JP5729024B2 - 液体移送装置、及び、圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電アクチュエータを備えた液体移送装置、及び、その圧電アクチュエータの製造方法に関する。

従来から、圧電層の圧電変形（圧電歪ともいう）を利用して対象を駆動する圧電アクチュエータが、様々な技術分野で広く用いられている。その中でも、特許文献１には、インクジェットヘッド用の圧電アクチュエータが開示されている。

この特許文献１の圧電アクチュエータは、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を備えた流路ユニットに設けられ、各圧力室内のインクにそれぞれ圧力を付与して、ノズルからインクの液滴を噴射させるものである。より具体的には、特許文献１の圧電アクチュエータは、流路ユニットの複数の圧力室を覆うように配置された圧電層と、この圧電層の両面にそれぞれ設けられた２種類の電極（複数の個別電極と共通電極）とを有する。複数の個別電極は複数の圧力室とそれぞれ対向して設けられ、また、共通電極は、圧電層を挟んで複数の個別電極と共通に対向している。そして、駆動装置（ドライバＩＣ）から個別電極と共通電極間に電圧が印加されたときに、複数の個別電極と共通電極とに挟まれた複数の圧電層部分（以下、活性部という）に圧電変形が生じることで、圧力室内のインクに圧力が付与される。

特開２００６−２５６３１７号公報

特許文献１に記載されているような圧電アクチュエータにおいては、圧電層の変形阻害を小さくするために、電極は薄くすることが好ましい。しかし、電極を薄くすると、圧電層の駆動時の変形によって、電極に応力が加わり、電極が破断する虞がある。他にも、圧電層にクラックが生じたときに、圧電層のクラックに追従して電極が破断する虞がある。

本発明の目的は、電極が破断されて分断されることを防止できる圧電アクチュエータを備えた液体移送装置、及び、その圧電アクチュエータの製造方法を提供することである。

第１の発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置であって、前記圧電アクチュエータは、圧電材料からなり、前記圧力室と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第１電極と、前記圧電層の他方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第２電極とを有し、前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方の厚みが０．５〜１．０μｍの電極に、局部的に電極厚さが大きい補強部が環状に設けられており、当該補強部の厚みが２〜３μｍであることを特徴とする。

この第１の発明によれば、電極に、局部的に電極厚さが大きい補強部が環状に設けられているため、電極の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。

第２の発明の液体移送装置は、前記第１の発明において、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータの積層方向から見て、前記一方の電極は、前記圧力室の外周縁よりも内側の領域と重なる領域のみに配置され、環状の前記補強部は、前記一方の電極の外周縁部に設けられていることを特徴とする。

圧電アクチュエータは、圧力室の中央部に対向する位置が最も変位量が多くなる。そこで、この第４の発明によれば、電極の外周縁部に補強部が設けられているため、補強部が圧電層の変形を阻害して圧電層の変位量が少なくなることを最小限に抑制できる。さらに、最も破断しやすい電極の外周縁部を補強することができる。

第３の発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置であって、前記圧電アクチュエータは、圧電材料からなり、前記圧力室と対向するように配置され
た圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第１電極と、前記圧電層の他方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第２電極とを有し、前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方の厚みが０．５〜１．０μｍの電極が、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータの積層方向から見て、前記圧力室内の外周縁よりも内側の領域と重なる領域のみに配置され、前記一方の電極に、その外周縁部の一部から、前記一方の電極の中央部を通って前記一部とは異なる前記外周縁部の他部まで前記電極を横切るように、局部的に電極厚さが大きい補強部が設けられており、当該補強部の厚みが２〜３μｍであることを特徴とする。

この第３の発明によれば、電極の補強部が、外周縁の一部から、中央部を通って外周縁の他部まで設けられているため、電極の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。

第４の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、グリーンシートからなる圧電層上に印刷により形成される厚みが０．５μｍ以上の電極となる電極パターン上に、当該電極パターンよりも厚みが大きい、金属材料からなる環状の金属パターンを印刷により形成するパターン形成工程と、前記電極パターン及び前記金属パターンを焼成し、前記電極上に厚みが２〜３μｍの補強部を形成する補強部形成工程とを含んでいることを特徴とする。
第５の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、グリーンシートからなる圧電層上に印刷により形成される厚みが０．５〜１．０μｍの電極となる電極パターン上に、当該電極パターンよりも厚みが大きく、且つ、金属材料からなり、前記電極パターンの外周縁部の一部から当該電極パターンの中央部を通って前記一部とは異なる前記外周縁部の他部まで前記電極パターンを横切る金属パターンを印刷により形成するパターン形成工程と、前記電極パターン及び前記金属パターンを焼成し、前記電極上に厚みが２〜３μｍの補強部を形成する補強部形成工程とを含んでいることを特徴とする。

