JP5794212B2 - 気相成長装置の汚染評価方法及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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PCD法)がある。この方法は、例えば試料(基板)に対して光を当てて、発生する少数キャリアの寿命をマイクロ波の反射率の変化で検出することで、試料中の金属不純物を評価するものである(特許文献1参照)。
しかし、汚染量を加速させ、不純物の検出感度を上げるためには、クリーニング工程におけるシリコンコーティングを施さない方が、より不純物の影響を受けやすくなり汚染量が増幅されことを見出し、本発明に至った。
先ず、シリコンウェーハとして、直径が200mm、抵抗率が10Ωcm、厚みが725μmのP型シリコンウェーハを多数準備した。
一方、一日解放後メンテナンスした気相成長装置の場合、メンテナンス直後に作製した汚染評価用の半導体ウェーハでは、ウェーハライフタイム値は約250μsecであり、8日目まで日数の経過と共にウェーハライフタイム値は頭打ちすることなく上昇し、10日目で1900μsec程度まで増加した。
次に、比較例として、従来のように反応炉内を気相エッチングした後、3μm厚のシリコンコーティングを施した後にエピタキシャル層を成膜して汚染評価用の半導体ウェーハを作製する例を示す。
一方、一日開放後メンテナンスした気相成長装置の場合、メンテナンス直後に作製した汚染評価用の半導体ウェーハでは、ウェーハライフタイム値は約700μsecであり、通常メンテナンスした気相成長装置の場合と同様に、2日目で1800μsec程度まで増加した。10日目までに約2200μsecとなったが、2日以降のウェーハライフタイム値は頭打ちとなり、ほぼ横ばいとなった。
これに対し、実施例は、特に一日開放後メンテナンスした場合では、2日以降もウェーハライフタイム値は、頭打ちすることなく上昇し続けた。このことより、実施例は、メンテナンス後の気相成長装置の汚染度を高感度に検出できることを明確に示している。
Claims (4)
- 気相成長装置内のサセプタ上に載置して、気相エピタキシャル成長を施した半導体ウェーハについてエピタキシャル層に取り込まれた不純物に起因する汚染の評価を行うことにより、前記気相成長装置における汚染を評価する方法であって、
前記半導体ウェーハを載置するサセプタとして、表面にシリコンをコーティングしていないものを用いて前記評価を行うことを特徴とする気相成長装置の汚染評価方法。 - 前記半導体ウェーハの汚染評価を、ウェーハライフタイム値を測定することにより行うことを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置の汚染評価方法。
- 前記サセプタとして、SiCを被覆した黒鉛材料からなるものを用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の気相成長装置の汚染評価方法。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の気相成長装置の汚染評価方法により気相成長装置を評価し、該評価した気相成長装置の反応炉内において表面にシリコンをコーティングしたサセプタを用いて、シリコンエピタキシャルウェーハを製造することを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012185311A JP5794212B2 (ja) | 2012-08-24 | 2012-08-24 | 気相成長装置の汚染評価方法及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
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JP2014045007A JP2014045007A (ja) | 2014-03-13 |
JP5794212B2 true JP5794212B2 (ja) | 2015-10-14 |
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ID=50396093
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012185311A Active JP5794212B2 (ja) | 2012-08-24 | 2012-08-24 | 気相成長装置の汚染評価方法及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5794212B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6098997B2 (ja) * | 2014-04-24 | 2017-03-22 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長装置の汚染評価方法及びエピタキシャルウェーハの製造方法 |
CN106898568B (zh) * | 2015-12-18 | 2020-02-11 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种腔室纯净度的监测方法 |
JP6489198B1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-03-27 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの汚染評価方法および該方法を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177222A (ja) * | 1992-12-03 | 1994-06-24 | Sony Corp | サセプタからの汚染量の評価方法 |
WO2008149806A1 (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-11 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 半導体製造装置の汚染評価方法 |
JP5472308B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-04-16 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造方法および製造装置 |
JP5299359B2 (ja) * | 2010-06-11 | 2013-09-25 | 信越半導体株式会社 | エピタキシャル成長装置 |
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2012
- 2012-08-24 JP JP2012185311A patent/JP5794212B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014045007A (ja) | 2014-03-13 |
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