JP5730654B2 - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態に係る配線基板の構造]
始めに、第1の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図5は、第1の実施の形態に係る配線基板を例示する平面図である。図6は、図5のA−A線に沿う断面図である。なお、説明の便宜のため、図5において、第2絶縁層16及び第1外部接続端子18は省略されている。
次に、第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図7〜図20は、第1の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。
第1の実施の形態では、第1導電層13の上面(溝11x側の面)を被覆し、溝11xの内底面を被覆する第1絶縁層12の一部(溝11xの内底面の外縁部を除く部分)に延在する第2導電層14を形成し、形成した第2導電層14を電解めっき法の給電層の一部として用いる例を示した。第1の実施の形態の変形例1では、第1導電層13の上面(溝11x側の面)を被覆し、溝11xの内底面を被覆する第1絶縁層12の全部及び溝11xの内側面を被覆する第1絶縁層12の一部(溝11xの内底面側)に延在する第2導電層14Aを形成し、形成した第2導電層14Aを電解めっき法の給電層の一部として用いる例を示す。
第1の実施の形態では、溝11xを基板本体11の一方の面11a側に開口する断面が略矩形状の溝としたが、溝の形状は断面が略矩形状には限定されない。第1の実施の形態の変形例2では、基板本体11に断面がテーパ形状の溝を形成する例を示す。
第1の実施の形態では、第1導電層13の上面(溝11x側の面)を被覆し、溝11xの内底面を被覆する第1絶縁層12の一部(溝11xの内底面の外縁部を除く部分)に延在する第2導電層14を形成し、形成した第2導電層14を電解めっき法の給電層の一部として用いる例を示した。第2の実施の形態では、第1導電層13の上面(溝11x側の面)を被覆し、溝11xの内底面を被覆する第1絶縁層12の全部及び溝11xの内側面を被覆する第1絶縁層12の全部に延在する第2導電層14Bを形成し、形成した第2導電層14Bを電解めっき法の給電層の一部として用いる例を示す。
始めに、第2の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図24は、第2の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。図24を参照するに、配線基板10Cにおいて、第2導電層14が第2導電層14Bに置換されている点が、配線基板10(図5及び図6参照)と相違する。
次に、第2の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図25〜図27は、第2の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。 始めに、第1の実施の形態の図7〜図12と同様な工程を実行し、その後、図25に示す工程では、金属層22、第1導電層13S、及び第2導電層14Sを給電層とする電解めっき法により、凹部13x内及び溝11x内並びに一方の面11a上にめっき膜を析出成長させることで、第3導電層15Tを形成する。なお、第3導電層15Tは、不要部分が除去されて、最終的には第3導電層15となる層である。第3導電層15Tの材料としては、例えば銅(Cu)等を用いることができる。一方の面11a上に形成された第3導電層15Tの厚さは、例えば30〜40μm程度とすることができる。
第1の実施の形態及びその変形例、並びに第2の実施の形態では、基板本体11の一方の面11a側に開口する溝11xと、一端が溝11xの内底面に連通し、他端が基板本体11の他方の面11b側に開口する貫通孔11yと、を有する配線基板10、10A、10B、10Cを例示した。第3の実施の形態では、基板本体11の一方の面11a側から他方の面11b側に貫通する貫通孔11tを有し、溝11xを有さない配線基板10Dを例示する。
