JP2011176030A - 樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】封止樹脂部内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上することができる樹脂封止型半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明による樹脂封止型半導体装置1は、複数の半導体素子2と、半導体素子2を収納する矩形状の開口部11を形成するタイバー12と、各開口部11内において、タイバー12から半導体素子2側に延びる複数のリード13と、各半導体素子2と対応するリード13との間に接続されたボンディングワイヤ3とを備えている。半導体素子2、リード13、およびボンディングワイヤ3は、封止樹脂材料4aからなる封止樹脂部4により封止されている。一の開口部11と隣接する他の開口部11との間のタイバー12に、スリット15が設けられ、かつこのスリット15と対応する開口部11との間に、開口部11に充填される封止樹脂材料4aをスリット15へ逃がす樹脂溝16が連結されている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明による樹脂封止型半導体装置1は、複数の半導体素子2と、半導体素子2を収納する矩形状の開口部11を形成するタイバー12と、各開口部11内において、タイバー12から半導体素子2側に延びる複数のリード13と、各半導体素子2と対応するリード13との間に接続されたボンディングワイヤ3とを備えている。半導体素子2、リード13、およびボンディングワイヤ3は、封止樹脂材料4aからなる封止樹脂部4により封止されている。一の開口部11と隣接する他の開口部11との間のタイバー12に、スリット15が設けられ、かつこのスリット15と対応する開口部11との間に、開口部11に充填される封止樹脂材料4aをスリット15へ逃がす樹脂溝16が連結されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法に係り、とりわけ、封止樹脂部内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上することができる樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法に関する。
近年、電子機器の小型化に対応するために、電子機器に搭載される樹脂封止型半導体装置の小型化、薄型化が進んでいる。樹脂封止型半導体装置は、主に、二方向端子で構成されるSON(Small Outline Non-leaded Package)型、および四方向端子で構成されるGFN(Quad Flat Non-leaded Package)型が知られている。いずれも、リードフレームのキャビティに半導体素子を収納し、この半導体素子とリードフレームのリードとをボンディングワイヤで接続し、封止樹脂材料によりモールドして封止したパッケージ化構造を有している(例えば、特許文献1および2参照)。
しかしながら、モールドする際、封止樹脂材料が充填される領域は密閉される。このことにより、ボイドが充填領域内に閉じこめられた状態で封止樹脂材料が充填されて硬化される。このため、封止樹脂部内にボイドが残り、封止樹脂部の機械的強度および絶縁性能が低下し、樹脂封止型半導体装置の信頼性が損なわれるという問題がある。
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、封止樹脂部内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上することができる樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、圧縮成型モールドにより形成された樹脂封止型半導体装置において、複数の半導体素子と、各半導体素子の周囲に設けられ、半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、各開口部内において、タイバーから半導体素子側に延びる複数のリードと、各半導体素子と対応するリードとの間に接続されたボンディングワイヤと、半導体素子、リード、およびボンディングワイヤを封止し、封止樹脂材料により形成された封止樹脂部と、を備え、一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーに、スリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に、開口部に充填される封止樹脂材料をスリットへ逃がす樹脂溝が連結されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が設けられ、各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されているとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延びており、各補強用金属板は、内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分を有していることを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、裏面にテープが貼り付けられたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置である。
