JP2013238443A - コンタクトプローブ - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造で、被測定物の表面の損傷を抑制することができ、かつ接触抵抗を低減することができるコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】コンタクトプローブ１０は基体部１と、一方端部２ａと他方端部２ｂとを有し、一方端部２ａにおいて基体部１に接続されており、かつ一方端部２ａから他方端部２ｂまでの途中位置に曲げ部２０を有する軸部２と、軸部２に対して屈曲した状態で他方端部２ｂに接続されたコンタクト部３とを備えている。曲げ部２０は、軸部２の一方端部２ａから他方端部２ｂに延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部２の曲げ部２０以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気的特性を測定する際に用いられるコンタクトプローブに関するものである。

半導体チップなどの電気的特性を測定する際にコンタクトプローブが用いられる。半導体チップの表面には外部との接続パッドが設けられている。コンタクトプローブは接続パッドに当接することにより半導体チップと電気的に接続される。コンタクトプローブを介して半導体チップの電気的特性が測定される。

従来のコンタクトプローブとしては、コイル状のバネにより針状の先端部が一軸方向に摺動可動に構成されたものが一般的である。たとえば特開平７−２４４０７２号公報（特許文献１）には、このように構成されたコンタクトプローブが開示されている。

また、被測定物上のゴミおよび異物、さらには自然酸化膜を取り除くことが可能なコンタクトプローブが開示されている。このようなコンタクトプローブとして、たとえば特開２００９−１１５６５９号公報（特許文献２）および特開平１０−６２４５２号公報（特許文献３）には、コンタクトプローブ先端のコンタクト部分が回転運動を伴って被測定物に接触するように構成されたものが開示されている。

また、特開２００９−２０６２７２号公報（特許文献４）および特開２００８−２０３０８４号公報（特許文献５）には、コンタクトプローブと被測定物とが接触するときに、被測定物側、つまり電気的特性を計測する装置側を振動あるいは移動するように構成されたものが開示されている。

特開平７−２４４０７２号公報 特開２００９−１１５６５９号公報 特開平１０−６２４５２号公報 特開２００９−２０６２７２号公報 特開２００８−２０３０８４号公報

しかしながら、上記の特開平７−２４４０７２号公報に開示されたような従来のコイル状のバネを備えたコンタクトプローブは部品点数が多いため構造が複雑である。したがって、低コスト化および製造工程の容易化が困難である。また、針状の先端部が一軸方向に可動するため、先端部と被測定物の表面との接触時の圧力によっては被測定物の表面に損傷が発生するおそれがある。また、針状の先端部が一軸方向にのみ可動するため、被測定物上のゴミ、半田フラックス等の異物および測定時の外乱要因のひとつである自然酸化膜の効果的な除去が困難である。ゴミ、異物および自然酸化膜の除去が不十分である場合には接触抵抗が増大する。

上記の特開２００９−１１５６５９号公報および特開平１０−６２４５２号公報に開示されたコンタクトプローブは部品点数が多いため構造が複雑である。また、上記の特開２００９−２０６２７２号公報および特開２００８−２０３０８４号公報に開示されたコンタクトプローブは、被測定物との接触時におけるコンタクトプローブの駆動制御が複雑である。さらに装置の構造が複雑である。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な構造で、被測定物の表面の損傷を抑制することができ、かつ接触抵抗を低減することができるコンタクトプローブを提供することである。

本発明のコンタクトプローブは基体部と、一方端部と他方端部とを有し、一方端部において基体部に接続されており、かつ一方端部から他方端部までの途中位置に曲げ部を有する軸部と、軸部に対して屈曲した状態で他方端部に接続されたコンタクト部とを備えている。曲げ部は、軸部の一方端部から他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。

本発明のコンタクトプローブによれば、曲げ部は軸部の一方端部から他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。これにより、コンタクト部が被測定物の表面と接触すると曲げ部で軸部が屈曲することによってコンタクト部が面内方向に回動することができる。そして、コンタクト部が被測定物の表面に面接触することができる。このため、軸部に曲げ部が設けられた簡単な構造で、コンタクト部を被測定物の表面に面接触させることにより被測定物の表面の損傷を抑制することができる。また、コンタクト部が面内方向に回動するためゴミ、異物および自然酸化物等を効果的に除去することができる。このため、接触抵抗を低減することができる。

