JP5878676B2 - 位置決めの装置、制御装置及び制御方法 - Google Patents
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Description
本発明の他の目的は、非常に安定した温度、非常に低い消費電力、及び一様な温度分布を提供するように、位置決め装置を制御するために、この位置決め装置で使用するための制御装置及び制御方法を提供することである。
1つ又は複数の支持要素を有する支持体配置と;
支持要素によって支持されるとともに、この支持要素に対して移動方向に可動であるような長ストローク・ステージであって、この長ストローク支持要素は、長ストローク支持要素によって支持される長ストローク・ステージ担持要素を有する、長ストローク・ステージと;
長ストローク・ステージに対して移動方向に可動である短ストローク・ステージであって、短ストローク支持は、短ストローク支持要素によって支持される短ストローク・ステージ担持要素を有する、短ストローク・ステージと;
ここで、長ストローク・ステージ又は短ストローク・ステージは、間にギャップをあけて一定距離で互いに対向して配置された2つのアクチュエータを担持しており、各アクチュエータは、強磁性ヨークと、この強磁性ヨークの磁束経路に配置された磁石とを有しており、長ストローク・ステージ又は短ストローク・ステージの一方が、これらアクチュエータの間に配置された強磁性の中央要素を含み、
最初に、長ストローク・ステージを所望の移動方向とは反対の逆方向に移動させることにより、及び/又は、長ストローク・ステージの静止状態における強磁性の中央要素とそれに近い方のアクチュエータとの間の距離よりも小さい距離だけ、所定時間、短ストローク・ステージを所望の移動方向に移動させ、その後、長ストローク・ステージを所望の移動方向に移動させることにより、長ストローク・ステージ及び短ストローク・ステージの所望の移動方向への移動を開始するための制御装置と;を有する。
本発明のさらに別の態様では、この制御方法のステップをコンピュータに実行させるためのプログラムコード手法を含むようなコンピュータ・プログラムが提供され、このコンピュータ・プログラムがコンピュータ上で実行される。
チュエータである)から得られた力のギャップ依存性を使用して、アクチュエータの方向における加速中のこれらのアクチュエータの消費電力を制限する。アクチュエータのこのギャップ依存性を利用するために、2つの対向するアクチュエータから得られる力が、一方のステージ、好ましい実施形態では短ストローク・ステージを必要な移動方向に加速させるように、加速の移動方向における短ストローク・ステージの少なくとも一部と長ストローク・ステージとの間のギャップが、他方のステージによって、好適には長ストローク・ステージによって、能動的に変更される。この力を生成するために電流は全く又はほんの少ししか必要とされず、結果的に、この力を生産するために全く熱は発生しない。
好ましくは、ヨークは、それぞれE字形状であり、磁石は、それぞれのヨークの中央脚部の上部に配置された永久磁石であり、これは完全にパッシブな(passive)実施形態を表す。この実施形態では、電流が必要とされない。
U字形状又はC字形状のヨークの場合には、磁石は、磁石のN−S極の方向が、ヨークを通る磁束経路と一致する限り、ヨークの任意の場所に設けてもよい。
本発明のこれらの態様及び他の態様は、以下に説明する実施形態(複数可)から明らかになり且つこの実施形態(複数可)を参照して説明される。
減速は、一般に加速として同じように作用するが、相対的な移動は逆方向になり、逆方向にバイアス力を形成する。
代替実施形態では、制御及び設定経路によって、永久磁石によって提供される、短ストローク・ステージ50に作用する加速力がもたらされ、大部分の加速力は、短ストロークに作用する。
請求項における如何なる参照符号も、本発明の範囲を限定するものとして解釈すべきではない。
Claims (13)
- 位置決め装置であって、
長ストローク支持要素によって支持され、該長ストローク支持要素に対して移動方向に可動である、長ストロークステージであって、前記長ストローク支持要素によって支持される長ストロークステージ担持要素を有する、長ストロークステージと、
前記長ストロークステージに対して移動方向に可動である短ストロークステージであって、短ストローク支持要素によって支持される短ストロークステージ担持要素を有する、短ストロークステージと、
制御ユニットと、
を有し、
前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの一方は、間にギャップをあけて一定距離で互いに対向して配置された2つのアクチュエータを担持し、各アクチュエータは、強磁性ヨークと、該強磁性ヨークの磁束経路に配置された磁石とを有し、前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの他方が、前記2つのアクチュエータ同士の間に配置された強磁性の中央要素を有し、
前記制御ユニットは、最初に、前記長ストロークステージを所望の移動方向と反対の逆方向に移動させることによって、及び/又は、前記長ストロークステージの静止状態における前記強磁性の中央要素とそれに近い方のアクチュエータとの間の距離よりも小さい距離だけ、所定時間、前記短ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させた後、前記長ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させることによって、前記長ストロークステージ及び前記短ストロークステージの前記所望の移動方向への移動を開始させる、