本発明は、封止樹脂材料を用いて圧縮成型モールドにより複数の半導体素子とともに封止される樹脂封止型半導体装置のリードフレームにおいて、半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、各開口部内において、タイバーから半導体素子側に延びる複数のリードと、を備え、一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーに、スリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に、圧縮成型モールドの際に開口部に充填される封止樹脂材料をスリットへ逃がす樹脂溝が連結されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が設けられ、各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されているとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成され、表面側切欠部と裏面側切欠部は、互いに異なる位置に配置されていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延びており、各補強用金属板は、内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分を有していることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とするリードフレームである。
本発明は、半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、各開口部内において、タイバーから内側に延びる複数のリードとを有し、一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーにスリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に樹脂溝が連結されたリードフレームを準備する工程と、リードフレームの裏面にテープを貼り付け、このテープの各開口部内で露出している部分に半導体素子を貼り付け、各半導体素子と対応するリードとの間にボンディングワイヤを接続する工程と、裏面にテープが貼り付けられると共に半導体素子およびボンディングワイヤが取り付けられたリードフレームを、金型に配置する工程と、各半導体素子に封止樹脂材料を盛る工程と、封止樹脂材料を加圧して成型する工程と、を備え、封止樹脂材料を成型する工程において、各開口部に充填された封止樹脂材料を、樹脂溝を通ってスリットへ逃がすことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、リードフレームを準備する際、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに形成されることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、リードフレームを準備する際、各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が形成され、各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されるとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成され、表面側切欠部と裏面側切欠部は、互いに異なる位置に配置されることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延び、各補強用金属板に、内側から外側に向かって幅が小さくなるような楔状部分が形成されることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、封止樹脂材料を成型する工程において、リードフレームを下金型上に配置し、このリードフレーム上にフィルムを載置することを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、封止樹脂材料を成型する工程の後、リードフレームからテープを剥離する工程を更に備えたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、リードフレームを準備する際、スリットおよび樹脂溝が、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに形成されることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明は、半導体素子毎に断裁して個片化する工程を更に備えたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
本発明によれば、封止樹脂部内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上することができる。
第1の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図1乃至図16は、本発明の第1の実施の形態における樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図1乃至図16は、本発明の第1の実施の形態における樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法を示す図である。
まず、図1および図2により、圧縮成型モールドにより形成された樹脂封止型半導体装置1の全体構成について説明する。図1に示すように、樹脂封止型半導体装置1は、複数の半導体素子2と、各半導体素子2の周囲に設けられ、半導体素子2を収納する矩形状のキャビティ(開口部)11を形成する複数のタイバー12と、を備えている。このうち、各半導体素子2は、その表面外周に沿って設けられた複数の電極2aを有している。