本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの基体部および取付け部の概略上面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの取付け部にプローブ支持部が取付けられた状態を示すコンタクトプローブの基体部および取付け部の概略上面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブがプローブ支持部に取付けられた測定装置の概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略展開図である。 図６に示すコンタクトプローブの概略側面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの製造方法の一工程を示す概略側面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブの先端部が被測定物の表面に接した状態を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブの軸部が曲げ部で屈曲した状態を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブのコンタクト部が被測定物の表面に面接触した状態を示す概略正面図である。 図９に示すコンタクトプローブのコンタクト部の概略上面図である。 図１０に示すコンタクトプローブのコンタクト部の概略上面図である。 図１１に示すコンタクトプローブにコンタクト部の概略上面図である。 図１２〜図１４に示すコンタクト部を重ね合わせた図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例１を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例２を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例３を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例４を示す概略斜視図である。 本発明の一実地の形態におけるコンタクトプローブの変形例５を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例６のコンタクト部の概略上面図である。

以下、本発明の一実施の形態について図に基づいて説明する。
最初に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの構成について説明する。

図１および図２を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０は、半導体チップなどの被測定物の電気的特性を測定するためのものである。コンタクトプローブ１０は、基体部１と、軸部２と、コンタクト部３と、取付け部４と、ストッパ部５とを主に有している。

基体部１の下側に軸部２およびストッパ部５がそれぞれ設けられており、基体部１の上側に取付け部４が設けられている。軸部２は基体部１の一方側に配置されている。軸部２は一方端部２ａと他方端部２ｂとを有しており、一方端部２ａにおいて基体部１に接続されている。軸部２は、一方端部２ａから他方端部２ｂまでの途中位置に曲げ部２０を有している。

曲げ部２０は、軸部２の一方端部２ａから他方端部２ｂに延びる方向と交差する方向に形成されている。曲げ部２０は軸部２の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。曲げ部２０は、コンタクト部３が被測定物に接触した後に軸部２が一定の方向に屈曲するように構成されている。

曲げ部２０は、軸部２の一方端部２ａから他方端部２ｂに延びる方向（長軸方向）に対して所定の角度で形成されている。この所定の角度とは、９０°より小さい角度であることが好ましい。所定の角度が９０°のとき、曲げ部２０は図中Ｙ軸と平行となり、長軸方向に対して直角となる。そして、曲げ部２０の長さ寸法は最小となる。所定の角度を９０°より小さい角度とすることで、曲げ部２０の長さ寸法をより長くすることができ、屈曲部分を拡大することができる。屈曲部分を拡大することで、屈曲部分の耐久性が向上する。また、先端部３０の稼動距離を長くすることができるため、ゴミ、異物および自然酸化膜の除去の効果が向上する。なお、図２では、上記所定の角度は約４５°で示されている。

曲げ部２０は溝部２０ａを有している。溝部２０ａは軸部２の外周面に設けられている。なお、溝部２０ａは、軸部２の外周面に限らず、内周面に設けられていてもよく、また溝部２０ａの外周面および内周面の両方に設けられていてもよい。

また、曲げ部２０は１つに限られず複数設けられていてもよい。曲げ部２０の形状としては、１つの溝部（切り込みカット部）２０ａが設けられた構成に限定されず、複数の溝部２０ａが設けられていてもよい。

コンタクト部３は軸部２に対して屈曲した状態で軸部２の他方端部２ｂに接続されている。コンタクト部３は軸部２の内周面側に屈曲している。コンタクト部３と軸部２との境界は、曲げ部２０との距離がコンタクトプローブ１０の前方に向かって小さくなるように形成されている。コンタクト部３は、被測定物と面接触可能な略平面状のコンタクト面３ａを有している。

コンタクト部３は先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部３０を有している。先端部３０はコンタクト部３はコンタクト面３ａに対して所定の角度で折れ曲がるように形成されている。先端部３０はコンタクト部３が被測定物に面接触した際にコンタクト面３ａから上方に向かって延びるように形成されている。先端部３０は、自然酸化膜を除去および剥離可能であれば、たとえばやすり状の表面でこすることができるように構成されていてもよい。

取付け部４はコンタクトプローブ１０を測定装置に取付けるための部分である。取付け部４は基体部１に連続的に形成されている。取付け部４は基体部１の上側を囲むように形成されている。

ストッパ部５は基体部１の他方側に配置されている。ストッパ部５は曲げ部２０の可動を制限するためのものである。ストッパ部５は、被測定物とコンタクト面３ａとの接触以後に被測定物に当接して曲げ部２０の可動を抑制するように構成されている。

