KR20180086304A - 위치 설정 장치 - Google Patents

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KR20180086304A
KR20180086304A KR1020187021224A KR20187021224A KR20180086304A KR 20180086304 A KR20180086304 A KR 20180086304A KR 1020187021224 A KR1020187021224 A KR 1020187021224A KR 20187021224 A KR20187021224 A KR 20187021224A KR 20180086304 A KR20180086304 A KR 20180086304A
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permanent magnet
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크리스티앙 볼프강 에만
크리스토프 클레젠
마틴 애니스
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 기판의 이동을 위한 위치 설정 장치에 관한 것이며, 상기 위치 설정 장치는, 기부(10)와, 기부(10)에 대해 상대적으로 이동 가능하며 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 기부(10)에 배치된 캐리어(12)를 구비하며, 상기 자기 베어링(18)은 하나 이상의 영구 자석 유닛(20) 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30)을 포함하며, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 상으로 작용하고 캐리어(12)의 중량(G)보다 큰 지지력(S)의 생성을 위해 구성되며, 제1 전자석 유닛(30)은 지지력(S)에 반작용하는 조절력(R)의 생성을 위해 구성된다.

Description

위치 설정 장치{POSITIONING APPARATUS}
본 발명은, 통상 2차원 이동면 내에서 기판의 이동을 위한, 특히 병진 이동을 위한, 그리고 또한 정렬을 위한, 즉, 회전을 위한 위치 설정 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 비교적 대형 기판의 고정밀 이동을 위해 구성되는, 자기 웨이퍼 스테이지로서 설계된 위치 설정 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 유형의 위치 설정 장치를 이용하는 기판의 위치 설정 방법 및 위치 설정 장치의 제어를 위한 컴퓨터 프로그램에 관한 것이다.
예를 들어 디스플레이 응용을 위한 반도체 소자의 제조를 위한 기판의 처리 시에, 비교적 큰 기판이 다양한 표면 처리 공정에서 처리된다. 예를 들어 해당 기판 상에 코팅 또는 표면 구조를 형성하기 위해, 예를 들어 상기 유형의 기판의 표면이 기계적 또는 화학적으로 처리된다. 특히, 예를 들어 스퍼터링, 물리적 증착 또는 화학적 증착과 같은 표면 처리 단계가 경우에 따라 플라즈마 지원식으로 실행되는 경우에, 복수의 표면 처리 공정은 청정실 조건 하에 또는 더욱이 진공에서 실행되어야 한다.
통상, 기판 상에서 구조가 마이크로미터 또는 더욱이 나노미터 범위 내에서 형성되어야 하기 때문에, 상기 기판의 가장 정밀한 위치 설정이 기판 평면 내에서 뿐만 아니라 기판에 대해 수직으로도 요구된다.
기판 주변의 무입자에 대한 요구는 기판의 무접촉식 지지 및 이에 상응하는 이동 작동 또는 이송 작동의 구현을 필요로 한다. 그러나 공기 베어링은 고순도 제조 환경에 대해 단지 제한적으로만 적합한데, 그 이유는 공기 베어링으로 인해, 기판 처리 시에 요구되는 정확도 유지를 경우에 따라 역행할 수 있는 원하지 않는 공기 흐름이 기판 근처에서 발생할 수 있기 때문이다. 또한, 공기 베어링은 진공 조건 하에 사용될 수 없다.
또한, 이른바 자기 웨이퍼 스테이지 또는 자기 위치 설정 장치가 존재하며, 통상, 위치 센서 및 제어 회로를 이용하여 기부에 대해 사전 설정 가능한 간격으로 캐리어를 부유시킬 수 있는 복수의 전자석이 기부를 따라 변위 가능한 캐리어에 배치된다.
동종의 웨이퍼 스테이지는 예를 들어 US 7 868 488 B2에 공지되어 있다. 두 개의 이동 방향으로 작동하는 위치 설정 장치는 기부와, 기부의 상부 단부 섹션에 대칭으로 고정된 두 개의 Y-변위 유닛을 포함한다. X-변위 부재에 의해 서로 연결된 구동 모터들이 각각 Y-변위 유닛에 변위 가능하게 배치되며, X-변위 부재에는 웨이퍼의 수용을 위한 테이블이 배치된다.
또한, 도 1에는 종래 기술에 공지된 위치 설정 장치가 단면으로 개략 도시된다. 위치 설정 장치(100)는 위치 고정된 기부(100)를 포함하며, 기부에는 다양한 전자석(132, 134, 142, 144)이 배치된다. 또한, 기부(100)에는 기부(100)에 대해 상대적으로 이동 가능한 캐리어(112)가 배치된다. 편평한 캐리어(112)는 통상, 도 1에 도시되지 않은 처리될 기판을 위한 수용부 및 보유 장치를 그 하부면(119)에 포함한다.
캐리어(112)의 상부에 배치된 전자석(132, 134)에 의해, 기부(110)에 대한 캐리어(112)의 무접촉식 자기 베어링이 구현될 수 있다. 전자석(132, 134)으로부터 캐리어(112) 상에 작용할 수 있는 힘은 캐리어(112)의 중량(G)에 대항하여 작용하고 중량을 완전히 보상할 수 있다.
다른 두 개의 전자석(142, 144)은 대략 캐리어(112)의 측면 경계(117)의 높이에 배치된다. 캐리어(112)가 전자석(142, 144)뿐만 아니라, 전자석(132, 134)에 대면하여 각각 하나의 전형적인 강자성 대응편을 포함하기 때문에, 캐리어(112)가 캐리어(112)의 평면에 대해 평행하게 위치될 수 있다. 도 1에 따른 도면에서, 캐리어(112)의 측면에 배치된 전자석(142, 144)은 기부(110)에 대해 상대적으로 Y-방향으로 캐리어(112)의 위치 설정 또는 정렬에 사용되는 반면, 캐리어(112)의 상부에 배치된 전자석(132, 134)은 Z-방향으로 캐리어(112)의 위치 설정 및 정렬을 위해 제공되며 이에 상응하게 구성된다.
도 1에 도시된 Y-Z-절단면에 대해 수평으로, 캐리어(112)는 통상 기부(110)에 대해 변위 가능하다. 따라서, 도 1에 도시된 위치 설정 장치는 일차원 또는 2차원 웨이퍼 스테이지의 적어도 X-변위 유닛으로서 구성될 수 있다.
도 1에 도시된 구성에서, 예를 들어 캐리어(112)에 배치된 기판의 처리가 하부로부터 제공된다. 비교적 대형이면서 얇기 때문에 쉽게 파손되는 기판을 캐리어(112)에 배치하기 위해, 그리고 캐리어(112)로부터 기판을 분리하기 위해, 상기 유형의 구조는 때로는 바람직하지 못한 것으로 증명되었다. 따라서, 가급적 간단하고 안전하게 기판을 캐리어(112)에 배치하고 캐리어(112)로부터 기판을 분리하는 것이 가능하도록, 캐리어(112)를 회전시키는 것은 시도할 만 하다.
그러나 도 1에 도시된 구성으로부터, 캐리어(112)의 상부에 배치된 전자석(132, 134)이 캐리어(112) 상에 기판의 안착 및 제거를 방해하거나 어렵게 하는 문제가 발생할 수도 있다. 또한, 캐리어(112) 상에 배치된 기판의 음영 효과(shadowing effect) 없는 기판 처리가 위치 설정 장치의 영역 내에서 거의 불가능 하거나 이루어지기 어려울 것이다.
보완 조치 없이 기부(112)의 하부에 전자석(132, 134)을 배치하면, 기능상 부적합한 위치 설정 장치(100)를 초래할 수도 있는데, 그 이유는 이러한 경우에, 전자석(132, 134)으로부터 캐리어(112) 상에 작용할 수 있는 유인력이 항시 캐리어(112)의 중량(G)에 평행하게 작용할 수도 있기 때문이다. 그러나 예를 들어 로렌츠(Lorenz) 액추에이터 또는 이른바 가동 코일 액추에이터와 같은 다른 유형의 전자기 액추에이터의 사용은 진공 환경 내의 응용 분야에 대해 지나치게 복잡한 것으로 증명되었다.
이를 위해, 상응하는 액추에이터의 손실 열이 적절한 방식으로 진공으로부터 방출되어야 할 수도 있다. 가동 코일 액추에이터의 출력 밀도는 전자석에 비해 작기 때문에, 가동 코일 액추에이터의 구현 시에 공간 수요가 더 증가할 수도 있다.
따라서, 본 발명의 과제는, 자기 베어링을 이용하여 기부에 대해 무접촉식으로 지지되는 캐리어가, 전형적으로 진공 환경에서 처리될 기판을 음영 효과 없이 분리 가능하게 상부면에 수용할 수 있는, 기판의 이동, 특히 병진 이동 및/또는 정렬을 위한 개선된 위치 설정 장치를 제공하는 것이다.
