JP5775932B2 - プラズマ発生体及びプラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
図1(a)は本発明の第1の実施形態に係るプラズマ発生体1の外観を示す斜視概略図であり、図1(b)は図1(a)のIb−Ib線における断面概略図である。
図4は、第2の実施形態に係るプラズマ発生体201を示す、図3に相当する断面図である。
図5(a)は、第3の実施形態に係るプラズマ発生体301を示す、図3に相当する断面図である。図5(b)は、図5(a)のVb−Vb線における断面図である。
図6は、第4の実施形態に係るプラズマ発生体401を示す、図3に相当する断面図である。
図7は、第5の実施形態に係るプラズマ発生体501を示す、図3に相当する断面図である。
Claims (9)
- 貫通孔が形成された誘電体と、
前記誘電体に設けられ、前記貫通孔に対応する位置に開口が形成された第1電極と、
前記誘電体に設けられ、前記第1電極よりも前記貫通孔の貫通方向の一方側に位置し、前記貫通孔に対応する位置に開口が形成され、前記第1電極よりも前記貫通孔の内周面から離間している第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記貫通方向に面する平面状に形成されているとともに前記貫通方向に配列された複数の層状部を含む
プラズマ発生体。 - 互いに並列な複数の貫通孔が形成された誘電体と、
前記誘電体に設けられ、前記複数の貫通孔に対応する位置に複数の開口が形成された第1電極と、
前記誘電体に設けられ、前記第1電極よりも前記複数の貫通孔の貫通方向の一方側に位置し、前記複数の貫通孔に対応する位置に複数の開口が形成され、前記第1電極よりも前記複数の貫通孔それぞれの内周面から離間している第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、
前記貫通方向に延びているとともに前記複数の貫通孔を囲む複数の環状部と、
前記貫通方向に面する平面状に形成されている層状部と、を含む
プラズマ発生体。 - 互いに並列な複数の貫通孔が形成された誘電体と、
前記誘電体に設けられ、前記複数の貫通孔に対応する位置に複数の開口が形成された第1電極と、
前記誘電体に設けられ、前記第1電極よりも前記複数の貫通孔の貫通方向の一方側に位置し、前記貫通方向に見て前記複数の貫通孔を個別に囲み、前記第1電極よりも前記複数の貫通孔それぞれの内周面から離間している第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記貫通方向に延びているとともに前記複数の貫通孔を囲む複数の環状部を含み、
前記第1電極は、前記貫通方向に面する平面状に形成された層状部を含む
プラズマ発生体。 - 貫通孔が形成された誘電体と、
前記誘電体に設けられ、前記貫通孔に対応する位置に開口が形成された第1電極と、
前記誘電体に設けられ、前記第1電極よりも前記貫通孔の貫通方向の一方側に位置し、前記貫通方向に見て前記貫通孔を囲むとともに前記第1電極よりも前記貫通孔の内周面から離間している第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、前記貫通方向に延びているとともに前記貫通孔を囲む環状部を含み、
前記環状部は、前記誘電体の少なくとも一部を前記貫通方向に貫通しているとともに前記貫通孔を囲むように配列されている複数の軸状のビア導体を含む
プラズマ発生体。 - 貫通孔が形成された誘電体と、
前記誘電体に設けられ、前記貫通孔に対応する位置に開口が形成された第1電極と、
前記誘電体に設けられ、前記第1電極よりも前記貫通孔の貫通方向の一方側に位置し、前記第1電極よりも前記貫通孔の内周面から離間している第2電極と、
を有し、
前記第2電極は、
前記貫通孔に対応する位置に開口が形成され、前記貫通方向に配列された複数の層状部、及び、
前記貫通孔の貫通方向に見て貫通孔を囲み、前記貫通方向に配列された複数の環状部の少なくとも一方を含み、
前記貫通方向の前記一方側ほど前記貫通孔の内周面に近くなるように形成されている
プラズマ発生体。 - 前記第1電極は、前記貫通孔の内周面に設けられているとともに前記貫通孔を囲む筒状部を含む
請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ発生体。 - 前記貫通方向を電界の向きとする電界を前記第2電極よりも前記貫通方向の前記一方側に形成する電界形成部材を更に有する
請求項1〜6のいずれか1項に記載のプラズマ発生体。 - 前記電界形成部材は、前記第2電極よりも前記貫通方向の前記一方側に位置し、閉ループを構成しない状態で直流電圧が印加される直流電極である
請求項7に記載のプラズマ発生体。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のプラズマ発生体と、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電源装置と、
を有するプラズマ発生装置。
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