第４及び第５の発明によれば、電極に補強部が設けられていることで、電極の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。

本発明によれば、電極に、局部的に電極厚さが大きい補強部が設けられていることで、電極の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。

本実施形態に係るインクジェットプリンタを概略的に示す平面図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 図２の一部拡大図である。 （ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線断面図である。 変更例のインクジェットヘッドの平面図である。 別の変更例のインクジェットヘッドの平面図である。 （ａ）さらに別の変更例のインクジェットヘッドの、図３におけるＡ−Ａ線相当の断面図、（ｂ）はこの変更例の、図３におけるＢ−Ｂ線相当の断面図である。 さらに別の変更例のインクジェットヘッドの、図３におけるＢ−Ｂ線相当の断面図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙に対してインクの液滴を噴射するインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。

まず、本実施形態のインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。プリンタ１は、所定の走査方向（図１の左右方向）に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３（液体移送装置）と、記録用紙１００を、走査方向と直交する搬送方向に搬送する搬送機構４等を備えている。

キャリッジ２は、走査方向に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行に伴って走査方向に移動するようになっている。プリンタ１には、走査方向に間隔を空けて配列された多数の透光部（スリット）を有するリニアエンコーダ１０が設けられており、キャリッジ２には、発光素子と受光素子とを有する透過型のフォトセンサ１１が設けられている。そして、プリンタ１は、キャリッジ２の移動中にフォトセンサ１１が検出したリニアエンコーダ１０の透光部の計数値（検出回数）から、キャリッジ２の走査方向に関する現在位置を認識できるようになっている。

このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３が搭載されている。インクジェットヘッド３は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に多数のノズル３０（図２〜図４参照）を備えている。このインクジェットヘッド３は、搬送機構４により搬送方向に搬送される記録用紙１００に対して、図示しないインクカートリッジから供給されたインクを多数のノズル３０から噴射するように構成されている。

搬送機構４は、インクジェットヘッド３よりも搬送方向上流側に配置された給紙ローラ１２と、インクジェットヘッド３よりも搬送方向下流側に配置された排紙ローラ１３とを有する。給紙ローラ１２と排紙ローラ１３は、それぞれ、給紙モータ１４と排紙モータ１５により回転駆動される。そして、この搬送機構４は、給紙ローラ１２により、記録用紙１００を図１の上方からインクジェットヘッド３へ搬送するとともに、排紙ローラ１３により、インクジェットヘッド３によって画像や文字が記録された記録用紙１００を図１の下方へ排出する。

次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッドの平面図、図３は図２の一部拡大図、図４は図３の断面図であり、（ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線断面図である。インクジェットヘッド３は、ノズル３０や圧力室２４を含むインク流路が形成された流路ユニット６と、圧力室２４内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ７とを備えている。

流路ユニット６はキャビティプレート２０、ベースプレート２１、マニホールドプレート２２、及びノズルプレート２３を備えており、これら４枚のプレート２０〜２３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート２０、ベースプレート２１及びマニホールドプレート２２は、それぞれ、ステンレス鋼等の金属材料からなる平面視で略矩形状の板である。そのため、これら３枚のプレート２０〜２２に、後述するマニホールド２７や圧力室２４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート２３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート２２の下面に接着剤で接合される。あるいは、このノズルプレート２３も、他の３枚のプレート２０〜２２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。

４枚のプレート２０〜２３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート２０には、その面と平行な方向に沿って配列された複数の圧力室２４がプレート２０を貫通する孔により形成されている。各圧力室２４は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。複数の圧力室２４は、搬送方向（図２の上下方向）に千鳥状に２列に配列されている。また、図４に示すように、圧力室２４は上下両側から後述する振動板４０及びベースプレート２１によりそれぞれ覆われている。さらに、後述するインク供給口２８に連通する孔が形成されている。

