SU737144A1 - Способ пайки деталей из разнородных материалов - Google Patents
Способ пайки деталей из разнородных материалов Download PDFInfo
- Publication number
- SU737144A1 SU737144A1 SU782567111A SU2567111A SU737144A1 SU 737144 A1 SU737144 A1 SU 737144A1 SU 782567111 A SU782567111 A SU 782567111A SU 2567111 A SU2567111 A SU 2567111A SU 737144 A1 SU737144 A1 SU 737144A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- solder
- substrate
- soldering
- materials
- microcavities
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
(54) СПОСОБ ПАЙКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ РАЗНОРОДНЫХ
I
Изобретение относитс к пайке, в частности к способам пайки разнородных материалов , и может быть использовано в электронной технике.
хИзвестен способ пайки разнородных материалов , при котором между соедин емыми детал ми размещают компенсационные прокладки из материала, смачиваемого припоем и имеющего коэффициент термического расщирени (КТР) средний между па емыми материалами 1.
Однако данный способ не позвол ет полностью ликвидировать термомеханические .напр жени .
Известен также способ пайки, при котором в зазоре между соедин емыми детал ми размещают сетку из металла, смачиваемого припоем 2.
Однако применение сетки лищь частично компенсирует различие КТР соедин емых материалов за счет пластической деформации в толстом слое припо .
Известен способ пайки деталей из разнородных материалов, преимущественно плоской металлизированной керамической подлож} :и с металлическим основанием, при котором соедин емыми детал ми разМАТЕРИАЛОВ
мещают сетку из несмачиваемого припоем материала и припой, после чего производ т нагрев до температуры пайки 3. Данный способ позвол ет снизить термомеханические напр жени и повысить термическую прочность спа за счет расчленени спа на множество локальных точек пайки и помещени в зону спа между керамикой и металлом упругой сетки из силиконовой резины.
Однако данный способ пайки керамики с металлами эффективен лищь при малых 10 уровн х рассеиваемой мощности.
При больщих (20 Вт/см 2) удельных мощност х рассеивани керамическими элементами , расположенными на керамической подложке , например, тонкопленочных резисторов , используемых в качестве поглотителей отраженной СВЧ энергии, возрастает перепад температур между соедин емыми детал ми. Это обусловлено тем, чторезинова сетка обладает низкими теплопровод щими свойствами и увеличивает контактное 20 тепловое сопротивление, вследствие чего ухудщаетс теплоотвод, возникает перегрев элементов и они выход т из стро .
Цель изобретени - улучшение теплоотвода от керамической подложки.
Поставленна цель достигаетс тем, что сетку получают,путем напылени пленки металла на металлизированную поверхность керамики с последующим локальным протравливанием указанной пленки, производ т лужение смачиваемой поверхности металлизированной керамики и поверх сетки устанавливают рамку, обусловливаюпдую образование микрополостей, а после пайки микрополости заполн ют теплопровод щим материалом .
На фиг. 1-5 изображена последовательность операций при изготовлении керамиеской подложки и частичной сборке па емого узла; на фиг. 6 - па ное соединение плоской керамической подложки с металлическим основанием; на фиг. 7 - сечение
А-А на фиг. 6.
Способ осуществл етс следующим образом .
Первоначально на керамическую подложку I (фиг. 1) нанос т сплощной металлизированный слой 2,,имеющий хорощую способность смачиватьс м гкими припо ми. Затем на металлизированный слой 2 напыл ют слой металла 3, который гтраКтически не смачиваетс м гкими припо ми, и провод т локальное его травление на всю толщину путем фотолитографии. Полученный рисунок облуживают, при этом вскрыУые окна в материале 3 заполн ютс припоем, обрйзу столбики 4. На подготовленную таким образом подложку устанавливают рамку 5. Затем к металлическому основанию 7 припаивают с помощью столбиков припо керамическую подложку. В зоне спа между подложкой и металлическим основанием образуютс микрополости 6, которые заполн ют теплопровод щим материалом 8 через отверстие 9 в рамке.
