JP5791399B2 - AlN層の製造方法 - Google Patents
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Description
ステップ1は、MOCVD装置10の結晶成長反応炉12内に配置したAlNの単結晶を成長させるc面Al2O3基板の温度を、c面Al2O3基板上におけるAlN成長に先んじて、AlN成長を行う際の成長温度である1000℃以上1200℃以下まで昇温する工程である。
ステップ2は、ステップ1により1000℃以上1200℃以下で加熱されているc面Al2O3基板上に、1000℃以上1200℃以下の成長温度でAlN層を成長する工程である。
ステップ3は、ステップ2で成長させたAlN層を、H2またはN2またはそれらが混入されたキャリアガス中、またはそのキャリアガスにNH3が混入されたプロセスガス中で1000℃以上1250℃未満の温度でアニールする工程である。
ステップ4は、ステップ3でアニールされたAlN層上に1000℃以上1250℃未満の成長温度でAlN層を成長する工程である。
12 結晶成長反応炉
12a 導入口
12b 排気口
14 結晶成長反応炉
16 サセプター
18 誘導加熱コイル
Claims (5)
- AlN層の製造方法において、
c面Al 2 O 3 基板をAlN成長に先んじてAlN成長を行う1000℃以上1200℃以下の成長温度にまで昇温する第1のステップと、
前記第1のステップにより1000℃以上1200℃以下で加熱されている前記c面Al 2 O 3 基板上に、1000℃以上1200℃以下の成長温度でAlN層を成長する第2のステップと、
前記第2のステップで形成したAlN層を、H 2 またはN 2 またはそれらが混入されたキャリアガス中、または該キャリアガスにNH 3 が混入されたプロセスガス中で1000℃以上1250℃未満の温度でアニールする第3のステップと、
前記第3のステップでアニールされたAlN層上に1000℃以上1250℃未満の成長温度でAlN層を成長する第4のステップと
を有するAlN層の製造方法において、
前記第1のステップは、前記c面Al2O3基板をAlN成長に先んじてAlN成長を行う1000℃以上1200℃以下の成長温度にまで昇温する過程にて、前記c面Al2O3基板より部分的に酸素を脱離するようにした
ことを特徴とするAlN層の製造方法。 - 請求項1に記載のAlN層の製造方法において、
前記第2のステップは、Al極性面とN極性面との極性が混じった構造を備えたAlN層を成長する
ことを特徴とするAlN層の製造方法。 - 請求項1または2のいずれか1項に記載のAlN層の製造方法において、
前記第3のステップは、アニールを少なくとも1分間おこなう
ことを特徴とするAlN層の製造方法。 - 請求項2または3のいずれか1項に記載のAlN層の製造方法において、
前記第3のステップは、前記N極性面の領域のみを蒸発させる
ことを特徴とするAlN層の製造方法。 - 請求項2、3または4のいずれか1項に記載のAlN層の製造方法において、
前記第4のステップは、前記N極性面の領域が蒸発した結果残された前記Al極性面を初期構造として埋め込み成長をおこなう
ことを特徴とするAlN層の製造方法。
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