JP5688080B2 - 液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＤＮＡを含む液体、液体原料及び液体燃料等の液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。

従来から、液体を加圧するための加圧室等の空洞部を内部に備えるセラミックス積層体が知られている。このようなセラミックス積層体は、例えば、ＤＮＡチップを製造するための装置、燃料噴射装置等の「流体噴射用アクチュエータ」、インクジェットプリンタのアクチュエータ、燃料電池（ＳＯＦＣ）、スイッチング素子、及び、センサ等として広い分野において使用されている（特許文献１を参照。）。

一般に、このようなセラミックス積層体は以下に述べる手順を経て製造される。
（１）セラミックグリーンシートを準備する。
（２）「金型パンチ及びダイ」を用いた打ち抜き加工により、セラミックグリーンシートに所定形状の貫通孔を形成する。
（３）貫通孔が形成されたセラミックグリーンシート及び貫通孔が形成されていないセラミックグリーンシートを積層する。
（４）積層された複数のセラミックグリーンシートを焼成し、一体化する。

特許第３６００１９８号

しかしながら、金型パンチ及びダイを用いた打ち抜き加工は、破断により貫通孔を形成する。従って、セラミックグリーンシートを打ち抜く際、そのセラミックグリーンシートに大きな力が加わる。この結果、破断面が荒れ、或いは、破断部にバリ及びクラックが発生する場合がある。特に、加圧室（空洞部）が微細化するにつれ、これらの変形、バリ及びクラック等は加圧室（空洞部）の形状精度に大きな悪影響を及ぼす。更に、「金型パンチ及びダイ」は打ち抜き加工に耐える硬度を備える必要があるから、それらは高い硬度を有する材質から形成される。高い硬度を有する材質を用いて小型の「金型パンチ及びダイ」を製作することは困難であるから、加圧室（空洞部）の小型化にも限界がある。

本発明は、上記課題に対処するためになされたものである。即ち、本発明の目的の一つは、加圧室が微細化した場合及び隣接する加圧室間の距離が短い場合等においても、高い形状精度を有する液滴吐出ヘッドを製造することができる「液滴吐出ヘッドの製造方法」を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明による液滴吐出ヘッドの製造方法（以下、「本製造方法」と称呼する。）の一つは、「液体を収容するための加圧室と、前記加圧室に連通するノズル部と、を備える液滴吐出ヘッド本体」を含む液滴吐出ヘッドを製造するための製造方法である。

本製造方法は、（１）スラリー準備工程、（２）第１型準備工程、（３）第１多孔質板準備工程、（４）第１成形体作成工程、（５）第２型準備工程、（６）第２多孔質板準備工程、（７）第２成形体作成工程、（８）焼成前ヘッド本体作成工程、及び、（９）焼成工程、を含む。

（１）スラリー準備工程
スラリー準備工程は、セラミック粉末と、前記セラミック粉末の溶剤と、有機材料と、を含むスラリーを準備する工程である。
（２）第１型準備工程
第１型準備工程は、少なくとも一つの面が平面である第１基部と、前記第１基部の前記平面から立設するとともに前記加圧室と実質的に同一形状の凸部を含む第１凸部と、を有する第１型を準備する工程である。この第１型の成形面は、前記第１基部の前記平面のうち前記第１凸部が存在していない部分と、前記第１凸部の表面と、により構成される。

（３）第１多孔質板準備工程
第１多孔質板準備工程は、少なくとも一つの面が平面であり且つ気体が通過可能な第１多孔質板を準備する工程である。
（４）第１成形体作成工程
第１成形体作成工程は、前記スラリーを「前記第１多孔質板の平面と前記第１型の成形面との間」に存在させた状態において、前記第１多孔質板と前記第１型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記第１多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、乾燥後の第１成形体を作成する工程である。

（５）第２型準備工程
第２型準備工程は、少なくとも一つの面が平面である第２基部と、前記第２基部の前記平面から立設するとともに前記ノズル部と実質的に同一形状の凸部を含む第２凸部と、を有する第２型を準備する工程である。この第２型の成形面は、前記第２基部の前記平面のうち前記第２凸部が存在していない部分と、前記第２凸部の表面と、により構成される。

（６）第２多孔質板準備工程
第２多孔質板準備工程は、少なくとも一つの面が平面であり且つ気体が通過可能な第２多孔質板を準備する工程である。
（７）第２成形体作成工程
第２成形体作成工程は、前記スラリーを「前記第２多孔質板の平面と前記第２型の成形面との間」に存在させた状態において、前記第２多孔質板と前記第２型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記第２多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、乾燥後の第２成形体を作成する工程である。

（８）焼成前ヘッド本体作成工程
焼成前ヘッド本体作成工程は、「前記第１多孔質板の平面により形成された前記第１成形体の平面部」と「前記第２多孔質板の平面により形成された前記第２成形体の平面部」とが互いに平行になるように、前記第１成形体と前記第２成形体とを接合することを含み、これにより、焼成前の液滴吐出ヘッド本体を作成する工程である。この接合は、接着剤等を含む接着層を塗布することにより行うことができる。好ましくは、前記スラリーを塗布することが焼成収縮差に起因する歪低減の点から良い。
（９）焼成工程
焼成工程は、前記焼成前の液滴吐出ヘッド本体を焼成する工程である。

スラリー準備工程、第１型準備工程、及び、第１多孔質板準備工程は、第１成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。同様に、スラリー準備工程、第２型準備工程、及び、第２多孔質板準備工程は、第２成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。更に、第１成形体作成工程及び第２成形体作成工程は、焼成前ヘッド本体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。

この製造方法によれば、加圧室が、スラリーを型によって成形することに基いて作成される。従って、加圧室が微細化した場合及び隣接する加圧室間の距離が短い場合等においても、高い形状精度を有する液滴吐出ヘッドを製造することができる。更に、ノズル部が、スラリーを型によって成形することに基いて作成される。従って、ノズル部の表面が滑らかであり、且つ、ノズル部にバリ等が発生しない。その結果、液滴を安定して吐出することができる液滴吐出ヘッドが提供される。

更に、この製造方法によれば、液滴吐出ヘッド本体の上部となる部分（加圧室を構成する部分）と、液滴吐出ヘッド本体の下部となる部分（ノズル部を構成する部分）と、が別々に成形される。従って、一つの型を用いてスラリーの乾燥及び成形を行うことにより液滴吐出ヘッド本体を作成する場合に比べ、一回の成形時において乾燥すべきスラリーの容量及び厚さを小さくすることができる。この結果、スラリーの「乾燥及び成形」に要する時間を短くすることができる。

この場合、前記焼成前ヘッド本体作成工程は、
前記第１成形体の平面部と前記第２成形体の平面部とが接触するように、前記第１成形体と前記第２成形体とを接合する工程とすることができる。

これによれば、液滴吐出ヘッド本体の上面は「前記第１型の第１基部の平面」により成形された面となる。液滴吐出ヘッド本体の下面は「前記第２型の第２基部の平面」により成形された面となる。従って、液滴吐出ヘッド本体の上面及び下面の平坦性が高いので、液滴吐出ヘッド本体の上面及び下面に他の部材（例えば、振動板や蓋体等、及び、後述する貫通孔を備えた部材等）を強固に接合することが可能となる。

更に、この場合、前記焼成工程の後に、貫通孔を備えた部材を同貫通孔が前記ノズル部に連通するように、前記焼成された液滴吐出ヘッド本体の前記第２成形体側の表面（液滴吐出ヘッド本体の下面）に接合する他部材接合工程を備えることが望ましい。

前述したように、液滴吐出ヘッド本体の下面は「第２型の第２基部の平面」により成形された面であるので、平坦性が高い。従って、液滴吐出のための貫通孔（先端側ノズル）を備える他の部材を液滴吐出ヘッド本体の下面に強固に接合することができる。

更に、前記焼成前ヘッド本体作成工程は、
前記第１成形体と前記第２成形体とを接合した後、前記第１多孔質板の平面と前記第１型の第１凸部の頂面とにより作成された第１残部の一部と、前記第２多孔質板の平面と前記第２型の第２凸部の頂面とにより作成された第２残部の一部と、を除去することを含むことができる。

