JP5930252B2 - 擬似抵抗回路及び電荷検出回路 - Google Patents
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Description
本発明は、擬似抵抗回路及び電荷検出回路に関し、特に、弱反転領域で使用されるMOSFET(Metal−Oxide−Semiconductor Field−Effect Transistor)を備えた擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路に関する。
近年、絶縁体の圧電素子を用いた歪ゲージや加速度センサ等の電荷発生型のセンサである電荷出力センサが用いられるようになってきている。かかる電荷出力センサでは、微小な電荷を検出しているため、その検出信号を増幅するための増幅回路が必要となっている。
また、近年、半導体デバイス中では、その高機能・高集積化に伴い、ギガオームのオーダの抵抗値を呈する抵抗素子が必要となっている。
かかる状況下で、特許文献1は、検出装置、センサ及び電子機器に関し、非反転入力端子が接地された演算増幅器と、演算増幅器の出力端子と反転入力端子との間に並列に電気的に接続された抵抗素子及びコンデンサと、を備える増幅回路を開示する。
また、特許文献2は、マイクロ電子集積回路用のギガオーム負荷抵抗に関し、MOSFETを弱反転領域で使用して、高抵抗素子を得ることを開示する。
しかしながら、本発明者の検討によれば、電荷検出回路においては、電荷出力センサからの検出信号の周波数範囲が低周波数領域にまで及ぶ場合も多く、かかる場合には、抵抗素子の抵抗値(帰還抵抗)とコンデンサの容量(帰還容量)とよって決まる遮断周波数を下げるために、少なくとも数十MΩ以上の高抵抗素子を搭載する必要がある。
ここで、特許文献1が開示する構成では、数十MΩ以上の高抵抗素子を搭載しようとすると、回路構成自体が大型化してしまう。また、それを小型化・集積化する具体的な構成については、何等の開示や示唆がなされていない。
一方で、特許文献2が開示する構成では、MOSFETを弱反転領域で使用して、高抵抗素子を得ることを開示してはいるが、それをどのように電荷検出回路に適用するかという具体的構成については、何等の開示や示唆がなされていない。
更に、本発明者の検討によれば、MOSFETの弱反転領域におけるMOSFETの抵抗値は、MOSFETの酸化膜容量、及び閾値電圧や温度等の要因に応じて指数的に変動するものであるため、MOSFETの一連の製造工程のばらつき、及び電源電圧、温度の変化に対して非常に敏感である。また、かかる弱反転領域におけるMOSFETの抵抗値は、ゲート電圧だけでなく、ドレイン電圧、ソース電圧の変動に応じても指数的に変動するものでもある。
よって、MOSFETを弱反転領域で動作させて、疑似抵抗素子として電荷検出回路に適用した場合には、MOSFETの抵抗値、つまり疑似抵抗値を調整するためにゲート電圧の調整回路が別途必要になると共に、MOSFETのドレイン‐ソース間電圧が変化した際に疑似抵抗値も変動してしまうため、抵抗素子としての非線形性が強く、電源電圧の変動等に伴ってその出力信号に波形歪みが生じることが考えられる。
つまり、現状では、電界効果トランジスタの疑似抵抗値を、製造工程のばらつき、及び電源電圧、温度の変化に応じて調整する付加的な調整回路を設ける必要性を排すると共に、電界効果トランジスタの電源電圧の変動に起因する波形歪みを低減可能な新規な構成の擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路が待望された状況にある。
本発明は、以上の検討を経てなされたものであり、電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整する付加的な調整回路を設ける必要性を排すると共に、電界効果トランジスタの電源電圧の変動に起因する波形歪みを低減可能な擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路を提供することを目的とする。
以上の目的を達成するべく、本発明は、第1の電界効果トランジスタと、前記第1の電界効果トランジスタの電気的特性とマッチングされた電気的特性を有する第2の電界効果トランジスタと、基準抵抗素子の一方の端部及び前記第2の電界効果トランジスタのソース端子が電気的に接続された分圧回路と、反転入力端子、非反転入力端子、並びに前記第1の電界効果トランジスタのゲート端子及び前記第2の電界効果トランジスタのゲート端子に電気的に接続された出力端子を有し、前記反転入力端子及び前記非反転入力端子の対応する一方に前記分圧回路の中点電圧が入力され、かつ、前記反転入力端子及び前記非反転入力端子の対応する他方に基準電圧が入力される第1の演算増幅器と、前記基準抵抗素子の他方の端部に対して、前記第2の電界効果トランジスタのドレイン端子と電気的に接続された前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子のドレイン電圧を反転増幅した電圧を入力する第2の演算増幅器と、を備えた擬似抵抗回路であることを第1の局面とする。
かかる第1の局面の構成においては、反転入力端子、非反転入力端子、及び第1の電界効果トランジスタのゲート端子及び第2の電界効果トランジスタのゲート端子に電気的に接続された出力端子を有し、反転入力端子及び非反転入力端子の対応する一方に分圧回路の中点電圧が入力され、かつ、反転入力端子及び非反転入力端子の対応する他方に基準電圧が入力される第1の演算増幅器の負帰還動作によって、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値が、所定値に安定する。
また、本発明は、かかる第1の局面に加えて、前記第2の演算増幅器の入力側端子及び前記第2の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子に対して、前記第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧の絶対値電圧を入力する絶対値回路を更に備えたことを第2の局面とする。
かかる第2の局面の構成においては、第2の演算増幅器の入力側端子及び第2の電界効果トランジスタドレイン端子に対して、第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧の絶対値電圧を入力する絶対値回路が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧を絶対値電圧に変換する。これにより、第2の電界効果トランジスタのドレイン端子及び第2の演算増幅器の入力側端子に対して、正の値の電圧を与えるため、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持される。
また、本発明は、かかる第1の局面に加えて、前記第2の演算増幅器の前記入力端子に電気的に接続された前記第2の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子と、前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子と、の間に、第1の電圧源を更に備えたことを第3の局面とする。
かかる第3の局面の構成においては、第2の演算増幅器の入力端子に電気的に接続された第2の電界効果トランジスタのドレイン端子と、第1の電界効果トランジスタのドレイン端子と、の間に、所定の電圧の第1の電圧源が設けられることにより、第2の電界効果トランジスタのドレイン端子及び第2の演算増幅器の入力端子の電圧を所定値に維持する。
また、本発明は、かかる第3の局面に加えて、前記第1の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源であることを第4の局面とする。
かかる第4の局面の構成においては、第1の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源であることにより、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することで、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整自在とし、かつその温度依存性を低減する。
また、本発明は、かかる第1から第4の局面のいずれかに加えて、更に、前記第1の電界効果トランジスタの前記ゲート端子と前記第2の電界効果トランジスタの前記ゲート端子とを電気的に接続する電気配線に第2の電圧源を更に備えたことを第5の局面とする。
かかる第5の局面の構成においては、第1の電界効果トランジスタのゲート端子と第2の電界効果トランジスタのゲート端子とを電気的に接続する電気配線に所定の電圧の第2の電圧源を設けることにより、その電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタのゲート電圧を典型的には低下させるように調整して、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を典型的にはより大きな値へと調整自在とする。
また、本発明は、かかる第5の局面に加えて、前記第2の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源であることを第6の局面とする。
かかる第6の局面の構成においては、第1の電界効果トランジスタのゲート端子と第2の電界効果トランジスタのゲート端子とを電気的に接続する電気配線にフローティング電圧源を設けることにより、その温度に比例した出力電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタのゲート電圧を調整し、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することで、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整自在とし、かつその温度依存性を低減する。
また、本発明は、第1から第6のいずれかの局面に記載の前記擬似抵抗回路と、前記第1の電界効果トランジスタのソース端子に電気的に接続された反転入力端子、基準電圧が入力される非反転入力端子、及び前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子に電気的に接続された出力端子を有する第3の演算増幅器と、前記第3の演算増幅器の前記反転入力端子と前記第3の演算増幅器の前記出力端子との間、及び前記第1の電界効果トランジスタの前記ソース端子Sと前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子との間に電気的に接続された及びコンデンサと、を備えた電荷検出回路であることを第7の局面とする。
かかる第7の局面の構成においては、第1から第6の局面のいずれかに記載の擬似抵抗回路の動作と相まって、電荷検出回路の出力信号には、疑似抵抗回路の非線形性に起因する波形歪みが低減される。また、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値は、相対的に大きな値を呈するので、電荷出力センサからの低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器で確実に増幅されて、電荷検出回路から出力される。
以上の本発明の第1の局面における擬似抵抗回路によれば、第1の電界効果トランジスタと、第1の電界効果トランジスタの電気的特性とマッチングされた電気的特性を有する第2の電界効果トランジスタと、基準抵抗素子の一方の端部及び第2の電界効果トランジスタのソース端子が電気的に接続された分圧回路と、反転入力端子、非反転入力端子、並びに第1の電界効果トランジスタのゲート端子及び第2の電界効果トランジスタのゲート端子に電気的に接続された出力端子を有し、反転入力端子及び非反転入力端子の対応する一方に分圧回路の中点電圧が入力され、かつ、反転入力端子及び非反転入力端子の対応する他方に基準電圧が入力される第1の演算増幅器と、基準抵抗素子の他方の端部に対して、第2の電界効果トランジスタのドレイン端子と電気的に接続された第1の電界効果トランジスタのドレイン端子のドレイン電圧を反転増幅した電圧を入力する第2の演算増幅器と、を備えることにより、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整する付加的な調整回路を設ける必要性を排することができると共に、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を所定値に安定させることができる。
