JP5806612B2 - シリコン酸炭窒化膜の形成方法 - Google Patents
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Description
図1はこの発明の第1の実施形態に係るシリコン酸炭窒化膜の形成方法の一例を示す流れ図、図2A〜図2Eは第1の実施形態に係るシリコン酸炭窒化膜の形成方法の一例における主要な工程を示す断面図である。
エッチャント : 希フッ酸(H2O:HF=100:1)
処 理 時 間: 60sec
また、ドライエッチングの条件は次の通りである。
エッチャント : CHF3、CF4、O2の混合ガス
処 理 時 間: 5sec
図3に示すように、シリコン炭窒化膜(SiCN膜)は、上記希フッ酸では、ほとんどエッチングされない。第1の実施形態のように意図的に酸素を導入してシリコン酸炭窒化膜4とし、その酸素濃度を上げていくと、上記希フッ酸によってエッチングされやすくなっていく。つまり、シリコン酸炭窒化膜4は、その酸素濃度が低いと、ウェットエッチング耐性が増す傾向が理解できる。
(1) 特に、ウェットエッチング耐性に優れたシリコン酸炭窒化膜
(2) 特に、ドライエッチング耐性に優れたシリコン酸炭窒化膜
(3) 加工の容易性を有しつつ、ウェットエッチング耐性およびドライエッチング耐性の双方ともが実用に供し得る範囲となるシリコン酸炭窒化膜
を、それぞれ精度良く作り分けることができる、という利点を得ることができる。
図6に示すように、屈折率が約1.86のシリコン酸炭窒化膜4Aは、酸素濃度が約22at.%、窒素濃度が約33at.%の低酸素濃度、高窒素濃度(窒素リッチ)の膜組成である。同じく屈折率が約1.79のシリコン酸炭窒化膜4Bも、酸素濃度が約27at.%、窒素濃度が約31at.%の低酸素濃度、高窒素濃度(窒素リッチ)の膜組成である。
図7は第1の実施形態のステップ1に用いられるシリコン炭窒化膜の形成方法の一例を示す流れ図、図8はガスの吐出タイミングの一例を示すタイミングチャート、図9A〜図9Cはシリコン炭窒化膜の形成方法の一例における主要な工程を示す断面図である。
シリコン原料ガス : ジクロロシラン(SiH2Cl2:DCS)
シリコン原料ガス流量: 500〜3000sccm
処 理 時 間 : 0.05〜1.0min
処 理 温 度 : 450〜630℃
処 理 圧 力 : 13.3〜1064Pa(0.1〜8.0Torr)
上記処理条件では、シリコンウエハ1の被処理面上に、膜厚約0.3〜1.0nmのシリコン吸着層5が形成される。
炭化剤ガス : エチレン(C2H4)
炭化剤ガス流量: 3000sccm
処 理 時 間: 0.5〜1.5min
(炭化剤ガス供給時間:0.05〜0.2min ホールド時間:0.2〜1.3min)
処 理 温 度: 450〜630℃
処 理 圧 力: 133〜665Pa(1.0〜5.0Torr)
ステップ12が終了したら、不活性ガスを用いて処理室内をパージし、処理室の内部の雰囲気を不活性ガス雰囲気、本例では窒素ガス雰囲気に置換する。
窒化剤ガス : アンモニア(NH3)
窒化剤ガス流量: 5000〜10000sccm
処 理 時 間: 0.2〜1.0min
処 理 温 度: 450〜630℃
処 理 圧 力: 13.3〜66.5Pa(0.1〜0.5Torr)
ステップ13が終了したら、不活性ガスを用いて処理室内をパージし、処理室の内部の雰囲気を不活性ガス雰囲気、本例では窒素ガス雰囲気に置換する。ここまでで、シリコン炭窒化膜2の成膜シーケンスの1サイクルが終了する。
図10は第1の実施形態のステップ2に用いられるシリコン酸窒化膜の形成方法の第1例を示す流れ図、図11はガスの吐出タイミングの一例を示すタイミングチャート、図12A〜図12Cはシリコン炭窒化膜の形成方法の一例における主要な工程を示す断面図である。
シリコン原料ガス : ジクロロシラン(SiH2Cl2:DCS)
シリコン原料ガス流量: 500〜3000sccm
処 理 時 間 : 0.05〜1.0min
処 理 温 度 : 450〜630℃
処 理 圧 力 : 13.3〜1064Pa(0.1〜8.0Torr)
上記処理条件では、シリコン炭窒化膜2上に、膜厚約0.3〜1.0nmのシリコン吸着層7が形成される。
窒化剤ガス : アンモニア(NH3)
