JP5818962B2 - 能動式電気吸着清掃 - Google Patents
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Description
本出願は、あらゆる目的のために、その全体を参照によって本明細書に組み込まれる、2011年3月23日に出願された、発明の名称を「ELECTROADHESIVE CLEANING METHOD AND APPARATUS(電気吸着清掃方法及び装置」とする米国仮特許出願第61/466,907号に基づく優先権を主張する。
本明細書で使用される「電気吸着」という用語は、静電力を使用して2つの物体を機械的に結合させることを言う。電気吸着は、本明細書で説明されるように、これらの静電力の電気的制御を使用して2つの物体同士が一時的に且つ分離可能に付着することを可能にする。この静電吸着は、これらの物体の2つの表面を合わさった状態に保持する、すなわち、印加された電界によって形成される静電力ゆえに2つの表面間の牽引力すなわち摩擦を増加させる。静電クランプは、従来、高絶縁性の材料によって隔てられた平坦で滑らかで総じて導電性の2つの表面を合わさった状態に保持することに限られていたが、本明細書で提供される様々な実施形態は、電気吸着力及処理を受ける物体の材料特性、曲率、サイズ、又は表面粗さを限定しない電気吸着器具及び技術を伴うことができる。更に、本明細書で提供される様々な例及び議論は、概して、粒子又はその他の異質アイテムを清掃器具に静電的に吸着させることに関わっているが、開示された実施形態には、多くのその他のタイプの静電応用の使用も総じて含まれてよいことも理解される。例えば、電気積層構成又はその他のタイプの構成などにおいて、同じ器具の2つのコンポーネントが静電的に吸着されてもよい。
上記のように、電気吸着は、様々な異物に対する逆転可能な吸着を実現するために、多くの場合、1つ以上の電極を伴うコンプライアントな又は可撓性のパッド又はその他の表面の使用を伴っている。このような構成は、総じて、壁面又はその他の基板への電気吸着器具の付着、並びに小さい異物の拾い上げ、配置、及びそれ以外の処理を促すために使用することができる。上記の例示は、主に、壁又は同様に大きいその他の基板への電気吸着器具の付着に焦点を合わせているが、比較的小さい物体をそれよりも大きい静電器具に静電的に吸着させることができるという意味で、逆転した構成も適用可能であることが容易にわかるだろう。
電気吸着を使用して、粒状物質及び異物の清掃、埃取り、及びそれ以外の操作を伴うものとして、多種多様な応用が考えられるが、ここでは、一例として、基本的な方法が提供される。次に、図11を見ると、複数の異物を物理的に清掃する代表的な方法を示すフローチャートが提供される。具体的には、このような方法は、上述された様々な清掃パッド、走路ベースの又はコンベヤベルトベースのコンポーネント、器具、及びシステムのいずれかなどの、能動式電気吸着器具又はシステムを使用する又は動作させることを伴うことができる。このフローチャートに明記された必ずしも全ての方法工程が常に必要とは限らないこと、並びに本明細書に明記されていない更なる工程も含まれてよいことが容易にわかる。例えば、接触表面積を増大させることも、異物が吸着されているかどうかをチェックすることも、必ずしも全ての実施形態で必要とは限らない。更に、厳密な工程順序は、様々な応用における必要に応じて変更されてよい。
適用例1:能動式電気吸着清掃器具であって、前記能動式電気吸着清掃器具と、清掃されている複数の異物のそれぞれとの間に、印加された入力電圧から個別の電気吸着力を集合的に生じさせるように適応された1つ以上の電極であって、各個別の対応する電気吸着力は、前記複数の異物の1つを前記能動式電気吸着清掃器具に適切に吸着させ、前記能動式電気吸着器具のユーザからユーザ入力を受け取り、前記ユーザ入力を使用して前記1つ以上の電極への前記入力電圧を制御することを促すように適応された1つ以上の入力コンポーネントと、前記1つ以上の電極に又は前記1つ以上の電極に近接して位置決めされ、前記複数の異物と相互作用するように構成されている少なくとも1つの相互作用表面と、前記少なくとも1つの相互作用表面は、そこに前記複数の異物が吸着されるように前記電気吸着力を通過させるように構成され、前記少なくとも1つの相互作用表面は、前記電気吸着力が制御可能に変更されたときに、そこからの前記複数の異物の容易な除去を促すように適応される、ことを備える能動式電気吸着清掃器具。
適用例2:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記複数の異物は、埃を含む、能動式電気吸着清掃器具。
適用例3:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記相互作用表面は、複数の細毛を含む、能動式電気吸着清掃器具。
適用例4:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記相互作用表面は、変形可能表面を含み、前記変形可能表面の少なくとも一対応部分は、前記電気吸着力が加えられたときに、前記複数の異物の少なくとも1つに接近する、能動式電気吸着清掃器具。
適用例5:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、前記1つ以上の入力コンポーネント及び前記1つ以上の電極に結合された能動電源であって、前記1つ以上の電極への前記入力電圧の提供を促すように適応された能動電源を備える能動式電気吸着清掃器具。