本発明による液滴吐出ヘッドの製造方法の他の態様の一つは、
前述したスラリー準備工程と、
少なくとも一つの面が平面である基部と、前記基部の前記平面から立設するとともに前記加圧室及び前記ノズル部を含む液体室と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部と、を有し、前記基部の平面のうち前記凸状部が存在していない部分と前記凸状部の表面とが成形面を構成する型を準備する型準備工程と、
前述した第１多孔質板準備工程と同様の多孔質板準備工程と、
前記スラリーを前記多孔質板の平面と前記型の成形面との間に存在させた状態において前記多孔質板と前記型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、焼成前の液滴吐出ヘッド本体を作成する焼成前ヘッド本体作成工程と、
前記焼成前の液滴吐出ヘッド本体を焼成する焼成工程と、
を含む。

これによれば、一つの型を用いて液滴吐出ヘッド本体が作成される。従って、液滴吐出ヘッド本体を作成するために二つの成形体を接合する必要がないので、工程を簡素化することができる。更に、液滴吐出ヘッド本体を作成するために二つの成形体を位置合わせしながら圧着する必要がないので、所望の形状の液滴吐出ヘッドを簡単に製造することができる。なお、スラリー準備工程、型準備工程、及び、多孔質板準備工程は、成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。

本発明装置の他の目的、他の特徴及び付随する利点は、以下の図面を参照しつつ記述される本発明の各実施形態についての説明から容易に理解されるであろう。

図１の（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法（第１製造方法）により作成される液滴吐出ヘッド本体の平面図であり、図１の（Ｂ）は第１製造方法により作成される液滴吐出ヘッドの断面図である。 図２の（Ａ）は第１製造方法において使用される第１型の長手方向に沿う縦断面図、図２の（Ｂ）は第１型の短手方向に沿う縦断面図、図２の（Ｃ）は第１型の部分斜視図である。 図３は第１製造方法の「第１多孔質板準備工程及び第１成形体作成工程」を説明するための図である。 図４は第１製造方法の第１成形体作成工程を説明するための図である。 図５は第１製造方法の第１成形体作成工程を説明するための図である。 図６は第１製造方法の第１成形体作成工程を経て作成された第１成形体の断面図である。 図７の（Ａ）は第１製造方法において使用される第２型の長手方向に沿う縦断面図、図７の（Ｂ）は第２型の短手方向に沿う縦断面図、図７の（Ｃ）は第２型の部分斜視図である。 図８は第１製造方法の「第２多孔質板準備工程及び第２成形体作成工程」を説明するための図である。 図９は第１製造方法の第２成形体作成工程を説明するための図である。 図１０は第１製造方法の第２成形体作成工程を説明するための図である。 図１１は第１製造方法の第２成形体作成工程を経て作成された第２成形体の断面図である。 図１２は第１製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図１３は第１製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図１４は第１製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図１５は従来の打ち抜き加工により作成されたノズル部の拡大写真である。 図１６は第１製造方法により作成されたノズル部の拡大写真である。 図１７は第１製造方法により作成されたノズル部の拡大写真である。 図１８の（Ａ）は本発明の第２実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法（第２製造方法）において使用される第１型の長手方向に沿う縦断面図、図１８の（Ｂ）はその第１型の短手方向に沿う縦断面図、図１８の（Ｃ）はその第１型の部分斜視図である。 図１９は第２製造方法の「第１多孔質板準備工程及び第１成形体作成工程」を説明するための図である。 図２０は第２製造方法の第１成形体作成工程を説明するための図である。 図２１は第２製造方法の第１成形体作成工程を説明するための図である。 図２２は第２製造方法の第１成形体作成工程を経て作成された第１成形体の断面図である。 図２３は第２製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図２４は第２製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図２５は第２製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図２６の（Ａ）は、第２製造方法により作成された液滴吐出ヘッド本体の平面図であり、図２６の（Ｂ）は第２製造方法により作成された液滴吐出ヘッドの断面図である。 図２７の（Ａ）は、本発明の第３実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法（第３製造方法）において使用される型（第３型）の長手方向に沿う縦断面図、図２７の（Ｂ）は第３型の短手方向に沿う縦断面図、図２７の（Ｃ）は第３型の部分斜視図である。 図２８は第３製造方法の「多孔質板準備工程及び成形体作成工程」を説明するための図である。 図２９は第３製造方法の成形体作成工程を説明するための図である。 図３０は第３製造方法の成形体作成工程を説明するための図である。 図３１は第３製造方法の成形体作成工程を経て作成された成形体の断面図である。 図３２は第３製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程を説明するための図である。 図３３は第３製造方法により作成された液滴吐出ヘッド本体の部分拡大写真である。 図３４は、第３製造方法の変形例における残膜の除去方法を説明するための図である。 図３５は、第３製造方法の変形例により作成された焼成前ヘッド本体の断面図である。 図３６は、第１製造方法及び第２製造方法の変形例における残膜の除去方法を説明するための図である。 図３７は、第１製造方法及び第２製造方法の変形例により作成された乾燥後の第２成形体の断面図である。 図３８は本発明の変形例に係る液滴吐出ヘッドの製造方法（変形例）を説明するための図である。 図３９は本発明の第１実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法の変形例（第１実施形態の変形例）を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の各実施形態に係る「液滴吐出ヘッドの製造方法」について説明する。なお、以下に述べる工程の実施順序は、矛盾が生じない範囲において入れ替えることができる。

＜第１実施形態＞
先ず、本発明の第１実施形態に係る「液滴吐出ヘッドの製造方法」により製造される液滴吐出ヘッド１０の概略構造について説明する。以下、第１実施形態に係る製造方法は、第１製造方法とも称呼される。

図１の（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、液滴吐出ヘッド１０は、液滴吐出ヘッド本体（ヘッド本体）２０、振動板３０、液体貯留室蓋体４０、複数（図１に示した例において９個）の圧電素子５０、及び、吐出孔先端部形成体６０、を備えている。なお、図１の（Ａ）は、振動板３０、液体貯留室蓋体４０、複数の圧電素子５０、及び、吐出孔先端部形成体６０を取り外した状態にある液滴吐出ヘッド１０（即ち、ヘッド本体２０）の平面図である。図１の（Ｂ）は、図１の（Ａ）の１−１線に沿った平面にて液滴吐出ヘッド１０を切断した断面図である。

ヘッド本体２０はセラミックからなる。ヘッド本体２０は、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸のそれぞれに平行な辺を有する直方体形状を備える。即ち、図１の（Ａ）に示したように、ヘッド本体２０の平面視（Ｚ軸正方向からＺ軸に沿ってヘッド本体２０を見た場合）における形状は長方形である。この長方形の長辺及び短辺は、Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ平行である。ヘッド本体２０の厚み（高さ）方向はＺ軸に平行である。なお、以下において、説明の便宜上、Ｚ軸正方向を上方向と定義し、Ｚ軸負方向を下方向と定義する。

ヘッド本体２０の上部には、複数の加圧室２１を構成する複数（図１に示した例において９個）の溝部２１ａが形成されている。複数の溝部２１ａは互いに同一形状を有している。各溝部２１ａは略直方体形状を有する。

より具体的に述べると、溝部２１ａは、平面視において「Ｘ軸に沿って伸びる長辺、及び、Ｙ軸に沿って伸びる短辺」を備える。溝部２１ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の一端は、ヘッド本体２０のＸ軸負方向端部近傍に位置する。溝部２１ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の他端は、ヘッド本体２０のＸ軸方向の略中央部に位置する。溝部２１ａの底面は、平面をなし、ヘッド本体２０の厚み方向の略中央部に存在している。即ち、溝部２１ａの深さ（高さ）は、ヘッド本体２０の厚み（高さ）の半分程度である。

ヘッド本体２０には「ノズル部２１ｂ及び貫通孔Ｈ」が形成されている。ノズル部２１ｂ及び貫通孔Ｈは、溝部２１ａの底面のＸ軸負方向端部近傍に設けられている。ノズル部２１ｂは円錐台形状である。貫通孔Ｈは円柱状である。貫通孔Ｈは溝部２１ａの底面に開口し、ノズル部２１ｂはヘッド本体２０の下面に開口している。ノズル部２１ｂ及び貫通孔Ｈは同軸的に配置されている。ノズル部２１ｂは、貫通孔Ｈとともに、溝部２１ａの底面とヘッド本体２０の下面とを連通している。ノズル部２１ｂ及び貫通孔Ｈは、基端側ノズル部とも称呼される。