위치 설정 장치는, 특히 적은 공간 수요와, 위치 설정 장치의 자기 베어링의 높은 자기 출력 밀도를 특징으로 해야 한다. 또한, 위치 설정 장치는 비교적 큰 또는 최대 캐리어측 기판 처리 영역의 구현을 가능케 해야 한다.
또한, 본 발명의 과제는, 기판의 위치 설정을 위한 상응하는 방법 및 위치 설정 장치의 제어를 위한 부속된 컴퓨터 프로그램을 제공하는 것이다.
이러한 과제는 독립 청구항 제1항에 따른 위치 설정 장치, 청구항 제16항에 따른 기판의 위치 설정 방법 및 청구항 제17항에 따른 컴퓨터 프로그램에 의해 해결된다. 본 발명의 바람직한 구성들은 각각 종속 청구항의 대상이다.
구체적을 과제 해결 수단은 아래와 같다.
일 실시예에서, 위치 설정 장치는 기부(10)와, 기부(10)에 대해 상대적으로 이동 가능하며 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 기부(10)에 배치된 캐리어(12)를 구비한, 기판의 이동을 위한 위치 설정 장치이며, 이때 상기 캐리어(12)는 상기 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 변위 방향을 따라 변위 가능하게 상기 기부(10)에서 지지되고, 상기 자기 베어링(18)은 하나 이상의 영구 자석 유닛(20) 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30)을 포함하며, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 상으로 작용하고 캐리어(12)의 중량(G)보다 큰 지지력(S)의 생성을 위해 구성되며, 제1 전자석 유닛(30)은 지지력(S)에 반작용하는 조절력(R)의 생성을 위해 구성될 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 전자석 유닛(30)은 기부(10)에 배치된 하나 이상의 전자석(32, 34)을 포함하며, 상기 전자석은 캐리어(12)에 배치된 대응편(33, 35)과 함께 작용할 수 있다.
다른 실시예에서, 전자석(32, 34)은 캐리어측 대응편(33, 35)의 하부에서 기부(10)에 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 캐리어(12)는 전자석(32, 34) 없이 구성될 수 있다.
다른 실시예에서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 또는 기부(10)에 배치된 하나 이상의 영구 자석(22, 24)을 포함하며, 상기 영구 자석은 기부(10) 또는 캐리어(12)에 배치된 하나 이상의 대응편(23, 25)과 함께 작용할 수 있다.
다른 실시예에서, 대응편(23, 25)은 강자성 또는 영구 자성일 수 있다.
다른 실시예에서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12)의 기판 처리 영역(15)으로부터 측면으로 돌출된 가이드 섹션(14)에 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12)의 측면 리세스(16) 내에 배치될 수 있다.
다른 실시예에서, 영구 자석 유닛(20)은 동일하게 배향되고 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개 이상의 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 캐리어측에 배치된 하나 이상의 영구 자석(22a, 24a)은, 캐리어(12)의 하부에서 또는 캐리어(12)에 대한 측면에서 기부(10)에 배치된 영구 자석(22b, 24b)과 함께 작용할 수 있다.
다른 실시예에서, 캐리어(12)의 서로 대향하는 측면 경계(17)에는 각각 하나 이상의 영구 자석(22a, 24a)이 배치되며, 상기 영구 자석은 각각, 기부(10)의 측면 가장자리(11)에 배치되고 동일하게 배향된 영구 자석(22b, 24b)과 함께 작용할 수 있다.
다른 실시예에서, 영구 자석 유닛(20)은 하나 이상의 할바흐 어레이(Halbach-array)를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 적어도 기부(10) 및 캐리어(12)가 전자석 액추에이터(40)를 통해 서로 결합되며, 상기 전자석 액추에이터는 캐리어(12)의 평면에 대해 평행하게 정렬된 안내력(F)이 캐리어(12) 상에 작용하도록 구성될 수 있다.
다른 실시예에서, 전자석 액추에이터(40)는 기부(10)에 배치된 하나 이상의 전자석(42, 44) 및 캐리어(12)에 배치된 대응편(43, 45)을 포함하거나, 전자석 액추에이터(40)는 하나 이상의 가동 코일 액추에이터를 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 전자석 유닛(30)은, 기부(10)에 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 검출하기 위한 하나 이상의 위치 센서(4)와 결합된 제어부(3)에 의해 조절될 수 있다.
다른 실시예는 위 실시예들 중 어느 한 실시예를 이용하는 기판의 위치 설정 방법이며, 상기 방법은 하나 이상의 위치 센서(4)를 이용하여 기부(10)에 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 결정하는 단계와, 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30) 및 제어부(3)를 이용하여, 캐리어(12)의 결정된 위치에 따라 기부(10)와 캐리어(12) 사이의 간격을 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
다른 실시예는 컴퓨터 판독 가능한 매체에 저장되어 있고, 제어 장치에서 실행되는 경우 위 실시예들 중 중 어느 한 실시예에 따른 위치 설정 장치(1)의 제어를 위한 컴퓨터 프로그램이며, 하나 이상의 위치 센서(4)를 이용하여, 기부(10) 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 결정하기 위한 프로그램 수단과, 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30) 및 제어부(3)를 이용하여, 결정된 캐리어(12)의 위치에 따라 기부(10)와 캐리어(12) 사이의 간격을 조절하기 위한 프로그램 수단을 구비할 수 있다.
이렇게 제공된 위치 설정 장치는 기판의 이동, 특히, 병진 이동 및/또는 정렬을 위해 제공되며 이에 상응하게 구성된다. 이를 위해, 위치 설정 장치는 전형적으로 이동면(X, Y) 내에서 연장되는 기부를 포함한다. 전형적으로, 기부는, 서로에 대해 평행하게 정렬되고 종방향으로 연장되며 제1 변위 방향을 사전 설정하는 지지 레일을 포함한다.
또한, 위치 설정 장치는 기부에 대해 상대적으로 이동 가능하고 자기 베어링을 이용하여 무접촉식으로 기부에 배치된 캐리어를 포함한다. 캐리어는 자기 베어링을 이용하여 통상 무접촉으로 변위 방향을 따라 변위 가능하게, 특히 그 지지 레일을 따라 기부에 지지된다. 캐리어는 자기 베어링에 의해 무접촉식으로 기부에 지지된다.
캐리어는 자기 베어링에 의해 거의 임의적으로 이동 평면 내에서 이동한다. 캐리어는 X-방향으로뿐만 아니라, 이에 대해 수직으로, 즉, Y-방향으로 병진 이동하며, 또한 평면 내에서 회전하거나 정렬될 수 있다. 이러한 방식의 회전 운동은 이동 평면의 표면 법선에 대해 평행하게 연장되는 회전 축에 대해 수행된다. 평면 내의 2차원 이동은 특히 서로에 대해 정렬된 선형 변위 유닛의 사전 설정된 두 개의 각도의 제공을 통해 구현될 수 있다.
본 발명에 따르면, 자기 베어링은 하나 이상의 영구 자석 유닛 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛을 포함한다. 영구 자석 유닛은 캐리어 상에 작용하는 지지력(S)을 생성하기 위해 구성된다. 영구 자석에 의해 생성 가능한 지지력은 캐리어의 중량(G)보다 크다. 또한, 지지력은 캐리어의 중량에 대해 대항하여 작용하고, 이로써 캐리어의 중량이 완전히 보상될 뿐만 아니라, 더욱이 "과보상된다".
이와는 반대로, 자기 베어링의 제1 전자석 유닛은 캐리어 상에 작용하는 조절력(R)의 생성을 위해 구성되는데, 조절력은 영구 자석 유닛의 지지력에 반작용한다. 상호 반작용하는 두 힘들의 생성을 통해 안정적인 힘 균형이 형성될 수 있으며, 이로써 캐리어가 무접촉식으로 기부에 대해 부유 상태로 유지될 수 있다.
즉, 캐리어와 함께 작용하는 제1 전자석 유닛은, 중량 방향에서 캐리어에 작용하도록 구성된다. 따라서, 예를 들어 중량에 대해 평행하게 캐리어 상에 작용하는 조절력이 생성되도록, 제1 전자석 유닛이 특히 캐리어 하부에 배치될 수 있다. 제1 전자석 유닛으로부터 캐리어 상으로 작용하는 조절력(R)은 전형적으로 제어부에 의해 조절 가능하기 때문에, 수직 방향 또는 상승 방향(z)에 대한 캐리어의 위치가 정밀하게 제어될 수 있고 조절될 수 있다.
영구 자석 유닛은 캐리어 상에 지지력을 작용시키는데, 기부에 대해 캐리어가 사전 설정된 목표 위치(z0)를 취할 때, 이 지지력은 캐리어 상에 작용하는 중량보다 크다. 지지력에 반작용하는 전자석 유닛의 제공 없이는, 캐리어는 사전 설정된 목표 위치(z0)로부터 실제 구성에 따라 부분적으로, 불안정한 위치로 전환될 수도 있다. 예를 들어 이동을 제한하는 측면 및/또는 상부 정지부를 통해 형성될 수 있는 기계적인 강제 안내를 이용하여, 캐리어는 예를 들어 전자석 유닛의 차단으로 인한 조절력의 잔류 시에, 목표 위치에 대해 상승된 규정된 위치(z1) 내에 고정될 수 있다.