始めに、第3の実施の形態に係る配線基板の構造について説明する。図28は、第3の実施の形態に係る配線基板を例示する断面図である。図28を参照するに、配線基板10Dにおいて、溝11xが形成されてなく、第3導電層15Aが基板本体11の一方の面11aから突出している点が、配線基板10(図5及び図6参照)等との主な相違点である。
次に、第3の実施の形態に係る配線基板の製造方法について説明する。図29〜図33は、第3の実施の形態に係る配線基板の製造工程を例示する図である。 始めに、第1の実施の形態の図8〜図10と同様な工程を実行し、その後、図29に示す工程では、金属層22を給電層とする電解めっき法により、金属層22側から貫通孔11t内にめっき膜を析出成長させることで、貫通孔11tを充填する第1導電層13Tを形成する。第1導電層13Tは、例えば、上面側(金属層22の反対側)が基板本体11の一方の面11aを被覆する第1絶縁層12の上面から突出するように形成することができる。第3導電層15Tの第1絶縁層12の上面からの突出量は、例えば30〜40μm程度とすることができる。
11 基板本体
11a 基板本体の一方の面
11b 基板本体の他方の面
11x、11z 溝
11y、11t 貫通孔
12 第1絶縁層
13、13S、13T 第1導電層
13x 凹部
14、14A、14B、14C、14S 第2導電層
15、15A、15S、15T 第3導電層
16 第2絶縁層
16x、17x、21x 開口部
17 第3絶縁層
18 第1外部接続端子
19 第2外部接続端子
21 接着層
22 金属板
23、23A、23S、23T レジスト層
24 マスク
24a 遮光部
Claims (17)
- 基板本体と、
前記基板本体の一方の面側に開口する溝と、
一端が前記溝の内底面に連通し、他端が前記基板本体の他方の面側に開口する、前記溝の幅よりも径が小さい貫通孔と、
前記溝の内底面及び内側面、並びに前記貫通孔の内側面に形成された第1絶縁層と、
前記他端側から前記貫通孔の少なくとも一部を充填する第1導電層と、
前記溝の内底面に形成された第1絶縁層の一部及び前記貫通孔の内側面に形成された第1絶縁層の一部及び前記第1導電層の前記溝側の面を直接接して被覆する第2導電層と、
前記第2導電層を被覆し、前記溝を充填する第3導電層と、を有し、
前記第1導電層は、前記貫通孔の内側面に形成された前記第1絶縁層と直接接し、
前記第3導電層は、前記溝の内底面に形成された前記第1絶縁層の一部、及び前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層と直接接している配線基板。 - 前記第2導電層は、前記溝の内底面に形成された前記第1絶縁層の全部及び前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層の一部と直接接する請求項1記載の配線基板。
- 前記第2導電層は、前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層の全部と直接接する請求項2記載の配線基板。
- 前記第1導電層の前記溝側の面は、前記溝の内底面に対して前記基板本体の他方の面側に窪んだ位置にある請求項1乃至3の何れか一項記載の配線基板。
- 前記第1導電層の前記溝側の面の反対面は前記貫通孔の前記他端から露出し、前記反対面は前記基板本体の他方の面と略面一である請求項1乃至4の何れか一項記載の配線基板。
- 前記第3導電層は前記溝の開口部から露出し、前記開口部から露出する面は前記基板本体の一方の面と略面一である請求項1乃至5の何れか一項記載の配線基板。
- 前記溝の断面はテーパ形状である請求項1乃至6の何れか一項記載の配線基板。
- 基板本体に、前記基板本体の一方の面側に開口する溝を形成する第1工程と、
前記基板本体に、一端が前記溝の内底面に連通し、他端が前記基板本体の他方の面側に開口する、前記溝の幅よりも径が小さい貫通孔を形成し、その後、前記溝の内底面及び内側面、並びに前記貫通孔の内側面に第1絶縁層を形成する第2工程と、
前記基板本体の前記他方の面に金属層を形成する第3工程と、
前記金属層を給電層とする電解めっき法により、前記他端側から前記貫通孔の少なくとも一部を充填する第1導電層を形成する第4工程と、