また、本発明の第2の局面における擬似抵抗回路によれば、第2の演算増幅器の入力側端子及び第2の電界効果トランジスタのドレイン端子に対して、第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧の絶対値電圧を入力する絶対値回路が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧を絶対値電圧に変換することができ、これにより、第2の電界効果トランジスタのドレイン端子及び第2の演算増幅器の入力側端子に対して、正の値の電圧を与えることができるため、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を、所定値に安定して維持することができる。
また、本発明の第3の局面における擬似抵抗回路によれば、第2の演算増幅器の入力端子に電気的に接続された第2の電界効果トランジスタのドレイン端子と、第1の電界効果トランジスタのドレイン端子と、の間に、所定の電圧の第1の電圧源が設けられることにより、第2の電界効果トランジスタのドレイン端子及び第2の演算増幅器の入力端子の電圧を所定値に維持することができる。
また、本発明の第4の局面における擬似抵抗回路によれば、第1の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源であることにより、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することで、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整自在とし、かつその温度依存性を低減することができる。
また、本発明の第5の局面における擬似抵抗回路によれば、第1の電界効果トランジスタのゲート端子と第2の電界効果トランジスタのゲート端子とを電気的に接続する電気配線に第2の電圧源、典型的には所定の電圧の直流電圧源を設けることにより、その電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタのゲート電圧を典型的には低下させるように調整することができ、これにより、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を典型的にはより大きな値へと調整自在とすることができる。
また、本発明の第6の局面における擬似抵抗回路によれば、第1の電界効果トランジスタのゲート端子と第2の電界効果トランジスタのゲート端子とを電気的に接続する電気配線にフローティング電圧源を設けることにより、その温度に比例した出力電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタのゲート電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することで、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値を調整自在とし、かつその温度依存性を低減することができる。
また、本発明の第7の局面における電荷検出回路によれば、第1から第6の局面のいずれかに記載の擬似抵抗回路と、第1の電界効果トランジスタのソース端子に電気的に接続された反転入力端子、基準電圧が入力される非反転入力端子、及び第1の電界効果トランジスタのドレイン端子に電気的に接続された出力端子を有する第3の演算増幅器と、第3の演算増幅器の反転入力端子と第3の演算増幅器の出力端子との間、及び第1の電界効果トランジスタのソース端子Sと第1の電界効果トランジスタのドレイン端子との間に電気的に接続された及びコンデンサと、を備えることにより、第1から第4のいずれかに記載の擬似抵抗回路の効果と相まって、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減された電荷検出回路の出力信号を得ることができる。また、第1の電界効果トランジスタの疑似抵抗値は、相対的に大きな値を呈することができるので、電荷出力センサからの低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器で確実に増幅して、電荷検出回路から出力することができる。更に、このように擬似抵抗回路を含む電荷検出回路では、容易に集積化することができる。
以下、図面を適宜参照して、本発明の各実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、詳細に説明する。
(第1の実施形態)
最初に、本発明の第1の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図1及び図2を参照して、詳細に説明する。
最初に、本発明の第1の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図1及び図2を参照して、詳細に説明する。
図1は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図2は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
〔擬似抵抗回路の構成〕
まず、図1を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路1の構成につき、詳細に説明する。
まず、図1を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路1の構成につき、詳細に説明する。
図1に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路1は、第1の電界効果トランジスタMaと、第1の電界効果トランジスタMaの抵抗値の変動に起因する波形歪みを低減する歪補償バイアス源2と、を備えている。
第1の電界効果トランジスタMaは、典型的には、MOSFETであり、n型のMOSFETによって構成されているものとする。第1の電界効果トランジスタMaは、弱反転領域で動作させることによって擬似抵抗素子として機能する。つまり、第1の電界効果トランジスタMaの抵抗値は、その弱反転領域における疑似抵抗値である。
ここで、第1の電界効果トランジスタMaのソース端子Sは、接地端子等の基準電圧を与える基準電圧端子に電気的に接続されている。第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dは、その電圧がドレイン電圧Voである端子であり、詳細は後述する歪補償バイアス源2における第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に電気的に接続されている。また、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gは、詳細は後述する歪補償バイアス源2における第1の演算増幅器OP1の出力端子、及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続されている。
歪補償バイアス源2は、分圧回路21と、第2の電界効果トランジスタMbと、第1の演算増幅器OP1と、第2の演算増幅器OP2と、を備えている。
ここで、分圧回路21は、基準抵抗素子Rstdと第2の電界効果トランジスタMbとを電気的に接続した回路によって構成されている。基準抵抗素子Rstdの一方の端部は、第2の演算増幅器OP2の出力側端子に電気的に接続されていると共に、基準抵抗素子Rstdの他方の端部は、第2の電界効果トランジスタMbのソース端子Sに電気的に接続されている。
第2の電界効果トランジスタMbの電気的特性は、第1の電界効果トランジスタMaの電気的特性とマッチングされている。つまり、本実施形態においては、第2の電界効果トランジスタMbは、典型的には、第1の電界効果トランジスタMaと同一ウェハ上で一連の同一工程により同じ物性的構成のものとして作製されたものである。すなわち、第2の電界効果トランジスタMbは、第1の電界効果トランジスタと同一の極性を有し、典型的には、MOSFETであり、n型のMOSFETによって構成されているものとする。また、第2の電界効果トランジスタMbは、第1の電界効果トランジスタMaと同様に、弱反転領域で動作されるものであり、第2の電界効果トランジスタMbの抵抗値は、その弱反転領域における疑似抵抗値である。
ここで、第2の電界効果トランジスタMbのソース端子Sは、基準抵抗素子Rstdの他方の端部に電気的に接続されている。第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dは、第2の演算増幅器OP2の出力側端子に電気的に接続されている。また、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gは、第1の演算増幅器OP1の出力端子及び第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gに電気的に接続されている。
第1の演算増幅器OP1は、反転入力端子(−)、非反転入力端子(+)、及び出力端子を備えている。
ここで、第1の演算増幅器OP1の反転入力端子(−)は、基準抵抗素子Rstdの一方の端部と、第2の電界効果トランジスタMbのソース端子Sと、の間、すなわち分圧回路21の中点電圧に電気的に接続されている。第1の演算増幅器OP1の非反転入力端子(+)は、接地端子等の所定の基準電圧を与える基準電圧端子に電気的に接続されている。また、第1の演算増幅器OP1の出力端子は、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子G、及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続されている。
第2の演算増幅器OP2は、その入力電圧を反転増幅する機能を有し、−1倍等の所定の負の増幅率でその入力電圧を増幅するものとする。なお、第2の演算増幅器OP2の各端子の電気的な接続構成については、その詳細な図示を省略し、その各端子は、入力側端子及び出力側端子と略記する。
ここで、第2の演算増幅器OP2の入力側端子には、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子D、及び第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dが電気的に接続されて、ドレイン電圧Voが印加されている。第2の演算増幅器OP2の出力側端子は、基準抵抗素子Rstdの一方の端部に電気的に接続されている。
また、図中、基準抵抗素子Rstdの一方の端部と、第2の演算増幅器OP2の出力側端子と、を電気的に接続する電気配線上の部位をノードN1で示す。基準抵抗素子Rstdの他方の端部と、第2の電界効果トランジスタMbのソース端子Sと、第1の演算増幅器OP1の反転入力端子(−)と、を電気的に接続する電気配線上の部位をノードN2で示し、ノードN2の電圧は、分圧回路21の中点電圧である。また、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gと、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gと、第1の演算増幅器OP1の出力端子と、を電気的に接続する電気配線L1上の部位をノードN3で示す。
〔擬似抵抗回路の動作〕
次に、以上の構成を有する擬似抵抗回路1の動作につき、詳細に説明する。
次に、以上の構成を有する擬似抵抗回路1の動作につき、詳細に説明する。
