JP5058199B2 - 放電装置および放電装置を用いた反応装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施の形態によるプラズマ発生体の構成例を示す斜視図であり、図2(a)は、図1のプラズマ発生体の側面図、図2(b)は、図1のプラズマ発生体の平面図である。また、図3(a)は、図2(a)のA11−A11’線における断面図、図3(b)は、図2(a)のA12−A12’線における断面図である。さらに、図4(a)は、図2(b)のB11−B11’線における断面図、図4(b)は図2(b)のB12−B12’線における断面図である。図1乃至図4に示されるように、本実施の形態によるプラズマ発生体11は、一方向に配列された複数の平板状の誘電性部材12を有する。そして、これらの誘電性部材12は、支持部13によって所定の間隔をあけて支持されている。これらの誘電性部材12と支持部13は、放電空間となるスリット14を有する基体15を構成する。なお、以下では、誘電性部材12を、第1誘電性部材12aと第2誘電性部材12bに区別する場合がある。この場合、第1誘電性部材12aと第2誘電性部材12bとは対向して配列されている。
2NO+O2 → N2+2O2・・・・・・・・・・(2)
また、プラズマ中で流体中の微粒子状不純物を帯電させることができる。ここで、外部直流電源の正の高電位側電源端子を圧接又は接合等の手段により外部端子17b,17cに電気的に接続して電圧を印加していると、第2誘電性部材12bの表面において、帯電した微粒子状不純物を電気的に吸着することができるので、流体中の微粒子状不純物を取り除くことができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、以下では、第1の実施の形態によるプラズマ発生体11と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。図10は、本発明の第2の実施の形態によるプラズマ発生体の構成例を示す斜視図であり、図11(a)は、図10のプラズマ発生体の側面図、図11(b)は、図10のプラズマ発生体の平面図である。また、図12(a)は、図11(a)のA21−A21’線における断面図、図12(b)は、図11(a)のA22−A22’線における断面図である。さらに、図13(a)は、図11(b)のB21−B21’線における断面図、図13(b)は図11(b)のB22−B22’線における断面図である。
(第3の実施形態)
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。なお、以下では、第1の実施の形態によるプラズマ発生体11と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。図18は、本発明の第3の実施の形態によるプラズマ発生体の構成例を示す斜視図であり、図19(a)は、図18のプラズマ発生体の側面図、図19(b)は、図18のプラズマ発生体の平面図である。また、図20(a)は、図19(a)のA31−A31’線における断面図、図20(b)は、図19(a)のA32−A32’線における断面図である。さらに、図21(a)は、図19(b)のB31−B31’線における断面図、図21(b)は、図19(b)のB32−B32’線における断面図である。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。なお、以下では、第1の実施の形態によるプラズマ発生体11と同一の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。図25は、本発明の第4の実施の形態によるプラズマ発生体の構成例を示す斜視図であり、図26(a)は、図25のプラズマ発生体の側面図、図26(b)は、図25のプラズマ発生体の平面図である。また、図27(a)は、図26(a)のA41−A41’線における断面図、図27(b)は、図26(b)のA42−A42’線における断面図である。さらに、図28(a)は、図26(b)のB41−B41’線における断面図、図28(b)は図26(b)のB42−B42’線における断面図である。
なお、第2の実施の形態によるプラズマ発生体21において、第1電極および第2電極の一方が誘電性部材12の表面に設けられていても、同様の効果が得られる。
12 誘電性部材
13 支持部
14 スリット
15 基体
16 電極
17 外部電極
Claims (8)
- 第1誘電性部材と、
空間を介して前記第1誘電性部材に対向する第2誘電性部材と、
前記第1誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて前記空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて前記空間に電界を生じさせる第1電極群と、
前記第2誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて前記空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて前記空間に電界を生じさせる第2電極群と、
前記第1電極群および前記第2電極群の一方に前記交流電位を供給し、前記第1電極群および前記第2電極群の他方に前記直流電位を供給し、前記第1電極群と前記第2電極群との間で前記交流電位と前記直流電位とを切り換える切換部と
を有する放電装置。 - 前記第1電極群および前記第2電極群は、第1電極および第2電極をそれぞれ有し、
前記第1電極および前記第2電極は、一方に前記交流電位が供給されると前記空間にプラズマを発生させ、少なくとも一方に前記直流電位が供給されると、前記空間に電界を生じさせる請求項1に記載の放電装置。 - 前記第1電極群および前記第2電極群の少なくとも一方において、前記第1電極および前記第2電極は、同一平面にある請求項2に記載の放電装置。
- 前記第1誘電性部材および前記第2誘電性部材は、第1方向に沿って対向しており、
前記第1電極群および前記第2電極群の少なくとも一方において、前記第1電極および前記第2電極は、前記第1方向において異なる位置にある請求項2に記載の放電装置。 - 前記第1電極群および前記第2電極群の少なくとも一方において、前記第1電極および前記第2電極の一方が、前記第1誘電性部材および前記第2誘電性部材の対応する一方の前記空間に接する表面に設けられている請求項4に記載の放電装置。
- 前記第1誘電性部材および前記第2誘電性部材は、第1方向に沿って対向しており、
前記第1方向に沿って前記第1誘電性部材および前記第2誘電性部材の一方に空間を介して対向する第3誘電性部材と、
前記第3誘電性部材の内部又は表面に設けられ、交流電位に応じて前記第3誘電性部材が接する前記空間にプラズマを発生させ、直流電位に応じて前記空間に電界を生じさせる第3電極群と
を有し、
前記切替部は、前記第1誘電性部材および前記第2誘電性部材の前記一方に対応する前記第1電極群および前記第2電極群の一方に交流電位を供給し、前記第1電極群および前記第2電極群の他方と前記第3電極群に直流電位を供給し、前記第1電極群および前記第2電極群の前記一方と、前記第1電極群および前記第2電極群の前記他方並びに前記第3電極群との間で、前記交流電位と前記直流電位とを切り換える請求項1に記載の放電装置。 - 前記第1電極群および前記第2電極群の前記一方は、前記第1方向に沿って第1電極、第2電極、および第3電極を有し、
前記第2電極は、前記交流電位および前記直流電位の一方が供給され、前記第1電極および前記第3電極は、前記交流電位および前記直流電位の他方が供給される請求項6に記載の放電装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の放電装置と、
前記第1誘電性部材と前記第2誘電性部材の間の空間に流体を供給する流体供給源と
を有する反応装置。
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