ベースプレート２１には、平面視で圧力室２４の長手方向両端部と重なる位置に、それぞれ連通孔２５、２６が形成されている。また、マニホールドプレート２２には、平面視で、２列に配列された圧力室２４とそれぞれ重なるように、搬送方向に延びる２つのマニホールド２７が形成されている。これら２つのマニホールド２７は、後述する圧電アクチュエータ７の振動板４０に形成されたインク供給口２８に連通しており、図示しないインクカートリッジからインク供給口２８を介してマニホールド２７へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート２２の、平面視で複数の圧力室２４のマニホールド２７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔２６に連通する複数の連通孔２９が形成されている。

ノズルプレート２３には、平面視で複数の連通孔２９にそれぞれ重なる位置に、複数のノズル３０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル３０は、搬送方向に沿って２列に配列された複数の圧力室２４の、マニホールド２７と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置され、２列のノズル列を構成している。

以上より、マニホールド２７は連通孔２５を介して圧力室２４に連通し、さらに、圧力室２４は、連通孔２６、２９を介してノズル３０に連通している。このように、流路ユニット６内には、マニホールド２７から圧力室２４を経てノズル３０に至る個別インク流路３１が複数形成されている。

尚、図２においては、説明の簡単のため、１つのインク供給口２８に連通する液体流路のみが描かれているが、インクジェットヘッド３が、複数のインク供給口２８とそれに連通する液体流路をそれぞれ備え、各液体流路に連通するノズル３０から互いに異なるインク（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色のインク）をそれぞれ噴射可能に構成されてもよい。

次に、圧電アクチュエータ７について説明する。圧電アクチュエータ７は、複数の圧力室２４を覆うように流路ユニット６（キャビティプレート２０）の上面に配置された振動板４０と、この振動板４０の上面に、複数の圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の上面に配置された複数の個別電極４２とを備えている。

振動板４０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板４０は、キャビティプレート２０の上面に複数の圧力室２４を覆うように配設された状態で、キャビティプレート２０に接合されている。

圧電層４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなり、平板状に形成されている。この圧電層４１は、振動板４０の上面において、複数の圧力室２４に跨って連続的に形成されている。

圧電層４１の上面の、複数の圧力室２４と対向する領域には、複数の個別電極４２がそれぞれ配置されている。各個別電極４２は圧力室２４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有し、圧力室２４の中央部と対向している。個別電極４２の外周縁部には、他の部分より電極厚さの大きい補強部４２ａが形成されている。個別電極４２の厚さは、０．５〜１．０μｍであり、補強部４２ａの厚さは、２〜３μｍである。個別電極４２は、補強部４２ａを含めて同一の金属材料で形成されている。なお、補強部４２ａを他の部分とは異なる金属材料で形成することもできる。この場合、補強部４２ａに弾性係数の大きな金属材料を採用することもできる。各個別電極４２からその長手方向に沿って接点部４８がそれぞれ引き出されている。

個別電極４２と振動板４０とに挟まれた、圧電層の各部分（活性部４６）は、予め、その厚み方向に分極されている。

この圧電アクチュエータ７は、圧電層４１となる圧電材料のグリーンシートに個別電極４２となる電極パターンを印刷し、さらに補強部４２ａとなる部分を印刷して、一体焼成し、その後、振動板４０と圧電層４１とを接着剤を介して接合することで形成することができる。なお、個別電極４２は、圧電層４１を焼成して形成した後に、個別電極４２となる金属を蒸着させることで形成してもよい。また、振動板４０上にエアロゾルデポジション法により、圧電材料の粉末を吹き付けて圧電層４１を形成してもよい。

圧電アクチュエータ７の上には、この圧電アクチュエータ７を駆動するドライバＩＣ４７（駆動装置）を実装した図示しないフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）が配置されており、ＦＰＣ上の配線を介してドライバＩＣ４７と複数の個別電極４２、及び、振動板４０が電気的に接続されている。さらに、ドライバＩＣ４７はＦＰＣ上の配線を介して図示しない制御装置とプリンタの電源に接続されている。このとき、振動板４０は、常時グランド電位に保持されている。制御装置からの指令を受けて、ドライバＩＣ４７が所定のパルス波形と電圧レベル（波高値）を有する駆動パルス信号を生成し、個別電極４２に供給する。