이 위치 내에서, 지지력은 캐리어와 영구 자석 유닛 사이의 더 큰 간격으로 인해 캐리어의 중량과 평형이 될 수 있다. 그러나 캐리어는 지지력의 작용 하에 또는 지지력 및 중량으로부터 생성된 편향력의 작용 하에, 실제로 강제 안내에 대해 또는 정지부에 대해 가압되는 것도 가능하다.
지지력에 반작용하는 조절력이 제1 전자석 유닛을 이용하여 캐리어 상에 작용할 경우, 캐리어는 영구 자석 유닛을 통해 상부로 변위된 위치(z1)로부터 기판 처리를 위해 제공된 목표 위치(z0)로 하강될 수 있다. 제1 전자석 유닛으로부터 캐리어 상으로 작용할 수 있는 조절력이 전자식으로 조절될 수 있기 때문에, 하나 또는 그 이상의 적절한 조절 회로를 이용하여, 기부에 대한 캐리어의 상승 위치 또는 Z-위치가 위치 설정 장치의 작동 중에 필요에 따라 조절되고, 통상 사전 설정된 한계 내에서 일정하게 유지될 수 있다. 전형적으로, 캐리어의 Z-위치가 수 마이크로미터 내에서 일정하게 유지될 수 있고 정밀하게 조절될 수 있다.
캐리어의 중량을 단지 보상하는 것뿐만 아니라, 이른바 과보상하는 영구 자석 유닛의 제공은 특히, 이동을 제한하는 캐리어용 정지부와 조합되어, 사전 설정된 수직의 부유 목표 위치의 상부에서 실제로 캐리어의 부유 상태를 형성한다. 전형적으로 캐리어의 하부에 배치된 제1 전자석 유닛을 이용하여, 하부로 향하고, 지지력에 반작용하고 중량 방향으로 정렬된 조절력이 생성되며, 이러한 조절력에 의해 캐리어가 사전 설정된 목표 위치 내로 하부로 당겨질 수 있다.
따라서, 기부에 대한 캐리어의 높이 조절은 순수하게 전자석 유닛에 의해 구현될 수 있는데, 더욱이 전자석 유닛은 비교적 높은 자기 출력 밀도로 소형 구조의 구현을 가능케 한다. 캐리어의 상부면은 전반적으로 음영 효과 없이 구성될 수 있고, 거의 전적으로, 처리될 기판의 수용 및 처리를 위해서만 사용될 수 있다.
이 경우에, 기판은 상부로부터 캐리어 상으로 안착되며, 처리 후에, 상응하는 방식으로 다시 캐리어로부터 상부로 제거될 수 있다.
일 개선예에 따르면, 제1 전자석 유닛은, 캐리어에 배치된 대응편과 함께 작용하며 기부에 배치된 하나 이상의 전자석을 포함한다. 대응편은 전형적으로 강자성으로 구성됨으로써, 전자석을 통한 자기장의 생성으로 인해, 인장력이 대응편 상으로 그리고 캐리어 상으로 작용할 수 있다. 기부에 대한 사전 설정된 절대 높이 또는 상대 높이 내에서 사전 설정된 장벽 내에 캐리어를 유지할 수 있도록, 제1 전자석 유닛은 전형적으로 제어부에 의해 또는 조절 회로를 통해 조절될 수 있다.
전자석 및 대응편의 배치는 일반적으로 임의로 반전될 수 있다. 따라서, 전자석은 캐리어에 배치될 수 있는 반면, 강자성 대응편은 기부에 배치된다. 이러한 반전 배치는 후술되는 전체 변형예 및 실시예에 대해서도 고려할 수 있다.
다른 구성에 따르면, 전자석은 캐리어측 대응편의 하부에서 기부에 배치된다. 캐리어에 배치된 대응편 및 기부에 제공된 전자석이 서로 대면하여 기부 및 대응편에 배치됨으로써, 전자석과 캐리어측 대응편 사이의 가급적 작은 간격이 형성된다. 기부에 대한 캐리어의 제공된 병진 이동식 변위 또는 위치 설정에 상응하여, 기부는 전형적으로, 캐리어의 이동 경로를 따라 배치된 복수의 전자석을 포함하는데, 이 전자석들은 캐리어의 상응하는 대응편과 함께 작동할 수 있다.
캐리어측 대응편은, 캐리어를 위해 제공된 이동 경로를 따라 연장되는 예를 들어, 철심 형태로 형성될 수 있다. 전형적으로, 캐리어는 서로 대향하는 측면 경계에 배치된 복수의 대응편을 구비하며, 이 대응편들은 각각, 이에 상응하여, 서로 대향하는 지지 레일에 배치된 기부의 제1 전자석 유닛과 함께 작용한다. 캐리어측 대응편은 캐리어의 하부측 내에 또는 하부측에, 그러나 마찬가지로, 캐리어의 측면 경계 영역 내에 배치될 수 있다.
따라서, 캐리어가 측면에서 외측으로 돌출한 가이드 섹션을 포함하는 것도 가능하며, 이러한 가이드 섹션에는 캐리어측 대응편이 배치되거나 가이드 섹션 내로 캐리어측 대응편이 일체된다.
다른 구성에 따르면, 캐리어는 전자석 없이 구성된다. 전자석이 없는 캐리어 구성은 특히 캐리어의 자유로운 위치 설정을 위해 유리하다. 따라서, 캐리어는 케이블 배선없이 구성될 수 있다. 이로써, 바람직하게는 캐리어에 대한 전기 에너지 공급이 생략될 수 있다. 이는 특히, 예를 들어 기판 처리 장치의 진공 로크(vacuum lock)와 진공 처리 영역 사이에서 캐리어의 회전을 가능케 한다. 전자석이 없는 캐리어의 구성을 통해, 캐리어는 위치 설정의 목적을 위해, 전기 접속부 없이 구성될 수 있는데, 이는 기판 처리 장치 내에서 캐리어의 임의의 위치 설정 및 정렬을 용이하게 하고 간단하게 한다.
다른 구성에 따르면, 영구 자석 유닛은 캐리어 또는 기부에 배치된 하나 이상의 영구 자석을 포함하며, 이 영구 자석은 기부 또는 캐리어에 배치된 하나 이상의 대응편과 함께 작용한다. 전형적으로, 복수의 영구 자석 유닛은 각각 하나 이상의 영구 자석 및 하나 이상의 대응편을 구비한다. 영구 자석 유닛은, 캐리어를 상승 방향 또는 Z-방향으로 정밀하게 위치 설정하기 위해, 예를 들어 캐리어의 서로 대향하는 외측 경계부에 배치될 수 있다.
이 경우에, 제1 전자석 유닛을 위해 제공될 수 있는 것과 유사하게, 기부의 지지 레일을 향하고 캐리어의 서로 대향하는 측면 경계부에는 캐리어의 이송 방향으로 서로로부터 이격된 복수의 영구 자석 유닛이 제공되며, 이 복수의 영구 자석 유닛을 이용하여, 캐리어가 기판 처리 장치를 통해 사전 설정된 기판 처리 평면 내에 유지되며, 사전 설정된 이송 방향을 따라 병진 이동될 수 있다.
이 경우에, 영구 자석 및 이와 상호 작용하는 대응편을 캐리어 및 기부에 배치하기 위한 가장 상이한 구성을 고려할 수 있다. 예를 들어, 다양한 영구 자석 유닛의 전체 영구 자석이 캐리어에 배치되는 반면, 기부는 그에 상응하며 각각 부합하는 대응편을 포함한다. 반대로, 전체 영구 자석 유닛의 전체 영구 자석이 기부에 배치되는 반면, 캐리어는 단지, 캐리어와 상호 작용하거나 부합하는 대응편을 구비하여 구성된다.
또한, 영구 자석 및 대응편의 혼합된 배치도 가능한데, 이러한 배치에서, 일부 영구 자석 유닛의 일부 영구 자석은 기부에 그리고 다른 일부 영구 자석은 캐리어에 배치된다. 각각 캐리어 또는 기부에는 상응하는 자기 대응편이 대향하여 제공되며 배치된다.
각각의 또는 복수의 영구 자석의 사용은 캐리어의 중량(G)에 반작용하는 지지력(S)의 구현을 위해 특별히 공간 절약적인 것으로 증명되었다. 캐리어 및/또는 기부에 각각의 또는 복수의 영구 자석을 사용하는 것은, 위치 설정 장치의 특히 공간 절약적인 구조를 가능케 한다.
이를 위한 개선예에 따르면, 영구 자석 유닛의 영구 자석과 함께 작용하는 대응편은 강자성 또는 영구 자성이다. 따라서, 대응편으로서, 전형적으로 철심 또는 다른 강자성 재료 및 부품이 사용될 수 있다. 동일하게, 기부측 및/또는 캐리어측에 배치된 영구 자석 유닛의 영구 자석과 상호 작용하는 대응편이 영구 자성으로 형성되는 것도 가능하다. 따라서, 영구 자석 유닛의 영구 자석 및 대응편이 영구 자석과 동일하게 형성될 수 있다.
