JP5748709B2 - プローブカード - Google Patents
プローブカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP5748709B2 JP5748709B2 JP2012127685A JP2012127685A JP5748709B2 JP 5748709 B2 JP5748709 B2 JP 5748709B2 JP 2012127685 A JP2012127685 A JP 2012127685A JP 2012127685 A JP2012127685 A JP 2012127685A JP 5748709 B2 JP5748709 B2 JP 5748709B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- probe
- locking
- probe card
- card according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
Description
まず、プローブカード1の構成について説明する。
図12は、本発明の実施の形態2によるプローブカード1の構成の一例を示す図である。また、図13は、図12に示すプローブカード1の側面図である。
図14は、本実施の形態3によるコンタクトプローブ2に設置された係止材6の形状を示す図である。また、図15は、図14に示す係止材6を設置するコンタクトプローブ2と相対するコンタクトプローブ2に設置された係止材6(以下、他の係止材6とも称する)の形状を示す図である。
Claims (12)
- プローブ基板と、
前記プローブ基板の絶縁性基体に配設された信号線に対して電気的に接続され、かつ前記絶縁性基体に固定された少なくとも1つ以上のコンタクトプローブと、
動作時に他の所定の部材と当接して前記コンタクトプローブの動作を抑制する少なくとも1つ以上の係止部を有し、前記コンタクトプローブの先端部近傍に設置された少なくとも1つ以上の係止材と、
を備え、
前記係止材は、少なくとも1つ以上の端面にフィン部を設けることを特徴とする、プローブカード。 - 前記所定の部材は、当該係止材が設置された前記コンタクトプローブとは異なる他のコンタクトプローブ、当該係止材とは異なる他の係止材、あるいは前記絶縁性基体を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記コンタクトプローブは、当該コンタクトプローブの軸部の前記先端部近傍に少なくとも1つ以上の段差部あるいは溝部を設け、
前記係止材は、前記段差部あるいは前記溝部を介して前記コンタクトプローブに設置されることを特徴とする、請求項1または2に記載のプローブカード。 - 前記コンタクトプローブは、当該コンタクトプローブの軸部に少なくとも1つ以上の湾曲部を設けることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、金属材料からなることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、少なくとも1つ以上の折り曲げ加工を施した折り曲げ部を有することを特徴とする、請求項1ないし5のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止部は、絶縁材料からなることを特徴とする、請求項1ないし6のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止部は、前記所定の部材と当接する面から露出するように形成された電気的な接点をさらに備え、
前記接点は、前記所定の部材に設けられた他の電気的な接点と接触可能であることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記係止部は、当接状態に応じて所定の信号を出力する信号出力手段をさらに備えることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、前記コンタクトプローブのうちの少なくとも2箇所に接触させて設置されることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、複数の前記コンタクトプローブに共通して設置されることを特徴とする、請求項1ないし10のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記プローブ基板は、前記コンタクトプローブの設置側に送風ファンをさらに備えることを特徴とする、請求項1ないし11のいずれかに記載のプローブカード。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012127685A JP5748709B2 (ja) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | プローブカード |
US13/783,081 US9157931B2 (en) | 2012-06-05 | 2013-03-01 | Probe card |
CN201310067334.6A CN103472270B (zh) | 2012-06-05 | 2013-03-04 | 探针板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012127685A JP5748709B2 (ja) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013253785A JP2013253785A (ja) | 2013-12-19 |
JP5748709B2 true JP5748709B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=49669446
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012127685A Active JP5748709B2 (ja) | 2012-06-05 | 2012-06-05 | プローブカード |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9157931B2 (ja) |
JP (1) | JP5748709B2 (ja) |
CN (1) | CN103472270B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5928203B2 (ja) * | 2012-07-10 | 2016-06-01 | 三菱電機株式会社 | 検査装置 |
JP2018031597A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | Koa株式会社 | プローブユニット |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03122370U (ja) * | 1990-03-26 | 1991-12-13 | ||
JPH05109847A (ja) | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Hitachi Ltd | 発熱体の冷却装置 |
CN2181697Y (zh) | 1993-06-26 | 1994-11-02 | 广州半导体材料研究所 | 多功能探针头 |
JPH11352151A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Mitsubishi Materials Corp | コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法 |
KR100343221B1 (ko) * | 1999-11-09 | 2002-07-10 | 윤종용 | 미세구조의 냉각핀을 가지는 냉각장치 |