ストッパ部５は、ストッパ軸５ａ、ストッパ部材５ｂ、ストッパ面５ｃを有している。ストッパ軸５ａは基体部１の下側に延びるように形成されている。ストッパ軸５ａの先端にストッパ部材５ｂが設けられている。ストッパ部材５ｂは、被測定物と面接触可能な略平面状のストッパ面５ｃを有している。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０では、軸部２およびコンタクト部３は、１枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されていてもよい。さらに、軸部２およびコンタクト部３に加えて、取付け部４およびストッパ部５も１枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されていてもよい。

コンタクトプローブ１０の寸法の一例について説明する。コンタクト面３ａの寸法は、たとえば半導体チップの電極パッドなどの被測定物の寸法ならびにコンタクトプローブ１０に印加される電流値によって決定される。パワー半導体のように電極パッドの寸法が、たとえば縦１５ｍｍ×横１５ｍｍと大きく、かつ数百Ａ（アンペア）相当の電流が印加される場合は、コンタクト面３ａの寸法は、たとえば縦５ｍｍ×横３ｍｍとされ得る。そして、コンタクトプローブ１０の全長は３５ｍｍ程度とされ得る。

あるいはこれよりも小さいコンタクト面３ａを有する複数のコンタクトプローブ１０が電極パッドに接してもよい。なお、コンタクトプローブ１０の寸法は上述の寸法に限られない。パワー半導体でない、小さい電極パッドを有する半導体に適用されるコンタクトプローブ１０は、上述よりも小さいコンタクト面３ａを有していてもよい。

続いて、本実施の形態のコンタクトプローブ１０が測定装置に取付けられる様子について説明する。図３および図４を参照して、取付け部４の内周側に可動性のプローブ支持部１１が挿入され、取付け部４がプローブ支持部１１に、たとえばねじ１２により取付けられる。なお、説明の便宜のため、プローブ支持部１１の取付け部４に挿入された部分以外は図示されていない。また、取付け部４はプローブ支持部１１にカシメ加工により取付けられてもよい。なお、より確実に電気的に接続するために、ねじ止めまたはカシメなどだけでなく、さらに半田付けまたは溶接などにより接続されていてもよい。

図４および図５を参照して、取付け部４は測定装置のケーブル１３と電気的に接続されている。この測定装置のプローブ支持部１１は３次元的に可動可能に構成されている。このため、被測定物１４としてたとえば半導体チップが形成された半導体ウエハ内の電極パッドにコンタクトプローブ１０のコンタクト部３を接触させることができる。これにより、測定装置はコンタクトプローブ１０を介して半導体チップの電気的特性を測定することができる。なお、取付け部４は測定装置の電極部に電気的に接続されていてもよい。また、複数のコンタクトプローブ１０が絶縁性の基台に接続されて、プローブカードが構成されてもよい。

次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの製造方法について説明する。
コンタクトプローブ１０は、１枚の金属板から構成されており、金属板の打ち抜き、切削、曲げ加工等の工程で作製される。これらの工程は容易であり、短時間で終了することができる。

図６および図７を参照して、１枚の平面状の導電性を有する金属板が打ち抜き加工および切削加工される。この金属板が折り曲げ加工されることによりコンタクトプローブ１０が作製される。金属板の材質は、導電性が高くバネ性の高いベリリウム鋼であることが望ましいがこれに限定されない。

曲げ部２０の溝部２０ａはコンタクトプローブ１０の全体の折り曲げ加工前に切削加工等により形成される。また、コンタクトプローブ１０の全体の折り曲げ加工前に、コンタクト部３の先端部３０のテーパー形状が切削加工等により形成され、さらに先端部３０には曲げ加工が施される。

続いて、図８を参照して、軸部２とコンタクト部３との境界においてコンタクト部３が屈曲するように曲げ加工が施される。また、軸部２が一方端部２ａで斜め形状となるように曲げ加工が施される。ストッパ軸５ａとストッパ部材５ｂとの境界においてストッパ部材５ｂが屈曲するように曲げ加工が施される。ストッパ軸５ａが斜め形状となるように曲げ加工が施される。

さらに軸部２、取付け部４およびストッパ部５のそれぞれと基体部１との接続部に曲げ加工が施される。これにより、図１および図２に示されるコンタクトプローブ１０が完成する。

次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの動作について説明する。
図９を参照して、コンタクトプローブ１０が被測定物１４に向けて図中Ｚ方向に下降すると、コンタクト部３の先端部３０が被測定物１４の表面に接する。被測定物１４はたとえば半導体チップの電極パッドである。

図１０を参照して、コンタクト部３の先端部３０が被測定物１４の表面に接した後、コンタクトプローブ１０が下降すると、軸部２が曲げ部２０で屈曲することによりコンタクト部３が回動する。このため、先端部３０は、被測定物１４の表面上に付着したゴミ、異物をすくい取ることができる。また先端部３０は被測定物１４の表面の自然酸化膜を削り取ることができる。