適用例6:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、前記相互作用表面に結合された1つ以上のローラであって、前記複数の異物が位置している異質表面を横切るように前記能動式電気吸着器具を移動させるように動作可能である1つ以上のローラを備える能動式電気吸着清掃器具。
適用例7:適用例6に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記相互作用表面は、前記1つ以上のローラの回転運動に伴い移動する連続した軌道として構成される、能動式電気吸着清掃器具。
適用例8:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記1つ以上の電極は、パターン配置された逆帯電可能な複数の電極を含む、能動式電気吸着清掃器具。
適用例9:適用例8に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記パターンは、異なる複数のピッチを有する噛み合わせパターンを含む、能動式電気吸着清掃器具。
適用例10:適用例9に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記異なる複数のピッチは、相応に異なるサイズの異物を清掃するように適応され、前記噛み合わせ電極パターンは、前記異なる複数のピッチを選択的に作動させるように動作可能である、能動式電気吸着清掃器具。
適用例11:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、前記相互作用表面に近接して位置決めされ、前記複数の異物に複数のイオン電荷を噴き付けるように適応されたイオン電荷散布器であって、前記対応する電気吸着力の少なくとも一部分は、前記複数の異物上に前記イオン電荷が存在する結果としてもたらされる、イオン電荷散布器。
適用例12:適用例11に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記1つ以上の電極は、厳密に1つの電極を含み、前記厳密に1つの電極は、前記複数のイオン電荷とは逆の極性の電荷を帯びるように適応される、能動式電気吸着清掃器具。
適用例13:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記1つ以上の電極は、更に、1つ以上の逆極性パルスを集合的に生じさせるように適応され、前記1つ以上の逆極性パルスは、前記複数の異物の1つ以上を前記能動式電気吸着清掃器具から適切に反発させる1つ以上の反発力をもたらす、能動式電気吸着清掃器具。
適用例14:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、前記相互作用表面に結合され、そこに吸着された異物の量を検出するように適応された1つ以上のセンサを備える能動式電気吸着清掃器具。
適用例15:適用例1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、前記1つ以上の入力コンポーネントは、異なる種類の材料で形成されたローラの周りで回転することによって電荷を収集する電荷収集ベルトを含む、能動式電気吸着清掃器具。
適用例16:汚れた領域から1つ以上の異物を清掃するように適応された能動式電気吸着清掃システムであって、入力電圧を提供するように適応された能動電源と、前記能動式電気吸着器具のユーザから1つ以上のユーザ入力を受け取るための1つ以上の入力コンポーネントと、前記1つ以上のユーザ入力は、前記入力電圧を制御するために、清掃されている異物のサイズを指定するために、又はその両方のために使用され、前記電源に結合され、前記入力電圧から、前記能動式電気吸着清掃システムと、清掃されている1つ以上の異物のそれぞれとの間に個別の電気吸着力を集合的に生じさせるように適応されている複数の電極と、各個別の対応する電気吸着力は、前記1つ以上の異物の1つを前記能動式電気吸着清掃システムに適切に吸着させ、前記複数の電極に近接して位置決めされ、前記1つ以上の異物と相互作用するように構成された少なくとも1つの相互作用表面と、前記少なくとも1つの相互作用表面は、そこに前記1つ以上の異物が吸着されるように前記電気吸着力を通過させるように構成されている、を備える能動式電気吸着清掃システム。
適用例17:適用例16に記載の能動式電気吸着清掃システムであって、前記少なくとも1つの相互作用表面は、変形可能表面を含み、前記変形可能表面の少なくとも一対応部分は、前記電気吸着力が加えられたときに、前記1つ以上の異物の少なくとも1つに接近する、能動式電気吸着清掃システム。
適用例18:適用例16に記載の能動式電気吸着清掃システムであって、更に、前記相互作用表面に結合され、前記1つ以上の異物が位置している異質表面を横切るように前記能動式電気吸着器具を移動させるように動作可能である1つ以上のローラと、前記相互作用表面は、前記1つ以上のローラの回転運動に伴い移動する連続した軌道を含み、前記汚れた領域から前記1つ以上の異物が離された後に前記1つ以上の異物を前記相互作用表面から除去することを促すように適応されている除去コンポーネントと、を備える能動式電気吸着清掃システム。