US6811406B2 (en) * | 2001-04-12 | 2004-11-02 | Formfactor, Inc. | Microelectronic spring with additional protruding member |
JP3690658B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2005-08-31 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | ヒートシンク、冷却部材、半導体基板冷却装置、コンピュータ、および放熱方法 |
JP2003347370A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-05 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウエーハの評価装置及び評価方法 |
JP4448297B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2010-04-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置及び基板研磨方法 |
CN2677944Y (zh) | 2003-12-03 | 2005-02-09 | 陈嘉隆 | 检测电路板的治具 |
CN2684199Y (zh) | 2003-12-17 | 2005-03-09 | 谢天豪 | Cpu底座专用测试针 |
US8988091B2 (en) | 2004-05-21 | 2015-03-24 | Microprobe, Inc. | Multiple contact probes |
KR100626570B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2006-09-25 | 주식회사 파이컴 | 감지용 프로브를 포함하는 프로브 카드 제작 방법 및 그프로브 카드, 프로브카드 검사 시스템 |
JP2006329871A (ja) | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Seiko Epson Corp | プローブ検査方法、プローブ検査装置、および、被検査素子 |
JP3122370U (ja) | 2006-03-31 | 2006-06-08 | 有相 金 | 自動販売機の警報装置 |
US7495458B2 (en) * | 2006-05-17 | 2009-02-24 | Texas Instruments Incorporated | Probe card and temperature stabilizer for testing semiconductor devices |
TW200829922A (en) * | 2007-01-08 | 2008-07-16 | Microelectonics Technology Inc | High frequency probe |
US7595651B2 (en) * | 2007-02-13 | 2009-09-29 | Mpi Corporation | Cantilever-type probe card for high frequency application |
CN101315391B (zh) | 2007-05-28 | 2011-11-23 | 旺矽科技股份有限公司 | 拉伸式折叠探针 |
US8400178B2 (en) | 2009-04-29 | 2013-03-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and system of testing a semiconductor device |
-
2012
- 2012-06-05 JP JP2012127685A patent/JP5748709B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-01 US US13/783,081 patent/US9157931B2/en active Active
- 2013-03-04 CN CN201310067334.6A patent/CN103472270B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103472270B (zh) | 2016-08-03 |
CN103472270A (zh) | 2013-12-25 |
JP2013253785A (ja) | 2013-12-19 |
US9157931B2 (en) | 2015-10-13 |
US20130321019A1 (en) | 2013-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6890921B2 (ja) | プローブカード及び接触検査装置 | |
JP4833011B2 (ja) | 電気部品用ソケット | |
WO2013051675A1 (ja) | プローブユニット | |
JP2007017234A (ja) | 検査装置用ソケット | |
JP2017009449A (ja) | コンタクトプローブ型温度検出器、半導体装置の評価装置および半導体装置の評価方法 | |
JP5748709B2 (ja) | プローブカード | |
JP5928203B2 (ja) | 検査装置 | |
US9429593B2 (en) | Testing head for a test equipment of electronic devices | |
JP5334457B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4589952B2 (ja) | 電気接続部材、ic検査用ソケット | |
JP5673608B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2008111719A (ja) | コンタクトプローブ | |
KR101976028B1 (ko) | 탄성에 의해 완충작용을 수행하면서 쇼트 발생을 방지할 수 있는 반도체 소켓용 접촉핀 | |
JP4679059B2 (ja) | パワー半導体素子の試験装置およびこれを用いた試験方法 | |
JP6222271B2 (ja) | 検査装置 | |
JP5832371B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2015072182A (ja) | プローブカード | |
CN108231618A (zh) | 半导体装置的评价装置及使用了该评价装置的半导体装置的评价方法 | |
JP6373011B2 (ja) | プローブカード | |
JP2007141611A (ja) | 測定用ソケットおよび半導体装置の製造方法 | |
JP5016420B2 (ja) | プローブの交換方法及びプローブカード | |
KR200171483Y1 (ko) | 반도체소자 검사기의 소자방열장치 | |
JP2010245055A (ja) | 電気接続部材、ic検査用ソケット | |
JP2009025026A (ja) | 検査治具および検査治具の接続電極保持部の製造方法 | |
KR200171482Y1 (ko) | 반도체소자 검사기의 소자방열장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150414 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150512 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5748709 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |