JP2013238443A - コンタクトプローブ - Google Patents

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Abstract

【課題】簡単な構造で、被測定物の表面の損傷を抑制することができ、かつ接触抵抗を低減することができるコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】コンタクトプローブ10は基体部1と、一方端部2aと他方端部2bとを有し、一方端部2aにおいて基体部1に接続されており、かつ一方端部2aから他方端部2bまでの途中位置に曲げ部20を有する軸部2と、軸部2に対して屈曲した状態で他方端部2bに接続されたコンタクト部3とを備えている。曲げ部20は、軸部2の一方端部2aから他方端部2bに延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部2の曲げ部20以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、電気的特性を測定する際に用いられるコンタクトプローブに関するものである。
半導体チップなどの電気的特性を測定する際にコンタクトプローブが用いられる。半導体チップの表面には外部との接続パッドが設けられている。コンタクトプローブは接続パッドに当接することにより半導体チップと電気的に接続される。コンタクトプローブを介して半導体チップの電気的特性が測定される。
従来のコンタクトプローブとしては、コイル状のバネにより針状の先端部が一軸方向に摺動可動に構成されたものが一般的である。たとえば特開平7−244072号公報(特許文献1)には、このように構成されたコンタクトプローブが開示されている。
また、被測定物上のゴミおよび異物、さらには自然酸化膜を取り除くことが可能なコンタクトプローブが開示されている。このようなコンタクトプローブとして、たとえば特開2009−115659号公報(特許文献2)および特開平10−62452号公報(特許文献3)には、コンタクトプローブ先端のコンタクト部分が回転運動を伴って被測定物に接触するように構成されたものが開示されている。
また、特開2009−206272号公報(特許文献4)および特開2008−203084号公報(特許文献5)には、コンタクトプローブと被測定物とが接触するときに、被測定物側、つまり電気的特性を計測する装置側を振動あるいは移動するように構成されたものが開示されている。
特開平7−244072号公報 特開2009−115659号公報 特開平10−62452号公報 特開2009−206272号公報 特開2008−203084号公報
しかしながら、上記の特開平7−244072号公報に開示されたような従来のコイル状のバネを備えたコンタクトプローブは部品点数が多いため構造が複雑である。したがって、低コスト化および製造工程の容易化が困難である。また、針状の先端部が一軸方向に可動するため、先端部と被測定物の表面との接触時の圧力によっては被測定物の表面に損傷が発生するおそれがある。また、針状の先端部が一軸方向にのみ可動するため、被測定物上のゴミ、半田フラックス等の異物および測定時の外乱要因のひとつである自然酸化膜の効果的な除去が困難である。ゴミ、異物および自然酸化膜の除去が不十分である場合には接触抵抗が増大する。
上記の特開2009−115659号公報および特開平10−62452号公報に開示されたコンタクトプローブは部品点数が多いため構造が複雑である。また、上記の特開2009−206272号公報および特開2008−203084号公報に開示されたコンタクトプローブは、被測定物との接触時におけるコンタクトプローブの駆動制御が複雑である。さらに装置の構造が複雑である。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、簡単な構造で、被測定物の表面の損傷を抑制することができ、かつ接触抵抗を低減することができるコンタクトプローブを提供することである。
本発明のコンタクトプローブは基体部と、一方端部と他方端部とを有し、一方端部において基体部に接続されており、かつ一方端部から他方端部までの途中位置に曲げ部を有する軸部と、軸部に対して屈曲した状態で他方端部に接続されたコンタクト部とを備えている。曲げ部は、軸部の一方端部から他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。
本発明のコンタクトプローブによれば、曲げ部は軸部の一方端部から他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。これにより、コンタクト部が被測定物の表面と接触すると曲げ部で軸部が屈曲することによってコンタクト部が面内方向に回動することができる。そして、コンタクト部が被測定物の表面に面接触することができる。このため、軸部に曲げ部が設けられた簡単な構造で、コンタクト部を被測定物の表面に面接触させることにより被測定物の表面の損傷を抑制することができる。また、コンタクト部が面内方向に回動するためゴミ、異物および自然酸化物等を効果的に除去することができる。このため、接触抵抗を低減することができる。