특히, 영구 자성으로 형성된 영구 자석 유닛의 대응편의 사용을 통해, 즉 동일하게 배향되고 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개 또는 그 이상의 영구 자석이 영구 자석 유닛을 위해 제공될 경우, 영구 자석 유닛에 의해 유도되는 지지력은 반발력의 유형일 수 있다.
다른 구성에 따르면, 영구 자석 유닛이 캐리어의 기판 처리 영역으로부터 측면으로 돌출된 캐리어의 가이드 섹션에 배치된다. 이 경우에, 영구 자석 유닛의 단지 하나의 부분 또는 하나의 부품은 캐리어 또는 그 가이드 섹션에 배치되는 반면, 영구 자석 유닛의 제2 부분 또는 제2 부품은 기부측에 제공된다. 캐리어의 가이드 섹션은 캐리어로부터 측면으로 돌출되는 플랜지 형태로 형성될 수 있다.
특히 편평한 기판의 분리 가능한 수용을 위해 형성되는 캐리어의 기판 처리 영역은, 캐리어의 서로 대향하는 가이드 섹션들 사이에 놓일 수 있다. 상기 기판 처리 영역은, 상승 방향에 대해 또는 캐리어의 평면 법선에 대해, 가이드 섹션 또는 가이드 섹션들에 대해 오프셋 되어 배치될 수 있다. 따라서, 영구 자석 유닛 또는 영구 자석 유닛 부품들의 각각이 하부뿐만 아니라 상부, 그러나 어느 경우든, 실제로 캐리어의 편평하게 형성된 기판 처리 영역의 외부에 배치될 수 있다.
하나 이상의 영구 자석 또는 이와 상호 작용하는 영구 자석 유닛의 대응편을 캐리어의 측면 가이드 섹션에 배치하는 것은 공간적인 이유에서 특히 바람직하다. 특히, 영구 자석 유닛이 비교적 공간 절약적으로 구성될 수 있기 때문에, 캐리어의 기판 처리 영역의 외부에 그리고 측면에의 배치는, 기판 처리 장치를 통해 사전 설정된 좁은 공간 비율에서도 문제 없이 구현될 수 있다.
예를 들어 위치 설정 장치의 대안적인 다른 구성에 따르면, 영구 자석 유닛은 캐리어의 측면 리세스 내에 배치된다. 기부측에 배치된 영구 자석 유닛의 부품, 예를 들어 영구 자석 또는 영구 자석과 상호 작용하는 대응편은 캐리어의 측면 리세스 내로 결합될 수 있고, 이로써 그곳에서 리세스 내에 배치된 또는 리세스 내로 일체된 대응편 또는 영구 자석과 상호 작용할 수 있다. 상기 구성에서, 기판 처리 영역의 측면에 그리고 외부에 놓인 영구 자석 유닛의 배치가 회피될 수 있다. 이 경우에, 캐리어는 예를 들어, 대략 기부의 지지 레일에 의해 사전 설정된 변위 방향을 따라 연장되는 종방향 그루브를 구비한다. 기부에 배치되는 영구 자석 유닛의 부품은 예를 들어 지지 레일로부터 내측으로 돌출할 수 있다.
캐리어의 측면 리세스를 갖는 실시예를 위해서 뿐만 아니라, 캐리어가 측면에서 돌출하는 가이드 섹션을 포함하는 실시예를 위해서도, 캐리어의 서로 대향하는 측면 경계의 대칭 구성이 바람직할 수 있다. 대칭 구성에 의해, 캐리어는 경우에 따라, 상이한 배향으로 기부에 지지될 수 있다.
다른 구성에 따르면, 영구 자석 유닛은 동일하게 배향되며 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개 이상의 영구 자석을 포함한다. 전형적으로, 영구 자석 유닛의 영구 자석과 작용하는 대응편이 동일하게 영구 자석으로 구성된다. 또한, 영구 자석 유닛의 두 개의 영구 자석이 동일하게 배향되어 방향 설정됨으로써, 영구 자석의 동일한 유형의 극이 서로 대면하여, 한편으로 캐리어에 그리고 다른 한편으로 기부에 배치된다. 이러한 방식으로, 영구 자석 유닛이 반발 지지력을 제공할 수 있다.
동일하게 배향되고, 이에 따라 서로 상호 작용하는 영구 자석 유닛의 두 개의 영구 자석이 반발력뿐만 아니라, 편향 운동을 유도하는 횡력에도 연속으로 작용할 수 있다. 반발력의 절대값은 영구 자석들 사이의 간격이 감소됨에 따라 증가된다. 동일하게 배향된 영구 자석들이 편향 이동하는 경향을 제외하고, 영구 자석들이 서로 가까워질 경우, 이러한 방식의 배치에 의해 기부에 대한 캐리어의 무접촉식 탄성 지지가 구현될 수 있다. 영구 자석들의 간격이 감소함으로써, 동일하게 배향된 영구 자석들의 접근은, 영구 자석의 교호식 접근에 직접 반작용하는, 중량에 반대로 향한 지지력의 직접적인 증가를 초래한다.
다른 대안적인 구성에 따르면, 영구 자석 유닛은 대향하여 배향되고, 이에 따라 인력으로 서로 상호 작용하는 두 개의 영구 자석을 포함할 수 있다. 그러나 이러한 방식의 배치는 전형적으로 캐리어의 상부에 하나 이상의 영구 자석의 배치를 전제로 하는 반면, 동일하게 배향되고, 이에 따라 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개의 영구 자석의 사용은 캐리어의 하부 또는 측면에 기부의 하나 이상의 영구 자석의 배치를 가능케 한다.
다른 구성에 따르면, 캐리어측에 배치된 하나 이상의 영구 자석은 캐리어의 하부에서 또는 캐리어에 대해 측면에서, 기부에 배치된 영구 자석과 함께 작용한다. 영구 자석 유닛 또는 기부측에 제공된 영구 자석을 캐리어의 하부에 배치함으로써, 영구 자석 유닛 또는 영구 자석 유닛의 부품이 캐리어의 상부에 배치될 필요 없이, 중량에 반작용하거나 중량에 대향하여 배향된 지지력이 생성될 수 있다.
동일하게 배향된 영구 자석을 갖는 상기 유형의 구성에 의해, 기판 처리 영역을 포함하는 캐리어의 상부면이 음영 효과 없이, 위치 설정 장치에 또는 내에, 또는 기부에 유지되고 기부를 따라 위치 설정될 수 있다.
다른 구성에 따르면, 캐리어의 서로 대향하는 측면 경계에는 각각 하나 이상의 영구 자석이 배치되며, 이 영구 자석은 각각 동일하게 배향되고 기부의 측면 가장자리에 배치된 영구 자석과 함께 작용한다. 기부의 측면 가장자리는 예를 들어 기부의 지지 레일에 의해 제공되거나 이에 의해 형성될 수 있다. 캐리어는 적어도 부분적으로 지지 레일 내에서 그리고 지지 레일들 사이에서 연장될 수 있다.
지지 레일 또는 가장자리에 대면한 캐리어의 측면 경계에 각각 영구 자석 유닛의 하나 이상의 영구 자석이 배치되며, 캐리어에 대면한 가장자리의 내측면에는 이에 대해 동일하게 배향된 영구 자석 유닛의 영구 자석이 배치되는 경우, 먼저, 기부의 가장자리와 캐리어 사이에 반발력이 생성되는데, 이 반발력은 실제로 캐리어의 평면 내에 또는 캐리어의 평면에 대해 평행하게 정렬된다.
기부측 및 캐리어측 영구 자석이 충분히 서로 가깝게 배치되는 경우, 상부 또는 하부로 향한 상응하는 편향력이 생성된다. 가장자리 및 그 영구 자석에 대한 캐리어 및 그 영구 자석의 적절한 위치 설정을 통해, 항시 상부로 향한 편향력이, 캐리어의 중량에 반작용하는 지지력으로서 생성되는 것이 달성될 수 있다. 위치 에 맞는 캐리어의 높이에 대한 위치 설정은 적어도 제1 전자석 유닛에 의해 수행될 수 있다.
다른 구성에 따르면, 영구 자석 유닛은 하나 이상의 할바흐 어레이(Halbach-array)를 포함한다. 따라서, 영구 자석 유닛의 하나 이상의 부품이 할바흐 어레이를 포함할 수 있다. 할바흐 어레이는, 그 자화 방향이 각각 서로에 대해, 각각의 어레이의 종축 방향으로 90°꺾인 영구 자석의 세그먼트들로 이루어진다. 이에 의해 측면 방향으로 자계의 방향성이 꺾이는 측면 상으로 자속 라인이 더 좁게 접근되며, 이에 의해 자속 밀도의 증가가 달성될 수 있다.