ヘッド本体２０の上部には、液体貯留室（インクタンク室）２２を構成する凹部２２ａが形成されている。凹部２２ａは略直方体形状を有する。

より具体的に述べると、凹部２２ａは、平面視において「Ｘ軸に沿って伸びる長辺、及び、Ｙ軸に沿って伸びる短辺」を備える。凹部２２ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の一端は、ヘッド本体２０のＸ軸正方向端部近傍に位置する。凹部２２ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の他端は、ヘッド本体２０のＸ軸方向の略中央部に位置し、溝部２１ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の他端と所定距離だけ離れている。凹部２２ａのＹ軸に沿って伸びる短辺の一端は、複数の溝部２１ａのうちのＹ軸正方向端部に位置する溝部２１ａの短辺のＹ軸正方向端部よりも、Ｙ軸正方向側の部分に位置している。凹部２２ａのＹ軸に沿って伸びる短辺の他端は、複数の溝部２１ａのうちのＹ軸負方向端部に位置する溝部２１ａの短辺のＹ軸負方向端部よりも、Ｙ軸負方向側の部分に位置している。凹部２２ａの底面は、平面をなし、ヘッド本体２０の厚み方向の略中央部に存在している。凹部２２ａの深さ（高さ）は溝部２１ａの深さ（高さ）と同じである。

ヘッド本体２０の上部には、複数の液体流通孔２３を構成する複数（図１に示した例において９個）の溝部２３ａが形成されている。一つの溝部２３ａは一つの溝部２１ａに対応するように設けられている。複数の溝部２３ａは互いに同一形状を有している。各溝部２３ａは略直方体形状を有する。

より具体的に述べると、溝部２３ａは、平面視において「Ｘ軸に沿って伸びる長辺、及び、Ｙ軸に沿って伸びる短辺」を備える。一つの溝部２３ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の一端は、一つの溝部２１ａのＸ軸正方向端部に位置する「Ｙ軸に沿って伸びる短辺」にまで伸びている。各溝部２３ａのＸ軸に沿って伸びる長辺の他端は、凹部２２ａのＸ軸負方向端部に位置する「Ｙ軸に沿って伸びる短辺」にまで伸びている。溝部２３ａのＹ軸に沿って伸びる短辺の長さは、溝部２１ａのＹ軸に沿って伸びる短辺の長さよりも小さい。一つの溝部２３ａは、一つの溝部２１ａと凹部２２ａとを連通している。溝部２３ａの底面は、平面をなし、ヘッド本体２０の厚み方向の略中央部に存在している。溝部２３ａの深さ（高さ）は溝部２１ａの深さ（高さ）と同じである。

振動板３０は、Ｚ軸方向に小さな厚み（高さ）を有するセラミックの薄板である。振動板３０は容易に変形可能である。振動板３０の平面視における形状は長方形である。振動板３０のＸ軸正方向端部の位置は溝部２１ａのＸ軸正方向端部の位置と略一致している。振動板３０のＸ軸負方向端部の位置はヘッド本体２０のＸ軸負方向端部の位置と略一致している。振動板３０の「Ｙ軸正方向の端部及びＹ軸負方向の端部」は、ヘッド本体２０の「Ｙ軸正方向の端部及びＹ軸負方向の端部」とそれぞれ略一致している。振動板３０は、ヘッド本体２０の上面と接するように配設されている。従って、振動板３０は、総ての溝部２１ａの上部を覆っている。この結果、溝部２１ａの底面及び側面と、振動板３０の下面と、により加圧室２１が形成されている。

液体貯留室蓋体４０はＺ軸方向に厚み（高さ）を有するセラミックの板である。液体貯留室蓋体４０の平面視における形状は長方形である。液体貯留室蓋体４０のＸ軸正方向端部の位置はヘッド本体２０のＸ軸正方向端部の位置と略一致している。液体貯留室蓋体４０のＸ軸負方向端部の位置は振動板３０のＸ軸正方向端部の位置と一致している。即ち、液体貯留室蓋体４０のＸ軸負方向端部は、振動板３０のＸ軸正方向端部と密着している。液体貯留室蓋体４０の「Ｙ軸正方向の端部及びＹ軸負方向の端部」は、ヘッド本体２０の「Ｙ軸正方向の端部及びＹ軸負方向の端部」とそれぞれ略一している。液体貯留室蓋体４０は、ヘッド本体２０の上面と接するように配設されている。従って、液体貯留室蓋体４０は、凹部２２ａの上部を覆っている。この結果、凹部２２ａの底面及び側面と、液体貯留室蓋体４０の下面と、により液体貯留室２２が形成されている。

更に、液体貯留室蓋体４０は、溝部２３ａの上部を覆っている。この結果、溝部２３ａの底面及び側面と、液体貯留室蓋体４０の下面と、により液体流通孔２３が形成されている。一つの液体流通孔２３は、一つの加圧室２１と液体貯留室２２とを液体が通流可能となるように連通している。

液体貯留室蓋体４０には、液体供給連通穴４０ａが形成されている。液体供給連通穴４０ａは、平面視において液体貯留室蓋体４０の略中央部に設けられている。液体供給連通穴４０ａは、液滴吐出ヘッド本体２０の外部と液体貯留室２２とを液体が通流可能となるように連通している。

複数の圧電素子５０のそれぞれは、平面視において「Ｘ軸に沿って伸びる長辺、及び、Ｙ軸に沿って伸びる短辺」を備える。圧電素子５０の平面視における形状は、加圧室２１（従って、溝部２１ａ）の平面視における形状と略一致している。複数の圧電素子５０のそれぞれは、振動板３０を挟んで、複数の加圧室２１のそれぞれと対向するように形成されている。

吐出孔先端部形成体６０は、本例において金属（例えば、ＳＵＳ）及び樹脂等からなる板である。吐出孔先端部形成体６０の上面は、ヘッド本体２０の下面に接合（接着）されている。吐出孔先端部形成体６０には複数（図１に示した例において９個）の液体吐出孔６０ａが形成されている。液体吐出孔６０ａは、吐出孔先端部形成体６０を、その厚み方向において貫通している。液体吐出孔６０ａは先端側ノズル部とも称呼される。複数の液体吐出孔６０ａは互いに同一形状を有する。液体吐出孔６０ａの形状は逆円錐台形状である。液体吐出孔６０ａは、ノズル部２１ｂと同軸となるように配設されている。その結果、液体吐出孔６０ａは、ヘッド本体２０の下面に開口したノズル部２１ｂの端部と、吐出孔先端部形成体６０の下面とを連通している。

このように構成された液滴吐出ヘッド１０において、液体（例えば、インク）は液体供給連通穴４０ａを通して液滴吐出ヘッド１０の外部から液体貯留室２２へと供給される。液体貯留室２２の液体は、液体流通孔２３を通して加圧室２１に供給される。圧電素子５０が、図示しない駆動源からの電力により変形させられると、振動板３０が変形する。この結果、加圧室２１内の液体は加圧され、貫通孔Ｈ、ノズル部２１ｂ（基端側ノズル部）及び液体吐出孔（先端側ノズル部）６０ａを通して、液滴吐出ヘッド１０の下面から液滴として吐出される。

次に、第１製造方法について、工程別に説明する。

（スラリー準備工程）
先ず、スラリーＳＬを準備する。スラリーＳＬは、主原料の粒子としてのセラミック粉末、セラミック粉末の溶剤、有機材料及び可塑剤からなっている。これらの重量比率は、例えば、セラミック粉末：溶剤：有機材料：可塑剤＝１００：５０〜１００：５〜１０：２〜５である。本例において、セラミック粉末はアルミナ及びジルコニア等からなり、溶剤はトルエン及びイソプロピルアルコール等からなる。有機材料はポリビニルブチラール等からなる。可塑剤はフタル酸系ブチルである。各材料及び重量比率は、これらに限定されるものではない。更に、このスラリーの粘性は、例えば、０．１〜１００Ｐａ・secであることが望ましい。

（第１型準備工程）
図２の（Ａ）乃至（Ｃ）に示した第１型（押し型・スタンパ）１００を準備する。図２の（Ａ）は第１型１００を長手方向（Ｘ軸方向）に沿う平面（Ｘ−Ｚ平面）にて切断した第１型１００の断面図である。図２の（Ｂ）は第１型１００を「第１型１００のＸ軸中央部よりもＸ軸負方向側の所定位置において」短手方向（Ｙ軸方向）に沿う平面（Ｙ−Ｚ平面）により切断した第１型１００の断面図である。図２の（Ｃ）は第１型１００の部分斜視図である。第１型１００は、第１基部１０１と、第１凸部１０２と、第１枠部１０３と、を備えている。

第１基部１０１は平板状である。従って、第１基部１０１は少なくとも一つの平面１０１ｕを備えている。

第１凸部１０２は平面１０１ｕから立設している。第１凸部１０２は、前述した「複数の溝部２１ａ、凹部２２ａ及び複数の溝部２３ａ」と実質的に同一の形状を有している。即ち、第１凸部１０２は、「複数の加圧室２１、液体貯留室２２及び複数の液体流通孔２３」と実質的に同一の形状を有している。換言すると、第１凸部１０２は、互いに平行に配列される複数の加圧室２１と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部である。

第１枠部１０３は、第１基部１０１の外周部の全体に渡り平面１０１ｕから立設している。第１枠部１０３の内側面のなす形状は、ヘッド本体２０の外周面のなす形状と実質的に同一である。平面１０１ｕと第１枠部１０３の頂面１０３ａとの距離（即ち、第１枠部１０３の高さ）は、平面１０１ｕと第１凸部１０２の頂面１０２ａとの距離（即ち、第１凸部１０２の高さ）と同じである。

第１型１００の成形面は、第１基部１０１の平面１０１ｕのうち「第１凸部１０２及び第１枠部１０３」が存在していない部分（表面）と、第１凸部１０２の表面と、第１枠部１０３の内側の側面と、により構成されている。

第１型１００の成形面は離型剤により被覆されていることが好ましい。この点は、後述する「第２型２００及び第３型３００」等の他の型においても同様である。この場合、型と離型剤との密着力を向上させるために、離型剤を型（型の成形面、即ち、離型面）に塗布する前に型の洗浄を行っておくことが望ましい。この洗浄は、超音波洗浄、酸洗浄、アルカリ洗浄、及び、紫外線オゾン洗浄等により行うことができる。この洗浄により、離型剤が塗布される予定の成形面（洗浄表面）が原子レベルにまで清浄されることが好ましい。離型剤の一例は、ダイキン工業株式会社製の「オプツールＤＳＸ」等のフッ素系離型剤である。離型剤は、シリコン系又はワックス系の離型剤であってもよい。離型剤は、ディッピング、スプレー塗布、及び、刷毛塗り等により塗布された後、乾燥及び洗浄の各工程を通して型の表面に膜状に形成される。型の表面を、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングによる無機膜処理によって被覆してもよい。更に、第１型１００の表面を、ＤＬＣコーティングによる無機膜処理と、離型剤による処理と、を組み合わせることにより被覆してもよい。

（第１多孔質板準備工程）
気体が通過可能な第１多孔質板１２０を準備する（図３を参照。）。第１多孔質板１２０の少なくとも一つの面１２０ｕ（実際には両面）は平面である。このような多孔質板の代表例は、樹脂からなる多孔質フィルムである。第１多孔質板１２０の細孔径（平均細孔径、目開き）は、スラリーＳＬのセラミック粉末の粒径（平均粒子径）よりも小さく、溶剤の分子径よりも大きい。より具体的には、第１多孔質板１２０は、その細孔径が１μｍ以下（更に、望ましくは０．５μｍ以下）の「ポリプロピレン及びポリオレフィン等」からなる多孔質フィルムである。なお、第１多孔質板１２０は、多孔質セラミック基板、及び、多孔質金属（例えば、焼結金属）基板、等であってもよい。

（第１成形体作成工程）
図３に示したように、第１型１００の第１枠部１０３の内部にスラリーＳＬを充填する。スラリーＳＬの充填は塗布により行われる。この工程は「第１スラリー充填（塗布）工程」とも称呼される。スラリーＳＬは、塗布以外の適当な方法（例えば、ディッピング、スキージ、刷毛塗り、及び、ディスペンサーによる充填等）により充填されてもよい。更に、スラリー充填率を向上させために、スラリーＳＬを第１枠部１０３の内部に充填させる際、第１型１００に超音波振動を加えても良く、或いは、真空脱気して第１型１００内に残存している気泡を除去してもよい。また、スラリーＳＬを第１型１００と別途準備される平板との間に存在させた状態において第１型１００を平板に押しつけることにより、スラリーＳＬを第１型１００内に充填させてもよい。その平板には、スラリーＳＬが転写しないように（即ち、第１型１００を平板から離す際、第１型１００内に充填されたスラリーＳＬが平板に残存することがないように）、離型処理されたＰＥＴフィルム等を用いることができる。

この第１スラリー充填工程において、スラリーＳＬは、第１型１００に対して多めに充填される。これは、スラリーＳＬを充填する際のスラリーＳＬの圧力（充填圧）を高めることにより、スラリーＳＬの充填率を上げるためである。また、スラリーＳＬが乾燥する際、スラリーＳＬが収縮することを考慮する必要があるからである。この結果、図３に示したように、スラリーＳＬは、そのスラリーＳＬの表面が第１枠部１０３の頂面１０３ａよりも外側に存在するように、第１型１００に充填される（図３の距離ｔ１を参照。）。

一方、図３に示したように、第１多孔質板１２０を「多孔質の焼結金属１３０の上面（焼結金属１３０の両方の面のうちの一方の面）」に載置する。焼結金属１３０は、「緻密で熱伝導性のある材質」からなる枠体１４０内に収容されている。即ち、焼結金属１３０は、その上面を除く周囲（側面及び下面）が枠体１４０により覆われている。枠体１４０の側部には吸引用連通管１４１が挿入されている。吸引用連通管１４１は図示しない真空ポンプに接続されている。

枠体１４０は、ホットプレート（加熱装置）１５０の上に載置されている。ホットプレート１５０は通電されたときに発熱し、枠体１４０及び焼結金属１３０を介して第１多孔質板１２０の下面（他方の面、即ち、第１多孔質板１２０の一部）を加熱するようになっている。

次に、図４に示したように、スラリーＳＬを「第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと第１型１００の成形面との間」に存在させた状態において、第１多孔質板１２０と第１型１００とが対向するように、第１多孔質板１２０と第１型１００とを配置する。即ち、スラリーＳＬが充填された第１型１００を第１多孔質板１２０の平面１２０ｕの上に搭載する。このとき、第１型１００を第１多孔質板１２０に対して適当な力で押圧する。

この結果、図４に矢印により示したように、「第１型１００の内部に保持されているスラリーＳＬ」に含まれる溶剤が、毛細管現象によって、第１多孔質板１２０の平面１２０ｕ（スラリーＳＬと第１多孔質板１２０との接触面）近傍の細孔内に浸み込むとともに気化（蒸発）する。これにより、スラリーＳＬが乾燥して行く。

更に、この工程において、前述した真空ポンプを駆動する。この真空ポンプの駆動により、第１多孔質板１２０内に存在するガスが排出される（白抜きの矢印Ａを参照。）。従って、第１多孔質板１２０の内部の圧力は、大気圧よりも低圧（例えば、大気圧よりも８０ｋＰａ低い圧力）になる。これによって、スラリーＳＬに含まれている溶剤が、第１多孔質板１２０の細孔（特に、第１多孔質板１２０の表面近傍の細孔）内に効率的に吸引される（浸み込みながら気化して行く）。この場合、真空度（第１多孔質板１２０内部圧力）は、０〜−１００ｋＰａであることが好ましく、−８０〜−１００ｋＰａであることが更に好ましい。

なお、真空ポンプの駆動により第１多孔質板１２０の細孔内を低圧化する場合、「焼結金属１３０の露呈面、及び、第１多孔質板１２０の露呈面」を、気密性の高いフィルムなどで覆うことにより、焼結金属１３０及び第１多孔質板１２０を密閉することがより好ましい。焼結金属１３０の露呈面とは、焼結金属１３０の表面のうち「枠体１４０及び第１多孔質板１２０」により覆われていない表面のことである。第１多孔質板１２０の露呈面とは、第１多孔質板１２０の側面と、第１多孔質板１２０の平面（上面）１２０ｕのうち第１型１００によって覆われていない表面と、からなる部分のことである。「焼結金属１３０の露呈面、及び、第１多孔質板１２０の露呈面」を密閉しない場合、第１多孔質板１２０内の真空度が低下するので、溶剤の気化の効率が低下する。また、スラリーＳＬの溶剤が気化した部分に負圧が発生し、その部位に大気が流入する。その結果、特に、スラリーＳＬの第１多孔質板１２０の近傍部位に気孔が発生する場合がある。これに対し、上記のように「焼結金属１３０の露呈面、及び、第１多孔質板１２０の露呈面」を密閉すると、そのような気孔の発生を防止することができる。

加えて、この工程において、ホットプレート１５０に通電する。従って、第１多孔質板１２０の温度が上昇するので、第１多孔質板１２０の細孔内に浸み込んだ溶剤は容易に蒸発（拡散）する。この結果、スラリーＳＬは乾燥され固化し、乾燥後の第１成形体１１０が「第１型１００と第１多孔質板１２０との間」に作成される。

