JP5832371B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
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Description
最初に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの構成について説明する。
コンタクトプローブ10は、1枚の金属板から構成されており、金属板の打ち抜き、切削、曲げ加工等の工程で作製される。これらの工程は容易であり、短時間で終了することができる。
図9を参照して、コンタクトプローブ10が被測定物14に向けて図中Z方向に下降すると、コンタクト部3の先端部30が被測定物14の表面に接する。被測定物14はたとえば半導体チップの電極パッドである。
図16を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例1では、曲げ部20の溝部20aは薄肉部20bを有している。軸部2の片側に溝部20aを形成することにより軸部2の厚みを減じて薄肉部20bが形成されているが、これに限るものではなく、軸部2の両側から軸部2の厚みを減じることにより薄肉部20bが形成されていてもよい。この変形例1でも軸部2が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。また、以下の変形例でも軸部2が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、曲げ部20は軸部2の一方端部2aから他方端部2bに延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部2の曲げ部20以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。これにより、コンタクト部3が被測定物の表面と接触すると曲げ部20で軸部2が屈曲することによってコンタクト部3が面内方向に回動することができる。そして、コンタクト部3が被測定物の表面に面接触することができる。このため、軸部2に曲げ部20が設けられた簡単な構造で、コンタクト部3を被測定物の表面に面接触させることにより被測定物の表面の損傷を抑制することができる。また、コンタクト部3が面内方向に回動するためゴミ、異物および自然酸化物等を効果的に除去することができる。このため、接触抵抗を低減することができる。よって、電流密度の増加を抑制することにより電気的に安定した接続を実現することができる。上記より測定の信頼度を向上することができる。また被測定物の歩留まりを向上することができる。
Claims (7)
- 基体部と、
一方端部と他方端部とを有し、前記一方端部において前記基体部に接続されており、かつ前記一方端部から前記他方端部までの途中位置に曲げ部を有する軸部と、
前記軸部に対して屈曲した状態で前記他方端部に接続されたコンタクト部とを備え、
前記曲げ部は、前記軸部の前記一方端部から前記他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ前記軸部の前記曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されており、
前記軸部が前記曲げ部で屈曲することにより、前記コンタクト部がねじれながら面内方向に回動する、コンタクトプローブ。 - 前記曲げ部は、溝部を含む、請求項1に記載のコンタクトプローブ。
- 前記曲げ部は、穴部を含む、請求項1または2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記コンタクト部は、先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部を含む、請求項1〜3のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記曲げ部の可動を制限するためのストッパ部をさらに備えた、請求項1〜4のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記軸部および前記コンタクト部の少なくともいずれかに設けられた放熱フィンをさらに備えた、請求項1〜5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
- 前記軸部およびコンタクト部は、1枚の導電性を有する金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されている、請求項1〜6のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
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