따라서, 영구 자석 유닛을 위해, 두 개의 영구 자석의 사용 시에 각각 두 개의 할바흐 어레이를 제공하는 것, 즉 영구 자석의 각각에 하나의 할바흐 어레이를 구현하는 것도 가능하다.
위치 설정 장치의 다른 구성에서, 기부 및 캐리어는 전자석 액추에이터를 통해 서로 결합되는데, 전자석 액추에이터는 캐리어의 평면에 대해 평행하게 배향된 안내력(F)이 캐리어 상에 작용하도록 구성된다. 전자석 액추에이터를 이용하여, 특히 기부에 대한 캐리어의 수평 위치가 기부의 지지 레일의 경로에 대해 예를 들어 수평으로 또는 위치 설정 장치의 제1 변위 방향에 대해 수직으로 조절될 수 있다.
일 개선예에서, 전자석 액추에이터는 기부에 배치된 하나 이상의 전자석 및 캐리어에 배치된 대응편을 포함한다. 대안적으로, 전자석 액추에이터는 하나 이상의 가동 코일 액추에이터를 포함한다. 이 경우에, 캐리어 또는 기부에 대한 코일 및 대응편의 교호식 배치는 변경될 수 있다. 전자석은 동일하게 캐리어에 그리고 상호 작용하는 대응편은 기부에 배치될 수 있다.
여기서, 전자석 액추에이터는 전류가 인가되는 하나 이상의 코일을 포함하는 액추에이터를 의미한다. 액추에이터는 상응하는 전자석과 강자성 대응편을 구비한 제2 전자석 유닛 및 로렌츠 액추에이터, 즉, 가동 코일 액추에이터를 포함할 수 있거나 이들로 구성될 수 있다. 전자석 유닛은 전도성 도체와 강자성 대응편의 상호 작용을 기초로 하기 때문에, 전자석과 대응편 사이에 단지 인력의 상호 작용이 형성될 수 있다.
로렌츠 액추에이터는 이른바 로렌츠 힘, 즉 자기장과 전도성 도체 사이의 상호 작용을 기초로 한다.
전자석 액추에이터는 전자석 유닛으로도 그리고 로렌츠 액추에이터 형태로도 구성될 수 있다. 로렌츠 액추에이터의 제공 시에, 단일 액추에이터를 이용하여, 인장력뿐만 아니라 압축력도 캐리어와 기부 사이에 전달될 수 있기 때문에, 특히 수평 조절을 위해 단지 캐리어의 일 측에만 상응하는 액추에이터가 제공된다. 수평 조절을 위해 캐리어의 중량이 보상되지 않기 때문에, 하나 또는 그 이상의 로렌츠 액추에이터 또는 가동 코일 액추에이터의 낮은 출력 밀도가 충분할 수 있다. 또한, 전류 강도 및 생성된 안내력 사이의 선형 관계가 바람직할 수 있다.
전자석을 이용하는 전자석 액추에이터의 구현 시에, 각각 두 개의 서로 대향하는 전자석이 제공되는데, 이로써, 비교 가능한 인장력 및 압축력, 또는 캐리어의 양측에서 작용하는 인장력이 구현될 수 있다.
전자석 액추에이터 또는 두 개의 전자석 유닛은 전형적으로, 제1 전자석 유닛과는 무관하게 제어될 수 있다. 전자석 액추에이터를 이용하여, 또는 제2 전자석 유닛을 이용하여, 특히 기부에 대한 캐리어의 수평 위치가 변경될 수 있다. 기부의 지지 레일을 통해 제공된, 위치 설정 장치의 제1 변위 방향이 예를 들어 X-방향으로 연장되는 경우, 전자석 액추에이터에 의해 캐리어의 위치가 Y-방향으로 변경될 수 있으며 이에 상응하게 조정될 수 있는 반면, 상승 방향, 즉, Z-방향으로의 위치 설정은 제1 전자석 유닛 및 영구 자석 유닛에 의해 구현될 수 있다.
다른 구성에 따르면, 위치 설정 장치는 제어부, 및 기부에 대해 상대적으로 캐리어 위치의 검출을 위한 하나 이상의 위치 센서를 포함한다. 제어부는, 캐리어의 수직 위치를 사전 설정된 장벽 내에 유지하기 위해, 기부에 대해 상대적으로 결정된 캐리어의 위치에 따라, 제1 전자석 유닛을 위한 상응하는 제어 신호를 생성하기 위해, 위치 센서 및 적어도 제1 전자석 유닛과 결합된다.
물론, 제1 및 제2 전자석 유닛 또는 제1 전자석 유닛 및 전자석 액추에이터가 제어부에 의해 조절될 수 있고 이에 상응하게 제어부와 결합되는 것은 바람직하다. 마찬가지로, 기부에 대한 캐리어의 상대 위치가 캐리어의 다양한 지점에서 결정되고, 기부에 대해 상대적으로 캐리어의 공간 분해 위치 설정이 가능하도록, 복수의 위치 센서가 서로로부터 이격되어 캐리어 및/또는 기부에 배치될 수 있다.
예를 들어 제1 이송 방향 또는 변위 방향을 따라, 기부에 대해 상대적으로 캐리어를 이동시키기 위해, 전형적으로 무접촉 구동이 제공되는데, 이러한 구동은 예를 들어 자기 구동부를 캐리어에 제공하며, 자기 구동부는 지지 레일에 대해 대략 평행하게 연장되는 위치 고정된 자기 스트립과 함께 작동할 수 있다. 또한, 자기 구동부가 기부측에 그리고 자기 스트립이 캐리어측에 배치되는 역전된 배치도 가능하다.
실제 구성에서, 기부와 함께 작용하는 캐리어의 경계 영역 상에는 서로로부터 이격된 복수의 영구 자석 유닛뿐만 아니라, 제1 및/또는 제2 전자석 유닛, 또는 전자석 액추에이터가 제공된다. 이러한 복수의 자기 베어링 지점에 의해, 기부와 캐리어 사이의 간격은, 최종적으로 사전 설정된 절대 위치 또는 캐리어의 정렬이 공간 내에서 정밀하게 유지되도록, 상황에 따라 국소적으로 변경될 수 있고 사전 설정된 목표값에 적응될 수 있다.
또한, 다른 양태에 따르면, 본 발명은 상술된 위치 설정 장치를 이용하는 기판의 위치 설정 방법에 관한 것이다. 제1 방법 단계에서, 기부에 대한 상대적인 캐리어의 위치는 하나 이상의 위치 센서에 의해 결정된다. 이러한 결정은 통상, 무접촉식으로 예를 들어 광학 위치 센서 등 또는 이러한 측정 장치를 사용하여 수행된다.
따라서, 캐리어의 결정된 위치 또는 기부에 대한 상대적인 캐리어의 결정된 간격에 따라, 캐리어와 기부 사이의 간격이 하나 이상의 제1 전자석 유닛 및 이와 결합된 제어부에 의해 조절됨으로써, 캐리어는 기부에 대해 사전 설정된 간격으로 부유식으로 배치되거나 캐리어는 기판 처리 장치에 대해 사전 설정된 위치에 머무른다.
마지막으로, 독립적인 다른 양태에 따르면, 상술된 위치 설정 장치의 제어를 위한 컴퓨터 프로그램이 제공된다. 컴퓨터 프로그램은 하나 이상의 위치 센서를 이용하여 기부에 대해 상대적으로 캐리어의 위치를 결정하기 위한 프로그램 수단 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛 및 제어부를 이용하여, 결정된 캐리어 위치에 따라 캐리어와 기부 사이의 간격을 조절하기 위한 프로그램 수단을 포함한다.
전형적으로, 컴퓨터 프로그램은 위치 설정 장치의 제어부에서 구현되거나, 위치 설정 장치의 제어부에 의해 실행될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 상이하게 사전 설정되거나 최종 사용자를 통해 자유롭게 구성 가능한 조절 메커니즘을 제공하며, 이러한 조절 메커니즘을 이용하여, 위치 센서에 의해 제공된 캐리어의 위치 신호가 제1 및/또는 제2 전자석 유닛 또는 전자석 액추에이터의 제어를 위해 사용될 수 있다.
또한, 이와 관련하여, 상술된 방법 및 컴퓨터 프로그램이 상술된 위치 설정 장치의 결정에 따른 작동을 위해 구성된다는 점이 주목될 수 있다. 따라서, 전체적으로, 위치 설정 장치에 대해 설명된 특징 및 장점은 마찬가지로 방법 및 컴퓨터 프로그램에 대해서도 적용되며 또한 그 반대의 경우에도 적용된다.
다른 목적, 특징 및 바람직한 양태는 여러 실시예에서 도면을 참조하여 설명된다.
도 1은 종래 기술에 따른 위치 설정 장치의 개략 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따라 제공된 위치 설정 장치의 개략 단면도이다.
도 3은 영구 자석 유닛의 제1 구현의 개략도이다.
도 4는 영구 자석 유닛의 제2 구현 가능성의 개략도이다.
