JP5870762B2 - 電気特性測定方法、コンタクトプローブ - Google Patents
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Description
本願の発明に係るコンタクトプローブは、基体部と、該基体部に固定され、該基体部側から順に、第1湾曲部、平坦な第1コンタクト部、及び先の尖った第1先端部を有する第1プローブと、該第1プローブと対向するように該基体部に固定され、該基体部側から順に、第2湾曲部、平坦な第2コンタクト部、及び先の尖った第2先端部を有する第2プローブと、該第1先端部と該第2先端部の動きを止める停止手段と、を備え、該第1湾曲部と該第2湾曲部は、測定対象の方向に押圧されることで該第1先端部と該第2先端部の距離を縮めるように押圧変形し、該停止手段により該第1先端部と該第2先端部の動きが止められているときは、該第1先端部と該第2先端部よりも該第1コンタクト部と該第2コンタクト部の方が該基体部から離れ、該第1プローブと該第2プローブは幅方向にずれて対向し、該基体部、該第1プローブ、及び該第2プローブは全体が同じ材料の1枚の金属板から形成され、該第1プローブは、該基体部の表側に折り返して形成され、該第2プローブは、該基体部の裏側に折り返して形成されたことを特徴とする。
本願の発明に係る他のコンタクトプローブは、基体部と、該基体部に固定され、該基体部側から順に、湾曲部、平坦なコンタクト部、及び先端部を有するプローブと、該湾曲部の押圧変形量が所定値以上となったときに、該先端部の動きを止めるように該プローブの一部を加工して形成された固定棒と、該固定棒に当たり該先端部の動きを止める固定部と、を備え、該固定棒により該先端部の動きが止められているときは、該先端部よりも該コンタクト部の方が該基体部から離れ、該固定部は、該コンタクト部に形成された凹部であり、該湾曲部の押圧変形が進むと該固定棒が該凹部の底に当たることで該先端部の動きを止めることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態1に係るコンタクトプローブの斜視図である。コンタクトプローブ10は、基体部12を有している。基体部12には取り付け部14が固定されている。取り付け部14はコンタクトプローブ10を外部の装置に取付ける部分である。基体部12には第1プローブ16と第2プローブ18が固定されている。
本発明の実施の形態2に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブの製造方法、コンタクトプローブは、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図15は、本発明の実施の形態2に係るコンタクトプローブの斜視図である。第1プローブ16と第2プローブ18は幅方向(Y方向)にずれて対向している。第1プローブ16の軸部16h、16iは、第2プローブ18の軸部18a、18bよりも幅が広く形成されている。第1先端部16kは第1ストッパ16jよりもY軸負方向に位置している。第2先端部18kは第2ストッパ18jよりもY軸正方向に位置している。
本発明の実施の形態3に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブの製造方法、コンタクトプローブは、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図18は、本発明の実施の形態3に係るコンタクトプローブの斜視図である。コンタクトプローブ200の第1プローブ16と第2プローブ18は幅方向(Y方向)にずれて対向している。第1プローブ16は、基体部12の表側に折り返して形成され、第2プローブ18は基体部12の裏側に折り返して形成されている。
本発明の実施の形態4に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブは、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図21は、本発明の実施の形態4に係るコンタクトプローブ等の斜視図である。第1湾曲部16cには第1貫通孔152aと第2貫通孔152bが形成されている。第1湾曲部16cのうち第1貫通孔152aと第2貫通孔152bに挟まれた場所にはひずみゲージ250が取り付けられている。ひずみゲージ250は、第1湾曲部16cの押圧変形量を検出するために取り付けられている。
本発明の実施の形態5に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブは、実施の形態4との相違点を中心に説明する。図22は、本発明の実施の形態5に係るコンタクトプローブ等の斜視図である。第1湾曲部16cのうち第1貫通孔152aと第2貫通孔152bに挟まれた場所に圧電素子300が取り付けられている。
本発明の実施の形態6に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブの製造方法、コンタクトプローブは、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図23は、本発明の実施の形態6に係るコンタクトプローブの斜視図である。コンタクトプローブ400は、基体部402を有している。基体部402には取り付け部14とプローブ404が接続されている。プローブ404は、基体部402側から順に、軸部404a、湾曲部404b、平坦なコンタクト部404c、及び先端部404dを有している。
本発明の実施の形態7に係る電気特性測定方法、コンタクトプローブの製造方法、コンタクトプローブは、実施の形態6との相違点を中心に説明する。図30は、本発明の実施の形態7に係るコンタクトプローブの斜視図である。固定棒500は、一本の直線的な形状である。コンタクト部404cには凹部502が形成されている。図31は、コンタクト部に形成された凹部を示す斜視図である。
図36は、本発明の実施の形態8に係るコンタクトプローブの斜視図である。このコンタクトプローブは基本的に実施の形態6に係るコンタクトプローブと同じであるが、固定棒600の形状が異なる。固定棒600には長手方向に沿って屈曲部600aが形成されている。屈曲部600aは長手方向に連続的に折り曲げて形成された部分である。固定棒にはある程度の強度が要求されるので、屈曲部600aを形成することで固定棒600の強度を高めた。