本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの基体部および取付け部の概略上面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの取付け部にプローブ支持部が取付けられた状態を示すコンタクトプローブの基体部および取付け部の概略上面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブがプローブ支持部に取付けられた測定装置の概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの概略展開図である。 図6に示すコンタクトプローブの概略側面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの製造方法の一工程を示す概略側面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブの先端部が被測定物の表面に接した状態を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブの軸部が曲げ部で屈曲した状態を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの動作を示す概略正面図であって、コンタクトプローブのコンタクト部が被測定物の表面に面接触した状態を示す概略正面図である。 図9に示すコンタクトプローブのコンタクト部の概略上面図である。 図10に示すコンタクトプローブのコンタクト部の概略上面図である。 図11に示すコンタクトプローブにコンタクト部の概略上面図である。 図12〜図14に示すコンタクト部を重ね合わせた図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例1を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例2を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例3を示す概略斜視図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例4を示す概略斜視図である。 本発明の一実地の形態におけるコンタクトプローブの変形例5を示す概略正面図である。 本発明の一実施の形態におけるコンタクトプローブの変形例6のコンタクト部の概略上面図である。
以下、本発明の一実施の形態について図に基づいて説明する。
最初に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの構成について説明する。
図1および図2を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10は、半導体チップなどの被測定物の電気的特性を測定するためのものである。コンタクトプローブ10は、基体部1と、軸部2と、コンタクト部3と、取付け部4と、ストッパ部5とを主に有している。
基体部1の下側に軸部2およびストッパ部5がそれぞれ設けられており、基体部1の上側に取付け部4が設けられている。軸部2は基体部1の一方側に配置されている。軸部2は一方端部2aと他方端部2bとを有しており、一方端部2aにおいて基体部1に接続されている。軸部2は、一方端部2aから他方端部2bまでの途中位置に曲げ部20を有している。
曲げ部20は、軸部2の一方端部2aから他方端部2bに延びる方向と交差する方向に形成されている。曲げ部20は軸部2の曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。曲げ部20は、コンタクト部3が被測定物に接触した後に軸部2が一定の方向に屈曲するように構成されている。
曲げ部20は、軸部2の一方端部2aから他方端部2bに延びる方向(長軸方向)に対して所定の角度で形成されている。この所定の角度とは、90°より小さい角度であることが好ましい。所定の角度が90°のとき、曲げ部20は図中Y軸と平行となり、長軸方向に対して直角となる。そして、曲げ部20の長さ寸法は最小となる。所定の角度を90°より小さい角度とすることで、曲げ部20の長さ寸法をより長くすることができ、屈曲部分を拡大することができる。屈曲部分を拡大することで、屈曲部分の耐久性が向上する。また、先端部30の稼動距離を長くすることができるため、ゴミ、異物および自然酸化膜の除去の効果が向上する。なお、図2では、上記所定の角度は約45°で示されている。
曲げ部20は溝部20aを有している。溝部20aは軸部2の外周面に設けられている。なお、溝部20aは、軸部2の外周面に限らず、内周面に設けられていてもよく、また溝部20aの外周面および内周面の両方に設けられていてもよい。
また、曲げ部20は1つに限られず複数設けられていてもよい。曲げ部20の形状としては、1つの溝部(切り込みカット部)20aが設けられた構成に限定されず、複数の溝部20aが設けられていてもよい。
コンタクト部3は軸部2に対して屈曲した状態で軸部2の他方端部2bに接続されている。コンタクト部3は軸部2の内周面側に屈曲している。コンタクト部3と軸部2との境界は、曲げ部20との距離がコンタクトプローブ10の前方に向かって小さくなるように形成されている。コンタクト部3は、被測定物と面接触可能な略平面状のコンタクト面3aを有している。
コンタクト部3は先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部30を有している。先端部30はコンタクト部3はコンタクト面3aに対して所定の角度で折れ曲がるように形成されている。先端部30はコンタクト部3が被測定物に面接触した際にコンタクト面3aから上方に向かって延びるように形成されている。先端部30は、自然酸化膜を除去および剥離可能であれば、たとえばやすり状の表面でこすることができるように構成されていてもよい。
取付け部4はコンタクトプローブ10を測定装置に取付けるための部分である。取付け部4は基体部1に連続的に形成されている。取付け部4は基体部1の上側を囲むように形成されている。