各キャビティ11内において、タイバー12から各半導体素子2側に複数のリード13が延びている。これらタイバー12とリード13とにより後に詳述するリードフレーム10が構成されている。
各半導体素子2と対応するリード13との間に、ボンディングワイヤ3が電気的に接続されている。このボンディングワイヤ3は、例えば、金からなっていることが好ましい。
半導体素子2、リード13、およびボンディングワイヤ3は、封止樹脂材料4a(図14および図15参照)により形成された封止樹脂部4により封止されている。この封止樹脂部4を形成する封止樹脂材料4aとしては、樹脂封止型半導体装置1において従来から知られているものを使用することができる。
また、リードフレーム10の裏面には、場合により、リードフレーム10、半導体素子2、および封止樹脂部4を支持するためのテープ50(図13乃至図15参照)が貼り付けられている。
次に、図3乃至図6を用いて本実施の形態におけるリードフレーム10について説明する。なお、図3において、図面を明瞭化するために、リード13および後述する補強用金属板20は省略している。
図3乃至図5に示すように、リードフレーム10は、上述したように、半導体素子2を収納する矩形状のキャビティ11を形成する複数のタイバー12と、各キャビティ11内において、タイバー12から内側に延びる複数の細長状のリード13とを有している。このうち、複数のタイバー12は、格子状に配置されてキャビティ11を形成している。なお、図3は、一例として、16個のキャビティ11が形成されたリードフレーム10を示している。
また、図4および図5に示すように、各リード13の表面に、外部機器(図示せず)との接続を行う外部端子14が設けられている。この外部端子14は、リード13の表面をパターン状にハーフエッチングすることにより得られ、外部端子14の表面に半田めっきが施されている。また、各リード13の先端部(ボンディングワイヤ3との接続部)には、Ag(銀)めっきまたはPd(パラジウム)めっきが施されている。なお、Pdめっきは、リードフレーム10の両面に、全面に亘って施すこともできる。この場合には、外部端子14の表面への半田めっきを不要とすることができる。
複数のキャビティ11のうちの一のキャビティ11と隣接する他のキャビティ11との間のタイバー12に、スリット15が設けられている。また、このスリット15と対応するキャビティ11との間に、圧縮成型モールドの際にキャビティ11に充填される封止樹脂材料4aをスリット15へ逃がす樹脂溝16が連結されている。この樹脂溝16は、図6に示すように、タイバー12に、略矩形状の断面を有するように、ハーフエッチングにより形成されている。
なお、本実施の形態においては、図3および図4に示すように、スリット15および対応する樹脂溝16は、各キャビティ11の四辺のうちの二辺に対応するタイバー12に設けられている。すなわち、各キャビティ11の二辺のみに、樹脂溝16を介してスリット15が連結されている。なお、図3等に示すように、各キャビティ11間、すなわち各キャビティ11の四辺に対応するタイバー12にスリット15を設けても良い。この場合、リードフレーム10の熱膨張を効果的に吸収することができる。
図4および図7に示すように、各キャビティ11の四隅に、タイバー12に連結された補強用金属板20が設けられている。各補強用金属板20は、キャビティ11の四隅から内側(キャビティ11の中心側)に向かって延び、タイバー12と一体に形成されている。各補強用金属板20の表面の一部に、図7乃至図9に示すように、周縁に沿って、表面側切欠部21がハーフエッチングにより形成されているとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部22がハーフエッチングにより形成されている。これら表面側切欠部21および裏面側切欠部22は、図7に示すように、リードフレーム10の平面において互いに異なる位置に設けられている。すなわち、図8に示すように、各補強用金属板20は、一部において、上方に向かって凸状となるように段付形状を有するとともに、他の部分において、図9に示すように、下方に向かって凸状となるような段付形状を有している。
なお、図7乃至図9においては、キャビティ11の内側に裏面側切欠部22が形成されるとともに、その外側に表面側切欠部21が形成されている。しかしながら、このことに限られることはなく、キャビティ11の内側に表面側切欠部21が形成されるとともに、その外側に裏面側切欠部22が形成されていても良い。さらには、表面側切欠部21および裏面側切欠部22はそれぞれ連続して形成される必要はなく、断続的に形成されていても良く、表面側切欠部21と裏面側切欠部22が互いに位置が異なるように、補強用金属板20の表面および裏面の任意の位置にそれぞれ形成されていれば良い。
また、各補強用金属板20は、タイバー12側に配置された基部24と、この基部24に対してキャビティ11の内側に配置され、キャビティ11の内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分23とを有している。すなわち、楔状部分23は、図7に示すように、補強用金属板20の外側における幅寸法xは、内側における幅寸法yよりも小さくなっている。なお、補強用金属板20の基部24に、図7に示すように、三角形状の孔25を設けても良い。この孔25は、樹脂封止型半導体装置1を断裁して得られる個片化樹脂封止型半導体装置30の角部が面取りされるように配置されている。このことにより、個片化樹脂封止型半導体装置30の角部に、バリが発生することを防止することができる。