以上の構成を有する擬似抵抗回路1で、第1の演算増幅器OP1の非反転入力端子(+)が、接地端子等の基準電圧端子に電気的に接続され、第2の演算増幅器OP2の増幅率が、−1倍等の負の倍率であり、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが、正の電圧であって、かつ、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gの電圧及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gの電圧が、所定値よりも高い、つまり、これらの疑似抵抗値が、所定値よりも小さくなっている場合において、かかる擬似抵抗回路1の動作ついて検討する。
かかる条件下で、ノードN2の電圧がドレイン電圧Voより小さな値ではあるが正の値となることに対応して、第1の演算増幅器OP1の反転入力端子(−)には正の電圧が入力される。このため、第1の演算増幅器OP1の出力電圧が低下することによって、ノードN3の電圧が低下して、第2の電界効果トランジスタMbのゲート電圧が低下し、第2の電界効果トランジスタMbの疑似抵抗値が増加する。これにより、ノードN2の電圧が低下する。
更に、第1の演算増幅器OP1により、引き続き負帰還がかかることによって、ノードN2の電圧が、基準電圧になるように安定していく。この結果、第1の演算増幅器OP1の出力電圧が安定することによって、ノードN3の電圧が安定して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧が、所定値に安定していく。
つまり、第1の演算増幅器OP1の負帰還動作によって、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、次第に大きくなっていき、最終的には所定値に安定することになる。一方で、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gの電圧及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gの電圧が、所定値よりも低い、つまり、これらの疑似抵抗値が、所定値よりも大きくなっている場合においても、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、同様に最終的には所定値に安定することになる。
よって、以上の構成を有する擬似抵抗回路1においては、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定的に維持されることになる。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図2を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路1が適用された電荷検出回路100の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図2を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路1が適用された電荷検出回路100の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図2に示すように、電荷検出回路100は、擬似抵抗回路1と、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、第3の演算増幅器OP3の非反転入力端子(+)は、接地端子等の基準電圧端子に電気的に接続されている。第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)は、第1の電界効果トランジスタMaのソース端子Sに電気的に接続されている。また、第3の演算増幅器OP3の出力端子は、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dに電気的に接続されている。コンデンサCfは、第3の演算増幅器OP3の出力端子とその反転入力端子(−)との間、及び第1の電界効果トランジスタMaのソース端子Sとそのドレイン端子Dとの間に、並列に電気的に接続されている。
以上の構成を有する電荷検出回路100では、図示を省略する電荷出力センサからの検出信号が、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)に入力されることによって、増幅された信号として出力される。
この際、擬似抵抗回路1によれば、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が所定値に安定しているため、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路100の出力信号には、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減される。また、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値は、相対的に大きな値を呈することができるので、電荷出力センサからの低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路100から出力される。更に、このように擬似抵抗回路1を含む電荷検出回路100では、集積化が容易である。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図3及び図4を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第2の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図3及び図4を参照して、詳細に説明する。
図3は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図4は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図3及び図4に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路10及びそれを用いた電荷検出回路200においては、第1の実施形態における擬似抵抗回路1及びそれを用いた電荷検出回路100に対して、絶対値回路3が付加された構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図3を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路10の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図3を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路10の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図3に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路10は、第1の実施形態における擬似抵抗回路1に対して、更に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dと第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dとの間に、絶対値回路3を設けている。
このように、本実施形態における擬似抵抗回路10において、絶対値回路3を設けているのは、以下のような現象に対処するためである。
つまり、第1の実施形態における擬似抵抗回路1においては、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが、前提とする正の電圧ではなく負の電圧になってしまった場合には、ノードN2の電圧は負となり、第1の演算増幅器OP1の反転入力端子(−)には負の電圧が入力される。このため、第1の演算増幅器OP1の出力電圧が増加することによって、ノードN3の電圧が増加して、第2の電界効果トランジスタMbのゲート電圧が増加し、第2の電界効果トランジスタMbの疑似抵抗値が低下してしまう。これにより、ノードN2の電圧は、より低下してしまう。
更に、第1の演算増幅器OP1により、引き続き帰還がかかることによって、ノードN2の電圧は、負の値のままで低下し、第1の演算増幅器OP1の出力電圧がより増加することによって、ノードN3の電圧がより増加して、第2の電界効果トランジスタMbのゲート電圧がより増加し続けてしまう。この結果、正帰還がかかり、第2の電界効果トランジスタMbの疑似抵抗値が低下し続けてしまって一向に安定しない現象が、発生してしまうことになる。
そこで、本実施形態における擬似抵抗回路10においては、絶対値回路3が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換する。これにより、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第1の実施形態におけるものと同様に正の値の電圧を与えることができる。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路10においても、第1の実施形態における擬似抵抗回路1と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されることになる。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図4を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路10が適用された電荷検出回路200の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図4を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路10が適用された電荷検出回路200の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図4に示すように、本実施形態における電荷検出回路200は、擬似抵抗回路10に加え、第1の実施形態における電荷検出回路100と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路10においては、絶対値回路3が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換することができるため、第1の実施形態における擬似抵抗回路1と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されている。
このため、本実施形態における電荷検出回路200においては、第1の実施形態における電荷検出回路100と同様に、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路200の出力信号には、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減される。また、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値は、相対的に大きな値を呈することができるので、電荷出力センサからの低周波数領域の検出信号も、第1の実施形態における電荷検出回路100と同様に、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路200から出力されることになる。
(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図5及び図6を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第3の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図5及び図6を参照して、詳細に説明する。
