JP2010196577A - プラズマ発生体およびプラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、セラミックスからなる絶縁基板1と、絶縁基板1の一方主面に設けられた第一電極21と、絶縁基板1の内部または他方主面に設けられ、第一電極21の少なくとも一部と対向している対向領域および絶縁基板1の一方主面に垂直な方向から見たときに第一電極21の外側に延出している延出領域からなる第二電極22とを備えた沿面放電型のプラズマ発生体であって、絶縁基板1の一方主面に垂直な方向から見たときに、第二電極22の内側に位置する第一電極21の周縁部がセラミック被膜4で覆われているとともに、セラミック被膜4とセラミック被膜4から露出する第一電極21との境界が連続する凹凸形状に形成されている。
【選択図】 図1
Description
2NO+O2 → N2+2O2・・・・・・・・(2)
なお、プラズマを発生させるためには周波数の高い交流電圧が印加され、この交流電圧は必要とされるプラズマの強度等によって適宜選択される。例えば、ディーゼルエンジンの排気ガス中の粒子状物質(PM)や酸化成分等の流体を浄化するプラズマ発生体において印加される交流電圧の周波数は、例えば、1kHz〜100MHzである。
21・・・第一電極
211・・・凸部
22・・・第二電極
31、32・・・外部端子
4・・・セラミック被膜
5・・・支持部
A、B・・・プラズマ発生体
Claims (4)
- セラミックスからなる絶縁基板と、該絶縁基板の一方主面に設けられた第一電極と、前記絶縁基板の内部または他方主面に設けられ、前記第一電極の少なくとも一部と対向している対向領域および前記絶縁基板の一方主面に垂直な方向から見たときに前記第一電極の外側に延出している延出領域からなる第二電極とを備えた沿面放電型のプラズマ発生体であって、
前記絶縁基板の一方主面に垂直な方向から見たときに、前記第二電極の内側に位置する前記第一電極の周縁部がセラミック被膜で覆われているとともに、前記セラミック被膜と該セラミック被膜から露出する前記第一電極との境界が連続する凹凸形状に形成されていることを特徴とするプラズマ発生体。 - セラミックスからなる絶縁基板と、該絶縁基板のそれぞれの主面に設けられた第一電極と、前記絶縁基板の内部に設けられ、前記第一電極の少なくとも一部と対向している対向領域および前記絶縁基板の主面に垂直な方向から見たときに前記第一電極の外側に延出している延出領域からなる第二電極とを備えた沿面放電型のプラズマ発生体であって、
前記絶縁基板の一方主面に垂直な方向から見たときに、前記第二電極の内側に位置する前記第一電極の周縁部がセラミック被膜で覆われているとともに、前記セラミック被膜と該セラミック被膜から露出する前記第一電極との境界が連続する凹凸形状に形成されていることを特徴とするプラズマ発生体。 - 前記凹凸形状が鋸刃状であることを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ発生体。
- 一対の請求項1に記載のプラズマ発生体をそれぞれの前記第一電極を内側に向けて上下に配置するとともに、前記一対の請求項1に記載のプラズマ発生体の間に請求項2に記載のプラズマ発生体を配置してなることを特徴とするプラズマ発生装置。
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