なお、この工程において、ホットプレート１５０を最も上方に位置させ、そのホットプレート１５０の下方に枠体１４０、焼結金属１３０及び第１多孔質板１２０を保持し、その第１多孔質板１２０に向けて「スラリーＳＬを充填した第１型１００」を押圧してもよい。即ち、図４に示した構成の上下を逆転してもよい。これにより、気化した溶剤は垂直上方へと蒸発（拡散）する。従って、比重の小さい気化した溶剤が蒸発（拡散）し易くなるので、スラリーＳＬ内に気孔が発生し難い。

また、真空ポンプの駆動による第１多孔質板１２０の細孔内の低圧化は任意である。従って、焼結金属１３０及び枠体１４０は、単なる基台に置換されてもよい。更に、ホットプレート１５０による第１多孔質板１２０の加熱も任意である。従って、ホットプレート１５０は省略されてもよい。更に、本例においては、第１型１００を第１多孔質板１２０に対向配置する際には第１型１００を第１多孔質板１２０に対して適当な力で押圧するが、その後の「真空ポンプの駆動による第１多孔質板１２０の細孔内の低圧化中、及び、ホットプレート１５０による第１多孔質板１２０の加熱中」には、第１型１００には何らの押圧力を加えないか、或いは、第１多孔質板１２０の密度が局所的に変化することのない程度の適正な押圧力を加える。

その後、スラリーＳＬが乾燥して「乾燥後第１成形体１１０」が形成されると、「第１型１００、第１多孔質板１２０及び乾燥後第１成形体１１０」は冷却される。次いで、図５に示したように、第１型１００が「第１多孔質板１２０及び乾燥後の第１成形体１１０」から除去される。すなわち、離型工程が実施される。

この離型工程においても真空ポンプを駆動し、焼結金属１３０の内部の圧力を低圧化することが好ましい。これにより、第１型１００を脱離させる際（離型時）、第１多孔質板１２０を焼結金属１３０によって安定して保持することができる。この結果、第１多孔質板１２０が浮き上がることが防止されるので、第１多孔質板１２０の変形及び乾燥後第１成形体１１０の変形（パターンの破損）が回避され得る。なお、後述するように、この段階において離型工程を実施しなくてもよい。即ち、乾燥後の第１成形体１１０を第１型１００内に維持しておいてもよい。

次いで、第１成形体１１０を第１多孔質板１２０から分離する。この結果、図６に示した第１成形体１１０が得られる。

このように、第１成形体作成工程は、スラリーＳＬを「第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと第１型１００の成形面との間」に存在させた状態において、第１多孔質板１２０と第１型１００とを対向配置し、スラリーＳＬに含まれる溶剤を第１多孔質板１２０の細孔内に浸み込ませてスラリーＳＬを乾燥させることにより、乾燥後の第１成形体１１０を作成する工程である。

（第２型準備工程）
図７の（Ａ）乃至（Ｃ）に示した第２型（押し型・スタンパ）２００を準備する。図７の（Ａ）は第２型２００を長手方向（Ｘ軸方向）に沿う平面（Ｘ−Ｚ平面）にて切断した第２型２００の断面図である。図７の（Ｂ）は第２型２００を「第２型２００のＸ軸中央部よりもＸ軸負方向側の所定位置において」短手方向（Ｙ軸方向）に沿う平面（Ｙ−Ｚ平面）により切断した第２型２００の断面図である。図７の（Ｃ）は第２型２００の部分斜視図である。第２型２００は、第２基部２０１と、第２凸部２０２と、第２枠部２０３と、を備えている。

第２基部２０１は平板状である。従って、第２基部２０１は少なくとも一つの平面２０１ｕを備えている。

第２凸部２０２は平面２０１ｕから立設している。第２凸部２０２は、前述したノズル部２１ｂと実質的に同一の形状を有している。即ち、第２凸部２０２は円錐台形状を有している。第２凸部２０２は、ノズル部２１ｂが形成される予定の平面位置に設けられている。換言すると、第２凸部２０２は、ノズル部２１ｂと実質的に同一形状の凸部を含む凸状部である。

第２枠部２０３は、第２基部２０１の外周部の全体に渡り平面２０１ｕから立設している。第２枠部２０３の内側面のなす形状は、ヘッド本体２０の外周面のなす形状と同一である。第２枠部２０３の頂面２０３ａ及び第２凸部２０２の頂面２０２ａは、平面２０１ｕと平行な一つの平面ＰＬ内に存在している。

第２型２００の成形面は、第２基部２０１の平面２０１ｕのうち「第２凸部２０２及び第２枠部２０３」が存在していない部分（表面）と、第２凸部２０２の表面と、第２枠部２０３の内側の側面と、により構成されている。第２型２００の成形面も、前述したように、離型剤及び／又はＤＬＣ等により被覆されていることが好ましい。

（第２多孔質板準備工程）
第１多孔質板準備工程と同様、気体が通過可能な第２多孔質板２２０を準備する（図８を参照。）。第２多孔質板２２０は、第１多孔質板１２０と同種の板体である。第２多孔質板２２０の少なくとも一つの面２２０ｕ（実際には両面）は平面である。

（第２成形体作成工程）
図８に示したように、第２型２００の第２枠部２０３の内部にスラリーＳＬを充填する。スラリーＳＬの充填は塗布により行われる。この工程は「第２スラリー充填（塗布）工程」とも称呼される。スラリーＳＬは、第１スラリー充填工程と同様、塗布以外の適当な方法により充填されてもよい。更に、スラリー充填率を向上させために、スラリーＳＬを枠部２０３の内部に充填させる際、第２型２００に超音波振動を加えても良く、或いは、真空脱気して第２型２００内に残存している気泡を除去してもよい。また、スラリーＳＬを第２型２００と別途準備される平板との間に存在させた状態において第２型２００を平板に押しつけることにより、スラリーＳＬを第２型２００内に充填させてもよい。その平板には、スラリーＳＬが転写しないように（即ち、第２型２００を平板から離す際、第２型２００内に充填されたスラリーＳＬが平板に残存することがないように）、離型処理されたＰＥＴフィルム等を用いることができる。

この第２スラリー充填工程において、スラリーＳＬは、第２型２００に対して多めに充填される。これは、スラリーＳＬを充填する際のスラリーＳＬの圧力（充填圧）を高めることにより、スラリーＳＬの充填率を上げるためである。また、スラリーＳＬが乾燥する際、スラリーＳＬが収縮することを考慮する必要があるからである。この結果、図８に示したように、スラリーＳＬは、そのスラリーＳＬの表面が第２型２００の「第２枠部２０３の頂面２０３ａ及び第２凸部２０２の頂面２０２ａ（即ち、平面ＰＬ）」よりも外側に存在するように、第２型２００に充填される（図８の距離ｔ２を参照。）。

一方、図８に示したように、第２多孔質板２２０を「多孔質の焼結金属１３０の上面」に載置する。焼結金属１３０は枠体１４０内に収容されている。枠体１４０の側部には吸引用連通管１４１が挿入されている。吸引用連通管１４１は図示しない真空ポンプに接続されている。枠体１４０は、ホットプレート１５０の上に載置されている。

次に、図９に示したように、スラリーＳＬを「第２多孔質板２２０の平面２２０ｕと第２型２００の成形面との間」に存在させた状態において、第２多孔質板２２０と第２型２００とが対向するように、第２多孔質板２２０と第２型２００とを配置する。

この結果、図９に矢印により示したように、「第２型２００の内部に保持されているスラリーＳＬ」に含まれる溶剤が、毛細管現象によって、第２多孔質板２２０の平面２２０ｕ（スラリーＳＬと第２多孔質板２２０との接触面）近傍の細孔内に浸み込むとともに気化（蒸発）する。これにより、スラリーＳＬが乾燥して行く。

更に、この工程において、前述した真空ポンプを駆動する。この真空ポンプの駆動により、第２多孔質板２２０内に存在するガスが排出される（白抜きの矢印Ａを参照。）。従って、第２多孔質板２２０の内部の圧力は、大気圧よりも低圧（例えば、大気圧よりも８０ｋＰａ低い圧力）になる。これによって、スラリーＳＬに含まれている溶剤が、第２多孔質板２２０の細孔（特に、第２多孔質板２２０の表面近傍の細孔）内に効率的に吸引される（浸み込みながら気化して行く）。この場合においても、真空度（第２多孔質板２２０内部圧力）は、０〜−１００ｋＰａであることが好ましく、−８０〜−１００ｋＰａであることが好ましい。