図5は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図6は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図5及び図6に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路20及びそれを用いた電荷検出回路300においては、第2の実施形態における擬似抵抗回路10及びそれを用いた電荷検出回路200に対して、直流電圧源4が付加された構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図5を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路20の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図5を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路20の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図5に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路20は、第2の実施形態における擬似抵抗回路10に対して、更に、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gと第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gとを電気的に接続する電気配線L1に、所定の電圧の直流電圧源4を設けている。
詳しくは、直流電圧源4の負極端子は、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gに電気的に接続されると共に、直流電圧源4の正極端子は、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続されている。
本実施形態における擬似抵抗回路20においては、このような直流電圧源4を設けることにより、その電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を低下させるように調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路20においては、第2の実施形態における擬似抵抗回路10と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されることに加えて、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在とする。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図6を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路20が適用された電荷検出回路300の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図6を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路20が適用された電荷検出回路300の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図6に示すように、本実施形態における電荷検出回路300は、擬似抵抗回路20に加え、第2の実施形態における電荷検出回路200と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路20においては、第2の実施形態における擬似抵抗回路10と同様に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換しているため、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Vo、つまり、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dから出力される出力波形の疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが、低減されていることに加え、直流電圧源4が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
このため、本実施形態における電荷検出回路300においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路300の出力信号には、第2の実施形態における電荷検出回路200と同様に、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減されることに加え、第2の実施形態における電荷検出回路200に比較して、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路300から出力されることになる。
なお、本実施形態における直流電圧源4においては、必要に応じて、直流電圧源4の正極端子を、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gに電気的に接続すると共に、直流電圧源4の負極端子を、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続して、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより小さな値へと調整自在としてもかまわない。
また、本実施形態における直流電圧源4は、第1の実施形態における擬似抵抗回路1及びそれを用いた電荷検出回路100に対して適用できることは、もちろんである。
(第4の実施形態)
次に、本発明の第4の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図7及び図8を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第4の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図7及び図8を参照して、詳細に説明する。
図7は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図8は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図7及び図8に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路30及びそれを用いた電荷検出回路400においては、第3の実施形態における擬似抵抗回路20及びそれを用いた電荷検出回路300に対して、直流電圧源4をフローティング電圧源5に置換した構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図7を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路30の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図7を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路30の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図7に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路30は、第3の実施形態における擬似抵抗回路20に対して、直流電圧源4の代わりに、PTAT(Proportional To Absolute Temperature)電流源51と抵抗素子Rとを備えるフローティング電圧源5を設けている。
詳しくは、PTAT電流源51の出力端子は、抵抗素子Rの一方の端部、及び第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gに電気的に接続されている。また、抵抗素子Rの他方の端部は、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続されている。
本実施形態における擬似抵抗回路30においては、このようなフローティング電圧源5を設けることにより、その温度に比例した出力電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路30においては、第3の実施形態における擬似抵抗回路20と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値等へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減する。
なお、図7に示すPTAT電流源51の内部回路は一例として示したものであり、PTAT電流源の内部回路としては、これに限定されるものではなく、その他公知の構成を採用することが可能である。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図8を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路30が適用された電荷検出回路400の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図8を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路30が適用された電荷検出回路400の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図8に示すように、本実施形態における電荷検出回路400は、擬似抵抗回路30に加え、第3の実施形態における電荷検出回路300と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路30においては、第3の実施形態における擬似抵抗回路20と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値等へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減している。
このため、本実施形態における電荷検出回路400においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路400の出力信号は、第3の実施形態における電荷検出回路300と同様に、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号が第3の演算増幅器OP3で確実に増幅され、かつ、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減された態様で出力されることになることに加え、第3の実施形態における電荷検出回路300に比較して、その温度依存性が低減されることになる。
なお、本実施形態におけるフローティング電圧源5は、第1の実施形態における擬似抵抗回路1及びそれを用いた電荷検出回路100に対して適用できることは、もちろんである。
さて、以上の第2の実施形態から第4の実施形態では、絶対値回路3を設けた構成について説明したが、かかる絶対値回路3は、フローティング電圧源に置き換えることができる。そこで、以下、絶対値回路3をフローティング電圧源に置換した構成を有する第5の実施形態以降の各実施形態につき、図面を適宜参照しながら、詳細に説明する。
(第5の実施形態)
まず、本発明の第5の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図9及び図10を参照して、詳細に説明する。
まず、本発明の第5の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図9及び図10を参照して、詳細に説明する。