次に、圧電アクチュエータ７の動作について説明する。個別電極４２に駆動パルス信号が供給されると、個別電極４２と振動板４０との間に電位差が発生し、個別電極４２と振動板４０との間に挟まれた活性部４６に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は活性部４６の分極方向と平行であるから、活性部４６が厚み方向と直交する面方向に収縮する。ここで、圧電層４１の下側の振動板４０はキャビティプレート２０に固定されているため、この振動板４０の上面に位置する圧電層４１が面方向に収縮するのに伴って、振動板４０の圧力室２４を覆う部分が圧力室２４側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室２４内の容積が減少して圧力室２４内のインクの圧力が上昇し、この圧力室２４に連通するノズル３０からインクが噴射される。

ところで、上述した圧電アクチュエータ７の変形の効率を上げるためには個別電極４２の厚さを極力小さくすることが好ましいが、厚さの小さい個別電極４２は、圧電層４１の駆動時の変形や、圧電層４１に発生したクラックに追従して、破断が生じる虞がある。しかしながら、本実施形態では、個別電極４２の外周縁部に、局部的に電極厚さが大きい補強部４２ａが環状に設けられていることで、圧電層４１の駆動時の変形や、クラックに追従して、個別電極４２の破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。さらに、圧電層４１の変位量は、圧力室２４の中央部ほど多いが、補強部４２ａが、個別電極４２の外周縁部に設けられることにより、圧電層４１の変形が阻害され、変位量が少なくなることを最小限に抑制できる。さらに、本実施形態では、焼成して個別電極４２が形成された圧電層４１を、接着剤を介して振動板４０に接合しているが、個別電極４２の外周縁部に補強部４２ａが設けられていることにより、この接合時に接着剤が圧電層４１の上面に回りこんだ場合であっても、個別電極４２の中央部に流入することを抑制することができる。これにより、接着剤が圧電層４１の変形を阻害することを防止できる。

次に、本実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、本実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

本実施形態では、補強部４２ａは、個別電極４２の外周縁部に設けられていたが、図５に示すように、個別電極４２と振動板４０間に電圧が印加されたときの圧電層４１の圧力室２４に対する変位量が等しくなる部分に環状に設けられてもよい。この場合、補強部４２ａは圧電層４１の変位量が等しくなる部分であれば、個別電極４２の外周縁部よりも内側に設けられてもよい。また、そのような、補強部４２ａを複数設けてもよい。また、個別電極４２の外周縁の圧電層４１の変位量が等しくなるように個別電極４２の外周縁（個別電極４２の外形）が形成されてもよい。

本実施形態では、補強部４２ａは、個別電極４２の外周縁部に設けられていたが、図６に示すように、個別電極４２の外周縁の一部から他部まで中央部を横断するように設けられてもよい。また、補強部４２ａは、一部が欠けた環状に形成されていてもよい。具体的には、個別電極４２の接点部４８につながる部分には補強部４２ａが形成されておらず、個別電極４２のその他の外周縁部には補強部４２ａが形成されて、補強部４２ａがほぼ環状に形成されていてもよい。このように補強部４２ａが設けられていても、個別電極４２に破断が生じた場合に、個別電極４２が分断されることを抑制できる。

また、本実施形態では、金属板の振動板４０が共通電極を兼ねていたが、振動板４０がセラミックなどの材料で構成され、さらに、共通電極が、圧電層４１の圧力室側の面に設けられてもよい。この場合、補強部は共通電極が圧力室２４に対向する領域内に設けられてもよい。また、補強部は圧力室２４に対向する領域の外周縁部に設けられてもよい。また、補強部は、個別電極４２と共通電極間に電圧が印加されたときの圧電層４１の圧力室２４に対する変位量が等しくなる部分に環状に設けられてもよい。また、そのような補強部を複数設けてもよい。さらには、補強部は、活性部４６の外周縁の一部から他部まで中央部を横断するように設けられてもよい。また、補強部は、一部が欠けた環状に形成されていてもよい。さらに、個別電極４２と共通電極の両方に補強部が設けられてもよい。

また、本実施形態では、圧電層４１の圧力室２４と反対側の面に個別電極４２が設けられ、圧力室側の面に共通電極が設けられていたが、図７に示すように、圧電層４１の圧力室２４と反対側の面に共通電極５０が設けられ、圧力室側の面に個別電極４２が設けられてもよい。図７では、振動板４１と個別電極４２とを絶縁するため、絶縁層４９が、圧電層４１と、振動板４０の間に設けられている。仮に共通電極５０に破断が起きたとしても、共通電極５０に電気的に孤立する部分が形成される可能性は、個別電極４２ほど高くない。そのため、個別電極４２に補強部４２ａが設けられている。なお、共通電極５０の圧力室２４と対向する領域内に補強部４２ａを設けてもよい。あるいは、個別電極４２と共通電極５０の両方に補強部を設けてもよい。

本実施形態では、共通電極を兼ねた振動板４０と、この振動板４０の上面に配置された圧電層４１と、この圧電層４１の上面に配置された個別電極４２を有する、ユニモルフ型の圧電アクチュエータに本発明を適用したが、図８に示すような、複数枚の圧電層４１、４１ａ、４１ｂ、４１ｃが積層されて、それら圧電層４１、４１ａ、４１ｂ、４１ｃの間に、個別電極４４と共通電極４３、４５が交互に配置された、いわゆる、積層型の圧電アクチュエータ７に本発明を適用することも可能である。この場合、補強部はどの電極に設けられてもよいが、圧電層に挟まれていない最上部の個別電極４２が破断する可能性が最も高いため、最上部の個別電極４２にのみ補強部４２ａを設けている。

また、本発明の適用対象となる圧電アクチュエータは、ノズルからインクの液滴を噴射させるインクジェットヘッドの圧電アクチュエータには限られない。例えば、インク以外の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータであってもよいし、活性部に生じる圧電歪みによって固形、あるいは、気体の駆動対象を振動させるような圧電アクチュエータであってもよい。

１ インクジェットプリンタ
３ インクジェットヘッド（液体移送装置）
６ 流路ユニット
７ 圧電アクチュエータ
２４ 圧力室
４０ 振動板
４１ 圧電層
４２ 個別電極
４２ａ 補強部
４８ 接点部

Claims (5)

1. 圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置であって、
   前記圧電アクチュエータは、
   圧電材料からなり、前記圧力室と対向するように配置された圧電層と、
   前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第１電極と、
   前記圧電層の他方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第２電極とを有し、
   前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方の厚みが０．５〜１．０μｍの電極に、局部的に電極厚さが大きい補強部が環状に設けられており、
   当該補強部の厚みが２〜３μｍであることを特徴とする液体移送装置。
2. 前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータの積層方向から見て、前記一方の電極は、前記圧力室の外周縁よりも内側の領域と重なる領域のみに配置され、
   環状の前記補強部は、前記一方の電極の外周縁部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
3. 圧力室を含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置であって、
   前記圧電アクチュエータは、
   圧電材料からなり、前記圧力室と対向するように配置された圧電層と、
   前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第１電極と、
   前記圧電層の他方の面の前記圧力室と対向する領域に設けられた第２電極とを有し、
   前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方の厚みが０．５〜１．０μｍの電極が、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータの積層方向から見て、前記圧力室内の外周縁よりも内側の領域と重なる領域のみに配置され、
   前記一方の電極に、その外周縁部の一部から、前記一方の電極の中央部を通って前記一部とは異なる前記外周縁部の他部まで前記電極を横切るように、局部的に電極厚さが大きい補強部が設けられており、
   当該補強部の厚みが２〜３μｍであることを特徴とする液体移送装置。
4. グリーンシートからなる圧電層上に印刷により形成される厚みが０．５〜１．０μｍの電極となる電極パターン上に、当該電極パターンよりも厚みが大きい、金属材料からなる環状の金属パターンを印刷により形成するパターン形成工程と、
   前記電極パターン及び前記金属パターンを焼成し、前記電極上に厚みが２〜３μｍの補強部を形成する補強部形成工程とを含んでいることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
5. グリーンシートからなる圧電層上に印刷により形成される厚みが０．５〜１．０μｍの電極となる電極パターン上に、当該電極パターンよりも厚みが大きく、且つ、金属材料からなり、前記電極パターンの外周縁部の一部から当該電極パターンの中央部を通って前記一部とは異なる前記外周縁部の他部まで前記電極パターンを横切る金属パターンを印刷により形成するパターン形成工程と、
   前記電極パターン及び前記金属パターンを焼成し、前記電極上に厚みが２〜３μｍの補強部を形成する補強部形成工程とを含んでいることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。

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