ストッパ部5は基体部1の他方側に配置されている。ストッパ部5は曲げ部20の可動を制限するためのものである。ストッパ部5は、被測定物とコンタクト面3aとの接触以後に被測定物に当接して曲げ部20の可動を抑制するように構成されている。
ストッパ部5は、ストッパ軸5a、ストッパ部材5b、ストッパ面5cを有している。ストッパ軸5aは基体部1の下側に延びるように形成されている。ストッパ軸5aの先端にストッパ部材5bが設けられている。ストッパ部材5bは、被測定物と面接触可能な略平面状のストッパ面5cを有している。
本実施の形態のコンタクトプローブ10では、軸部2およびコンタクト部3は、1枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されていてもよい。さらに、軸部2およびコンタクト部3に加えて、取付け部4およびストッパ部5も1枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されていてもよい。
コンタクトプローブ10の寸法の一例について説明する。コンタクト面3aの寸法は、たとえば半導体チップの電極パッドなどの被測定物の寸法ならびにコンタクトプローブ10に印加される電流値によって決定される。パワー半導体のように電極パッドの寸法が、たとえば縦15mm×横15mmと大きく、かつ数百A(アンペア)相当の電流が印加される場合は、コンタクト面3aの寸法は、たとえば縦5mm×横3mmとされ得る。そして、コンタクトプローブ10の全長は35mm程度とされ得る。
あるいはこれよりも小さいコンタクト面3aを有する複数のコンタクトプローブ10が電極パッドに接してもよい。なお、コンタクトプローブ10の寸法は上述の寸法に限られない。パワー半導体でない、小さい電極パッドを有する半導体に適用されるコンタクトプローブ10は、上述よりも小さいコンタクト面3aを有していてもよい。
続いて、本実施の形態のコンタクトプローブ10が測定装置に取付けられる様子について説明する。図3および図4を参照して、取付け部4の内周側に可動性のプローブ支持部11が挿入され、取付け部4がプローブ支持部11に、たとえばねじ12により取付けられる。なお、説明の便宜のため、プローブ支持部11の取付け部4に挿入された部分以外は図示されていない。また、取付け部4はプローブ支持部11にカシメ加工により取付けられてもよい。なお、より確実に電気的に接続するために、ねじ止めまたはカシメなどだけでなく、さらに半田付けまたは溶接などにより接続されていてもよい。
図4および図5を参照して、取付け部4は測定装置のケーブル13と電気的に接続されている。この測定装置のプローブ支持部11は3次元的に可動可能に構成されている。このため、被測定物14としてたとえば半導体チップが形成された半導体ウエハ内の電極パッドにコンタクトプローブ10のコンタクト部3を接触させることができる。これにより、測定装置はコンタクトプローブ10を介して半導体チップの電気的特性を測定することができる。なお、取付け部4は測定装置の電極部に電気的に接続されていてもよい。また、複数のコンタクトプローブ10が絶縁性の基台に接続されて、プローブカードが構成されてもよい。
次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの製造方法について説明する。
コンタクトプローブ10は、1枚の金属板から構成されており、金属板の打ち抜き、切削、曲げ加工等の工程で作製される。これらの工程は容易であり、短時間で終了することができる。
図6および図7を参照して、1枚の平面状の導電性を有する金属板が打ち抜き加工および切削加工される。この金属板が折り曲げ加工されることによりコンタクトプローブ10が作製される。金属板の材質は、導電性が高くバネ性の高いベリリウム鋼であることが望ましいがこれに限定されない。
曲げ部20の溝部20aはコンタクトプローブ10の全体の折り曲げ加工前に切削加工等により形成される。また、コンタクトプローブ10の全体の折り曲げ加工前に、コンタクト部3の先端部30のテーパー形状が切削加工等により形成され、さらに先端部30には曲げ加工が施される。
続いて、図8を参照して、軸部2とコンタクト部3との境界においてコンタクト部3が屈曲するように曲げ加工が施される。また、軸部2が一方端部2aで斜め形状となるように曲げ加工が施される。ストッパ軸5aとストッパ部材5bとの境界においてストッパ部材5bが屈曲するように曲げ加工が施される。ストッパ軸5aが斜め形状となるように曲げ加工が施される。
さらに軸部2、取付け部4およびストッパ部5のそれぞれと基体部1との接続部に曲げ加工が施される。これにより、図1および図2に示されるコンタクトプローブ10が完成する。
次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの動作について説明する。
図9を参照して、コンタクトプローブ10が被測定物14に向けて図中Z方向に下降すると、コンタクト部3の先端部30が被測定物14の表面に接する。被測定物14はたとえば半導体チップの電極パッドである。
図10を参照して、コンタクト部3の先端部30が被測定物14の表面に接した後、コンタクトプローブ10が下降すると、軸部2が曲げ部20で屈曲することによりコンタクト部3が回動する。このため、先端部30は、被測定物14の表面上に付着したゴミ、異物をすくい取ることができる。また先端部30は被測定物14の表面の自然酸化膜を削り取ることができる。