図9は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図10は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図9及び図10に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路40及びそれを用いた電荷検出回路500においては、第2の実施形態における擬似抵抗回路10及びそれを用いた電荷検出回路200に対して、絶対値回路3をフローティング電圧源6に置換した構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図9を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路40の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図9を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路40の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図9に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路40は、第2の実施形態における擬似抵抗回路10に対して、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dと第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dとの間に設けられた絶対値回路3に置換して、フローティング電圧源6を設けている。かかるフローティング電圧源(ドレーン側フローティング電圧源)6の構成は、第4の実施形態で説明したフローティング電圧源(ゲート側フローティング電圧源)5の構成と同様である。
このように、本実施形態における擬似抵抗回路40において、フローティング電圧源6を設けているのは、第2の実施形態における擬似抵抗回路10に絶対値回路3を設けたのと同様に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値にして、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第2の実施形態におけるものと同様に正の値の電圧を与えるためである。
詳しくは、フローティング電圧源6の負極端子は、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dに電気的に接続されると共に、フローティング電圧源6の正極端子は、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dに電気的に接続されている。フローティング電圧源6の具体的構成は、第4の実施形態で説明したフローティング電圧源5の構成と同様であり、詳細な図示は省略するが、第4の実施形態で一例として説明したように、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるものである。つまり、かかるPTAT電流源の出力端子は、かかる抵抗素子の一方の端部、及び第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dに電気的に接続されているものであり、かかる抵抗素子の他方の端部は、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dに電気的に接続されることになる。
ここで、フローティング電圧源6の電圧の値Voffは、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voの振幅の最大値Vmaxよりも大きい正の値に設定されることが必要である(Voff>Vmax)。
このようなフローティング電圧源6を設けることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが前提とする正の電圧ではなく負の電圧になってしまった場合においてもその電圧を正の値に変換することができ、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第2の実施形態におけるものと同様に正の値の電圧を与えることができる。
更に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値は、第1の電界効果トランジスタMaにおけるゲート電圧を熱電圧で規格化した値に対してのみならず、そのドレイン電圧を熱電圧で規格化した値に対しても指数的に変動するものであるので、熱電圧に比例した電圧値を出力するフローティング電圧源6を設けることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在とすることができる。
よって、このようなフローティング電圧源6を設けることにより、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第2の実施形態におけるものと同様に正の値の電圧を与えることができることに加え、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することができる。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路40においても、第2の実施形態における擬似抵抗回路10と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されることになることに加え、フローティング電圧源6が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減する。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図10を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路40が適用された電荷検出回路500の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図10を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路40が適用された電荷検出回路500の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図10に示すように、本実施形態における電荷検出回路500は、擬似抵抗回路40に加え、第2の実施形態における電荷検出回路200と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路40においては、フローティング電圧源6が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換することができるため、第1の実施形態における擬似抵抗回路1と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されていることに加え、フローティング電圧源6が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減している。
このため、本実施形態における電荷検出回路500においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路500の出力信号は、第2の実施形態における電荷検出回路200と同様に、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号が、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減された態様で、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて出力されることになる。
なお、本実施形態におけるフローティング電圧源6の代わりに、電圧がVoff>Vmaxを満足する直流電圧源を設けることもできる。かかる場合には、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することはできないが、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換することができ、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第2の実施形態におけるものと同様に正の値の電圧を与えることができる。
(第6の実施形態)
次に、本発明の第6の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図11及び図12を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第6の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図11及び図12を参照して、詳細に説明する。
図11は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図12は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図11及び図12に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路50及びそれを用いた電荷検出回路600においては、第5の実施形態における擬似抵抗回路40及びそれを用いた電荷検出回路500に対して、直流電圧源4が付加された構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図11を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路50の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図11を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路50の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図11に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路50は、第5の実施形態における擬似抵抗回路40に対して、更に、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gと第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gとを電気的に接続する電気配線L1に、直流電圧源4を設けている。そして、かかる直流電圧源4の構成は、第3の実施形態におけるものと同様である。
つまり、本実施形態における擬似抵抗回路50においては、このような直流電圧源4を設けることにより、その電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を低下させるように調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路50においては、第5の実施形態における擬似抵抗回路40と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように調整自在とされ、その温度依存性を低減した所定値に安定して維持されることに加えて、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在とする。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図12を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路50が適用された電荷検出回路600の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図12を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路50が適用された電荷検出回路600の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図12に示すように、本実施形態における電荷検出回路600は、擬似抵抗回路20に加え、第5の実施形態における電荷検出回路500と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路50においては、第5の実施形態における擬似抵抗回路40と同様に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の値である場合においてもその電圧を正の値に変換し、かつ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減されているため、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Vo、つまり、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dから出力される出力波形の疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが、低減されていることに加え、直流電圧源4が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