도 5는 영구 자석 유닛의 구성을 위한 제3 변형예를 도시한다.
도 6은 영구 자석 유닛의 제4 변형예를 도시한다.
도 7은 영구 자성 대응편을 갖는 영구 자석 유닛의 제5 변형예를 도시한다.
도 8은 각 영구 자석 유닛마다 두 개의 영구 자석이 제공된 영구 자석 유닛의 다른 변형예를 도시한다.
도 9는 캐리어의 측면에 배치된 영구 자석을 갖는 영구 자석 유닛의 다른 구성을 도시한다.
도 10은 캐리어의 하부에 배치된 영구 자석을 갖는 영구 자석 유닛의 다른 구성을 도시한다.
도 11은 동일하게 배향되고 반발력을 생성하고 캐리어의 경계 영역 내에 배치된 영구 자석을 갖는 영구 자석 유닛의 다른 구성을 도시한다.
도 2에는 본 발명에 따른 위치 설정 장치가 개략 단면도로 도시된다. 도시된 단면은 Y-평면 내에서 연장되며, Z-방향은 상부로, 위치 설정 장치(1)의 캐리어(12)의 중량(G)에 반대 방향으로 향한다. 위치 설정 장치(1)는 도 2에서 단지 개략 도시된 기부(10)를 포함하는데, 본 실시예에서, 기부에는 다양한 영구 자석(32, 34, 42, 44)이 위치 고정되어 배치된다. 기부(10)는 전형적으로 하나 또는 복수의 서로에 대해 평행하게 연장되는 지지 레일을 포함하며, 지지 레일을 따라 캐리어(12)가 무접촉식으로 자기 베어링(18)을 이용하여 변위될 수 있다. 기부(10)에 대한 캐리어(12)의 변위는 여기서 X-방향을 따라, 도 2에 따른 도면의 절단면에 대해 수평으로 수행된다.
캐리어(12)는 상부로 향하고 위로부터 자유롭게 접근 가능한 기판 처리 영역(15)을 포함하며, 기판 처리 영역에는 또는 영역 상에는, 기판 처리 영역 내에서 처리될 기판(2)이 분리 가능하게 배치될 수 있다. 기판(2)의 수용을 위해 구성된 기판 처리 영역(15)이 전형적으로 음영 효과 없이 구성됨으로써, 캐리어(12)로부터 먼 전체 기판 표면이 표면 처리 공정, 예를 들어 에칭 공정, 세정 공정 또는 코팅 공정을 받을 수 있다. 전형적으로, 기판 처리 영역(15)은 거의 캐리어(12)의 전체 표면에 걸쳐 연장된다.
기부(10)에 대한 캐리어(12)의 무접촉 지지 또는 변위를 위해, 자기 베어링(18)이 제공된다. 자기 베어링은 여기서 캐리어(12)의 하부에 배치되는 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30)을 포함한다. 이에 보충적으로, 전자석 액추에이터(40)가 제공되는데, 이는 본 실시예에서 캐리어(12)의 측면에 배치된 두 개의 전자석(42, 44)을 포함하며, 이 전자석을 이용하여, 캐리어(12)가 Y-방향으로, 즉, 캐리어 평면에 대해 평행하게 위치될 수 있다.
이에 대해 대안적으로, 액추에이터(40)는, 전자석(42)에 비교 가능하게 단지 캐리어(12)의 일 측에만 배치되는 하나 또는 복수의 로렌츠 액추에이터 또는 가동 코일 액추에이터를 포함한다.
이에 반해, 제1 전자석 유닛(30)은 서로로부터 이격된, 즉, Y-방향으로 이격된 두 개의 전자석(32, 34)을 포함한다. 도 2의 단면에 도시된 바와 같이, 각각의 전자석(32, 34)은 코일(37) 및 강자성 코어(36)를 포함한다. 코일(37)은 대략 편자 형태로 형성된 코어(36)의 레그를 둘러싼다. 단면도로 인해, 코일(37)은 두 개의 사각형 단면 형태로 도시된다.
또한, 제1 전자석 유닛(30)의 전자석(32, 34)은 캐리어(12)의 하부면(19)에 배치되거나 그 안에 일체된 자기 대응편(33, 35)과 함께 작용한다. 대응편(33, 35)은 전형적으로, 대응편의 하부에 놓인 전자석(32, 34)과 상호 작용할 수 있는 강자성 재료를 포함한다.
제1 전자석 유닛(30)의 두 개의 전자석(32, 34)을 이용하여, 하부로 향한 조절력(R)이 캐리어(12) 상에 작용할 수 있다. 이 경우에, 조절력(R)은 캐리어(12)의 중량(G)과 함께 작용하고, 캐리어(12)의 중량(G)을 가변적으로 강화할 수 있다.
캐리어(12)의 중량(G)의 보상 또는 과보상을 위해, 캐리어(12) 상으로 작용하는 지지력(S)의 형성을 위해 구성된 영구 자석 유닛(20)이 제공된다. 자기 베어링(18)의 영구 자석 유닛(20)에 의해 생성 가능한 지지력(S)은 캐리어(12)의 중량(G)에 반작용하며, 그 총계에 있어서 캐리어(12)의 중량(G)보다 크다. 하나 또는 복수의 영구 자석 유닛(20)의 기부에 대한 각각의 지지력(S)의 생성을 위한 구체적인 구현은 도 3 내지 도 11에 도시된다.
기부(10)에 대한 캐리어(12)의 위치 설정 및 측면 안내는 전자석 액추에이터(40)를 이용하여 구현될 수 있다. 전자석 액추에이터(40)는 서로 대향하는 캐리어(12)의 측면 경계(17)에서 양측에 배치된 전자석(42, 44)을 포함한다. 또한, 상기 전자석(42, 44)은 강자성 코어(46) 및 전류가 인가될 수 있는 코일(47)을 구비한다.
전자석(42, 44)은 캐리어(12)의 상응하는 대응편(43, 45)과 함께 작용하며, 이 대응편은 도 2에 단지 개략 도시된 기부(10)의 가장자리(11)의 서로 대향하여 놓인 내측면에 배치된다. 각각의 전자석(42, 44)의 목표한 그리고 국소적인 인가를 통해, 수평 위치, 즉, 기부(10)에 대한 캐리어(12)의 Y-방향으로의 위치가 설정되고 변경될 수 있다. 전자석 액추에이터(40)는 캐리어(12)의 서로 대향하여 놓인 측면 경계(17)에 배치된 자신의 전자석(42, 44)을 이용하여, 캐리어(12)에 작용하는 안내력(F)을 Y-방향으로, 즉, 캐리어(12)의 평면에 대해 평행하게 생성할 수 있다.
이는, 제1 전자석 유닛(30)이 캐리어(12)의 하부에 배치된 자신의 전자석(32, 34)을 이용하여 경우에도 동일하게 적용된다. 또한, 자기 베어링(18)은 영구 자석 유닛(20)을 포함한다. 도 3에 도시된 제1 구성에서, 영구 자석 유닛은 두 개의 영구 자석(22, 24)을 포함하며, 이 영구 자석은 도 3에 따른 도면에서 기부(10)에서, 캐리어(12)의 우측 및 좌측, 그리고 상부에 배치된다. 각각의 영구 자석(22, 24)과 쌍으로, 자기 대응편(23, 25)이 캐리어(12)에 배치된다.
영구 자석(22, 24) 및 자기 대응편(23, 25)의 쌍 배치는 중량(G)에 반작용하는 지지력(S)을 캐리어(12) 상에 생성하기 위해 사용된다. 도 3 및 도 4의 구성에서, 캐리어(12)는 측면에서 외측으로 돌출한 가이드 섹션(14)을 포함한다. 캐리어(12)의 측면 경계(17)에서 외측으로 돌출한 가이드 섹션(14)에는 각각, 가이드 섹션(14)의 상부에 제공된 영구 자석(22, 24)과 상호 작용하는 대응편(23, 25)이 배치된다.
이러한 유형의 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12)의 중량(G)보다 큰 지지력(S)을 생성할 수 있다. 제1 전자석 유닛(30) 및 그 전자석(32, 34)을 이용하여, 지지력(S)에 반작용하고 하부로 향한 조절력(R)이 생성될 수 있기 때문에, 캐리어(12)는 사전 설정된 Z-위치에서, 예를 들어 도 2에 도시된 위치(z0)에서 힘 균형으로 정밀하게 유지될 수 있다. 제1 전자석 유닛(30) 및 전자석 유닛에 의해 하부로 캐리어(12) 상에 작용할 수 있는 조절력(R)이 없는 경우, 캐리어(12)는 영구 자석 유닛(20)의 단독 작용 하에, 위치(z1)로 상승할 수도 있는데, 특히, 제1 전자석 유닛(30)이 비활성이어야 할 경우에, 상기 위치 내에서 캐리어가 예를 들어 정지부(26)에 대해 가압되어 안정적인 위치 내에 유지될 수 있다.
