JP2010197306A - プローブカード、プローブカードの製造方法、プローバ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子デバイスの試験に使用するプローブカード10であって、基板11と、第1の熱膨張係数を有する第1の金属材料から構成され、基端部122が基板11に接合され、先端部121が電子デバイスの接続端子と接触するプローブ12と、基端部132が基板11に固定され、先端部131がプローブ12の基端部122とプローブ12の先端部121との中間部においてプローブ12と接触し、第1の熱膨張係数より大きい第2の熱膨張係数を有する第2の金属材料から構成される熱補償部材13と、を有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
また、第2の金属材料の第2の熱膨張係数は、第1の金属材料の第1の熱膨張係数の10倍より小さいことが好ましい。
さらに、プローブの先端部において、熱膨張による水平方向の位置ずれが±5μm以内であることが好ましい。
さらに、プローブがタングステンにより構成され、熱補償部材がアルミニウムにより構成されることが好ましい。
また、プローブは、基板に対し角度15°〜30°の範囲をなすように基板と接合することが好ましい。
さらに、プローブの基端部と熱補償部材の基端部との距離の異なる、2つの熱補償部材を交互に千鳥状に配列することが好ましい。
また、接着シールが両面テープであることが好ましい。
さらに、本発明が適用されるプローブカードの製造方法において、金属片固定工程を繰りかえし行い、複数の金属片の各々を交互に千鳥状に固定することが好ましい。
本発明のプローブカードの製造方法によれば、比較的簡便に広い温度範囲のウェーハ試験が可能なプローブカードが得られる。
図1は、ウェーハ試験装置の概略構成図である。図1に示すウェーハ試験装置100は、ウェーハ試験に使用するプローブカード10を取付けるプローバ30と、プローバ30からケーブル90を介して試験信号が送られるテスター80と、から構成されている。
プローバ30は、ウェーハ20を真空吸着するステージ40と、ステージ40をXYZ方向に移動するための駆動機構16と、プローブカード10をプローバ30の上部で固定する固定部材50と、プローブカード10に試験信号を供給するインターフェース60及びテスターヘッド70とを有している。図1に示すように、プローブカード10は、基板11が固定部材50により固定される。そして、基板11に取付けられた複数のプローブ12の先端がウェーハ20上の複数のチップ(電子デバイス;図示せず)のパッド(接続端子)にそれぞれ接触する。
ウェーハ試験中、プローブ12はステージ40の設定温度になり、初期状態に比べ温度変化に応じて伸縮する。このため、プローブ12の先端位置はチップのパッド中心からずれる。後述するように、例えば、125℃程度の高温試験ではプローブ12の先端位置が降下する。この場合、ステージ40の高さはプローブ12の先端位置が降下する長さを補正するように低く設定される。また、25℃程度の低温試験ではプローブ12の先端位置は上昇する。この場合、ステージ40の高さはプローブ12の先端位置が上昇する長さを補正するように高く設定される。
図2は、本実施の形態が適用されるプローブカード10の構造を説明する図である。図2には、ステージ40上に真空吸着により固定されたウェーハ20の試験を行うプローブカード10が示されている。
図2に示すように、プローブカード10は、固定部111をネジ止めにより前述したプローバ30(図1参照)に固定される基板11と、基端部122が半田14により基板11に接合され、カギ状の先端部121がチップ(図示せず)の接続端子と接触するプローブ12と、基端部132が基板11に固定され、先端部131がプローブ12の基端部122と先端部121との中間部においてプローブ12と接触する熱補償部材13と、から構成されている。
プローブ12は、半田14により基板11に対し一定の角度θをなすように取付けられ、基板11に設けられた伝送線路(図示せず)と電気的に接続している。プローブ12の基板11に対する角度θは特に限定されず、本実施の形態では、10°〜30°の範囲で適宜選択される。
プローブ12を構成する金属材料の熱膨張係数が過度に大きいと、位置補正機能の効果が低減する可能性がある。
プローブ12の長さは特に限定されず、本実施の形態では、15mm〜50mmの範囲で適宜選択される。また、本実施の形態では、プローブ12にタングステン(熱膨張係数:4.5ppm/K)を使用している。前述したように、タングステン製のプローブ12の長さが20mmであれば、試験温度が100℃上昇した場合、熱膨張によるプローブ12の長さ変化は約13.5μm程度である。
第1の熱膨張係数と第2の熱膨張係数との関係は特に限定されないが、本実施の形態では、第2の熱膨張係数は、通常、第1の熱膨張係数の3倍以上、好ましくは4倍以上、より好ましくは5倍以上、さらに好ましくは6倍以上の大きさを有することが必要である。
具体的には、熱補償部材13は、熱膨張係数が、18ppm/K以上、好ましくは、23ppm/K以上、さらに好ましくは28ppm/K以上である金属材料が使用される。第2の熱膨張係数が過度に小さいと、位置補正機能の効果が低減する可能性がある。
