JP5876654B2 - 液冷一体型基板の製造方法 - Google Patents
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Description
3.3W<D<10W
を満たし、前記金属ベース板と前記放熱器とを、(1)式以上の面圧で、且つ前記多孔管の仕切り板に負荷される仕切り板面圧が、−0.5×D(溝深さ)+10(MPa)以下となるように加圧した後に加熱してろう付け接合することを特徴とする、液冷一体型基板の製造方法が提供される。
面圧(N/mm2)=−1.25×10−3×(放熱器の断面2次モーメント)+2.0・・・(1)
−W+1.4<T/W<−1.5W+3.3 (0.4≦W≦1.0の場合)
−0.2W+0.7<T/W<−1.5W+3.3 (1.0<W<2.0の場合)
を満たすことが好ましい。さらに、前記溝幅Wが0.4mm以上であることが好ましい。
面圧=(ろう付けの加熱前のセット時に負荷する荷重)/(金属ベース板の面積)
とし、この面圧を、下記(1)式以上とした。
面圧(N/mm2)=−1.25×10−3×(放熱器の断面2次モーメント)+2.0・・・(1)
尚、放熱器30の断面2次モーメントは、次式から求める。
仕切り板の平行方向に垂直な放熱器の断面の場合は、
BH3/12−((溝幅)×本数×D3)/12
仕切り板の垂直方向に垂直な放熱器の断面の場合は、
BH3/12−(B×D3)/12
ただし、B:放熱器と金属ベース板の接合部の幅,H:放熱器の高さ,D:放熱器における多孔管の溝深さ(仕切り板の高さ)、T:仕切り板の幅
ろう付け時の面圧を、金属ベース板20の剛性に対して(1)式以上とすることにより、反り量が低減された一体型基板を得ることができる。
3.3W<D<10W
の範囲であることが、好適な熱性能と押出し性を両立させる。さらに、幅W(mm)と仕切り板の幅T(mm)とが、
−W+1.4<T/W<−1.5W+3.3 (0.4≦W≦1.0の場合)
−0.2W+0.7<T/W<−1.5W+3.3 (1.0<W<2.0の場合)
を満たすことで、好適な熱性能と押出し性を両立させることができる。
仕切り板の面圧=(ろう付け時に放熱器30に負荷する荷重)/(放熱器30の仕切り板の面積)
とし、仕切り板の面圧を、−0.5×D(溝深さ)+10(MPa)以下とすることにより、放熱器の仕切り板の座屈を低減させることができる。ただし、仕切り板の面積は、仕切り材35を上板に平行な平面で切断したときの仕切り板の断面積を指す。
AlN基板の両面にアルミニウム合金が溶湯接合(直接接合)された放熱基板「アルミック」(商標登録)を用いて、ろう付けにより液冷一体型基板を製作するための基礎試験を行った。
面圧(N/mm2)=−1.25×10−3×(放熱器の断面2次モーメント)+2.0・・・(1)
反り量の目標を50μmとすれば、(1)式を満足すれば、目標を達成できる。
図4に示すような、多数の冷媒の流路の管が連続して並んでおり、冷媒の流路である溝幅W(管の幅)が1.515mm、溝深さD(管の高さ)が6.06mm、仕切り板の幅(リブ厚さ、放熱フィン厚さ)Tが0.707mm、天板と底板の厚さがそれぞれ1.01mmである多孔管を、110mm(押出方向)×135mmに切断して多孔管からなる放熱器とし、その両側にφ18mm(内径16mm)のパイプを、蓋材としてろう付けした。図示しない冷却液循環機構により、冷媒は一方のパイプから供給され、多孔管を通過して他方のパイプから排出される構造となっている。また、多孔管の表面に、小型放熱基板(アルミ合金からなる金属回路板として15.7mm×26.4mm×0.6mm、アルミ合金からなる金属ベース板として15.7mm×26.4mm×0.6mm、セラミックス(AlN基板)18.1mm×28.8mm×0.64mm)を4枚ろう付けした。金属回路板15および金属ベース板20の材質は、0.4mass%Si−0.04mass%B−残部Alとした。このときの荷重を3500N、すなわち面圧を2.1N/mm2とした。ろう付け条件は実施例1と同様であるが、多孔管とパイプとのろう付けにはフラックスを塗布した。多孔管と小型放熱基板、および多孔管とパイプは同時に接合した。図8(a)に示すように小型放熱基板(5−1、5−2、5−3、5−4)の長手方向が多孔管の仕切り板に対して平行方向(冷媒の流路の方向)に沿ってろう付けしたタイプ(平行タイプと称す)と、図8(b)に示すように小型放熱基板(6−1、6−2、6−3、6−4)の長手方向が多孔管の仕切り板に対して垂直方向(冷媒の流路に直角方向)にろう付けしたタイプ(垂直タイプと称す)を試作した。これらの金属回路板表面の反り量の測定結果を図9に示す。反り量は、X方向(仕切り板に対して平行方向)の金属回路板表面、Y方向(仕切り板に対して垂直方向)の金属回路板表面、斜め方向(金属回路板の対角線方向)の金属回路板表面について、いずれも金属回路板の端部と中央部の高さの差として3次元表面粗さ計で測定した。