適用例19:汚れた表面から複数の異物を物理的に清掃する方法であって、前記汚れた表面付近に位置する複数の異物のそれぞれに相互作用表面を接触させることと、前記相互作用表面に近接して位置付けられた1つ以上の電極に制御方式で静電吸着電圧を印加することと、前記静電吸着電圧は、前記汚れた表面付近に位置する前記複数の異物のそれぞれに対して前記相互作用表面の少なくとも一部分を通じて個別の対応する静電引力を生成するのに十分であことと、前記複数の異物のそれぞれを、前記対応する静電引力を介して前記相互作用表面に吸着させることと、前記相互作用表面を、そこに前記複数の異物が吸着された状態のままで前記汚れた表面から遠ざけることと、前記複数の異物を前記相互作用表面から除去することと、を備える方法。
適用例20:適用例19に記載の方法であって、前記汚れた表面は、壁、床、又は地面である、方法。
適用例21:適用例19に記載の方法であって、更に、前記除去に先立って制御された前記静電吸着電圧を変更する工程を備える方法。
Claims (15)
- 能動式電気吸着清掃器具であって、
前記能動式電気吸着清掃器具と、清掃されている複数の異物のそれぞれとの間に、印加された入力電圧から個別の電気吸着力を集合的に生じさせるように適応された1つ以上の電極であって、各個別の対応する電気吸着力は、前記複数の異物の1つを前記能動式電気吸着清掃器具に適切に吸着させ、前記1つ以上の電極は、パターン配置された逆帯電可能な複数の電極を含み、前記パターンは、異なる複数のピッチを有する噛み合わせパターンを含み、
前記能動式電気吸着器具のユーザからユーザ入力を受け取り、前記ユーザ入力を使用して前記1つ以上の電極への前記入力電圧を制御することを促すように適応された1つ以上の入力コンポーネントと、
前記1つ以上の電極に又は前記1つ以上の電極に近接して位置決めされ、前記複数の異物と相互作用するように構成されている少なくとも1つの相互作用表面と、前記少なくとも1つの相互作用表面は、そこに前記複数の異物が吸着されるように前記電気吸着力を通過させるように構成され、前記少なくとも1つの相互作用表面は、前記電気吸着力が制御可能に変更されたときに、そこからの前記複数の異物の容易な除去を促すように適応される、こと
を備える能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記複数の異物は、埃を含む、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記相互作用表面は、複数の細毛を含む、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記相互作用表面は、変形可能表面を含み、前記変形可能表面の少なくとも一対応部分は、前記電気吸着力が加えられたときに、前記複数の異物の少なくとも1つに接近する、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、
前記1つ以上の入力コンポーネント及び前記1つ以上の電極に結合された能動電源であって、前記1つ以上の電極への前記入力電圧の提供を促すように適応された能動電源を備える能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、
前記相互作用表面に結合された1つ以上のローラであって、前記複数の異物が位置している異質表面を横切るように前記能動式電気吸着器具を移動させるように動作可能である1つ以上のローラを備える能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項6に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記相互作用表面は、前記1つ以上のローラの回転運動に伴い移動する連続した軌道として構成される、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記異なる複数のピッチは、相応に異なるサイズの異物を清掃するように適応され、前記噛み合わせ電極パターンは、前記異なる複数のピッチを選択的に作動させるように動作可能である、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、
前記相互作用表面に近接して位置決めされ、前記複数の異物に複数のイオン電荷を噴き付けるように適応されたイオン電荷散布器であって、前記対応する電気吸着力の少なくとも一部分は、前記複数の異物上に前記イオン電荷が存在する結果としてもたらされる、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記1つ以上の電極は、更に、1つ以上の逆極性パルスを集合的に生じさせるように適応され、前記1つ以上の逆極性パルスは、前記複数の異物の1つ以上を前記能動式電気吸着清掃器具から適切に反発させる1つ以上の反発力をもたらす、能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、更に、
前記相互作用表面に結合され、そこに吸着された異物の量を検出するように適応された1つ以上のセンサを備える能動式電気吸着清掃器具。 - 請求項1に記載の能動式電気吸着清掃器具であって、
前記1つ以上の入力コンポーネントは、異なる種類の材料で形成されたローラの周りで回転することによって電荷を収集する電荷収集ベルトを含む、能動式電気吸着清掃器具。 - 汚れた領域から1つ以上の異物を清掃するように適応された能動式電気吸着清掃システムであって、
入力電圧を提供するように適応された能動電源と、