熱補償部材13を構成する金属材料のヤング率が過度に低いと、プローブ12が熱補償
部13に沈み込み位置補正機能の効果が低減する可能性がある。
また、熱補償部材13の基端部132は、接着剤等により基板11に固定されている。基端部132が基板11に固定される位置は特に限定されず、熱補償部材13の先端部131が、プローブ12の基端部122と先端部121との中間部において、プローブ12と接触するように、適宜選択される。
図3は、ウェーハ試験を高温で行う際のプローブカード10を説明する図である。図2と同様な構成には同じ符号を用い、その説明を省略する。
図3に示すように、ウェーハ20の試験温度が125℃程度の高温の場合、熱補償部材13は熱膨張によりその長さが増大する。このとき、熱補償部材13は基板11に固定された基端部132を支点とし、先端部131がプローブ12を下方(矢印B方向)に押し下げる。これにより、プローブ12は、基端部122を支点とし、先端部121が下方(矢印A方向)に押し下げられ、ウェーハ20上のチップ(図示せず)の接続端子と接触する。
図4(a)に示すように、熱補償部材13をプローブ12の基端部122の近傍に固定すると、熱膨張する熱補償部材13の矢印B方向へのわずかな長さの増大により、プローブ12の先端部121を下方(矢印A方向)に大きく押し下げる。
図5は、プローブカード10の製造方法の1例を説明する図である。先ず、図5(a)に示すように、熱補償部材13(図2参照)を構成する熱膨張係数が20ppm/K以上の金属材料からなる金属棒130を用意する。金属棒130を絶縁処理した後、接着シール133を貼付し、図5(b)に示すように、表面に接着シール133を貼付した金属棒130を調製する。接着シール133としては、例えば、両面接着シールが好ましい。
図6(a)に示すように、ボンディングパッド210は、金線(図示せず)が接合されるボンディング用スペース211と、ウェーハ試験の際にプローブカード10のプローブ12(図示せず)の先端が接触するプロービング用スペース212と、を有している。ボンディング用スペース211とプロービング用スペース212との境界には50μmノッチ214が形成されている。プロービング用スペース212の中央部分には、プローブ12先端の接触により生じるプローブ痕213が示されている。
本実施の形態では、プロービング用スペース212の長さは50μmであり、これは、プローブ痕213の許容範囲を示している。
このとき、プローブ12がプロービング用スペース212に接触するプローブ12先端の位置は、10μm程度の余裕を見て、プロービング用スペース212における目標幅Nを40μmに設定すると、試験温度によるプローブ先端の位置ずれの許容範囲は5μm程度に抑え込む必要があることが分かる(40μm−30μm−5μm=5μm)。
図7(a)に示すように、長さLを有するプローブ12は、基板11に対し一定の角度θをなして基端部122が基板11に接合している。本実施の形態では、プローブ12はタングステン(第1の金属材料)を用いて形成されている。タングステンの熱膨張係数(第1の熱膨張係数)は、4.5ppm/Kである。
熱補償部材13は、プローブ12の基端部122が基板11と接合する位置から長さPの位置で基板11に固定され、先端部131がプローブ12と接触している。また、熱補償部材13は、プローブ12を構成するタングステン(第1の金属材料)の熱膨張係数(第1の熱膨張係数:4.5ppm/K)に対し、X倍の大きさの熱膨張係数(第2の熱膨張係数)を有する金属材料(第2の金属材料)から構成されている。尚、熱補償部材13の先端部131は、球面形状に形成されている。
以下、図7において、プローブ長L、プローブ角度θ、熱補償部材13のプローブ12の基端部122からの長さP、プローブ12の熱膨張係数と熱補償部材13の熱膨張係数の比を変化させたシミュレーションを行い、本発明の有効範囲を解析した結果について説明する。
図8は、プローブ12にタングステン、熱補償部材13にアルミニウムを使用した場合のプローブ12の長さL、プローブ12の接合の角度θと、プローブ12の先端部121の位置ズレΔをシミュレーションにより解析した結果を示す。
図8(b)に示す解析の結果、角度θが25°の場合、プローブ12の長さLに関係なく位置ズレΔが一定となり、位置ズレ許容範囲(±5μm)を満たすことが分かる。また、角度θが25°以下の場合、許容範囲を満たすプローブ12の長さは短くなることが分かる。
図9(a)に示すように、プローブ12の接合の角度θは、15°,20°,25°とした。プローブ12の基端部122から熱補償部材13の接合する位置までの長さPは、18mmである。
図9(b)に示すように、プローブ12にタングステン(熱膨張係数4.3ppm/K)を用い、熱補償部材13にアルミニウムを用いた場合の熱膨張係数の比は5.13である。これは、プローブ12の接合の角度θは、15°から25°の範囲で、位置ズレ許容範囲(±5μm)を満たすことが分かる。この結果から、タングステンとアルミニウムの組み合わせが現実的で最適な選択であることが分かる。