このような、タイバー12、リード13、補強用金属板20を含むリードフレーム10に用いる材料としては、銅、銅合金、42合金(Niを41%含有したFe合金)等を用いることが好ましい。
上述したリードフレーム10を有する樹脂封止型半導体装置1を、半導体素子2毎に断裁して、リードフレーム10のタイバー12を除去することにより、図10および図11に示すような個片化された個片化樹脂封止型半導体装置30が得られる。
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態による樹脂封止型半導体装置の製造方法について説明する。
まず、図3乃至図5に示すように、半導体素子2を収納する矩形状のキャビティ11を形成するタイバー12と、各キャビティ11内において、タイバー12から内側に延びるリード13とを有し、一の半導体素子2と隣接する他の半導体素子2との間のタイバー12にスリット15が設けられ、このスリット15と対応するキャビティ11との間に樹脂溝16が連結されたリードフレーム10を準備する。
この場合、まず、図12(a)に示すように、導電性基板10aを準備する。この導電性基板10aとしては、銅、銅合金、42合金等の金属基板(例えば、厚みが80〜250μm)を使用することができる。なお、この導電性基板10aは、予め、その両面に脱脂等により洗浄処理を施しておく。
次に、導電性基板10aの表面および裏面に、感光性レジストが塗布され、乾燥されて、これを所望パターンのフォトマスク(図示せず)を介して露光する。このことにより、レジストパターン60が形成される(図12(b)参照)。なお、感光性レジストとしては、従来から知られているものを使用することができる。
次に、レジストパターン60を耐腐食膜として、腐食液を用いて導電性基板10aがエッチングされる(図12(c)参照)。腐食液としては、使用する導電性基板10aの材質に応じて適宜選択することができ、例えば、導電性基板10aに銅を用いる場合、通常、塩化第二鉄水溶液を使用することができる。この腐食液が導電性基板10aの両面にスプレーされることにより、導電性基板10aがエッチングされる。この場合、外部端子14、樹脂溝16、並びに補強用金属板20の表面側切欠部21および裏面側切欠部22は、ハーフエッチングにより形成される。
その後、レジストパターンが剥離されて除去され(図12(d)参照)、リードフレーム10のリード13の先端部に、AgめっきまたはPdめっきが施される。このようにして、図3乃至図5に示すリードフレーム10が得られる。
次に、リードフレーム10の裏面に、テープ50が貼り付けられ、半導体素子2、およびボンディングワイヤ3が取り付けられる。
この場合、まず、リードフレーム10の裏面に、テープ50が貼り付けられる。次に、このテープ50のキャビティ11内で露出している部分に、半導体素子2が貼り付けられ、半導体素子2がキャビティ11に収納される(図13(a)参照)。この場合、半導体素子2の表面に設けられた電極2aが、リードフレーム10の表面(外部端子14側の面)に向くように貼り付けられる。その後、各半導体素子2の電極2aと対応するリード13との間にボンディングワイヤ3が電気的に接続される(図13(b)参照)。なお、このボンディングワイヤ3は、リード13上のAgめっきまたはPdめっき上に取り付けられる。
次に、図14および図15に示すように、圧縮成型モールドが行われる。
この場合、まず、裏面にテープ50が貼り付けられると共に各半導体素子2とボンディングワイヤ3が取り付けられたリードフレーム10が、圧縮成型装置40の下金型41上に配置される(図14(a)参照)。ここで、テープ50は、リードフレーム10のリード13、タイバー12、および補強用金属板20の裏面に貼り付けられているとともに、半導体素子2の裏面にも貼り付けられている。このことにより、リードフレーム10および半導体素子2の裏面に、この後充填される封止樹脂材料4aが流れ込みレジンバリが形成されることを防止することができる。
次に、図14(b)に示すように、各半導体素子2に封止樹脂材料4aが盛られる(塗布される)。この場合、封止樹脂材料4aは、半導体素子2上に所望量盛られる。このことにより、封止樹脂材量4aを、この後の圧縮成型時にキャビティ11内に均一に充填させることができる。
次に、下金型41に対して上金型42が装着される(図14(c)参照)。この場合、リードフレーム10上にフィルム51が載置される。このことにより、封止樹脂材料4aが上金型42に付着されることを防止することができるとともに、リードフレーム10の表面に、封止樹脂材料4aが流れ込み、レンジバリが形成されることを防止することができる。ここで、上金型42は、半導体素子2に対応する領域に配置された上金型中央部分42aと、この上金型中央部分42aの周囲に配置された上金型周囲部分42bとからなっている。
次に、下金型41に上金型42を押圧して、封止樹脂材料4aが加圧されて成型される。この場合、まず、上金型42の上金型中央部分42aおよび上金型周囲部分42bが下降して、このうち上金型周囲部分42bのみがリードフレーム10の表面を押圧する(図15(a)参照)。この際、上金型周囲部分42bは、下金型41に設けられ、リードフレーム10の周囲に延びる支持部(図示せず)に当接し、リードフレーム10のタイバー12および外部端子14を押圧する。このことにより、下金型41と上金型周囲部分42bとによりリードフレーム10がクランプされる。また、この際、上金型中央部分42aは、上金型周囲部分42bよりも上方に位置している。このことにより、半導体素子2の領域が上金型中央部分42aにより押圧されて封止樹脂材料4aが広がる前に、上金型周囲部分42bがリードフレーム10の表面を押圧することができ、封止樹脂材料4aがリードフレーム10の表面および裏面に漏れることを防止することができる。