位置決め装置。 - 前記ヨークは、それぞれE字形状、U字形状又はC字形状である、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記ヨークは、それぞれE字形状であり、前記磁石は、それぞれのヨークの中央脚部の上に配置された永久磁石である、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記ヨークは、それぞれE字形状であり、前記磁石は、それぞれのヨークの中央脚部の周りに巻回されたコイルによって形成された電磁石である、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記ヨークは、それぞれE字形状であり、前記磁石は、それぞれのヨークの中央脚部の上に配置された永久磁石と、それぞれのヨークの中央脚部の周りに巻回されたコイルによって形成された電磁石と、を有する、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記強磁性の中央要素の位置を安定化及び/又は制御するために、コイルに電流を供給するための電流源をさらに有する、
請求項4又は5に記載の位置決め装置。 - 前記制御ユニットは、最初に、前記長ストロークステージを前記逆方向に移動させることによって、及び/又は、前記強磁性の中央要素がアクチュエータと接触しない距離だけ、所定時間、前記短ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させることによって、前記長ストロークステージの前記所望の移動方向への移動を開始するように構成される、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記制御ユニットは、前記長ストロークステージ及び/又は前記短ストロークステージの移動を行うための移動用アクチュエータと、該移動用アクチュエータを制御するためのコントローラと、を有する、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記2つのアクチュエータは、前記長ストロークステージ担持要素に取り付けられ、前記強磁性の中央要素は、前記短ストロークステージ担持要素に取り付けられる、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記2つのアクチュエータは、前記短ストロークステージ担持要素に取り付けられ、前記強磁性の中央要素は、前記長ストロークステージ担持要素に取り付けられる、
請求項1に記載の位置決め装置。 - 位置決め装置で使用するための制御装置であって、
前記位置決め装置は、
長ストローク支持要素によって支持され、該長ストローク支持要素に対して移動方向に可動である、長ストロークステージであって、前記長ストローク支持要素によって支持される長ストロークステージ担持要素を有する、長ストロークステージと、
前記長ストロークステージに対して移動方向に可動である短ストロークステージであって、短ストローク支持要素によって支持される短ストロークステージ担持要素を有する、短ストロークステージと、を有し、
前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの一方は、間にギャップをあけて一定距離で互いに対向して配置された2つのアクチュエータを担持し、各アクチュエータは、強磁性ヨークと、該強磁性ヨークの磁束経路に配置された磁石とを有し、前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの他方が、前記2つのアクチュエータ同士の間に配置された強磁性の中央要素を有し、
前記制御装置は、最初に、前記長ストロークステージを所望の移動方向と反対の逆方向に移動させることによって、及び/又は、前記長ストロークステージの静止状態における前記強磁性の中央要素とそれに近い方のアクチュエータとの間の距離よりも小さい距離だけ、所定時間、前記短ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させた後、前記長ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させることによって、前記長ストロークステージ及び前記短ストロークステージの前記所望の移動方向への移動を開始するように構成される、
制御装置。 - 位置決め装置で使用するための制御方法であって、
前記位置決め装置は、
長ストローク支持要素によって支持され、該長ストローク支持要素に対して移動方向に可動である、長ストロークステージであって、前記長ストローク支持要素によって支持される長ストロークステージ担持要素を有する、長ストロークステージと、
前記長ストロークステージに対して移動方向に可動である短ストロークステージであって、短ストローク支持要素によって支持される短ストロークステージ担持要素を有する、短ストロークステージと、を有し、
前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの一方は、間にギャップをあけて一定距離で互いに対向して配置された2つのアクチュエータを担持し、各アクチュエータは、強磁性ヨークと、該強磁性ヨークの磁束経路に配置された磁石とを有し、前記長ストロークステージ又は前記短ストロークステージの他方は、前記2つのアクチュエータ同士の間に配置された強磁性の中央要素を有し、
前記制御方法は、最初に、前記長ストロークステージを所望の移動方向と反対の逆方向に移動させることによって、及び/又は、前記長ストロークステージの静止状態における前記強磁性の中央要素とそれに近い方のアクチュエータとの間の距離よりも小さい距離だけ、所定時間、前記短ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させた後、前記長ストロークステージを前記所望の移動方向に移動させることによって、前記長ストロークステージ及び前記短ストロークステージの前記所望の移動方向への移動を開始させるステップを有する、
方法。 - 請求項12に記載の方法のステップをコンピュータに実行させるためのプログラムコー手法を含むコンピュータ・プログラムであって、前記コンピュータ・プログラムは、コンピュータ上で実行される、コンピュータ・プログラム。
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