図１１を参照して、さらにコンタクトプローブ１０が下降すると、コンタクト面３ａが被測定物１４の表面と面接触する。そして軸部２に相対して設置されたストッパ部５のストッパ面５ｃが被測定物１４の表面と当接する。これにより、コンタクトプローブ１０の下降が終了する。そのため、さらなる曲げ部２０の可動は制限される。このため、コンタクト部３の回動が制限される。

この状態で、コンタクトプローブ１０を介して被測定物１４に電流が印加され、被測定物１４の電気的特性が測定される。電流は基体部１に印加された後、分流して軸部２を経由してコンタクト面３ａから被測定物１４に印加されるとともに、ストッパ軸５ａを経由してストッパ面５ｃから被測定物１４に印加される。分流比を適切にするため、つまりコンタクト面３ａに多くの電流を流すために、ストッパ軸５ａは断面積が小さくなるように構成されていることが好ましい。

図１２〜図１５を参照して、コンタクトプローブ１０が下降して、被測定物１４の表面に接すると、軸部２が曲げ部２０で屈曲することにより、コンタクト部３がねじれながら面内方向に回動する。このため、コンタクト部３の先端部３０によって被測定物１４の表面上に付着したゴミ、異物および自然酸化膜が取り除かれる。また、コンタクト部３のコンタクト面３ａが面内方向（図中Ｘ−Ｙ平面方向）に回動することによっても被測定物１４の表面上に付着したゴミ、異物および自然酸化膜が取り除かれる。

次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの変形例について説明する。
図１６を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０の変形例１では、曲げ部２０の溝部２０ａは薄肉部２０ｂを有している。軸部２の片側に溝部２０ａを形成することにより軸部２の厚みを減じて薄肉部２０ｂが形成されているが、これに限るものではなく、軸部２の両側から軸部２の厚みを減じることにより薄肉部２０ｂが形成されていてもよい。この変形例１でも軸部２が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。また、以下の変形例でも軸部２が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。

図１７を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０の変形例２では、曲げ部２０は穴部２０ｃを有している。穴部２０ｃは薄肉部２０ｂを貫通するように形成されている。なお、穴部２０ｃは貫通穴に限定されず繰り抜かれた穴であってもよい。この変形例２では薄肉部２０ｂに加えて複数の略円形状の穴部２０ｃが形成されているが、これに限るものではなく、穴部２０ｃのみが形成されていてもよい。

また、穴部２０ｃの形状および個数は、被測定物に加わる圧力に応じて調整することが好ましい。また、穴部２０ｃの形状は楕円状であってもよい。低圧力でコンタクト面３ａを被測定物の表面に当接させる場合には、穴部２０ｃの面積の拡大、また穴部２０ｃの個数の増加により、曲げ部２０の剛性を低下させるとよい。

図１８を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０の変形例３では、曲げ部２０にひずみゲージ１６が設けられている。ひずみゲージ１６はコンタクトプローブ１０が被測定物に接触する際、実際に屈曲する部位に設置されることが望ましい。この変形例３では、ひずみゲージ１６の出力を基に、被測定物に加わる圧力が調整可能である。このため、機械的なストッパ部５のみにより被測定物に加わる過大な圧力を防止するのではなく、電気的な信号によっても過大な圧力を防止することができる。

また、図１８では、複数の略円形状の穴部２０ｃとひずみゲージ１６とが設置されているが、これに限るものではなく、変形例１の薄肉部２０ｂとひずみゲージ１６とが設置されていてもよい。また、複数のひずみゲージ１６が設置されて、出力信号が合成されるように構成されていてもよい。

なお、ひずみゲージ１６が設置された場合、ストッパ部５は必ずしも必要ではないため、ストッパ部５は形成されていなくてもよい。

また、ひずみゲージ１６に代えて、たとえば圧電素子が用いられてもよい。素子は、ひずみゲージ１６に限定されず、曲げ部２０の屈折度合いに応じて信号を発生するものであればよい。圧電素子が用いられた場合、コンタクトプローブ１０および被測定物の非接触時に圧電素子に信号が印加され、圧電素子が駆動振動されて、先端部３０およびその近傍に付着したゴミ、異物等が振動により除去される工程が設けられてもよい。被測定物から離れた位置で、この付着物の除去工程を設けることで、付着物の被測定物への再付着を抑制することが可能となる。

図１９を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブの変形例４では、穴部２０ｃは楕円形状に形成されている点で変形例３と異なっている。穴部２０ｃの形状は楕円状であってもよい。

