JP5884705B2 - 気相成長装置の汚染量測定方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
気相成長装置のチャンバー内をHClガスによるベーパーエッチングによりクリーニングするベーパーエッチング工程と、
前記ベーパーエッチング後の前記チャンバー内にて所定の枚数のウェーハを1枚ずつ順次非酸化性雰囲気で熱処理する熱処理工程と、
前記熱処理工程で熱処理された各々のウェーハ表面上の金属不純物の濃度を前記気相成長装置の汚染量として測定する測定工程とを含み、
前記ベーパーエッチング工程及び前記熱処理工程を所定の回数繰り返し行い、前記熱処理工程では各回同じウェーハを用いて各回で熱処理するウェーハの順番を変えないようにし、前記ベーパーエッチング工程及び前記熱処理工程を前記所定の回数繰り返し行った後に前記測定工程を行うことを特徴とする。
気相成長装置のメンテナンス後、直径300mmのシリコンエピタキシャルウェーハを約1000枚生産したところで、チャンバーをHClガスによりベーパーエッチング(VE)し、その後ただちにシリコンウェーハを投入して、1130℃、60秒、H2雰囲気で熱処理を行った。そのウェーハを取り出した後2枚目のウェーハを投入し、同様の熱処理を施し取り出した。さらに3枚目のウェーハを投入し同様に熱処理し取り出した。そして、各々のウェーハ表面汚染を回収しICP−MSでMo濃度を測定した。つづけて、同様のVEを行った後、同じ3枚のウェーハを同じ順番でチャンバーに順次投入し、同様の熱処理を行った。このベーパーエッチング工程及び熱処理工程を合計4回まで繰り返した。このうち2回目と4回目終了後にも初回と同様にICP−MSでMo濃度を測定した。
実施例1と同様の実験を行った。ただし、今回は直径300mmのシリコンエピタキシャルウェーハにおける半径85mm以内を内周部(図5参照)とし、半径85mmから150mm(最外周)までの65mmを外周部(図5参照)とし、VE及び熱処理回数は4回として、内周部と外周部とを1〜3枚目でMo濃度において比較した。図6はその測定結果である。図6に示すように、1枚目、2枚目、3枚目いずれも、内周部のMo濃度に比べて外周部のMo濃度が高くなっている。通常外周部がより強く汚染されるが、同様の結果となっている。
気相成長装置のメンテナンス後、直径300mmのシリコンエピタキシャルウェーハを133枚生産したところ、1401枚生産したところ、及び2266枚生産したところのそれぞれで、実施例1と同様のVE及び熱処理を4回行い、Mo濃度の比較を行った。その測定結果を図7に示す。また、WLTの結果も合わせて示す。図7に示すように、メンテナンス後の生産枚数が少ないほど3、2、1枚目の順でMo濃度が高いことが分かる。これらは、WLTに比較してより顕著である。しかし、2266枚生産後のものはすでにメンテナンスによる汚染は、排気等により除去された模様で、1〜3枚目全て検出下限以下であることを示している。このように、本発明では、メンテナンス後の汚染の回復を判断しやすい。
12 チャンバー
Claims (11)
- 気相成長装置の汚染量を測定する方法であって、
気相成長装置のチャンバー内をHClガスによるベーパーエッチングによりクリーニングするベーパーエッチング工程と、
前記ベーパーエッチング後の前記チャンバー内にて所定の枚数のウェーハを1枚ずつ順次非酸化性雰囲気で熱処理する熱処理工程と、
前記熱処理工程で熱処理された各々のウェーハ表面上の金属不純物の濃度を前記気相成長装置の汚染量として測定する測定工程とを含み、
前記ベーパーエッチング工程及び前記熱処理工程を所定の回数繰り返し行い、前記熱処理工程では各回同じウェーハを用いて各回で熱処理するウェーハの順番を変えないようにし、前記ベーパーエッチング工程及び前記熱処理工程を前記所定の回数繰り返し行った後に前記測定工程を行うことを特徴とする気相成長装置の汚染量測定方法。 - 前記非酸化性雰囲気が水素雰囲気であることを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記所定の枚数が3枚以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記所定の回数が4回以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記熱処理は1000℃〜1200℃で30秒以上行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記測定工程では、ウェーハ表面上の汚染を回収しICP−MSによって前記汚染に含まれた金属不純物の濃度を測定することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記汚染の回収範囲はウェーハ表面の全範囲であることを特徴とする請求項6に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記汚染の回収範囲はウェーハ表面の一部範囲であることを特徴と請求項6に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記測定工程では前記金属不純物の濃度としてMo濃度を測定することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 前記ウェーハとしてシリコンウェーハを用いることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染量測定方法を適用し、その汚染量測定方法の測定結果に基づいて金属不純物による汚染を一定レベル以下に低減した気相成長装置を用いて、ウェーハ上にエピタキシャル膜を気相成長させることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
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