窒化剤ガス流量: 5000〜10000sccm
処 理 時 間: 0.2〜1.0min
処 理 温 度: 450〜630℃
処 理 圧 力: 133〜665Pa(0.1〜0.5Torr)
ステップ22が終了したら、不活性ガスを用いて処理室内をパージし、処理室の内部の雰囲気を不活性ガス雰囲気、本例では窒素ガス雰囲気に置換する。
酸化剤ガス : 酸素(O2)
酸化剤ガス流量: 1000〜10000sccm
処 理 時 間: 0.1〜1.0min
処 理 温 度: 450〜630℃
処 理 圧 力: 13.3〜133Pa(0.1〜1.0Torr)
ステップ23が終了したら、不活性ガスを用いて処理室内をパージし、処理室の内部の雰囲気を不活性ガス雰囲気、本例では窒素ガス雰囲気に置換する。ここまでで、シリコン酸窒化膜3の成膜シーケンスの1サイクルが終了する。
図13は第1の実施形態のステップ2に用いられるシリコン酸窒化膜の形成方法の第2例を示す流れ図である。
図16は第1の実施形態のステップ2に用いられる第1例に係るシリコン酸窒化膜の形成方法の変形例を示す流れ図である。
第2の実施形態は、第1の実施形態に係るシリコン酸炭窒化膜の形成方法を実施することが可能な成膜装置の一例に関する。
その他、この発明はその要旨を逸脱しない範囲で様々に変形することができる。
Claims (10)
- 下地上に、シリコン酸炭窒化膜を形成するシリコン酸炭窒化膜の形成方法であって、
下地上に、シリコン炭窒化膜とシリコン酸窒化膜とを積層してシリコン酸炭窒化膜を形成し、
前記シリコン炭窒化膜の形成が、シリコン膜の炭化工程および窒化工程を含み、
前記シリコン酸窒化膜の形成が、シリコン膜の酸化工程および窒化工程を含むことを特徴とするシリコン酸炭窒化膜の形成方法。 - 前記シリコン炭窒化膜の形成と、前記シリコン酸窒化膜の形成とを繰り返すことを特徴とする請求項1に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記シリコン炭窒化膜の形成において、前記シリコン膜の炭化工程および窒化工程を繰り返すことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記シリコン酸窒化膜の形成において、前記シリコン膜の酸化工程および窒化工程を繰り返すことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記シリコン膜の酸化工程と窒化工程との順序を制御し、形成されるシリコン酸炭窒化膜の酸素濃度を制御することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記形成されるシリコン酸炭窒化膜のシリコン濃度は30at.%以上あり、
前記シリコン濃度が30at.%以上のシリコン酸炭窒化膜の酸素濃度を20at.%以上35at.%以下の範囲に制御することを特徴とする請求項5に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。 - 前記形成されるシリコン酸炭窒化膜の屈折率(光の波長633nm)が、1.72以上1.90以下の範囲であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記形成されるシリコン酸炭窒化膜のシリコン濃度は30at.%以上あり、
前記シリコン濃度が30at.%以上のシリコン酸炭窒化膜の酸素濃度を20at.%以上30at.%以下の範囲に制御することを特徴とする請求項5に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。 - 前記形成されるシリコン酸炭窒化膜の屈折率(光の波長633nm)が、1.77以上1.90以下の範囲であることを特徴とする請求項1から請求項5、及び請求項8のいずれか一項に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
- 前記シリコン酸炭素窒化膜は、ウェットエッチングおよびドライエッチングの双方に曝される膜であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のシリコン酸炭窒化膜の形成方法。
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