Пример. На поверхность подложки из керамики типа «Поликор размером 30 X Х48Х 1 мм последовательно напыл ют слои хрома толщиной ЗООд-бОО А, меди 7-8 мкм) и хрома (300-500 А). Затём по слою хрома , нанесенного на медь, провод т фотолитографию , в результате которой на поверхности подложки получают рисунок, представл ющий собой сетку с квадратными чейками размером 1 X 1 мм с щагом 2 мм. Слой хрома протравливают на всю толщину, в результате чего в чейках обнажаетс слой меди . Затём подложку .погружают в ванну с расплавленным припоем на основе олова и инди типа ОИ-52, при этом вытравленные чейки заполн ютс данным припоем, образу столбики высотой 200-300 мкм. Образование последних происходит за счет сил поверхностного нат жени и .хорошей смачиваемости участков медной пленки припоем .
В качестве металлического основани используют пластины из алюминиевого сплава Д-16 размером Збх 48 X 2 ЖгШкрытьг слоем никел (15 мкм), меди (6 мкм) и спла737144
вом олово-висмут (9 мкм) и облуженные припоем ОИ-52.
Между подложкой и пластиной укладывают фольгу припо ОИ-52 толщиной 50 мкм и несмачиваемую припоем никелевую рамку толщиной 200 мкм и щириной 2 мм. Эта рамка обеспечивает образование микрополостей в зоне спа между подложкой и металлическим основанием, что создает услови дл формировани в зоне спа множества столбиков припо , соедин ющих собой подложку с основанием. Поскольку сетка на подложке выполнена с щагом, позвол ющим чередовать участки, смачиваемые и несмачиваемые припоем, то столбики припо повтор ют этот щаг, поэтому между ними образуетс пространство, в котором они могут деформироватьс при возникновении термомеханических напр жений и тем самым компенсировать их.
Пайку образцов производ т в печи в атмосфере азота при +150°С с использованием контрольно-спиртового флюса.
Подложки из поликора, припа нные на металлические основани из сплава Д-16 предлагаемым способом, выдерживают 750 - 800 термоциклов в диапазоне температур от -60 до +120°С.
Подложка опираетс своими кромками на рамку так, что между металлическим основанием и подложкой образуютс микрополости . Через отверстие в рамке этот зазор заполн ют теплопровод щим материалом в виде жидкости, в виде пасты, приобретающей текучесть при нагреве, а затем твердеющей, и т. д. с- наполнител ми из вь1сокодисперсных очищенных окислов и металлов . Так, заполнение микрополостей алюминиевой пудрой, смещанной с техническим маслом или теплопровод щей пастой типа КПТ-8 снижает тепловое сопротивление в 3-4 раза. Благодар тому, что имеютс микрополости , наибольщий эффект дает применение пасты на основе окиси берилли . Расчеты показывают, дл резистора, расположенного на подложке, с мощностью рассе ,ни 1 Вт заполнение микрополостей пастой КПТ-8 дает снижение температуры резистора примерно на 100°С по сравнению с температурой резистора, когда между подложной и металлическим основанием расположена резинова сетка. Так как паста обладает достаточной в зкостью, она не вытекает из микрополостей в течение срока службы аппаратуры.
Таким образом, предлагаемый способ соединени позвол ет обеспечить качественное и надежное соединение керамики с металлом работающее в услови х циклических изменений температур, и улучщить теплоотвод за счет того; что подложка опираетс своими кромками на рамку и при этом между металлическим .основанием и подложкой в зоне спа образуютс микрополости, заполненные теплопровод щим материалом.
Уменьшение термомеханических напр жений , возникающих из-за разницы КТР на границах подложка-припой и припой-ме-, таллическое основание, происходит за счет пластической деформац ии столбиков специальной формы и высоты, образованных припоем в зоне спа . Соединение в этом случае вл етс «островковым и распределение общего напр жени представл ет собой сумму локальных напр жений, которые завис т от геометрической формы столбиков припо . Увеличение высоты столбиков припо в соединении приводит к уменьшению объемного напр жени сдвига, а также максимального локального напр жени сдвига. Это св зано с тем, чтосувеличением высоты столбиков (т. е. толщины рамки) измен етс площадь горизонтального поперечного сечени столбиков, вли ющего на распределение локального напр жени .