なお、真空ポンプの駆動により第２多孔質板２２０の細孔内を低圧化する場合、「焼結金属１３０の露呈面、及び、第２多孔質板２２０の露呈面」を、気密性の高いフィルムなどで覆うことにより、焼結金属１３０及び第２多孔質板２２０を密閉することがより好ましい。焼結金属１３０の露呈面とは、焼結金属１３０の表面のうち「枠体１４０及び第２多孔質板２２０」により覆われていない表面のことである。第２多孔質板２２０の露呈面とは、第２多孔質板２２０の側面と、第２多孔質板２２０の平面（上面）２２０ｕのうち第２型２００によって覆われていない表面と、からなる部分のことである。「焼結金属１３０の露呈面、及び、第２多孔質板２２０の露呈面」を密閉しない場合、第２多孔質板２２０内の真空度が低下するので、溶剤の気化の効率が低下する。また、スラリーＳＬの溶剤が気化した部分に負圧が発生し、その部位に大気が流入する。その結果、特に、スラリーＳＬの第２多孔質板２２０の近傍部位に気孔が発生する場合がある。これに対し、上記のように「焼結金属１３０の露呈面、及び、第２多孔質板２２０の露呈面」を密閉すると、そのような気孔の発生を防止することができる。

加えて、この工程において、ホットプレート１５０に通電する。従って、第２多孔質板２２０の温度が上昇するので、第２多孔質板２２０の細孔内に浸み込んだ溶剤は容易に蒸発（拡散）する。この結果、スラリーＳＬは乾燥され固化し、乾燥後の第２成形体２１０が「第２型２００と第２多孔質板２２０との間」に作成される。

なお、この工程において、ホットプレート１５０を最も上方に位置させ、そのホットプレート１５０の下方に枠体１４０、焼結金属１３０及び第２多孔質板２２０を保持し、その第２多孔質板２２０に向けて「スラリーＳＬを充填した第２型２００」を押圧してもよい。即ち、図９に示した構成の上下を逆転してもよい。これにより、気化した溶剤は垂直上方へと蒸発（拡散）する。従って、比重の小さい気化した溶剤が蒸発（拡散）し易くなるので、スラリーＳＬ内に気孔が発生し難い。

また、真空ポンプの駆動による第２多孔質板２２０の細孔内の低圧化は任意である。従って、焼結金属１３０及び枠体１４０は、単なる基台に置換されてもよい。更に、ホットプレート１５０による第２多孔質板２２０の加熱も任意である。従って、ホットプレート１５０は省略されてもよい。更に、本例においては、第２型２００を第２多孔質板２２０に対向配置する際には第２型２００を第２多孔質板２２０に対して適当な力で押圧するが、その後の「真空ポンプの駆動による第２多孔質板２２０の細孔内の低圧化中、及び、ホットプレート１５０による第２多孔質板２２０の加熱中」には、第２型２００には何らの押圧力を加えないか、或いは、第２多孔質２２０の密度が局所的に変化することのない程度の適正な押圧力を加える。

その後、スラリーＳＬが乾燥して「乾燥後第２成形体２１０」が形成されると、「第２型２００、第２多孔質板２２０及び乾燥後第２成形体２１０」は冷却される。次いで、図１０に示したように、第２型２００が「第２多孔質板２２０及び乾燥後第２成形体２１０」から除去される。すなわち、離型工程が実施される。

この離型工程においても真空ポンプを駆動し、焼結金属１３０の内部の圧力を低圧化することが好ましい。これにより、第２型２００を脱離させる際（離型時）、第２多孔質板２２０を焼結金属１３０によって安定して保持することができる。この結果、第２多孔質板２２０が浮き上がることが防止されるので、第２多孔質板２２０の変形及び乾燥後第２成形体２１０の変形（パターンの破損）が回避され得る。なお、後述するように、この段階において離型工程を実施しなくてもよい。即ち、乾燥後の第２成形体２１０を第２型２００内に維持しておいてもよい。

次いで、第２成形体２１０を第２多孔質板２２０から分離する。この結果、図１１に示した第２成形体２１０が得られる。

このように、第２成形体作成工程は、スラリーＳＬを「第２多孔質板２２０の平面２２０ｕと第２型２００の成形面との間」に存在させた状態において、第２多孔質板２２０と第２型２００とを対向配置し、スラリーＳＬに含まれる溶剤を第２多孔質板２２０の細孔内に浸み込ませてスラリーＳＬを乾燥させることにより、乾燥後の第２成形体２１０を作成する工程である。

（焼成前ヘッド本体作成工程）
次に、図１２に示したように、第２成形体２１０の上下を逆転（反転）し、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合する。即ち、第１成形体１１０の平面部１１０ａと第２成形体２１０の平面部２１０ａとが互いに平行で且つ接するように、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを熱圧着により接合する。この熱圧着の前に、第１成形体１１０の平面部１１０ａと第２成形体２１０の平面部２１０ａとに接着ペーストを塗布するか、或いは、樹脂をスプレー塗布しておく。また、この熱圧着の前に、第１成形体１１０の平面部１１０ａと、第２成形体２１０の平面部２１０ａと、の間に接着樹脂フィルムを配置してもよい。第１成形体１１０の平面部１１０ａは、第１多孔質板１２０の平面１２０ｕにより形成された部分である。第２成形体２１０の平面部２１０ａは、第２多孔質板２２０の平面２２０ｕにより形成された部分である。

更に、この第１成形体１１０と第２成形体２１０との接合時において、「第１型１００の第１凸部１０２により成形された溝部２１ａ’の底面の中心軸Ｃ１」と「第２型２００の第２凸部２０２により成形された凹部２１ｂ’の中心軸Ｃ２」とが一致し、且つ、溝部２１ａ’に対する凹部２１ｂ’の位置が「液滴吐出ヘッド本体２０における加圧室２１に対するノズル部２１ｂの位置」と一致するように、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合する。

なお、乾燥後の第１成形体１１０を第１型１００内に維持し、且つ、乾燥後の第２成形体２１０を第２型２００内に維持した状態において、第１成形体１１０の平面部１１０ａと第２成形体２１０の平面部２１０ａとが互いに平行で且つ接するように、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを熱圧着により接合し、その後、第１型１００及び第２型２００を脱離させてもよい。このように、第１成形体１１０と第２成形体２１０との接合後に、離型工程を実施すれば、パターンを破損させることなく、十分な圧着力が得られるので、好ましい。

この結果、図１３に示した「残部除去前の液滴吐出ヘッド本体２０Ａ」が作成される。液滴吐出ヘッド本体２０Ａは、図１３の破線の円内に示したように、残部ＲＢを有する。残部ＲＢは、第１型１００の凸部１０２の頂面１０２ａと第１多孔質板１２０の平面１２０ｕとの間に存在したスラリーＳＬにより形成される部分（第１残部）と、第２型２００の凸部２０２の頂面２０２ａと第２多孔質板２２０の平面２２０ｕとの間に残存したスラリーＳＬにより形成される部分（第２残部）と、平面部１１０ａと平面部２１０ａとの間に塗布又は配置された「接着ペースト、樹脂又は接着樹脂フィルム」等が構成する接着層と、からなる部分である。

次に、残部ＲＢの一部又は全部を、レーザー加工により除去し、溝部２１ａ’と凹部２１ｂ’とを連通させる。即ち、図１４に示したように、残部ＲＢに貫通孔Ｈを形成する。これにより、凹部２１ｂ’と貫通孔Ｈとからなるノズル部が形成される。以上により、図１４に示した「焼成前ヘッド本体２０Ｂ」が作成される。

（焼成工程）
一方、振動板３０となるセラミックグリーンシートと、液体貯留室蓋体４０となるセラミックグリーンシートとを別途準備しておく。更に、液体貯留室蓋体４０の所定位置に、液体供給連通穴４０ａとなる貫通孔を形成しておく。そして、焼成前ヘッド本体２０Ｂの上に、振動板３０となるセラミックグリーンシートと、液体貯留室蓋体４０となるセラミックグリーンシートと、を平面方向の位置を合わせながら積層する。次いで、これらを熱圧着し、熱圧着された積層体を脱脂した後に焼成する。これにより、振動板３０及び液体貯留室蓋体４０を有するヘッド本体２０（焼成された積層体）が完成する。

（圧電素子形成工程）
その後、周知の手法に従って、所定の位置に圧電素子を形成する。例えば、前記ヘッド本体２０と、焼成された圧電体膜を含む圧電素子と、を接合する。その後、圧電素子の上にマスクを形成し、微粒子（砥粒）を噴射してマスクが存在していない部分の圧電素子を除去する。即ち、所謂「ブラスト加工」により圧電素子５０を形成する（例えば、特許第３３４００４３号を参照。）。これにより、「吐出孔先端部形成体６０を除き且つ焼成された液滴吐出ヘッド」が完成する。なお、焼成前の圧電素子を振動板３０の上部の所定位置に形成し、その後、圧電素子を焼成してもよい。