図11を参照して、さらにコンタクトプローブ10が下降すると、コンタクト面3aが被測定物14の表面と面接触する。そして軸部2に相対して設置されたストッパ部5のストッパ面5cが被測定物14の表面と当接する。これにより、コンタクトプローブ10の下降が終了する。そのため、さらなる曲げ部20の可動は制限される。このため、コンタクト部3の回動が制限される。
この状態で、コンタクトプローブ10を介して被測定物14に電流が印加され、被測定物14の電気的特性が測定される。電流は基体部1に印加された後、分流して軸部2を経由してコンタクト面3aから被測定物14に印加されるとともに、ストッパ軸5aを経由してストッパ面5cから被測定物14に印加される。分流比を適切にするため、つまりコンタクト面3aに多くの電流を流すために、ストッパ軸5aは断面積が小さくなるように構成されていることが好ましい。
図12〜図15を参照して、コンタクトプローブ10が下降して、被測定物14の表面に接すると、軸部2が曲げ部20で屈曲することにより、コンタクト部3がねじれながら面内方向に回動する。このため、コンタクト部3の先端部30によって被測定物14の表面上に付着したゴミ、異物および自然酸化膜が取り除かれる。また、コンタクト部3のコンタクト面3aが面内方向(図中X−Y平面方向)に回動することによっても被測定物14の表面上に付着したゴミ、異物および自然酸化膜が取り除かれる。
次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの変形例について説明する。
図16を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例1では、曲げ部20の溝部20aは薄肉部20bを有している。軸部2の片側に溝部20aを形成することにより軸部2の厚みを減じて薄肉部20bが形成されているが、これに限るものではなく、軸部2の両側から軸部2の厚みを減じることにより薄肉部20bが形成されていてもよい。この変形例1でも軸部2が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。また、以下の変形例でも軸部2が屈曲方向に可動する効果は上述の本実施の形態の構成と同様である。
図17を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例2では、曲げ部20は穴部20cを有している。穴部20cは薄肉部20bを貫通するように形成されている。なお、穴部20cは貫通穴に限定されず繰り抜かれた穴であってもよい。この変形例2では薄肉部20bに加えて複数の略円形状の穴部20cが形成されているが、これに限るものではなく、穴部20cのみが形成されていてもよい。
また、穴部20cの形状および個数は、被測定物に加わる圧力に応じて調整することが好ましい。また、穴部20cの形状は楕円状であってもよい。低圧力でコンタクト面3aを被測定物の表面に当接させる場合には、穴部20cの面積の拡大、また穴部20cの個数の増加により、曲げ部20の剛性を低下させるとよい。
図18を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例3では、曲げ部20にひずみゲージ16が設けられている。ひずみゲージ16はコンタクトプローブ10が被測定物に接触する際、実際に屈曲する部位に設置されることが望ましい。この変形例3では、ひずみゲージ16の出力を基に、被測定物に加わる圧力が調整可能である。このため、機械的なストッパ部5のみにより被測定物に加わる過大な圧力を防止するのではなく、電気的な信号によっても過大な圧力を防止することができる。
また、図18では、複数の略円形状の穴部20cとひずみゲージ16とが設置されているが、これに限るものではなく、変形例1の薄肉部20bとひずみゲージ16とが設置されていてもよい。また、複数のひずみゲージ16が設置されて、出力信号が合成されるように構成されていてもよい。
なお、ひずみゲージ16が設置された場合、ストッパ部5は必ずしも必要ではないため、ストッパ部5は形成されていなくてもよい。
また、ひずみゲージ16に代えて、たとえば圧電素子が用いられてもよい。素子は、ひずみゲージ16に限定されず、曲げ部20の屈折度合いに応じて信号を発生するものであればよい。圧電素子が用いられた場合、コンタクトプローブ10および被測定物の非接触時に圧電素子に信号が印加され、圧電素子が駆動振動されて、先端部30およびその近傍に付着したゴミ、異物等が振動により除去される工程が設けられてもよい。被測定物から離れた位置で、この付着物の除去工程を設けることで、付着物の被測定物への再付着を抑制することが可能となる。
図19を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブの変形例4では、穴部20cは楕円形状に形成されている点で変形例3と異なっている。穴部20cの形状は楕円状であってもよい。
図20を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例5では、放熱フィン17が設けられている。放熱フィン17は電流印加時のコンタクトプローブ10の発熱の放散を促進するためのものである。放熱フィン17は複数設けられていてもよい。放熱フィン17は軸部2およびコンタクト部3の少なくともいずれかに設けられていればよい。また、放熱フィン17は、ストッパ軸5a、ストッパ部材5bなどにも設けられていてもよい。
図21を参照して、本実施の形態のコンタクトプローブ10の変形例6では、コンタクト部3の先端部30が複数設けられている。先端部30が複数設けられることによりゴミ、異物および自然酸化膜を効率的に取り除くことができる。