図10(a)に示すように、プローブ12の接合の角度θは、15°,20°,25°とした。プローブ12の基端部122から熱補償部材13の接合する位置までの長さPは、10mm,20mmとした。
図10(b)に示すように、プローブ12の基端部122から熱補償部材13の接合する位置までの長さPが10mmの場合、プローブ12の先端部121の位置ズレΔは1.5μm以下である。これにより、プローブ12の接合の角度θが一定になるように熱補償部材13の高さを形成すれば、例えば、長さP=10mmの範囲で、熱補償部材13の設置が可能となることが分かる。
Claims (14)
- 電子デバイスの試験に使用するプローブカードであって、
基板と、
第1の熱膨張係数を有する第1の金属材料から構成され、基端部が前記基板に接合され、先端部が電子デバイスの接続端子と接触するプローブと、
基端部が前記基板に固定され、先端部が前記プローブの基端部と当該プローブの先端部との中間部において当該プローブと接触し、前記第1の熱膨張係数より大きい第2の熱膨張係数を有する第2の金属材料から構成される熱補償部材と、
を有することを特徴とするプローブカード。 - 前記熱補償部材は、温度の上昇により前記プローブの先端位置を下方に押し下げるように熱膨張し、当該プローブの熱膨張による水平方向の位置ずれを補償することを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記第2の金属材料の第2の熱膨張係数は、前記第1の金属材料の第1の熱膨張係数より3倍以上大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記第2の金属材料の第2の熱膨張係数は、前記第1の金属材料の第1の熱膨張係数の10倍より小さいことを特徴とする請求項3に記載のプローブカード。
- 前記プローブの先端部において、熱膨張による水平方向の位置ずれが±5μm以内であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 前記熱補償部材の先端部は、前記プローブが接線として当該熱補償部材の先端部に接触するように球面形状を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 前記プローブがタングステンにより構成され、前記熱補償部材がアルミニウムにより構成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 前記プローブは、前記基板に対し角度15°〜30°の範囲をなすように当該基板と接合することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 前記プローブの基端部と前記熱補償部材の基端部との距離の異なる、2つの熱補償部材を交互に千鳥状に配列することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプローブカード。
- 基板と当該基板に接合したプローブを有するプローブカードの製造方法であって、
金属材料からなる金属棒に絶縁処理を施す絶縁処理工程と、
前記絶縁処理工程において絶縁処理を施された前記金属棒の表面に接着シールを貼着するシール貼着工程と、
前記シール貼着工程において接着シールが貼着された前記金属棒を、当該接着シールを残し複数の金属片に切断する切断工程と、
前記切断工程において切断された複数の前記金属片を基板上に固定する金属片固定工程と、
前記金属片固定工程により前記基板上に固定された前記金属片と接触するように、当該金属片の熱膨張係数に対し(1/3)以下の熱膨張係数を有する金属材料からなるプローブを当該基板に接合するプローブ接合工程と、
を有することを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 前記金属棒がアルミニウムからなることを特徴とする請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記接着シールが両面テープであることを特徴とする請求項10又は11に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記金属片固定工程を繰りかえし行い、前記複数の金属片の各々を交互に千鳥状に固定することを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載のプローブカードの製造方法。
- 電子デバイスを試験するためのプローバ装置であって、
請求項1乃至9のいずれか1項に記載のプローブカードと、
半導体ウェーハを搭載するステージと、
前記ステージをXYZ方向に移動するための駆動機構と、
を含むことを特徴とするプローバ装置。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106338625B (zh) * | 2015-07-06 | 2019-07-26 | 创意电子股份有限公司 | 探针卡 |
TWI664130B (zh) * | 2016-01-29 | 2019-07-01 | 旺矽科技股份有限公司 | 晶圓匣 |
