JP2006294842A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 下地酸化膜上にTi膜をCVD法で形成する工程と、Ti膜上にメタル膜を形成する工程と、メタル膜及びTi膜をパターニングしてメタル配線を形成する工程と、Ti膜の側面を酸化する酸化工程と、この酸化工程の後に全面をフッ化アンモン系の薬液で洗浄する工程とを有する。
【選択図】 図2
Description
本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図1及び2を参照しながら説明する。
実施の形態2では、酸素プラズマ処理をO2/N2雰囲気中で行う。その他の工程は実施の形態1と同様である。このようにO2/N2条件化で酸化を行うと、Ti膜の側面にTiONx(酸化窒化チタン)膜が形成されることがEELS分析で確かめられている。この場合も、実施の形態1同様にメタル配線の膜剥がれが抑制することができる。
実施の形態3では、酸化工程において、O2+H2Oプラズマ処理(水アッシング)を行う。その他の工程は実施の形態1と同様である。これにより、実施の形態1同様にTi膜の側面が酸化されてメタル配線の膜剥がれを抑制することができ、さらに酸化レートを上げることもできる。
実施の形態4では、酸化工程において、オゾンアッシングを行う。その他の工程は実施の形態1と同様である。これにより、実施の形態1同様にTi膜の側面が酸化されてメタル配線の膜剥がれを抑制することができ、かつプラズマチャージアップダメージを回避することもできる。
12 下地酸化膜
13 ホール
14 TiN膜
15 Ti膜
16 タングステン膜
19a,19b ポリマー残渣
20 側壁酸化膜
Claims (7)
- 下地酸化膜上にTi膜をCVD法で形成する工程と、
前記Ti膜上にメタル膜を形成する工程と、
前記メタル膜及び前記Ti膜をパターニングしてメタル配線を形成する工程と、
前記Ti膜の側面を酸化する酸化工程と、
前記酸化工程の後に全面をフッ化アンモン系の薬液で洗浄する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記酸化工程において、酸素プラズマに晒して酸化処理を行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化工程において、酸素プラズマ処理温度が200℃以上300℃以下であることを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記Ti膜の側面に形成するTiOx膜の膜厚を2.5nm以上10nm以下とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 酸素プラズマ処理をO2/N2雰囲気中で行うことを特徴する請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化工程において、O2+H2Oプラズマ処理を行うことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化工程において、オゾンアッシングを行うことを特徴とする請求項2記載の半導体装置の製造方法。
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US8574369B2 (en) | 2007-12-04 | 2013-11-05 | Meidensha Corporation | Method of removing resist and apparatus therefor |
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