次に、本発明の一実施の形態のコンタクトプローブの作用効果について説明する。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、曲げ部20は軸部2の一方端部2aから他方端部2bに延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ軸部2の曲げ部20以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている。これにより、コンタクト部3が被測定物の表面と接触すると曲げ部20で軸部2が屈曲することによってコンタクト部3が面内方向に回動することができる。そして、コンタクト部3が被測定物の表面に面接触することができる。このため、軸部2に曲げ部20が設けられた簡単な構造で、コンタクト部3を被測定物の表面に面接触させることにより被測定物の表面の損傷を抑制することができる。また、コンタクト部3が面内方向に回動するためゴミ、異物および自然酸化物等を効果的に除去することができる。このため、接触抵抗を低減することができる。よって、電流密度の増加を抑制することにより電気的に安定した接続を実現することができる。上記より測定の信頼度を向上することができる。また被測定物の歩留まりを向上することができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、曲げ部20は溝部20aを含んでいるため、溝部20aにより曲げ部20を軸部2の曲げ部20以外の部分よりも剛性が低くなるように形成することができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、曲げ部20は穴部20cを含んでいるため、穴部20cにより曲げ部20を軸部2の曲げ部20以外の部分よりも剛性が低くなるように形成することができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、コンタクト部3は先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部30を含んでいる。このため、先端部30により被測定物14の表面上に付着したゴミ、異物をすくい取ることができる。また、先端部30により被測定物14の表面の自然酸化膜を削り取ることができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、曲げ部20の可動を制限するためのストッパ部5を備えているため、ストッパ部5が曲げ部20の可動を制限することによりコンタクト部3の回動を制限することができる。このため、コンタクト部3による過大な圧力を回避することにより被測定物の損傷を抑制することができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、軸部2およびコンタクト部3の少なくともいずれかに設けられた放熱フィン17を備えているため、放熱フィン17によりコンタクトプローブ10の熱の放熱を促進することができる。
本実施の形態のコンタクトプローブ10によれば、軸部2およびコンタクト部3は一枚の金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されているため、コンタクトプローブ10の作製工程が容易である。よって、量産性が高いため、低コスト化およびコンタクトプローブ10の歩留まりを向上することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 基体部、2 軸部、2a 一方端部、2b 他方端部、3 コンタクト部、3a コンタクト面、4 取付け部、5 ストッパ部、5a ストッパ軸、5b ストッパ部材、5c ストッパ面、10 コンタクトプローブ、11 プローブ支持部、30 先端部、12 ねじ、13 ケーブル、14 被測定物、16 ひずみゲージ、17 フィン部、20a 溝部、20b 薄肉部、20c 穴部。

Claims (7)

  1. 基体部と、
    一方端部と他方端部とを有し、前記一方端部において前記基体部に接続されており、かつ前記一方端部から前記他方端部までの途中位置に曲げ部を有する軸部と、
    前記軸部に対して屈曲した状態で前記他方端部に接続されたコンタクト部とを備え、
    前記曲げ部は、前記軸部の前記一方端部から前記他方端部に延びる方向と交差する方向に形成されており、かつ前記軸部の前記曲げ部以外の部分よりも剛性が低くなるように形成されている、コンタクトプローブ。
  2. 前記曲げ部は、溝部を含む、請求項1に記載のコンタクトプローブ。
  3. 前記曲げ部は、穴部を含む、請求項1または2に記載のコンタクトプローブ。
  4. 前記コンタクト部は、先端に向かって厚さが小さくなるように形成されたテーパ状の傾斜を有する先端部を含む、請求項1〜3のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
  5. 前記曲げ部の可動を制限するためのストッパ部をさらに備えた、請求項1〜4のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
  6. 前記軸部および前記コンタクト部の少なくともいずれかに設けられた放熱フィンをさらに備えた、請求項1〜5のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
  7. 前記軸部およびコンタクト部は、1枚の導電性を有する金属板が折り曲げ加工されて一体的に形成されている、請求項1〜6のいずれかに記載のコンタクトプローブ。
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