次に、上金型中央部分42aが下降し(図15(b)参照)、封止樹脂材料4aがキャビティ11内に広がる。上金型中央部分42aは更に下降して、上金型周囲部分42bと略面一になる位置に達する(図15(c)参照)。このようにして、半導体素子2上に盛られた封止樹脂材料4aがキャビティ11内に均一に充填される。
この間、キャビティ11内から封止樹脂材料4aの一部が、リードフレーム10のタイバー12に形成された樹脂溝16を通ってスリット15に逃げる。このことにより、キャビティ11内に残存していたボイドを、樹脂溝16を通ってスリット15に逃がすことができる。また、このように封止樹脂材料4aが樹脂溝16を通ってスリット15に逃げるため、封止樹脂材料4aが、上金型周囲部分42bおよび下金型41とリードフレーム10との間に流れ込み、レジンバリが形成されることを防止することができる。
その後、上金型42および下金型41が加熱され、封止樹脂材料4aを硬化し、封止樹脂部4が形成される。このことにより圧縮成型モールドの工程が終了する。
圧縮成型モールド工程の終了後に、上金型42を下金型41から上昇させて、取り出される。その後、リードフレーム10の表面からフィルム51が取り除かれるとともに、裏面からテープ50が剥離され、リード13の外部端子14に、半田めっきが施される。このことにより、図1および図2に示す樹脂封止型半導体装置1が得られる。
このようにして得られた樹脂封止型半導体装置1が、図16に示すように、ブレード61により半導体素子2毎に断裁(ダイシング)されて個片化され、リードフレーム10のタイバー12を除去することにより、個片化樹脂封止型半導体装置30が得られる(図10および図11参照)。
このように本実施の形態によれば、圧縮成型する際、加圧された封止樹脂材料4aは、リードフレーム10のタイバー12に形成された樹脂溝16を通ってスリット15に逃げる。このことにより、キャビティ11内に残存していたボイドを、この樹脂溝16を通ってスリット15に逃がすことができる。このため、封止樹脂部4内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上することができる。また、このように封止樹脂材料4aが樹脂溝16を通ってスリット15に逃げるため、封止樹脂材料4aが、上金型周囲部分42bおよび下金型41とリードフレーム10との間に流れ込み、レジンバリが形成されることを防止することができる。
また、本実施の形態によれば、リードフレーム10の各キャビティ11の四隅に、タイバー12に連結された補強用金属板20が設けられ、各補強用金属板20の表面および裏面の一部に、表面側切欠部21および裏面側切欠部22が形成されている。このことにより、リードフレーム10と封止樹脂部4との間の上下方向の機械的強度を向上させることができる。また、各補強用金属板20は、キャビティ11の内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分23を有している。このことにより、リードフレーム10と封止樹脂部4との間の横方向(リードフレーム10の面方向)の機械的強度を向上させることができる。この結果、樹脂封止型半導体装置1の信頼性をより一層向上させることができる。このことは、樹脂封止型半導体装置1の厚みが薄い場合(例えば、0.1mm以下)、特に効果的である。すなわち、厚みが薄い場合には封止樹脂部4の角部が破損することが考えられるが、本実施の形態のように補強用金属板20を設けることにより、厚みが薄い樹脂封止型半導体装置1であっても、破損することを防止し、信頼性を確実に向上させることができる。
さらに、本実施の形態によれば、封止樹脂部4は、圧縮成型モールドにより形成される。すなわち、封止樹脂材料4aは、上金型42と下金型41とにより押圧される前に、半導体素子2上に所望量盛られる。ここで、トランスファー成型モールドを行う場合には、上金型42と下金型41とにより押圧した後に、ゲートからランナー(いずれも図示せず)を通って封止樹脂材料4aを圧入するため、封止樹脂材料4aの損失が比較的多く、また、キャビティ11に充填される封止樹脂材料4aの圧力が高くなることにより、ボンディングワイヤ3が変形し、場合によっては切断する可能性がある。これに対して、本実施の形態によれば、圧縮成型モールドにより形成されるため、封止樹脂材料4aの損失を低減することができるとともに、ボンディングワイヤ3が変形することを防止することができる。
第2の実施の形態
次に、図17および図18により、本発明の第2の実施の形態における樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法について説明する。
次に、図17および図18により、本発明の第2の実施の形態における樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法について説明する。
図17および図18に示す第2の実施の形態において、スリットおよび樹脂溝は、各キャビティの四辺のうちの一辺に対応するタイバーに設けられている点が異なるのみであり、他の構成は、図1乃至図16に示す第1の実施の形態と略同一である。なお、図17および図18において、図1乃至図16に示す第1の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図17および図18に示すように、スリット15および対応する樹脂溝16は、各キャビティ11の四辺のうちの一辺に対応するタイバー12に設けられている。すなわち、各キャビティ11の一辺のみに、樹脂溝16を介してスリット15が連結されている。