前記能動式電気吸着器具のユーザから1つ以上のユーザ入力を受け取るための1つ以上の入力コンポーネントと、前記1つ以上のユーザ入力は、前記入力電圧を制御するために、清掃されている異物のサイズを指定するために、又はその両方のために使用され、
前記電源に結合され、前記入力電圧から、前記能動式電気吸着清掃システムと、清掃されている1つ以上の異物のそれぞれとの間に個別の電気吸着力を集合的に生じさせるように適応されている複数の電極と、各個別の対応する電気吸着力は、前記1つ以上の異物の1つを前記能動式電気吸着清掃システムに適切に吸着させ、
前記複数の電極に近接して位置決めされ、前記1つ以上の異物と相互作用するように構成された少なくとも1つの相互作用表面と、前記少なくとも1つの相互作用表面は、そこに前記1つ以上の異物が吸着されるように前記電気吸着力を通過させるように構成されている、
を備える能動式電気吸着清掃システム。 - 請求項13に記載の能動式電気吸着清掃システムであって、
前記少なくとも1つの相互作用表面は、変形可能表面を含み、前記変形可能表面の少なくとも一対応部分は、前記電気吸着力が加えられたときに、前記1つ以上の異物の少なくとも1つに接近する、能動式電気吸着清掃システム。 - 請求項13に記載の能動式電気吸着清掃システムであって、更に、
前記相互作用表面に結合され、前記1つ以上の異物が位置している異質表面を横切るように前記能動式電気吸着器具を移動させるように動作可能である1つ以上のローラと、前記相互作用表面は、前記1つ以上のローラの回転運動に伴い移動する連続した軌道を含み、
前記汚れた領域から前記1つ以上の異物が離された後に前記1つ以上の異物を前記相互作用表面から除去することを促すように適応されている除去コンポーネントと、
を備える能動式電気吸着清掃システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10889052B2 (en) | 2016-02-29 | 2021-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, method for manufacturing article, and exposure apparatus |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5818962B2 (ja) | 2011-03-23 | 2015-11-18 | エスアールアイ インターナショナルSRI International | 能動式電気吸着清掃 |
US9358590B2 (en) | 2011-03-23 | 2016-06-07 | Sri International | Electroadhesive surface cleaner |
DE102013100224A1 (de) * | 2013-01-10 | 2014-07-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Betrieb eines elektrostatischen Partikelsammlers, elektrostatischer Partikelsammler sowie Partikelsammelsystem |
JP5747097B1 (ja) * | 2014-03-14 | 2015-07-08 | シャープ株式会社 | 掃除ユニット及びそれを利用した掃除機 |
JP5745665B1 (ja) * | 2014-03-24 | 2015-07-08 | シャープ株式会社 | 掃除ユニット及びそれを利用した掃除機 |
JP5807097B1 (ja) * | 2014-07-24 | 2015-11-10 | シャープ株式会社 | 掃除ユニット及びそれを利用した掃除機 |
JP6598510B2 (ja) * | 2015-05-20 | 2019-10-30 | シャープ株式会社 | 自律走行装置の車輪清掃システム、自律走行装置の制御方法及び制御プログラム |
JP2017051919A (ja) * | 2015-09-10 | 2017-03-16 | 株式会社東芝 | 集塵装置 |
WO2017145103A1 (en) | 2016-02-24 | 2017-08-31 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Electroadhesive device, system and method for gripping |
KR102125598B1 (ko) * | 2016-04-27 | 2020-06-22 | 주식회사 엘지화학 | 전기장 흡착 방식을 이용한 이물질 제거 시스템 및 제거 방법 |
CN106691359B (zh) * | 2017-01-23 | 2019-04-02 | 重庆市计量质量检测研究院 | 一种床面清洁的自动化机械装置 |
CN107764898B (zh) * | 2017-10-17 | 2020-04-28 | 吉林大学 | 静电吸附式焊点超声波自动检测装置及方法 |
CN109077651B (zh) * | 2018-07-27 | 2020-11-24 | 新疆远麟阳光幕墙装饰工程有限公司 | 一种便于清洗玻璃幕墙的清洗装置 |
CN112568810A (zh) * | 2019-09-29 | 2021-03-30 | 北京石头世纪科技股份有限公司 | 驱动轮模组及自移动机器人 |