기부(10)에 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치 설정을 위해, 특히 도 2에 개략 도시되고 하나 이상의 위치 센서(4)와 결합된 제어부(3)가 제공된다. 위치 센서(4)는 특히 기부(10)에 대한 캐리어(12)의 상대 위치 또는 간격의 무접촉식 결정을 위해 구성된다. 센서(4)에 의해 생성된 측정 신호가 제어부(3)에 제공되는데, 제어부는 수신된 측정 신호에 따라, 제1 전자석 유닛(30) 및/또는 전자석 액추에이터(40)의 개별 전자석(32, 34, 42, 44)을 선택적으로 제어한다.
전형적으로, 캐리어(12)의 면 상에는 예를 들어 X-방향으로 각각 서로로부터 이격된 복수의 전자석(42, 44, 32, 34)이 제공됨으로써, 캐리어(12)의 표면 또는 기판 처리 영역(15)이 정밀하게, 특히 마이크로미터 정확도로 정렬될 수 있다.
도 3에 비해 변형된 영구 자석 유닛(20)의 구성이 도 4에 도시된다. 도 4에는 각각의 영구 자석 유닛(20)의 영구 자석(24, 26)이 외측을 향하고 수평으로 돌출된 캐리어(12)의 가이드 섹션(14)에 배치되는 반면, 자기 대응편(25, 27)은 기부(10)에 위치 고정되어 배치된다.
또한, 도 3 및 도 4의 구성을 위해, 영구 자석 유닛(20)이 캐리어(12)의 가이드 섹션(14)의 상부에 놓이는 것이 주목된다. 영구 자석 유닛(20), 특히 영구 자석 유닛의 영구 자석(24)이 특히 소형으로 구성될 수 있기 때문에, 그럼에도 불구하고, 캐리어(12)의 기판 처리 영역(15)을 위한 전반적으로 음영 효과 없는 구성이 제공될 수 있다. 이렇게, 캐리어(12)의 전체 상부면 및 기판 처리 영역(15)은 자기 베어링(18)의 경우에 따른 부품으로부터 자유롭게 구성될 수 있다.
도 5 및 도 6에 따른 대안적인 구성은, 캐리어(12)로부터 측면으로 돌출된 가이드 섹션(14) 대신, 영구 자석 유닛(20)이 그 안에 배치 가능한 측면 리세스(16)가 제공된다. 도 5에 따르면, 기부(10)에 고정된 영구 자석(22, 24)이 외부로부터 수평으로 캐리어(12)의 리세스(16) 내로 돌출하고 그곳에서 예를 들어 리세스(16)의 하부면에 배치된 자기 대응편(23, 25)과 함께 작용한다.
도 6에 따른 구성에서, 영구 자석(22, 24)과 자기 대응편(23, 25)의 바뀐 배치가 제공된다. 따라서, 대응편(23, 25)은 기부(10)에 배치되는 반면, 각각 상호 작용하는 영구 자석(22, 24)은 예를 들어 캐리어(12)의 측면 리세스(16)의 하부면에 제공된다.
도 5 및 도 6의 구성의 작용 원리는 각각 도 3 및 도 4에 도시된 작용 원리와 유사하다. 보충적으로 제공된 제1 전자석 유닛(30) 및 전자석 유닛의 두 개 이상의 전자석(32, 34)을 이용하여, 영구 자석 유닛(20)에 의해 영구적으로 그리고 일정하게 생성되고 캐리어(12)의 제어된 높이 지지를 위한 지지력(S)이 적어도 부분적으로 그리고 공간 분해적으로 보상될 수 있다.
도 7 내지 도 9에는 영구 자석 유닛(20)이 각각 두 개의 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)에 의해 형성되는데, 이는 자석 내에 표시된 화살표로 심볼화된다. 또한, 화살표 방향은 자기장의 방향 설정을 나타낸다. 따라서, 영구 자석 유닛(20)의 각각의 대응편은 영구 자성으로 형성된다. 쌍으로 배치된 영구 자석 유닛(20)의 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)은 인력의 상호 작용을 서로에 대해 작용시킨다. 따라서, 영구 자석(22a, 22b) 및 영구 자석(24a, 24b)의 자기장이 반대로 향한다.
도 7에 따른 구성에서, 도 3 및 도 4에 따른 구성과 비교 가능하게, 상부로 향한 지지력(S)이 영구 자석 유닛(20)으로부터 제공될 수 있다. 도 8의 구성은 도 5 및 도 6의 구성과 비교 가능하게, 영구 자석(22a, 22b) 및 영구 자석(24a, 24b)의 쌍 배치가 캐리어(12)의 측면 리세스(16)에 제공되며, 각각 하나의 영구 자석(22b, 24b)이 기부(10)에 위치 고정되어 배치된다.
이에 반해, 도 9에 따른 구성은 반대로 향한 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)의 측면 연결을 제공한다. 기부측에 배치된 영구 자석(22b)은 각각 인력의 상호 작용을 캐리어측에 배치된 영구 자석(22a) 상에 작용시킨다. 이에 대해 서로 대향하여 캐리어(12)의 측면 경계(17)에 제공된 기부측 그리고 캐리어측에 배치된 영구 자석(24a, 24b)은 인력의 상호 작용을 서로에 대해 작용시킨다.
도 2에 개략 도시된 전자석 액추에이터(40)에 보충적으로, Y-방향으로의 안정적인 위치 설정이 달성될 수 있다. 영구 자석(22a, 22b) 및 영구 자석(24a, 24b)의 비교적 강한 인력의 상호 작용으로 인해, Z-방향으로의 캐리어(12)의 준 안정적인(quasi-stable)지지가 제공될 수 있다. 캐리어측에 배치된 영구 자석(22a, 24a)은 캐리어(12)의 서로 대향하는 측면 경계(17)에 제공되는 반면, 이와 상호 작용하는 기부측에 제공된 영구 자석(22b, 24b)이 내부측에서 기부(10)의 도시된 가장자리(11)에 배치된다. 상기 가장자리(11)는 예를 들어 기부(10)의 지지 레일에 의해 형성될 수 있다.
도 10에는 추가의 구성이 도시되며, 그에 따르면, 영구 자석 유닛(20)이 각각, 서로에 대해 동일하게 배향되고 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개의 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)을 포함한다. 영구 자석(24b, 22b)은 기부(10)에 배치되는 반면, 이에 부합되거나 이와 상호 작용할 수 있으며 동일하게 배향된 영구 자석(24a, 22a)은 캐리어(12)의 하부면(19)에 배치된다. 동일하게 배향된 영구 자석(22a, 22b)은 반발력, 즉 척력이 서로에 대해 작용함으로써, 캐리어(12)가 상부로 향하고 중량(G)에 대항하여 정렬된 지지력(S)의 영향을 받는다.
이에 대해 보충적으로, 적어도 제1 전자석 유닛(30) 및 전자석 액추에이터(40)가 제공됨으로써, 캐리어(12)가 Z-방향으로 뿐만 아니라, Y-방향으로도 정밀하게 위치 설정될 수 있다. 영구 자석(22a, 22b) 또는 영구 자석(24a, 24b)이 비교적 작은 간격으로 서로에 대해 위치할 경우, 대략 수평으로 작용하는 편향력이 형성되는데, 이 편향력은 특히 전자석 액추에이터(40)에 의해 보상되거나 제어될 수 있다.
이에 반해, 도 11에 따른 다른 구성에서, 동일하게 배향되고 서로 척력으로 상호 작용하는 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)이 캐리어측에서 캐리어(12)의 서로 대향하는 측면 경계(17)에 배치됨으로써, 상기 영구 자석들이 기부(10)의 동일하게 배향된 영구 자석(22b, 24b)과 반발력으로 상호 작용한다. 기부측에 제공된 영구 자석(22b, 24b)은 전형적으로 기부(10)의 가장자리(11)의 내부면에 배치된다.
서로 반발력으로 상호 작용하는 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)들 사이의 간격은, 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)이 상부로 또는 하부로 향한 편차 운동을 수행하는 것을 달성하도록 선택된다. 기부측의 영구 자석(22b, 24b)에 대향하는 캐리어측 영구 자석(22a, 24a)의 외부 중간 배치를 통해, 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)이 지지력(S)으로서 수행되고 상부로 향한 지속적인 그리고 일정한 편향력을 형성하는 것이 달성될 수 있다.
이러한 방식으로, 하부면(19)뿐만 아니라, 기판 처리 영역(15)으로서 표시되는 캐리어(12)의 상부면이 거의 영구 자성 없이 구성될 수 있기 때문에, 전반적으로, 기판 처리 영역(15) 뿐만 아니라 캐리어(12)의 하부면(19)에서도 기판(2)의 음영 효과 없는 보유가 가능하다.