（他部材接合工程）
更に、吐出孔先端部形成体６０を別途準備する。吐出孔先端部形成体６０は、本例において金属（ＳＵＳ等）からなる。吐出孔先端部形成体６０には、その所定位置に複数（本例において９個）の液体吐出孔６０ａとなる貫通孔を形成しておく。最後に、「吐出孔先端部形成体６０を除いた液滴吐出ヘッド」の下面に、吐出孔先端部形成体６０を接着剤により接合する。即ち、貫通孔（液体吐出孔）６０ａを備えた部材（吐出孔先端部形成体）６０を、その貫通孔６０ａが基端側ノズル部２１ｂ（凹部２１ｂ’及び貫通孔Ｈ）に連通するように、焼成された液滴吐出ヘッドのノズル側の表面（液滴吐出ヘッド本体２０の下面）に接合する。このとき、液体吐出孔６０ａのそれぞれの中心軸が基端側ノズル部２１ｂのそれぞれの中心軸と一致するように（これらが同軸的になるように）、「吐出孔先端部形成体６０を除いた液滴吐出ヘッド」と「吐出孔先端部形成体６０」との位置合わせを行う。以上により、液滴吐出ヘッド１０が完成する。

以上、説明したように、第１製造方法によれば、第１型１００を用いてスラリーＳＬを成形しながら乾燥させることにより第１成形体１１０を作成するとともに、第２型２００を用いてスラリーＳＬを成形しながら乾燥させることにより第２成形体２１０を作成する。その後、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合することにより、液滴吐出ヘッド本体２０の焼成前積層体を作成する。従って、第１製造方法は、次に述べる利点を有する。

（第１利点）
ノズル部を従来の「金型パンチ及びダイ」を用いた打ち抜き加工により作成すると、図１５の写真に示したように、破断面が荒れ、且つ、破断部にバリ等が発生する。これに対し、第１製造方法によれば、ノズル部２１ｂ（凹部２１ｂ’）が、スラリーＳＬを型によって成形することに基いて作成される。その結果、図１６及び図１７の写真に示したように、ノズル部の表面が滑らかであり、且つ、ノズル部にバリ等が発生しない。その結果、液滴を安定して吐出することができる液滴吐出ヘッドが提供される。更に、第１製造方法によれば、加圧室２１が、スラリーを型によって成形することに基いて作成される。従って、加圧室２１が微細化した場合及び隣接する加圧室２１間の距離が短い場合等においても、高い形状精度を有する液滴吐出ヘッド１０を製造することができる。

（第２利点）
一つの型を用いてスラリーＳＬの乾燥及び成形を行うことにより液滴吐出ヘッド本体２０の焼成前積層体を作成する場合に比べ、一回の成形時において乾燥すべきスラリーの容量及び厚さを小さくすることができる。この結果、スラリーＳＬの「乾燥及び成形」に要する時間を短くすることができる。従って、液滴吐出ヘッド１０を効率良く製造することができる。

（第３利点）
更に、一つの型を用いて液滴吐出ヘッド本体２０の焼成前積層体を作成する場合、離型時における「成形体（焼成前積層体）と型」との接触面積が大きくなり、且つ、成形体の厚みが大きいので、離型時において成形体が変形する可能性が高まる。これに対し、第１製造方法においては、第１成形体１１０及び第２成形体２１０を個別に作成するので、それぞれの離型時において第１成形体１１０及び第２成形体２１０が変形する可能性を小さくすることができる。

（第４利点）
加えて、一つの型を用いて液滴吐出ヘッド本体２０の焼成前積層体を作成する場合、充填すべきスラリーＳＬの容量が多く且つ型の成形面の形状が複雑になるので、型にスラリーＳＬを充填する際、スラリーＳＬ内に気泡が巻き込まれてしまう可能性が高い。第１製造方法は、この可能性を低減することもできる。

（第５利点）
更に、第１製造方法においては、第２成形体２１０の上下を逆転（反転）し、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合している。従って、吐出孔先端部形成体６０が接合される面は、第２型２００の平面２０１ｕにより成形された面となるので、非常に平坦な面である。その結果、吐出孔先端部形成体６０を強固に接合することができる。

なお、第１製造方法（及び後述する第２製造方法）において、スラリー準備工程、第１型準備工程、及び、第１多孔質板準備工程は、第１成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。同様に、スラリー準備工程、第２型準備工程、及び、第２多孔質板準備工程は、第２成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。更に、第１成形体作成工程及び第２成形体作成工程は、焼成前ヘッド本体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る「液滴吐出ヘッドの製造方法」について説明する。以下、第２実施形態に係る製造方法は、第２製造方法とも称呼される。

第２製造方法は、焼成前ヘッド本体作成工程が第１製造方法の焼成前ヘッド本体作成工程と相違する点において第１製造方法と相違する。以下、順に説明を加える。

（スラリー準備工程）
第１製造方法のスラリー準備工程と同様にしてスラリーＳＬを準備する。

（第１型準備工程）
図１８の（Ａ）乃至（Ｃ）に示した第１型（押し型・スタンパ）１００’を準備する。図１８の（Ａ）は第１型１００’を長手方向（Ｘ軸方向）に沿う平面（Ｘ−Ｚ平面）にて切断した第１型１００’の断面図である。図１８の（Ｂ）は第１型１００’を「第１型１００’のＸ軸中央部よりもＸ軸負方向側の所定位置において」短手方向（Ｙ軸方向）に沿う平面（Ｙ−Ｚ平面）により切断した第１型１００’の断面図である。図１８の（Ｃ）は第１型１００’の部分斜視図である。

第１型１００’は、第１型１００と同じ型であり、第１基部１０１と、第１凸部１０２と、第１枠部１０３’と、を備えている。

第１枠部１０３’は、第１基部１０１の外周部の全体に渡り平面１０１ｕから立設している。第１枠部１０３’の内側面のなす形状は、ヘッド本体２０の外周面のなす形状と実質的に同一である。平面１０１ｕと第１枠部１０３’の頂面１０３ａ’との距離（即ち、第１枠部１０３’の高さ）は、平面１０１ｕと第１凸部１０２の頂面１０２ａとの距離（即ち、第１凸部１０２の高さ）と同じである。即ち、頂面１０３ａ’と頂面１０２ａとは、平面１０１ｕに平行な一つの平面ＰＬ内に存在している。第１型１００’の成形面も、前述したように、離型剤により被覆されていることが好ましい。

（第１多孔質板準備工程）
第１製造方法の第１多孔質板準備工程と同様、気体が通過可能な第１多孔質板１２０を準備する（図１９を参照。）。

（第１成形体作成工程）
図１９に示したように、第１製造方法の第１成形体作成工程と同様、第１型１００’の第１枠部１０３’の内部にスラリーＳＬを充填する。このとき、スラリーＳＬは、第１型１００’に対して多めに充填される。これは、スラリーＳＬを充填する際のスラリーＳＬの圧力（充填圧）を高めることにより、スラリーＳＬの充填率を上げるためである。また、スラリーＳＬが乾燥する際、スラリーＳＬが収縮することを考慮する必要があるからである。この結果、図１９に示したように、スラリーＳＬは、そのスラリーＳＬの表面が第１枠部１０３’の頂面１０３ａ’よりも外側に存在するように、第１型１００’に充填される（図１９の距離ｔを参照。）。

その後、図２０に示したように、第１製造方法の第１成形体作成工程と同様、スラリーＳＬを「第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと第１型１００’の成形面との間」に存在させた状態において、第１多孔質板１２０と第１型１００’とが対向するように、第１多孔質板１２０と第１型１００’とを配置する。即ち、スラリーＳＬが充填された第１型１００’を第１多孔質板１２０の平面１２０ｕの上に搭載する。このとき、第１型１００’を第１多孔質板１２０に対して適当な力で押圧する。

この結果、図２０に矢印により示したように、「第１型１００’の内部に保持されているスラリーＳＬ」に含まれる溶剤が、毛細管現象によって、第１多孔質板１２０の平面１２０ｕ（スラリーＳＬと第１多孔質板１２０との接触面）近傍の細孔内に浸み込むとともに気化（蒸発）する。これにより、スラリーＳＬが乾燥して行く。この場合においても、真空ポンプの駆動による第１多孔質板１２０の細孔内の低圧化は任意である。更に、ホットプレート１５０による第１多孔質板１２０の加熱も任意である。なお、真空ポンプの駆動により第１多孔質板１２０の細孔内を低圧化する場合、「焼結金属１３０の露呈面、及び、第１多孔質板１２０の露呈面」を、気密性の高いフィルムなどで覆うことにより、焼結金属１３０及び第１多孔質板１２０を密閉することがより好ましい。

