JP2013253785A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるプローブカード1は、プローブ基板3と、プローブ基板3の絶縁性基体5に配設された信号線4に対して電気的に接続され、かつ絶縁性基体5に固定された少なくとも1つ以上のコンタクトプローブ2と、動作時に他の所定の部材と当接してコンタクトプローブ2の動作を抑制する少なくとも1つ以上の係止部12を有し、コンタクトプローブ2の先端部近傍に設置された少なくとも1つ以上の係止材6とを備える。
【選択図】図1
Description
まず、プローブカード1の構成について説明する。
図12は、本発明の実施の形態2によるプローブカード1の構成の一例を示す図である。また、図13は、図12に示すプローブカード1の側面図である。
図14は、本実施の形態3によるコンタクトプローブ2に設置された係止材6の形状を示す図である。また、図15は、図14に示す係止材6を設置するコンタクトプローブ2と相対するコンタクトプローブ2に設置された係止材6(以下、他の係止材6とも称する)の形状を示す図である。
Claims (13)
- プローブ基板と、
前記プローブ基板の絶縁性基体に配設された信号線に対して電気的に接続され、かつ前記絶縁性基体に固定された少なくとも1つ以上のコンタクトプローブと、
動作時に他の所定の部材と当接して前記コンタクトプローブの動作を抑制する少なくとも1つ以上の係止部を有し、前記コンタクトプローブの先端部近傍に設置された少なくとも1つ以上の係止材と、
を備える、プローブカード。 - 前記所定の部材は、当該係止材が設置された前記コンタクトプローブとは異なる他のコンタクトプローブ、当該係止材とは異なる他の係止材、あるいは前記絶縁性基体を含むことを特徴とする、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記コンタクトプローブは、当該コンタクトプローブの軸部の前記先端部近傍に少なくとも1つ以上の段差部あるいは溝部を設け、
前記係止材は、前記段差部あるいは前記溝部を介して前記コンタクトプローブに設置されることを特徴とする、請求項1または2に記載のプローブカード。 - 前記コンタクトプローブは、当該コンタクトプローブの軸部に少なくとも1つ以上の湾曲部を設けることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、金属材料からなることを特徴とする、請求項1ないし4のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、少なくとも1つ以上の折り曲げ加工を施した折り曲げ部を有することを特徴とする、請求項1ないし5のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止部は、絶縁材料からなることを特徴とする、請求項1ないし6のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止部は、前記所定の部材と当接する面から露出するように形成された電気的な接点をさらに備え、
前記接点は、前記所定の部材に設けられた他の電気的な接点と接触可能であることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記係止部は、当接状態に応じて所定の信号を出力する信号出力手段をさらに備えることを特徴とする、請求項1ないし7のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止部は、前記コンタクトプローブのうちの少なくとも2箇所に接触させて設置されることを特徴とする、請求項1ないし9のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、少なくとも1つ以上の側面にフィン部を設けることを特徴とする、請求項1ないし10のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記係止材は、複数の前記コンタクトプローブに共通して設置されることを特徴とする、請求項1ないし11のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記プローブ基板は、前記コンタクトプローブの設置側に送風ファンをさらに備えることを特徴とする、請求項1ないし12のいずれかに記載のプローブカード。
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