단지, 단순화된 도면으로 인해, 제1 전자석 유닛(30) 또는 전자석 액추에이터(40)가 도 7 내지 도 11에는 도시되지 않는다. 그러나 위치 설정 장치(1)의 구현을 위해, 제1 전자석 유닛(30) 및 전자석 액추에이터(40)가 전체 구성에서 예를 들어 도 2에 도시된 바와 같이 제공된다. 제1 및 제2 전자석 유닛(30) 또는 전자석 액추에이터(40)의 대응편(33, 35, 43, 45)은 각각의 영구 자석 유닛(20)의 영구 자석(22, 24) 또는 대응편(23, 24) 옆에 각각 배치될 수 있다.
1: 위치 설정 장치
2: 기판
3: 제어부
4: 위치 센서
10: 기부
11: 가장자리
12: 캐리어
14: 가이드 섹션
15: 기판 처리 영역
16: 리세스
17: 측면 경계
18: 자기 베어링
19: 하부면
20: 영구 자석 유닛
22: 영구 자석
22a: 영구 자석
22b: 영구 자석
23: 대응편
24: 영구 자석
24a: 영구 자석
24b: 영구 자석
25: 대응편
26: 정지부
30: 전자석 유닛
32: 전자석
33: 대응편
34: 전자석
35: 대응편
36: 코어
37: 코일
40: 전자석 액추에이터
42: 전자석
43: 대응편
44: 전자석
45: 대응편
46: 코어
47: 코일
100: 위치 설정 장치
110: 기부
112: 캐리어
117: 측면 경계
119: 하부면
132: 전자석
134: 전자석
142: 전자석
144: 전자석

Claims (17)

  1. - 기부(10)와,
    - 기부(10)에 대해 상대적으로 이동 가능하며 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 기부(10)에 배치된 캐리어(12)를 구비한,
    기판의 이동을 위한 위치 설정 장치이며, 이때 상기 캐리어(12)는 상기 자기 베어링(18)을 이용하여 무접촉식으로 변위 방향을 따라 변위 가능하게 상기 기부(10)에서 지지되고, 상기 자기 베어링(18)은 하나 이상의 영구 자석 유닛(20) 및 하나 이상의 제1 전자석 유닛(30)을 포함하며, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 상으로 작용하고 캐리어(12)의 중량(G)보다 큰 지지력(S)의 생성을 위해 구성되며, 제1 전자석 유닛(30)은 지지력(S)에 반작용하는 조절력(R)의 생성을 위해 구성되는, 위치 설정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 제1 전자석 유닛(30)은 기부(10)에 배치된 하나 이상의 전자석(32, 34)을 포함하며, 상기 전자석은 캐리어(12)에 배치된 대응편(33, 35)과 함께 작용하는, 위치 설정 장치.
  3. 제2항에 있어서, 전자석(32, 34)은 캐리어측 대응편(33, 35)의 하부에서 기부(10)에 배치되는, 위치 설정 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 캐리어(12)는 전자석(32, 34) 없이 구성되는, 위치 설정 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12) 또는 기부(10)에 배치된 하나 이상의 영구 자석(22, 24)을 포함하며, 상기 영구 자석은 기부(10) 또는 캐리어(12)에 배치된 하나 이상의 대응편(23, 25)과 함께 작용하는 , 위치 설정 장치.
  6. 제5항에 있어서, 대응편(23, 25)은 강자성 또는 영구 자성인, 위치 설정 장치.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12)의 기판 처리 영역(15)으로부터 측면으로 돌출된 가이드 섹션(14)에 배치되는, 위치 설정 장치.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 영구 자석 유닛(20)은 캐리어(12)의 측면 리세스(16) 내에 배치되는, 위치 설정 장치.
  9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 영구 자석 유닛(20)은 동일하게 배향되고 서로 척력으로 상호 작용하는 두 개 이상의 영구 자석(22a, 22b, 24a, 24b)을 포함하는, 위치 설정 장치.
  10. 제9항에 있어서, 캐리어측에 배치된 하나 이상의 영구 자석(22a, 24a)은, 캐리어(12)의 하부에서 또는 캐리어(12)에 대한 측면에서 기부(10)에 배치된 영구 자석(22b, 24b)과 함께 작용하는, 위치 설정 장치.
  11. 제9항에 있어서, 캐리어(12)의 서로 대향하는 측면 경계(17)에는 각각 하나 이상의 영구 자석(22a, 24a)이 배치되며, 상기 영구 자석은 각각, 기부(10)의 측면 가장자리(11)에 배치되고 동일하게 배향된 영구 자석(22b, 24b)과 함께 작용하는, 위치 설정 장치.
  12. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 영구 자석 유닛(20)은 하나 이상의 할바흐 어레이(Halbach-array)를 포함하는, 위치 설정 장치.
  13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 기부(10) 및 캐리어(12)가 전자석 액추에이터(40)를 통해 서로 결합되며, 상기 전자석 액추에이터는 캐리어(12)의 평면에 대해 평행하게 정렬된 안내력(F)이 캐리어(12) 상에 작용하도록 구성되는, 위치 설정 장치.
  14. 제13항에 있어서, 전자석 액추에이터(40)는 기부(10)에 배치된 하나 이상의 전자석(42, 44) 및 캐리어(12)에 배치된 대응편(43, 45)을 포함하거나, 전자석 액추에이터(40)는 하나 이상의 가동 코일 액추에이터를 포함하는, 위치 설정 장치.
  15. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 전자석 유닛(30)은, 기부(10)에 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 검출하기 위한 하나 이상의 위치 센서(4)와 결합된 제어부(3)에 의해 조절될 수 있는, 위치 설정 장치.
  16. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 위치 설정 장치(1)를 이용하는 기판의 위치 설정 방법이며,
    하나 이상의 위치 센서(4)를 이용하여 기부(10)에 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 결정하는 단계와,
    하나 이상의 제1 전자석 유닛(30) 및 제어부(3)를 이용하여, 캐리어(12)의 결정된 위치에 따라 기부(10)와 캐리어(12) 사이의 간격을 조절하는 단계를 포함하는, 기판의 위치 설정 방법.
  17. 컴퓨터 판독 가능한 매체에 저장되어 있고, 제어 장치에서 실행되는 경우 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 위치 설정 장치(1)의 제어를 위한 컴퓨터 프로그램이며,
    하나 이상의 위치 센서(4)를 이용하여, 기부(10) 대해 상대적으로 캐리어(12)의 위치를 결정하기 위한 프로그램 수단과,
    하나 이상의 제1 전자석 유닛(30) 및 제어부(3)를 이용하여, 결정된 캐리어(12)의 위치에 따라 기부(10)와 캐리어(12) 사이의 간격을 조절하기 위한 프로그램 수단을 구비한, 컴퓨터 프로그램.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200049663A (ko) * 2018-10-31 2020-05-08 에이에스엠 어셈블리 시스템즈 게엠베하 운트 콤파니 카게 직렬로 배치된 2 개의 베어링 유닛을 이용하는 2 개의 진동 액추에이터 시스템에 의한 부품들의 제공

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015016081A1 (de) * 2015-12-10 2017-06-14 Applied Materials, Inc. (N.D.Ges.D. Staates Delaware) Verschluss- oder Schleusenvorrichtung für eine Vakuumkammer
WO2019096427A1 (en) * 2017-11-20 2019-05-23 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system, vacuum system, and method of transporting a carrier
WO2019145035A1 (en) * 2018-01-25 2019-08-01 Applied Materials,Inc. Magnetic levitation system and method of contactlessly transporting a carrier within a vacuum environment
KR102460645B1 (ko) * 2018-02-01 2022-10-31 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법
KR102025419B1 (ko) * 2018-08-20 2019-09-30 주식회사 토모테크 반도체 테스트 소켓용 조립장치
DE102020204749A1 (de) 2020-04-15 2021-10-21 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Beförderungsvorrichtung
CN112432792B (zh) * 2020-11-25 2023-10-13 哈尔滨工程大学 一种基于磁悬浮无接触弱约束的固体火箭发动机试车架

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2446472A1 (fr) * 1978-06-12 1980-08-08 Aerospatiale Procede et dispositif d'equilibrage des corps tournants a suspension magnetique radiale passive et axiale active et d'orientation de leur axe de rotation
US5196745A (en) * 1991-08-16 1993-03-23 Massachusetts Institute Of Technology Magnetic positioning device
JPH10521A (ja) * 1996-06-07 1998-01-06 Nikon Corp 支持装置
US6777833B1 (en) * 2001-12-17 2004-08-17 Ultratech Stepper, Inc. Magnetic levitation stage apparatus and method
KR100745371B1 (ko) 2006-10-23 2007-08-02 삼성전자주식회사 자기부상형 웨이퍼 스테이지
US9207549B2 (en) * 2011-12-29 2015-12-08 Nikon Corporation Exposure apparatus and exposure method, and device manufacturing method with encoder of higher reliability for position measurement

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200049663A (ko) * 2018-10-31 2020-05-08 에이에스엠 어셈블리 시스템즈 게엠베하 운트 콤파니 카게 직렬로 배치된 2 개의 베어링 유닛을 이용하는 2 개의 진동 액추에이터 시스템에 의한 부품들의 제공

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