このため、本実施形態における電荷検出回路600においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路600の出力信号には、第5の実施形態における電荷検出回路500と同様に、疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが低減されることに加え、第5の実施形態における電荷検出回路500に比較して、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路600から出力されることになる。
(第7の実施形態)
次に、本発明の第7の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図13及び図14を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第7の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図13及び図14を参照して、詳細に説明する。
図13は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図14は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図13及び図14に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路60及びそれを用いた電荷検出回路700においては、第6の実施形態における擬似抵抗回路50及びそれを用いた電荷検出回路600に対して、直流電圧源4をフローティング電圧源5に置換した構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図13を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路60の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図13を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路60の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図13に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路60は、第6の実施形態における擬似抵抗回路50に対して、直流電圧源4の代わりに、PTAT電流源51と抵抗素子Rとを備えるフローティング電圧源5を設けている。そして、かかるフローティング電圧源(ゲート側フローティング電圧源)5の構成は、第4の実施形態におけるものと同様である。
つまり、本実施形態における擬似抵抗回路60においては、このようなフローティング電圧源5を設けることにより、その温度に比例した出力電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路60においては、第6の実施形態における擬似抵抗回路50と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように調整自在とされ、その温度依存性を低減した所定値に安定して維持し、かつ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減する。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図14を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路60が適用された電荷検出回路700の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図14を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路60が適用された電荷検出回路700の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図14に示すように、本実施形態における電荷検出回路700は、擬似抵抗回路60に加え、第6の実施形態における電荷検出回路600と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路60においては、第6の実施形態における擬似抵抗回路50と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値等へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減している。
このため、本実施形態における電荷検出回路700においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路700の出力信号は、第6の実施形態における電荷検出回路600と同様に、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号が第3の演算増幅器OP3で確実に増幅され、かつ、疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが低減された態様で出力されることになることに加え、第6の実施形態における電荷検出回路600に比較して、その温度依存性が更に低減されることになる。
さて、以上の各実施形態では、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが正の電圧である場合について説明してきたが、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voは、負の電圧であってもよい。そこで、以下、図面を適宜参照して、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の電圧である場合に関した本発明の各実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、詳細に説明する。
(第8の実施形態)
最初に、本発明の第8の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図15及び図16を参照して、詳細に説明する。
最初に、本発明の第8の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図15及び図16を参照して、詳細に説明する。
図15は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図16は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図15及び図16に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路70及びそれを用いた電荷検出回路800においては、第1の実施形態における擬似抵抗回路1及びそれを用いた電荷検出回路100に対して、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の電圧であることが主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図15を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路70の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図15を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路70の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図15に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路70においては、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが負の電圧であることに対応して、第1の演算増幅器OP1における反転入力端子(−)及び非反転入力端子(+)における電気的な接続関係が、第1の実施形態における擬似抵抗回路1に対して異なっている。つまり、第1の演算増幅器OP1の反転入力端子(−)は、接地端子等の所定の基準電圧を与える基準電圧端子に電気的に接続されており、かつ、第1の演算増幅器OP1の非反転入力端子(+)は、基準抵抗素子Rstdの一方の端部と、第2の電界効果トランジスタMbのソース端子Sと、の間、すなわち分圧回路21の中点電圧にノードN2で電気的に接続されている。但し、第1の演算増幅器OP1の出力端子は、第1の実施形態における擬似抵抗回路1と同様に、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子G、及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子GにノードN3で電気的に接続されている。
以上の構成を有する擬似抵抗回路70において、第1の実施形態におけるものと同様に、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gの電圧及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gの電圧が、所定値よりも高い、つまり、これらの疑似抵抗値が、所定値よりも小さくなっている場合において、かかる擬似抵抗回路70の動作ついて検討する。
かかる条件下で、ノードN2の電圧が、基準電圧とドレイン電圧Voの間の値、つまり負の値となることに対応して、第1の演算増幅器OP1の非反転入力端子(+)には負の電圧が入力される。このため、第1の演算増幅器OP1の出力電圧が低下することによって、ノードN3の電圧が低下して、第2の電界効果トランジスタMbのゲート電圧が低下し、第2の電界効果トランジスタMbの疑似抵抗値が増加する。これにより、ノードN2の電圧が低下する。
更に、第1の演算増幅器OP1により、引き続き負帰還がかかることによって、ノードN2の電圧が、基準電圧になるように安定していく。この結果、第1の演算増幅器OP1の出力電圧が安定することによって、ノードN3の電圧が安定して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧が、所定値に安定していく。
つまり、第1の実施形態におけるものと同様に、第1の演算増幅器OP1の負帰還動作によって、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、次第に大きくなっていき、最終的には所定値に安定することになる。一方で、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gの電圧及び第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gの電圧が、所定値よりも低い、つまり、これらの疑似抵抗値が、所定値よりも大きくなっている場合においても、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、同様に最終的には所定値に安定することになる。
よって、以上の構成を有する擬似抵抗回路70においては、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定的に維持されることになる。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図16を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路70が適用された電荷検出回路800の構成及び動作につき、詳細に説明する。
次に、図16を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路70が適用された電荷検出回路800の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図16に示すように、電荷検出回路800は、擬似抵抗回路70に加え、第1の実施形態における電荷検出回路100と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
以上の構成を有する電荷検出回路800では、第1の実施形態における電荷検出回路100と同様に、図示を省略する電荷出力センサからの検出信号が、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)に入力されることによって、増幅された信号として出力される。
この際、擬似抵抗回路70によれば、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が所定値に安定しているため、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路800の出力信号には、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減される。また、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値は、相対的に大きな値を呈することができるので、電荷出力センサからの低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路800から出力される。更に、このように擬似抵抗回路70を含む電荷検出回路800では、集積化が容易である。
(第9の実施形態)
次に、本発明の第9の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図17及び図18を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第9の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図17及び図18を参照して、詳細に説明する。
図17は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図18は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図17及び図18に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路80及びそれを用いた電荷検出回路900においては、第8の実施形態における擬似抵抗回路70及びそれを用いた電荷検出回路800に対して、フローティング電圧源7が付加された構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図17を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路80の構成及び動作につき、詳細に説明する。
まず、図17を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路80の構成及び動作につき、詳細に説明する。
図17に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路80は、第8の実施形態における擬似抵抗回路70に対して、更に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dと第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子Dとの間に、フローティング電圧源7を設けている。かかるフローティング電圧源(ドレーン側フローティング電圧源)7の構成は、その極性は逆になるが、第5の実施形態で説明したフローティング電圧源6の構成と同様である。
ここで、フローティング電圧源7の電圧の値Voffは、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voの振幅の最大値Vmaxよりも大きい値に設定されることが必要である(Voff>Vmax)。
このようなフローティング電圧源7を設けることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが前提とする負の電圧ではなく正の値になってしまった場合においてもその電圧を負の値に変換することができ、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、負の値の電圧を与えることができる。
更に、このようなフローティング電圧源7は、第5の実施形態におけるフローティング電圧源6と同様に、熱電圧に比例した電圧値を出力するものとすることで、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在とすることができる。
よって、本実施形態における擬似抵抗回路80においても、このようなフローティング電圧源7を設けることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されることになることに加え、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減する。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図18を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路80が適用された電荷検出回路900につき、詳細に説明する。
次に、図18を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路80が適用された電荷検出回路900につき、詳細に説明する。
図18に示すように、本実施形態における電荷検出回路900は、擬似抵抗回路80に加え、第8の実施形態における電荷検出回路800と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路80においては、フローティング電圧源7が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが正の値である場合においてもその電圧を負の値に変換することができるため、第8の実施形態における擬似抵抗回路70と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、所定値に安定して維持されていることに加え、フローティング電圧源7が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減している。
このため、本実施形態における電荷検出回路900においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路900の出力信号は、第8の実施形態における電荷検出回路800と同様に、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号が、疑似抵抗値の非線形性に起因する波形歪みが低減された態様で、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて出力されることになる。
なお、本実施形態におけるフローティング電圧源7の代わりに、電圧がVoff>Vmaxを満足する直流電圧源を設けることもできる。かかる場合には、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺することはできないが、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが正の値である場合においてもその電圧を負の値に変換することができ、第2の電界効果トランジスタMbのドレイン端子D及び第2の演算増幅器OP2の入力側端子に対して、第8の実施形態におけるものと同様に負の値の電圧を与えることができる。
(第10の実施形態)
次に、本発明の第10の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図19及び図20を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第10の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図19及び図20を参照して、詳細に説明する。
図19は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図20は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図19及び図20に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路90及びそれを用いた電荷検出回路1000においては、第9の実施形態における擬似抵抗回路80及びそれを用いた電荷検出回路900に対して、直流電圧源4が付加された構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図19を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路90の構成につき、詳細に説明する。
まず、図19を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路90の構成につき、詳細に説明する。
図19に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路90は、第9の実施形態における擬似抵抗回路80に対して、更に、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gと第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gとを電気的に接続する電気配線L1に、所定の電圧の直流電圧源4を設けている。かかる直流電圧源4は、第3の実施形態におけるものと同様である。
本実施形態における擬似抵抗回路90においては、第3の実施形態と同様に、このような直流電圧源4を設けることにより、その電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を低下させるように調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路90においては、第9の実施形態における擬似抵抗回路80と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように調整自在とされ、その温度依存性を低減した所定値に安定して維持されることに加えて、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在とする。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図20を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路90が適用された電荷検出回路1000につき、詳細に説明する。
次に、図20を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路90が適用された電荷検出回路1000につき、詳細に説明する。