KR102365400B1 (ko) * | 2021-02-26 | 2022-02-18 | 최호림 | 정전기를 이용한 청소로봇 |
CN115318757B (zh) * | 2022-07-11 | 2023-08-18 | 星源电子科技(深圳)有限公司 | 一种清洁效果好的气动滚轮粘尘治具 |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1181368A (en) * | 1967-08-16 | 1970-02-18 | Agfa Gevaert Nv | Electrostatic cleaner |
US3684575A (en) * | 1969-10-22 | 1972-08-15 | Arthur S King | Use of electrostatic charge to repel substances from surfaces during cleaning |
JPS6171433A (ja) | 1984-09-13 | 1986-04-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光デイスクの製造法 |
JPH034516Y2 (ja) | 1984-10-18 | 1991-02-06 | ||
BE901726A (fr) * | 1985-02-13 | 1985-05-29 | Papageorgiou Georges | Brosse electrostatique |
US5229170A (en) * | 1988-06-21 | 1993-07-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for electrostatically transporting ultrafine particles by use of a needle electrode |
JP2701363B2 (ja) * | 1988-09-12 | 1998-01-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法及びそれに使用する薄膜形成装置 |
DE3902862A1 (de) * | 1989-02-01 | 1990-08-02 | Philips & Du Pont Optical | Verfahren zur entfernung von partikeln auf substratoberflaechen |
EP0390953A1 (en) * | 1989-04-07 | 1990-10-10 | Nitto Denko Corporation | Method of removing foreign matter by electrostatic or magnetic force |
JPH02307551A (ja) | 1989-05-20 | 1990-12-20 | Abisare:Kk | 静電吸着シート |
JPH05285084A (ja) | 1992-04-13 | 1993-11-02 | Tetsumasa Kuroda | 電気集塵器 |
JP3218172B2 (ja) | 1995-11-10 | 2001-10-15 | シャープ株式会社 | 掃除機 |
US6376971B1 (en) | 1997-02-07 | 2002-04-23 | Sri International | Electroactive polymer electrodes |
US6586859B2 (en) | 2000-04-05 | 2003-07-01 | Sri International | Electroactive polymer animated devices |
US7034432B1 (en) | 1997-02-07 | 2006-04-25 | Sri International | Electroactive polymer generators |
JP3261342B2 (ja) * | 1997-08-22 | 2002-02-25 | 松下電器産業株式会社 | 静電集塵機 |
US6911764B2 (en) | 2000-02-09 | 2005-06-28 | Sri International | Energy efficient electroactive polymers and electroactive polymer devices |
US6799350B1 (en) * | 2000-05-23 | 2004-10-05 | Ellis David Gordon | Suction-assisted dusting device |
JP2003225625A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Reyoon Kogyo:Kk | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 |
US20040163667A1 (en) | 2003-02-20 | 2004-08-26 | Learman Thomas J. | Electrostatic mop, cleaning device and a method for collecting particles |