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CN110954722B (zh) * | 2018-09-27 | 2023-12-26 | 长鑫存储技术有限公司 | 探针卡及利用探针卡实现探针位置调整的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0511018A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-19 | Fujitsu Ltd | プローブカード |
JPH09133710A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置検査用治具 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5323107A (en) * | 1991-04-15 | 1994-06-21 | Hitachi America, Ltd. | Active probe card |
JPH06174746A (ja) | 1992-12-07 | 1994-06-24 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | 耐温プローブカード |
US7063541B2 (en) * | 1997-03-17 | 2006-06-20 | Formfactor, Inc. | Composite microelectronic spring structure and method for making same |
US6255126B1 (en) * | 1998-12-02 | 2001-07-03 | Formfactor, Inc. | Lithographic contact elements |
US7265565B2 (en) * | 2003-02-04 | 2007-09-04 | Microfabrica Inc. | Cantilever microprobes for contacting electronic components and methods for making such probes |
JP2004045285A (ja) | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Advantest Corp | プローブピン、プローブカード、試験装置、及びプローブピン製造方法 |
KR100788208B1 (ko) * | 2005-03-08 | 2007-12-26 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 접속핀의 형성 방법, 프로브, 접속핀, 프로브 카드 및프로브의 제조 방법 |
US20070089551A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-26 | Sv Probe Ptd. Ltd. | Cantilever probe structure for a probe card assembly |
US7368929B2 (en) * | 2006-01-18 | 2008-05-06 | Electroglas, Inc. | Methods and apparatuses for improved positioning in a probing system |
US7782072B2 (en) * | 2006-09-27 | 2010-08-24 | Formfactor, Inc. | Single support structure probe group with staggered mounting pattern |
JP2009044561A (ja) | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Alps Electric Co Ltd | アンテナ整合回路 |
US7589547B2 (en) * | 2007-09-13 | 2009-09-15 | Touchdown Technologies, Inc. | Forked probe for testing semiconductor devices |
-
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2010
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0511018A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-19 | Fujitsu Ltd | プローブカード |
JPH09133710A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置検査用治具 |
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