Наличие микрополостей позвол ет улучщить отвод тепла от подложки путем заполнени их теплопровод щим материалом.
Claims (3)
1.Имшенник К- П. и Бухман Н. А. Технологи пайки твердосплавного инструмента . М., Машгиз,1954, с. 28-38.
2.Лашко Н. Ф. и Лашко С. В. Пайка металлов. М., «Машиностроение, 1977, с. 175-176.
3.Авторское свидетельство СССР по за вке № 2473300/25-27, 12.03.77.
J 2.
/I
J
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782567111A SU737144A1 (ru) | 1978-01-11 | 1978-01-11 | Способ пайки деталей из разнородных материалов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782567111A SU737144A1 (ru) | 1978-01-11 | 1978-01-11 | Способ пайки деталей из разнородных материалов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU737144A1 true SU737144A1 (ru) | 1980-05-30 |
Family
ID=20743410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782567111A SU737144A1 (ru) | 1978-01-11 | 1978-01-11 | Способ пайки деталей из разнородных материалов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU737144A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4544091A (en) * | 1982-05-06 | 1985-10-01 | Gte Products Corporation | Target bonding process |
US4763828A (en) * | 1983-12-20 | 1988-08-16 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method for bonding ceramics and metals |
RU2556020C2 (ru) * | 2010-01-12 | 2015-07-10 | Ниппон Лайт Метал Компани, Лтд. | Объединенная подложка с жидкостным охлаждением и способ изготовления объединенной подложки с жидкостным охлаждением |
-
1978
- 1978-01-11 SU SU782567111A patent/SU737144A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4544091A (en) * | 1982-05-06 | 1985-10-01 | Gte Products Corporation | Target bonding process |
US4763828A (en) * | 1983-12-20 | 1988-08-16 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method for bonding ceramics and metals |
RU2556020C2 (ru) * | 2010-01-12 | 2015-07-10 | Ниппон Лайт Метал Компани, Лтд. | Объединенная подложка с жидкостным охлаждением и способ изготовления объединенной подложки с жидкостным охлаждением |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3508118A (en) | Circuit structure | |
EP0473929B1 (en) | Method of forming a thin film electronic device | |
EP0147576B1 (en) | Process for forming elongated solder connections between a semiconductor device and a supporting substrate | |
EP0570716B1 (en) | Method of applying solder | |
CA2081141A1 (en) | Pulsed current resistive heating for bonding temperature critical components | |
JPH10256315A (ja) | 半導体チップ付着パッドおよび形成方法 | |
JP2006245437A (ja) | セラミックス回路基板およびパワーモジュール並びにパワーモジュールの製造方法 | |
US3385618A (en) | Ceramic-to-metal seal | |
CN108981506B (zh) | 一种微型表贴式点火电阻器及其制备方法 | |
US7938311B2 (en) | Method for hybridization of two components by using different sized solder protrusions and a device that uses two components hybridized according to this method | |
SU737144A1 (ru) | Способ пайки деталей из разнородных материалов | |
JPH03145748A (ja) | セラミックス回路基板 | |
JPH10335531A (ja) | ボールグリッドアレイ型半導体装置およびその製造方法ならびに電子装置 | |
JP3505950B2 (ja) | 放熱板接合用基板 | |
JPH08250823A (ja) | セラミックス回路基板 | |
CN211373872U (zh) | 一种薄膜铂电阻温度传感器 | |
USRE27934E (en) | Circuit structure | |
JP2003338641A (ja) | 熱電素子 | |
KR910009991B1 (ko) | 형광표시관 및 그의 제조방법 | |
SU1215908A1 (ru) | Способ пайки деталей из разнородных материалов | |
JPH09315876A (ja) | 金属−セラミックス複合基板及びその製造法 | |
JP7243584B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH08274423A (ja) | セラミックス回路基板 | |
CN106507612A (zh) | 一种在基片上制作实心金属化孔的方法 | |
SU990449A1 (ru) | Способ пайки деталей из разнородных материалов |