このように本実施の形態によれば、圧縮成型する際、キャビティ11内に残存していたボイドは、各キャビティ11の一辺に連結された樹脂溝16を通ってスリット15に逃がすことができる。このことにより、封止樹脂部4内にボイドが含まれることを抑制し、信頼性を向上させることができる。また、封止樹脂材料4aが、上金型周囲部分42bおよび下金型41とリードフレーム10との間に流れ込み、レジンバリが形成されることを防止することができる。
1 樹脂封止型半導体装置
2 半導体素子
2a 電極
3 ボンディングワイヤ
4 封止樹脂部
4a 封止樹脂材料
10 リードフレーム
10a 導電性基板
11 キャビティ
12 タイバー
13 リード
14 外部端子
15 スリット
16 樹脂溝
20 補強用金属板
21 表面側切欠部
22 裏面側切欠部
23 楔状部分
24 基部
25 孔
30 個片化樹脂封止型半導体装置
40 圧縮成型装置
41 下金型
42 上金型
42a 上金型中央部分
42b 上金型周囲部分
50 テープ
51 フィルム
60 レジストパターン
61 ブレード
2 半導体素子
2a 電極
3 ボンディングワイヤ
4 封止樹脂部
4a 封止樹脂材料
10 リードフレーム
10a 導電性基板
11 キャビティ
12 タイバー
13 リード
14 外部端子
15 スリット
16 樹脂溝
20 補強用金属板
21 表面側切欠部
22 裏面側切欠部
23 楔状部分
24 基部
25 孔
30 個片化樹脂封止型半導体装置
40 圧縮成型装置
41 下金型
42 上金型
42a 上金型中央部分
42b 上金型周囲部分
50 テープ
51 フィルム
60 レジストパターン
61 ブレード
Claims (19)
- 圧縮成型モールドにより形成された樹脂封止型半導体装置において、
複数の半導体素子と、
各半導体素子の周囲に設けられ、半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、
各開口部内において、タイバーから半導体素子側に延びる複数のリードと、
各半導体素子と対応するリードとの間に接続されたボンディングワイヤと、
半導体素子、リード、およびボンディングワイヤを封止し、封止樹脂材料により形成された封止樹脂部と、を備え、
一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーに、スリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に、開口部に充填される封止樹脂材料をスリットへ逃がす樹脂溝が連結されていることを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が設けられ、
各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されているとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封止型半導体装置。 - 各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延びており、
各補強用金属板は、内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分を有していることを特徴とする請求項3に記載の樹脂封止型半導体装置。 - スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 裏面にテープが貼り付けられたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置。
- 封止樹脂材料を用いて圧縮成型モールドにより複数の半導体素子とともに封止される樹脂封止型半導体装置のリードフレームにおいて、
半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、
各開口部内において、タイバーから半導体素子側に延びる複数のリードと、を備え、
一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーに、スリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に、圧縮成型モールドの際に開口部に充填される封止樹脂材料をスリットへ逃がす樹脂溝が連結されていることを特徴とするリードフレーム。 - スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする請求項7に記載のリードフレーム。
- 各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が設けられ、
各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されているとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成され、
表面側切欠部と裏面側切欠部は、互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項7または8に記載のリードフレーム。 - 各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延びており、
各補強用金属板は、内側から外側に向かって幅が小さくなるように形成された楔状部分を有していることを特徴とする請求項9に記載のリードフレーム。 - スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに設けられていることを特徴とする請求項7に記載のリードフレーム。