前記溝の内底面に形成された第1絶縁層の一部及び前記貫通孔の内側面に形成された第1絶縁層の一部及び前記第1導電層の前記溝側の面を直接接して被覆する第2導電層を形成する第5工程と、
前記金属層、前記第1導電層、及び前記第2導電層を給電層とする電解めっき法により、前記第2導電層を被覆し、前記溝を充填する第3導電層を形成する第6工程と、
前記金属層を除去する第7工程と、を有し、
前記第4工程では、前記貫通孔の内側面に形成された前記第1絶縁層と直接接する前記第1導電層を形成し、
前記第6工程では、前記溝の内底面に形成された前記第1絶縁層の一部、及び前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層と直接接する前記第3導電層を形成する配線基板の製造方法。 - 前記第5工程では、前記溝の内底面に形成された前記第1絶縁層の全部及び前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層の一部と直接接する第2導電層を形成する請求項8記載の配線基板の製造方法。
- 前記第5工程では、前記溝の内側面に形成された前記第1絶縁層の全部と直接接する第2導電層を形成する請求項9記載の配線基板の製造方法。
- 前記第4工程では、前記第1導電層の前記溝側の面が、前記溝の内底面に対して前記基板本体の他方の面側に窪んだ位置となるように第1導電層を形成する請求項8乃至10の何れか一項記載の配線基板の製造方法。
- 基板本体と、
前記基板本体の一方の面側から他方の面側に貫通する貫通孔と、
前記貫通孔の内側面及び前記基板本体の前記一方の面に形成された第1絶縁層と、
前記他方の面側から前記貫通孔の一部を充填する第1導電層と、
前記一方の面に形成された第1絶縁層の一部及び前記貫通孔の内側面に形成された第1絶縁層の一部及び前記第1導電層の前記一方の面側の端面を被覆し、前記端面より前記一方の面側にある前記貫通孔内に延在する、チタン(Ti)膜上に銅(Cu)膜を積層した第2導電層と、
前記第2導電層を被覆する第3導電層と、を有し、
前記第1導電層は、前記貫通孔の内側面に形成された前記第1絶縁層の一部と直接接し、
前記第3導電層は、前記第2導電層と直接接している配線基板。 - 前記第3導電層は、前記第2導電層が形成する凹部を充填する請求項12記載の配線基板。
- 前記第2導電層は、前記一方の面に形成された前記第1絶縁層の一部と直接接し、
前記第3導電層は、前記一方の面から突出し、前記第2導電層とともに配線パターンを形成する請求項12又は13記載の配線基板。 - 基板本体に、前記基板本体の一方の面側から他方の面側に貫通する貫通孔を形成する第1工程と、
前記貫通孔の内側面及び前記基板本体の前記一方の面に第1絶縁層を形成する第2工程と、
前記基板本体の前記他方の面に金属層を形成する第3工程と、
前記金属層を給電層とするめっき法により、前記他方の面側から前記貫通孔の一部を充填する第1導電層を形成する第4工程と、
前記一方の面に形成された第1絶縁層の一部及び前記貫通孔の内側面に形成された第1絶縁層の一部及び前記第1導電層の前記一方の面側の端面を被覆し、前記端面より前記一方の面側にある前記貫通孔内に延在する、チタン(Ti)膜上に銅(Cu)膜を積層した第2導電層を形成する第5工程と、
前記金属層、前記第1導電層、及び前記第2導電層を給電層とするめっき法により、前記第2導電層を被覆する第3導電層を形成する第6工程と、
前記金属層を除去する第7工程と、を有し、
前記第4工程では、前記貫通孔の内側面に形成された前記第1絶縁層の一部と直接接する前記第1導電層を形成し、
前記第6工程では、前記第2導電層と直接接する前記第3導電層を形成する配線基板の製造方法。 - 前記第6工程において、前記金属層、前記第1導電層、及び前記第2導電層に代えて、前記第2導電層のみを給電層とするめっき法により、前記第2導電層を被覆する第3導電層を形成する請求項15記載の配線基板の製造方法。
- 前記第4工程では、前記貫通孔の全部を充填する金属層を形成し、エッチング法により前記金属層の前記一方の面側を除去することで、前記貫通孔の一部を充填する第1導電層を形成する請求項15又は16記載の配線基板の製造方法。
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