993-09-23 | 1995-04-07 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 樹脂封止パッケージ |
US5558267A (en) * | 1995-03-31 | 1996-09-24 | Texas Instruments Incorporated | Moat for die pad cavity in bond station heater block |
JP3405030B2 (ja) * | 1995-12-19 | 2003-05-12 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用磁性体材料の製造方法、およびこれを用いた高周波回路部品 |
JPH0927579A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-28 | Apic Yamada Kk | リードフレーム製造装置 |
US5767480A (en) * | 1995-07-28 | 1998-06-16 | National Semiconductor Corporation | Hole generation and lead forming for integrated circuit lead frames using laser machining |
JP3885321B2 (ja) * | 1997-11-19 | 2007-02-21 | 株式会社デンソー | 樹脂封止型半導体部品の製造方法 |
JP3510841B2 (ja) * | 2000-05-09 | 2004-03-29 | 三洋電機株式会社 | 板状体、リードフレームおよび半導体装置の製造方法 |
JP3883784B2 (ja) * | 2000-05-24 | 2007-02-21 | 三洋電機株式会社 | 板状体および半導体装置の製造方法 |
JP3650001B2 (ja) * | 2000-07-05 | 2005-05-18 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2003124420A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | リードフレーム及び該リードフレームを用いた半導体装置の製造方法 |
TW533566B (en) * | 2002-01-31 | 2003-05-21 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Short-prevented lead frame and method for fabricating semiconductor package with the same |
US7122884B2 (en) * | 2002-04-16 | 2006-10-17 | Fairchild Semiconductor Corporation | Robust leaded molded packages and methods for forming the same |
JP2005159103A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006135100A (ja) | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100723493B1 (ko) * | 2005-07-18 | 2007-06-04 | 삼성전자주식회사 | 와이어 본딩 및 플립 칩 본딩이 가능한 스마트 카드 모듈기판 및 이를 포함하는 스마트 카드 모듈 |
EP1921674A4 (en) * | 2005-08-10 | 2010-08-25 | Mitsui High Tec | SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
JP2008270661A (ja) | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームおよびリードフレームの製造方法ならびに半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP5149854B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-02-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP2011091145A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5858135B2 (ja) * | 2012-02-22 | 2016-02-10 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
US8956920B2 (en) * | 2012-06-01 | 2015-02-17 | Nxp B.V. | Leadframe for integrated circuit die packaging in a molded package and a method for preparing such a leadframe |
-
2011
- 2011-08-01 JP JP2011168599A patent/JP5940257B2/ja active Active
-
2012
- 2012-07-03 CN CN201280038284.2A patent/CN103718291B/zh active Active
- 2012-07-03 WO PCT/JP2012/066958 patent/WO2013018485A1/ja active Application Filing
- 2012-07-03 US US14/236,168 patent/US9147646B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013018485A1 (ja) | 2013-02-07 |
JP2013033822A (ja) | 2013-02-14 |
US9147646B2 (en) | 2015-09-29 |
US20140159221A1 (en) | 2014-06-12 |
CN103718291A (zh) | 2014-04-09 |
CN103718291B (zh) | 2017-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8525307B2 (en) | Semiconductor device, lead frame assembly, and method for fabricating the same | |
JP6266168B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2016018931A (ja) | リードフレーム、半導体装置及びリードフレームの製造方法 | |
JP5940257B2 (ja) | リードフレーム及びリードフレームの製造方法並びにこれを用いた半導体装置 | |
JP2010258200A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2010021251A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007036013A (ja) | 回路装置およびその製造方法 | |
JP2006032774A (ja) | 電子装置 | |
JP2000236060A (ja) | 半導体装置 | |
JP2013069955A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法およびリードフレーム | |
JP2008270661A (ja) | リードフレームおよびリードフレームの製造方法ならびに半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5972158B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
CN106409694B (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
JP2019110278A (ja) | 半導体装置 | |
JP4520056B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2013175795A5 (ja) | ||
JP2013175795A (ja) | リードフレームの製造方法 | |
JP2011176030A (ja) | 樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JP7419474B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR100253260B1 (ko) | 반도체 패키지용 방열판 및 이를 이용한 반도체 패키지 공정 | |
JP5772306B2 (ja) | モールドパッケージの製造方法 | |
JP6332053B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR100856038B1 (ko) | 리드프레임 제조를 위한 다운셋 펀칭용 다이를 이용한 리드프레임의 제조 방법 | |
JP2018056310A (ja) | 樹脂封止金型およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP2018056309A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5940257 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |