JP5714339B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
はじめに、半導体基板上にアルミニウム材料を形成する(金属膜形成工程)。次に、このアルミニウム材料の所定領域の表面にホトレジストのパターンを形成する(ホトレジスト形成工程)。次いで、ホトレジストを耐エッチングマスクとし、エッチングガスを用いてアルミニウム材料をエッチングし、金属配線を形成する(金属配線形成工程)。そして、耐エッチングマスクとして使用したホトレジストを剥離する(ホトレジスト剥離工程)。
アッシングは、大別すると光励起アッシングとプラズマアッシングとがある。前者は、紫外線等を用いて反応性ガスとホトレジストとの化学反応を促進させる技術である。後者は、マイクロ波等を用いて反応性ガスをプラズマ化してホトレジストを分解、除去する技術である。例えば、反応性ガスに酸素を用いると、プラズマ中の酸素ラジカルとホトレジストとが反応して二酸化炭素及び水になり剥離(蒸発)する。半導体装置の製造にあっては、後者がもっぱら用いられている。以後の説明においては、プラズマアッシングを単にアッシングと記載する。
このような状態で、次の製造工程に移行するためなどで半導体基板を大気中に暴露すると、大気中の水分と金属配線に付着した残留塩素とが反応し、塩酸(HCl)が生成され
てしまう。
そしてこの塩酸により、アルミニウム材料である金属配線が腐食されてしまう。金属配線が塩酸により腐食されると、最悪の場合断線に至り、半導体装置が正常な動作をすることが困難となる。
半導体基板1は、例えばシリコンであり、絶縁膜2はシリコン酸化膜である。金属配線3はアルミニウム材料よりなる。残留塩素5はドライエッチングで使用した反応ガスの塩素が残留したものである。
このとき、反応ガスとして塩素又は塩素を含むガスを用いるが、図8(a)に示したように、ドライエッチング後には、ホトレジスト4及び金属配線3の表面に残留塩素5が付着している。
このホトレジストの反応性生成物8は、いわば焼き付けられ焦げ付いたような状態となっているから、強く固着している。
すなわち、この専用の剥離液は、フッ化水素(HF)系溶液であり、取り扱いが危険であるため、作業環境の整備が必要となる問題である。もちろん、専用剥離設備の導入及びその維持管理費用、専用剥離液の購入及び回収費用と、製造コストが割高になってしまうことは言うまでもない。
応性生成物を溶解させることはできない。金属配線はアルミニウム材料であるから、この金属配線を溶かして反応性生成物を剥がしているのである。したがって、金属配線は専用の剥離液によるダメージを負ってしまい、表面が荒れたり形状が細くなったりと、金属配線の品質を低下させる要因を生じるという問題もある。
ホトレジスト剥離工程は、反応ガスとして、酸素と水素を含むフッ化炭素との混合ガスを用い、ホトレジストと金属配線の側壁に形成された側壁保護膜とを全て除去する金属配線露出工程と、この金属配線露出工程に続いて、半導体基板を純水により洗浄する洗浄工程と、この洗浄工程に続いて、反応ガスとして酸素を用いるプラズマでアッシングし、金属配線露出工程で形成された反応性生成物を除去する除去工程とを含むことを特徴とする。
さらにまた、金属配線は専用の剥離液によるダメージがないから、品質の高い金属配線を形成でき、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
反応ガスとして酸素と水素を含むフッ化炭素との混合ガスを用い、ホトレジストを全て除去する。ホトレジストを全て除去せずに少し残すという、いわゆるハーフアッシングという技術が知られているが、それとは異なり、全て除去するフルアッシングである。
金属配線形成工程後に金属配線及びホトレジストの表面に付着した残留塩素は、フッ化炭素ガスに含まれる水素と容易に反応し、蒸気圧の高い塩酸を生成する。この塩酸は、ガス化した状態で容易に装置外に排気されることから、金属配線及びホトレジストの表面には塩酸はなく、金属配線露出工程後、大気暴露しても金属配線が腐食することはない。
金属配線の表面に存在するホトレジストの反応性生成物は固着していないから、この洗浄工程は、特別な溶液などを用いる必要はなく純水による洗浄でよい。ホトレジストの反応性生成物中に純水が浸透することにより、この反応性生成物は膨潤する。この洗浄工程では、反応性生成物を膨潤させるためにあり、その目的とするところは、次の工程である除去工程により簡単にホトレジストの反応性生成物を剥離させるためにある。
洗浄工程により純水が浸透して膨潤したホトレジストの反応性生成物は、反応ガスとして酸素を用いるプラズマを用いるアッシング処理を行なうことで容易に剥離することができる。レジストの反応性生成物は簡単に剥離できるから、金属配線にダメージが生じることもない。
である。
なお、この製造方法で用いる製造装置については、金属配線の材料となるアルミニウム材料をドライエッチングするプラズマエッチング装置にインラインでホトレジストを剥離するプラズマアッシング装置を接続した装置を使用するものとして説明する。
図1において、S1は金属膜形成工程、S2はホトレジスト形成工程、S3は金属配線形成工程、S4はホトレジスト剥離工程、S5は洗浄工程、S6は金属配線露出工程をそれぞれ示す。ホトレジスト剥離工程S4は、3つの工程に分かれており、S41は金属配線露出工程、S42は洗浄工程、S43は除去工程となっている。
図2から図7において、1は半導体基板、2は絶縁膜、3は金属配線、4aは塗布後のホトレジスト膜、4bは所定の形状を有するホトレジスト、5は残留塩素、6は金属膜を示す。7a及び7bとはホトレジストの反応性生成物を示し、7aは膨潤前、7bは膨潤後の状態をそれぞれ示す。
図2に示す断面図は、金属膜形成工程S1を説明する図である。
例えば、シリコンよりなる半導体基板1の表面に、絶縁膜2を形成する。この絶縁膜は、例えば、シリコン酸化膜であり、半導体基板1を酸化処理して形成するか、CVD法により形成する。特に限定しないが、その膜厚は、例えば、10000Åである。
ホトレジスト形成工程S2を引き続き図2と新たに図3とを用いて説明する。
まず、金属膜6の上部全面にホトレジスト膜4aを形成する。ホトレジスト膜4aは、既知の回転塗布法により金属膜6の上面にコーティングするように形成されている。ホトレジスト膜4aの材質は、炭素を含有する感光性樹脂である。そして、特に限定しないが、その膜厚は、例えば、17000Åである。
金属配線形成工程を図4を用いて説明する。
ホトレジスト4bを耐エッチングマスクとし、塩素ガス又は塩素を含むガスを用いるドライエッチングを行い、金属膜6をエッチング加工し金属配線3を形成する。
残留塩素5は大気と接触すると、大気中の水分と反応し塩酸を生成し、アルミニウム材料からなる金属配線3を腐食してしまうため、この工程である金属配線形成工程S3と次工程であるホトレジスト剥離工程S4とは、半導体基板1を大気暴露することなく、真空中にて一貫処理する。
次に本発明の特徴的な製造工程であるホトレジスト剥離工程を図5〜図7を用いて説明する。このホトレジスト剥離工程S4は、S41からS43の3つの工程から成り立っている。
ホトレジスト剥離工程における第1の工程である金属配線露出工程S41を説明する。
反応ガスとして、酸素と水素を含むフッ化炭素との混合ガスを用いてアッシング処理し、金属配線3上のホトレジスト4を全て除去する。つまりフルアッシングするのであって、ホトレジスト4bを少量残すようなハーフアッシングとは異なるものである。
また、ハーフアッシングしホトレジストを少量残す場合は、金属配線3の側壁に、ドライエッチング時に形成される側壁保護膜(サイドフィルム)も残留している。この側壁保護膜にも残留塩素が存在するから、やはり側壁保護膜除去の工程を実施する際に大気に暴露されると、金属配線3が腐食してしまう危険性がある。
しかしながら、アッシング処理は常温でなされることから、この反応性生成物7aは、従来技術のように金属配線3に固着することはない。
ホトレジスト剥離工程における第2の工程である洗浄工程S42を説明する。
半導体基板1を、純水を用いて洗浄する。すると、前工程の金属配線露出工程S41で生成されたホトレジスト4bの反応性生成物7aは、金属配線3に固着していないことか
ら、図6に示すように、容易に純水が浸透する。そして、膨潤した状態の反応生成物7bとなる。
ホトレジスト剥離工程における第3の工程である除去工程S43を説明する。
半導体基板1を反応ガスとして、酸素を用いるプラズマでアッシング処理する。すると、前工程の洗浄工程S42で純水の浸透により膨潤したホトレジスト4bの反応性生成物7bは、図7に示すように除去される。なお、アッシング時の温度は常温(例えば、25℃)である。
膨潤したホトレジスト4bの反応性生成物7bは、金属配線3と強固に密着していないことから、酸素を用いるアッシング処理にて、容易に剥離することができる。
したがって、製造手番を短縮することができる。また、専用の剥離液に関わる設備や管理も不要となるから、製造コストの増加を防ぐことができる。さらにまた、金属配線は専用の剥離液によるダメージがないから、品質の高い金属配線を形成でき、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
例えば、金属配線露出工程S41でのフルアッシングの温度は常温(例えば、25℃)の場合を例にして説明したが、必ずしも常温である必要はない。発明者らが検討したところによると、ホトレジストの焼きつきは、150℃を超えると発生することがわかった。したがって、金属配線露出工程S41では、150℃を超えなければ、製造装置や加工の都合で常温を超えた温度となってもよいのである。つまり、装置内の処理室などが多少高温になっていても、常温まで冷却するまで待つ必要がなく、150℃を超えなければそのまま処理を行なえる。
2 絶縁膜
3 金属配線
4a ホトレジスト膜
4b ホトレジスト
5 残留塩素
6 金属膜
7a、7b 反応性生成物
Claims (2)
- 半導体基板上にアルミニウム材料を形成する金属膜形成工程と、
前記アルミニウム材料の所定の部分に、耐エッチングマスクとしてホトレジストを形成するホトレジスト形成工程と、
反応ガスとして、塩素ガス又は塩素を含むガスを用い、前記アルミニウム材料をエッチング加工し、金属配線を形成する金属配線形成工程と、
前記金属配線形成工程の後に、前記ホトレジストを剥離するホトレジスト剥離工程と、
を有する半導体装置の製造方法において、
前記ホトレジスト剥離工程は、
反応ガスとして、酸素と水素を含むフッ化炭素との混合ガスを用い、前記ホトレジストと前記金属配線の側壁に形成された側壁保護膜とを全て除去する金属配線露出工程と、
前記金属配線露出工程に続いて、前記半導体基板を純水により洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程に続いて、反応ガスとして酸素を用いるプラズマでアッシングし、前記金属配線露出工程で形成された反応性生成物を除去する除去工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記金属配線露出工程は、常温で処理することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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