JP2005091031A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Denso Corp | 容量式力学量センサの異物除去方法 |
US20070192972A9 (en) | 2004-05-28 | 2007-08-23 | Kimball James F | Electrostatic dust collection wand |
US8235696B2 (en) * | 2004-10-20 | 2012-08-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | In-mold forming apparatus, in-mold forming method, in-mold formed article manufacturing method, and dust collector |
DE202005019251U1 (de) * | 2005-12-09 | 2006-03-02 | Goltz, Hartmut | Gerät zum Aufnehmen von Partikeln, z.B. Tierhaare, Staub, Sägespäne |
JP2007296488A (ja) | 2006-05-02 | 2007-11-15 | Trinc:Kk | 除塵装置 |
US7551419B2 (en) * | 2006-06-05 | 2009-06-23 | Sri International | Electroadhesion |
US7554787B2 (en) | 2006-06-05 | 2009-06-30 | Sri International | Wall crawling devices |
DE102007015145A1 (de) * | 2007-03-29 | 2008-10-02 | Fakir Hausgeräte GmbH | Reinigungsgerät zur Aufnahme von partikulärem Schmutz |
US7782591B2 (en) * | 2007-06-22 | 2010-08-24 | Lam Research Corporation | Methods of and apparatus for reducing amounts of particles on a wafer during wafer de-chucking |
DE102008008576A1 (de) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Carl Freudenberg Kg | Elektrostatischer Staubfänger |
JP2009226310A (ja) | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Trinc:Kk | 付着物除去装置 |
KR20100025814A (ko) | 2008-08-28 | 2010-03-10 | 김성기 | 정전기를 활용한 청소 시스템 |
JP5295748B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2013-09-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 構成部品の洗浄方法及び記憶媒体 |
WO2012096982A1 (en) * | 2011-01-10 | 2012-07-19 | Sri International | Electroadhesive system for capturing objects |
JP5818962B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-11-18 | エスアールアイ インターナショナルSRI International | 能動式電気吸着清掃 |
US9358590B2 (en) * | 2011-03-23 | 2016-06-07 | Sri International | Electroadhesive surface cleaner |
US8982531B2 (en) * | 2011-10-19 | 2015-03-17 | Sri International | Additional force augmented electroadhesion |
WO2013188420A1 (en) * | 2012-06-11 | 2013-12-19 | Sri International | Electroadhesive surface cleaner |
EP2908988B8 (en) * | 2012-10-12 | 2018-01-17 | SRI International | Conformable electroadhesive gripping system |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10889052B2 (en) | 2016-02-29 | 2021-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, method for manufacturing article, and exposure apparatus |
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