次に、長さ40mm×幅40mm×厚さ4mmの板材、長さ40mm×幅40mm×8mmの板材の2種類の、材質がA1100材からなる放熱器と、図4に示す長さ40mm×幅40mm×厚さ8.08mmの多孔管(材質:A6063合金製)からなる放熱器を準備した。多孔管からなる放熱器には図4の通り多数の冷媒の流路の管が連続して並んでおり、冷媒の流路である溝幅W(管の幅)が1.515mm、溝深さD(管の高さ)が6.06mm、仕切り板の幅(放熱フィン厚さ、リブ厚さ)が0.707mm、天板と底板の厚さがそれぞれ1.01mmであった。
放熱器の大きさを50mm×70mmとし、放熱器として用いる多孔管の溝幅W、溝深さD、仕切り板の幅T(図4参照)を変化させて熱解析を行い、好適な溝幅Wと溝深さD、及び溝幅Wと仕切り板の幅T/溝幅W比との関係を求めた。さらに、多孔管の製造における押出し限界を求めた。
D=3.3W
は、熱性能が好適となる下限であり、これより下方(Dが3.3Wより小さい場合)では熱性能が低下する。また、
D=10W
は、押出し加工の限界となる上限であり、これを超えるすなわちDが10Wより大きいと、押出しができない。さらに、溝幅Wと仕切り板の幅T/溝幅W比の関係を図15に示す。図15に示すように、
−W+1.4=T/W (0.4≦W≦1.0の場合)
−0.2W+0.7=T/W (1.0<W<2.0の場合)
で示される下限は押出し加工の限界であり、
T/W=−1.5W+3.275
で示される上限は熱性能が好適となる限界で、これを超えると熱性能が低下する。図14および図15に示すように、熱性能と押出し限界から、溝幅W、溝深さD、仕切り板の幅Tの寸法に制約があることがわかった。なお、熱性能が好適となる下限は、金属回路基板にたとえばIGBTなどのパワー半導体チップを搭載したときの放熱性を考慮して設定したものである。
10 セラミックス基板
15 金属回路板
20 金属ベース板
30 放熱器
31 間隙部
33 ろう材層
35 仕切り板
38 流路
40 蓋部材
41 蓋部
45(45a、45b) 液循環ポート
Claims (7)
- セラミックス基板の一方の面にアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる金属回路板が接合されると共に、他方の面にアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる平板状の金属ベース板の一方の面が接合され、前記金属ベース板の他方の面には一体的に押出し成形された一つの押出し材で構成される液冷式の放熱器が接合された液冷一体型基板の製造方法であって、
前記金属回路板、前記金属ベース板、および前記放熱器は、熱伝導率が170W/mK以上であるアルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、
前記金属回路板および前記金属ベース板と前記セラミックス基板との接合は溶湯接合法によって行われ、
前記金属ベース板と前記放熱器との接合はろう接合法によって行われ、
前記金属回路板の表面粗さを、Ra0.3超え〜2.0μmとし、
前記放熱器は、中空押出し材の内部に互いに平行な複数の仕切り板のみを備えた多孔管からなり、前記多孔管の冷媒の流路である溝幅W(mm)と溝深さD(mm)との関係が、
3.3W<D<10W
を満たし、
前記金属ベース板と前記放熱器とを、(1)式以上の面圧で、且つ前記多孔管の仕切り板に負荷される仕切り板面圧が、−0.5×D(溝深さ)+10(MPa)以下となるように加圧した後に加熱してろう付け接合することを特徴とする、液冷一体型基板の製造方法。
面圧(N/mm2)=−1.25×10−3×(放熱器の断面2次モーメント)+2.0・・・(1) - 前記金属ベース板の放熱器接合側の面の表面粗さは、Ra1.0〜2.0μmであることを特徴とする、請求項1に記載の液冷一体型基板の製造方法。
- 前記多孔管の冷媒の流路である溝幅W(mm)と仕切り板の幅T(mm)との関係が、
−W+1.4<T/W<−1.5W+3.3 (0.4≦W≦1.0の場合)
−0.2W+0.7<T/W<−1.5W+3.3 (1.0<W<2.0の場合)
を満たすことを特徴とする、請求項1または2に記載の液冷一体型基板の製造方法。 - 前記溝幅Wが0.4mm以上であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の液冷一体型基板の製造方法。
- 4枚の前記金属ベース板を1つの前記放熱器の天板の上面に配置して、4枚の前記金属ベース板と1つの前記放熱器とをろう付け接合することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の液冷一体型基板の製造方法。
- 前記金属回路板の厚さt1と前記金属ベース板の厚さt2の関係はt2/t1≧2を満たす厚さに形成される、請求項1〜5のいずれかに記載の液冷一体型基板の製造方法。
- 前記金属回路板の厚さt1は0.4〜3mmであり、前記金属ベース板の厚さt2は0.8〜6mmである、請求項1〜6のいずれかに記載の液冷一体型基板の製造方法。
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