図２０を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０の変形例５では、放熱フィン１７が設けられている。放熱フィン１７は電流印加時のコンタクトプローブ１０の発熱の放散を促進するためのものである。放熱フィン１７は複数設けられていてもよい。放熱フィン１７は軸部２およびコンタクト部３の少なくともいずれかに設けられていればよい。また、放熱フィン１７は、ストッパ軸５ａ、ストッパ部材５ｂなどにも設けられていてもよい。

図２１を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ１０の変形例６では、コンタクト部３の先端部３０が複数設けられている。先端部３０が複数設けられることによりゴミ、異物および自然酸化膜を効率的に取り除くことができる。

次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの作用効果について説明する。
本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、曲げ部２０は軸部２の一方端部２ａから他方端部２ｂに延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部２の曲げ部２０以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。これにより、コンタクト部３が被測定物の表面と接触すると曲げ部２０で軸部２が屈曲することによってコンタクト部３が面内方向に回動することができる。そして、コンタクト部３が被測定物の表面に面接触することができる。このため、軸部２に曲げ部２０が設けられた簡単な構造で、コンタクト部３を被測定物の表面に面接触させることにより被測定物の表面の損傷を抑制することができる。また、コンタクト部３が面内方向に回動するためゴミ、異物および自然酸化物等を効果的に除去することができる。このため、接触抵抗を低減することができる。よって、電流密度の増加を抑制することにより電気的に安定した接続を実現することができる。上記より測定の信頼度を向上することができる。また被測定物の歩留まりを向上することができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、曲げ部２０は溝部２０ａを含んでいるため、溝部２０ａにより曲げ部２０を軸部２の曲げ部２０以外の部分よりも剛性が低くなるように形成することができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、曲げ部２０は穴部２０ｃを含んでいるため、穴部２０ｃにより曲げ部２０を軸部２の曲げ部２０以外の部分よりも剛性が低くなるように形成することができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、コンタクト部３は先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部３０を含んでいる。このため、先端部３０により被測定物１４の表面上に付着したゴミ、異物をすくい取ることができる。また、先端部３０により被測定物１４の表面の自然酸化膜を削り取ることができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、曲げ部２０の可動を制限するためのストッパ部５を備えているため、ストッパ部５が曲げ部２０の可動を制限することによりコンタクト部３の回動を制限することができる。このため、コンタクト部３による過大な圧力を回避することにより被測定物の損傷を抑制することができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、軸部２およびコンタクト部３の少なくともいずれかに設けられた放熱フィン１７を備えているため、放熱フィン１７によりコンタクトプローブ１０の熱の放熱を促進することができる。

本実施の形態のコンタクトプローブ１０によれば、軸部２およびコンタクト部３は一枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されているため、コンタクトプローブ１０の作製工程が容易である。よって、量産性が高いため、低コスト化およびコンタクトプローブ１０の歩留まりを向上することができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 基体部、２ 軸部、２ａ 一方端部、２ｂ 他方端部、３ コンタクト部、３ａ コンタクト面、４ 取付け部、５ ストッパ部、５ａ ストッパ軸、５ｂ ストッパ部材、５ｃ ストッパ面、１０ コンタクトプローブ、１１ プローブ支持部、３０ 先端部、１２ ねじ、１３ ケーブル、１４ 被測定物、１６ ひずみゲージ、１７ フィン部、２０ａ 溝部、２０ｂ 薄肉部、２０ｃ 穴部。

Claims (7)

1. 基体部と、
   一方端部と他方端部とを有し、前記一方端部において前記基体部に接続されており、かつ前記一方端部から前記他方端部までの途中位置に曲げ部を有する軸部と、
   前記軸部に対して屈曲した状態で前記他方端部に接続されたコンタクト部とを備え、
   前記曲げ部は、前記軸部の前記一方端部から前記他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ前記軸部の前記曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている、コンタクトプローブ。
2. 前記曲げ部は、溝部を含む、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
3. 前記曲げ部は、穴部を含む、請求項１または２に記載のコンタクトプローブ。
4. 前記コンタクト部は、先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部を含む、請求項１〜３のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
5. 前記曲げ部の可動を制限するためのストッパ部をさらに備えた、請求項１〜４のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
6. 前記軸部および前記コンタクト部の少なくともいずれかに設けられた放熱フィンをさらに備えた、請求項１〜５のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
7. 前記軸部およびコンタクト部は、１枚の導電性を有する金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されている、請求項１〜６のいずれかに記載のコンタクトプローブ。

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