図20に示すように、本実施形態における電荷検出回路1000は、擬似抵抗回路90に加え、第9の実施形態における電荷検出回路900と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路90においては、第9の実施形態における擬似抵抗回路80と同様に、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Voが正の値である場合においてもその電圧を負の値に変換し、かつ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減されているため、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン電圧Vo、つまり、第1の電界効果トランジスタMaのドレイン端子Dから出力される出力波形の疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが、低減されていることに加え、直流電圧源4が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在としている。
このため、本実施形態における電荷検出回路1000においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路1000の出力信号には、第9の実施形態における電荷検出回路900と同様に、疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが低減されることに加え、第9の実施形態における電荷検出回路900に比較して、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号も、第3の演算増幅器OP3で確実に増幅されて、電荷検出回路1000から出力されることになる。
なお、本実施形態における直流電圧源4においては、必要に応じて、直流電圧源4の正極端子を、第1の電界効果トランジスタMaのゲート端子Gに電気的に接続すると共に、直流電圧源4の負極端子を、第2の電界効果トランジスタMbのゲート端子Gに電気的に接続して、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより小さな値へと調整自在としてもかまわない。
また、本実施形態における直流電圧源4は、第8の実施形態における擬似抵抗回路70及びそれを用いた電荷検出回路800に対して適用できることは、もちろんである。
(第11の実施形態)
次に、本発明の第11の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図21及び図22を参照して、詳細に説明する。
次に、本発明の第11の実施形態における擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路につき、図21及び図22を参照して、詳細に説明する。
図21は、本実施形態における擬似抵抗回路の構成を示す回路図である。また、図22は、本実施形態における擬似抵抗回路を適用した電荷検出回路の構成を示す回路図である。
図21及び図22に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路100及びそれを用いた電荷検出回路1100においては、第10の実施形態における擬似抵抗回路90及びそれを用いた電荷検出回路1000に対して、直流電圧源4をフローティング電圧源5に置換した構成が主たる相違点であり、残余の構成は、同様である。よって、本実施形態では、かかる相違点に着目して説明することとし、同一な構成については、同じ符号を用い、その説明を簡略化又は省略するものとする。
〔擬似抵抗回路の構成及び動作〕
まず、図21を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路100の構成につき、詳細に説明する。
まず、図21を参照して、本実施形態における擬似抵抗回路100の構成につき、詳細に説明する。
図21に示すように、本実施形態における擬似抵抗回路100は、第10の実施形態における擬似抵抗回路90に対して、直流電圧源4の代わりに、PTAT電流源51と抵抗素子Rとを備えるフローティング電圧源5を設けている。そして、かかるフローティング電圧源(ゲート側フローティング電圧源)5の構成は、第4の実施形態におけるものと同様である。
つまり、本実施形態における擬似抵抗回路100においては、このようなフローティング電圧源5を設けることにより、その温度に比例した出力電圧を利用して、第1の電界効果トランジスタMaのゲート電圧を調整することができ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値における熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在としている。
この結果、本実施形態における擬似抵抗回路100においては、第10の実施形態における擬似抵抗回路90と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値が、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるドレイン電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように調整自在とされ、その温度依存性を低減した所定値に安定して維持し、かつ、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減する。
〔電荷検出回路の構成及び動作〕
次に、図22を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路100が適用された電荷検出回路1100につき、詳細に説明する。
次に、図22を参照して、以上の構成を有する擬似抵抗回路100が適用された電荷検出回路1100につき、詳細に説明する。
図22に示すように、本実施形態における電荷検出回路1100は、擬似抵抗回路100に加え、第10の実施形態における電荷検出回路1000と同様に、第3の演算増幅器OP3と、コンデンサCfと、を備えている。
ここで、本実施形態における擬似抵抗回路100においては、第10の実施形態における擬似抵抗回路90と同様に、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値をより大きな値等へと調整自在とすることに加え、フローティング電圧源5が設けられることにより、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値におけるゲート電圧に関する熱電圧の変動に起因する変動分を相殺するように、第1の電界効果トランジスタMaの疑似抵抗値を調整自在として、その温度依存性を低減している。
このため、本実施形態における電荷検出回路1100においては、第3の演算増幅器OP3の反転入力端子(−)から出力される電荷検出回路1100の出力信号は、第10の実施形態における電荷検出回路1000と同様に、電荷出力センサからのより低周波数領域の検出信号が第3の演算増幅器OP3で確実に増幅され、かつ、疑似抵抗値の非線形性及び温度依存性に起因する波形歪みが低減された態様で出力されることになることに加え、第10の実施形態における電荷検出回路1000に比較して、その温度依存性が更に低減されることになる。
なお、本実施形態におけるフローティング電圧源5は、第8の実施形態における擬似抵抗回路70及びそれを用いた電荷検出回路800に対して適用できることは、もちろんである。
なお、以上の各実施形態においては、第1の電界効果トランジスタMa及び第2の電界効果トランジスタMbは、共にn型のMOSFETであるとしたが、各実施形態の構成は、原理的にはMOSFETのキャリアの種別に関係なく適用できるため、これらは、p型のMOSFETであってもよい。かかる場合には、第1の演算増幅器OP1を介した負帰還が成立するように、第1の演算増幅器OP1における反転入力端子及び非反転入力端子の電気的な接続先を入れ替えればよい。
また、以上の各実施形態においては、第1の電界効果トランジスタMa及び第2の電界効果トランジスタMbは、共にMOSFETであるとしたが、弱反転領域に見られる電気的特性に相当する電気的特性を有する電界効果トランジスタであれば、MOSFET以外の電界効果トランジスタであってもよい。
また、本発明は、構成要素の形状、配置、個数等は前述の実施形態に限定されるものではなく、かかる構成要素を同等の作用効果を奏するものに適宜置換する等、発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能であることはもちろんである。
以上のように、本発明においては、電界効果トランジスタの疑似抵抗値を、製造工程のばらつき、及び電源電圧、温度の変化に応じて調整する付加的な調整回路を設ける必要性を排すると共に、電界効果トランジスタの電源電圧の変動に起因する波形歪みを低減可能な擬似抵抗回路及びそれを用いた電荷検出回路を提供することができるものであるため、その汎用普遍的な性格から広範に擬似抵抗回路や電荷検出回路等の分野に適用され得るものと期待される。
Claims (7)
- 第1の電界効果トランジスタと、
前記第1の電界効果トランジスタの電気的特性とマッチングされた電気的特性を有する第2の電界効果トランジスタと、
基準抵抗素子の一方の端部及び前記第2の電界効果トランジスタのソース端子が電気的に接続された分圧回路と、
反転入力端子、非反転入力端子、並びに前記第1の電界効果トランジスタのゲート端子及び前記第2の電界効果トランジスタのゲート端子に電気的に接続された出力端子を有し、前記反転入力端子及び前記非反転入力端子の対応する一方に前記分圧回路の中点電圧が入力され、かつ、前記反転入力端子及び前記非反転入力端子の対応する他方に基準電圧が入力される第1の演算増幅器と、
前記基準抵抗素子の他方の端部に対して、前記第2の電界効果トランジスタのドレイン端子と電気的に接続された前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子のドレイン電圧を反転増幅した電圧を入力する第2の演算増幅器と、
を備えた擬似抵抗回路。 - 前記第2の演算増幅器の入力側端子及び前記第2の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子に対して、前記第1の電界効果トランジスタのドレイン電圧の絶対値電圧を入力する絶対値回路を更に備えた請求項1に記載の擬似抵抗回路。
- 前記第2の演算増幅器の前記入力端子に電気的に接続された前記第2の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子と、前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子と、の間に、第1の電圧源を更に備えた請求項1に記載の疑似抵抗回路。
- 前記第1の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源である請求項3に記載の疑似抵抗回路。
- 前記第1の電界効果トランジスタの前記ゲート端子と前記第2の電界効果トランジスタの前記ゲート端子とを電気的に接続する電気配線に第2の電圧源を更に備えた請求項1から4のいずれかに記載の擬似抵抗回路。
- 前記第2の電圧源が、PTAT電流源と抵抗素子とを備えるフローティング電圧源である請求項5に記載の擬似抵抗回路。
- 請求項1から6のいずれかに記載の前記擬似抵抗回路と、
前記第1の電界効果トランジスタのソース端子に電気的に接続された反転入力端子、基準電圧が入力される非反転入力端子、及び前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレイン端子に電気的に接続された出力端子を有する第3の演算増幅器と、
前記第3の演算増幅器の前記反転入力端子と前記第3の演算増幅器の前記出力端子との間、及び前記第1の電界効果トランジスタの前記ソース端子Sと前記第1の電界効果トランジスタのドレイン端子との間に電気的に接続された及びコンデンサと、
を備えた電荷検出回路。
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