- 半導体素子を収納する矩形状の開口部を形成するタイバーと、各開口部内において、タイバーから内側に延びる複数のリードとを有し、一の開口部と隣接する他の開口部との間のタイバーにスリットが設けられ、かつこのスリットと対応する開口部との間に樹脂溝が連結されたリードフレームを準備する工程と、
リードフレームの裏面にテープを貼り付け、このテープの各開口部内で露出している部分に半導体素子を貼り付け、各半導体素子と対応するリードとの間にボンディングワイヤを接続する工程と、
裏面にテープが貼り付けられると共に半導体素子およびボンディングワイヤが取り付けられたリードフレームを、金型に配置する工程と、
各半導体素子に封止樹脂材料を盛る工程と、
封止樹脂材料を加圧して成型する工程と、を備え、
封止樹脂材料を成型する工程において、各開口部に充填された封止樹脂材料を、樹脂溝を通ってスリットへ逃がすことを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - リードフレームを準備する際、スリットおよび樹脂溝は、各開口部の四辺のうちの二辺に対応するタイバーに形成されることを特徴とする請求項12に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- リードフレームを準備する際、各開口部の四隅に、タイバーに連結された補強用金属板が形成され、各補強用金属板の表面の一部に、周縁に沿って、表面側切欠部がハーフエッチングにより形成されるとともに、裏面の一部に、周縁に沿って、裏面側切欠部がハーフエッチングにより形成され、表面側切欠部と裏面側切欠部は、互いに異なる位置に配置されることを特徴とする請求項12または13に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 各補強用金属板は、開口部の四隅から内側に向かって延び、
各補強用金属板に、内側から外側に向かって幅が小さくなるような楔状部分が形成されることを特徴とする請求項14に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 封止樹脂材料を成型する工程において、リードフレームを下金型上に配置し、このリードフレーム上にフィルムを載置することを特徴とする請求項12乃至15のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 封止樹脂材料を成型する工程の後、リードフレームからテープを剥離する工程を更に備えたことを特徴とする請求項16に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- リードフレームを準備する際、スリットおよび樹脂溝が、各開口部の四辺のうちの一辺に対応するタイバーに形成されることを特徴とする請求項12に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 半導体素子毎に断裁して個片化する工程を更に備えたことを特徴とする請求項12乃至18のいずれかに記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010037579A JP2011176030A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | 樹脂封止型半導体装置、リードフレーム、および樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2011176030A true JP2011176030A (ja) | 2011-09-08 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9406593B2 (en) | 2013-07-29 | 2016-08-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Lead frame, electric power converting device, semiconductor apparatus and method of manufacturing semiconductor apparatus |
CN107710393A (zh) * | 2015-09-24 | 2018-02-16 | 东和株式会社 | 树脂密封装置和树脂密封方法、电子零件的制造方法、以及引线框架 |
-
2010
- 2010-02-23 JP JP2010037579A patent/JP2011176030A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9406593B2 (en) | 2013-07-29 | 2016-08-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Lead frame, electric power converting device, semiconductor apparatus and method of manufacturing semiconductor apparatus |
CN107710393A (zh) * | 2015-09-24 | 2018-02-16 | 东和株式会社 | 树脂密封装置和树脂密封方法、电子零件的制造方法、以及引线框架 |
CN107710393B (zh) * | 2015-09-24 | 2020-03-13 | 东和株式会社 | 树脂密封方法、电子零件的制造方法、以及引线框架 |
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