図38は、本発明の実施の形態9に係るコンタクトプローブ等の斜視図である。コンタクトプローブは基本的に本発明の実施の形態6のコンタクトプローブ400と同じであるが、湾曲部404bにひずみゲージ250を取り付けた点が異なる。スライド停止工程では、ひずみゲージ250により検出した湾曲部404bの押圧変形量が所定値に達したときに、固定手段252がプローブ移動手段50を制御し基体部402の位置を固定する。ひずみゲージを用いたスライド停止工程は、実施の形態4にて説明したので詳細な説明は省略する。
Claims (13)
- プローブが固定された基体部を、測定対象のパッドの方向に移動させ、前記プローブの先端の先端部を前記パッドに当てる工程と、
前記先端部が前記パッドに当たった状態で前記基体部を前記パッドの方向に押し付けて、前記プローブに形成された湾曲部を押圧変形し前記先端部が前記パッド上をスライドすることで、前記パッド上の自然酸化膜又は異物を除去し前記パッドに清浄部を形成する工程と、
前記基体部を前記パッド方向に押し付けて、前記湾曲部をさらに押圧変形し、前記清浄部に対し前記プローブに形成された平坦なコンタクト部を面接触させる工程と、
前記面接触を維持しつつ、前記先端部に前記スライド方向と反対方向の力を及ぼすことで前記先端部のスライドを停止させるスライド停止工程と、
前記スライド停止工程の後に、前記面接触を維持しつつ所定の電気特性を測定する工程と、を備え、
前記コンタクト部が前記清浄部に面接触しているときは、前記先端部は前記パッドから離れ、
前記スライド停止工程では、前記湾曲部の押圧変形が進むことにより、前記湾曲部から伸びる固定棒の先端が、前記先端部とともにスライドする前記コンタクト部に形成された凹部の底に当たることで、前記先端部のスライドを停止させることを特徴とする電気特性測定方法。 - 基体部と、
前記基体部に固定され、前記基体部側から順に、第1湾曲部、平坦な第1コンタクト部、及び先の尖った第1先端部を有する第1プローブと、
前記第1プローブと対向するように前記基体部に固定され、前記基体部側から順に、第2湾曲部、平坦な第2コンタクト部、及び先の尖った第2先端部を有する第2プローブと、
前記第1先端部と前記第2先端部の動きを止める停止手段と、を備え、
前記第1湾曲部と前記第2湾曲部は、測定対象の方向に押圧されることで前記第1先端部と前記第2先端部の距離を縮めるように押圧変形し、
前記停止手段により前記第1先端部と前記第2先端部の動きが止められているときは、前記第1先端部と前記第2先端部よりも前記第1コンタクト部と前記第2コンタクト部の方が前記基体部から離れ、
前記第1プローブと前記第2プローブは幅方向にずれて対向し、
前記基体部、前記第1プローブ、及び前記第2プローブは全体が同じ材料の1枚の金属板から形成され、
前記第1プローブは、前記基体部の表側に折り返して形成され、
前記第2プローブは、前記基体部の裏側に折り返して形成されたことを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記停止手段は、前記第1先端部と接触するように前記第2プローブに形成されたストッパであることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記停止手段は、前記第2先端部と接触するように前記第1プローブに形成された第1ストッパ、及び前記第1先端部と接触するように前記第2プローブに形成された第2ストッパであることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記停止手段は、
前記第1湾曲部に取り付けられたひずみゲージと、
前記ひずみゲージにより検出した前記第1湾曲部の押圧変形量が所定値に達したときに、前記基体部の位置を固定する手段と、を備えたことを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。 - 前記第1湾曲部には第1貫通孔と第2貫通孔が形成され、
前記ひずみゲージは、前記第1貫通孔と前記第2貫通孔に挟まれた場所に取り付けられたことを特徴とする、請求項5に記載のコンタクトプローブ。 - 前記停止手段は、
前記第1湾曲部に取り付けられた圧電素子と、
前記圧電素子により検出した前記第1湾曲部の押圧変形量が所定値に達したときに、前記基体部の位置を固定する手段と、を備えたことを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。 - 前記第1湾曲部には第1貫通孔と第2貫通孔が形成され、
前記圧電素子は、前記第1貫通孔と前記第2貫通孔に挟まれた場所に取り付けられたことを特徴とする、請求項7に記載のコンタクトプローブ。 - 前記第1湾曲部、及び前記第2湾曲部には、切り込み、薄厚部、又は貫通孔が形成されたことを特徴とする請求項2乃至8のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
- 基体部と、
前記基体部に固定され、前記基体部側から順に、湾曲部、平坦なコンタクト部、及び先端部を有するプローブと、
前記湾曲部の押圧変形量が所定値以上となったときに、前記先端部の動きを止めるように前記プローブの一部を加工して形成された固定棒と、
前記固定棒に当たり前記先端部の動きを止める固定部と、を備え、
前記固定棒により前記先端部の動きが止められているときは、前記先端部よりも前記コンタクト部の方が前記基体部から離れ、
前記固定部は、前記コンタクト部に形成された凹部であり、
前記湾曲部の押圧変形が進むと前記固定棒が前記凹部の底に当たることで前記先端部の動きを止めることを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記凹部の底に形成された絶縁膜を有することを特徴とする請求項10に記載のコンタクトプローブ。
- 前記固定棒は、前記固定棒の長手方向に沿って屈曲部を有することを特徴とする請求項10又は11に記載のコンタクトプローブ。
- 前記基体部、前記プローブ、前記固定棒、前記固定部は、全体が同じ材料の1枚の金属板から形成されたことを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載のコンタクトプローブ。
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