また、この工程において、ホットプレート１５０を最も上方に位置させ、そのホットプレート１５０の下方に枠体１４０、焼結金属１３０及び第１多孔質板１２０を保持し、その第１多孔質板１２０に向けて「スラリーＳＬを充填した第１型１００’」を押圧してもよい。即ち、図２０に示した構成の上下を逆転してもよい。これにより、気化した溶剤は垂直上方へと蒸発（拡散）する。従って、比重の小さい気化した溶剤が蒸発（拡散）し易くなるので、スラリーＳＬ内に気孔が発生し難い。

更に、本例においては、第１型１００’を第１多孔質板１２０に対向配置する際には第第１型１００’を第１多孔質板１２０に対して適当な力で押圧するが、その後の「真空ポンプの駆動による第１多孔質板１２０の細孔内の低圧化中、及び、ホットプレート１５０による第１多孔質板１２０の加熱中」には、第１型１００’には何らの押圧力を加えないか、或いは、第１多孔質板１２０の密度が局所的に変化することのない程度の適正な押圧力を加える。

その後、スラリーＳＬが乾燥して「乾燥後第１成形体１１０’」が形成されると、「第１型１００’、第１多孔質板１２０及び乾燥後第１成形体１１０’」は冷却される。次いで、図２１に示したように、第１型１００’が「第１多孔質板１２０及び乾燥後の第１成形体１１０’」から除去される。すなわち、離型工程が実施される。この離型工程において、真空ポンプを駆動してもよい。なお、この段階において離型工程を実施しなくてもよい。即ち、乾燥後の第１成形体１１０’を第１型１００’内に維持しておいてもよい。

次いで、第１成形体１１０’を第１多孔質板１２０から分離する。この結果、図２２に示した第１成形体１１０’が得られる。

このように、第１成形体作成工程は、スラリーＳＬを「第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと第１型１００’の成形面との間」に存在させた状態において、第１多孔質板１２０と第１型１００’とを対向配置し、スラリーＳＬに含まれる溶剤を第１多孔質板１２０の細孔内に浸み込ませてスラリーＳＬを乾燥させることにより、乾燥後の第１成形体１１０’を作成する工程である。

（第２型準備工程、第２多孔質板準備工程、第２成形体作成工程）
第２製造方法の「第２型準備工程、第２多孔質板準備工程及び第２成形体作成工程」は、第１製造方法の「第２型準備工程、第２多孔質板準備工程及び第２成形体作成工程」のそれぞれと同一である。この結果、図１１に示した第２成形体２１０が得られる。

（焼成前ヘッド本体作成工程）
第１製造方法においては、第２成形体２１０の上下を逆転（反転）した後に、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合した。これに対し、第２製造方法においては、図２３に示したように、第２成形体２１０の上下を逆転（反転）することなく、第１成形体１１０’と第２成形体２１０とを接合する。

即ち、第１成形体１１０’の平面部１１０’ａと第２成形体２１０の平面部２１０ａとが互いに平行となるように、第１成形体１１０’と第２成形体２１０とを熱圧着により接合する。この熱圧着の前に、第１成形体１１０’の平面部１１０’ａと、第２型２００の平面２０１ｕにより成形された第２成形体２１０の上面と、に接着ペーストを塗布するか、或いは、樹脂をスプレー塗布しておく。また、この熱圧着の前に、第１成形体１１０’の平面部１１０’ａと、第２型２００の平面２０１ｕにより成形された第２成形体２１０の上面と、の間に接着樹脂フィルムを配置してもよい。

更に、この第１成形体１１０’と第２成形体２１０との接合時において、「第１型１００’の第１凸部１０２により成形された溝部２１ａ’の底面の中心軸Ｃ１」と「第２型２００の第２凸部２０２により成形された凹部２１ｂ’の中心軸Ｃ２」とが一致し、且つ、溝部２１ａ’に対する凹部２１ｂ’の位置が「液滴吐出ヘッド本体２０における加圧室２１に対するノズル部２１ｂの位置」と一致するように、第１成形体１１０’と第２成形体２１０とを接合する。

この結果、図２４に示した「残膜除去前の液滴吐出ヘッド本体２０Ｃ」が作成される。液滴吐出ヘッド本体２０Ｃは、図２４の二つの破線の円内に示したように、残膜ＲＦ１及び残膜ＲＦ２を有する。残膜ＲＦ１は、第１型１００’の凸部１０２の頂面１０２ａと第１多孔質板１２０の平面１２０ｕとの間に残存したスラリーＳＬと、第１成形体１１０’の平面部１１０’ａと第２型２００の平面２０１ｕにより成形された第２成形体２１０の上面との間に塗布又は配置された「接着ペースト、樹脂又は接着樹脂フィルム」等が構成する接着層と、により形成される残膜である。残膜ＲＦ２は、第２型２００の凸部２０２の頂面２０２ａと第２多孔質板２２０の平面２２０ｕとの間に残存したスラリーＳＬにより形成される残膜である。

次に、残膜ＲＦ１をレーザー加工により除去し、溝部２１ａ’と凹部２１ｂ’とを連通させる。即ち、図２５に示したように、残膜ＲＦ１に貫通孔Ｈ１を形成する。更に、残膜ＲＦ２をレーザー加工により除去する。即ち、図２５に示したように、残膜ＲＦ２に貫通孔Ｈ２を形成する。これにより、溝部２１ａ’、凹部２１ｂ’、貫通孔Ｈ１及び貫通孔Ｈ２からなるノズル部が形成される。以上により、図２５に示した「焼成前ヘッド本体２０Ｄ」が作成される。なお、残膜ＲＦ２は、研磨加工により除去してもよい。

そして、第１製造方法と同様の「焼成工程及び圧電素子形成工程」を経て、図２６に示した液滴吐出ヘッド１０Ａが完成する。この液滴吐出ヘッド１０Ａは、図１に示した液滴吐出ヘッド１０から吐出孔先端部形成体６０を除いている点、及び、「凹部２１ｂ’と貫通孔Ｈ２とから形成されたノズル部２１ｃ」の形状がノズル部２１ｂの形状と相違する点、を除き、液滴吐出ヘッド１０と同様である。この第２製造方法は、上述した第１製造方法が有する利点のうち、第１乃至第４利点を有する。加えて、残膜ＲＦ２を除去する前に焼成工程を実施し、焼成後において残膜ＲＦ２を精密研磨により除去してもよい。これによれば、ノズル部２１ｂの先端部（開口部、液滴吐出口）の径を精密に調整できるので、別部材（ＳＵＳ等）のノズルプレート（吐出孔先端部形成体）を用いなくても良くなる可能性がある。その結果、製造工数を大幅に削減できる可能性がある。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る「液滴吐出ヘッドの製造方法」について説明する。以下、第３実施形態に係る製造方法は、第３製造方法とも称呼される。第３製造方法においては、一つの型のみを用いて液滴吐出ヘッド本体２０の焼成前積層体が作成される。以下、工程別に説明する。

（スラリー準備工程）
第１製造方法のスラリー準備工程と同様にしてスラリーＳＬを準備する。

（型準備工程）
図２７の（Ａ）乃至（Ｃ）に示した型（押し型・スタンパ）３００を準備する。この型は第３型３００とも称呼される。図２７の（Ａ）は型３００を長手方向（Ｘ軸方向）に沿う平面（Ｘ−Ｚ平面）にて切断した型３００の断面図である。図２７の（Ｂ）は型３００を「型３００のＸ軸中央部よりもＸ軸負方向側の所定位置において」短手方向（Ｙ軸方向）に沿う平面（Ｙ−Ｚ平面）により切断した型３００の断面図である。図２７の（Ｃ）は型３００の部分斜視図である。型３００は、基部３０１、加圧室形成用凸部３０２、ノズル部形成用凸部３０３、及び、枠部３０４、を備えている。

基部３０１は平板状である。従って、基部３０１は少なくとも一つの平面３０１ｕを備えている。

加圧室形成用凸部３０２は平面３０１ｕから立設している。加圧室形成用凸部３０２は、前述した「複数の溝部２１ａ、凹部２２ａ及び複数の溝部２３ａ」と実質的に同一の形状を有している。即ち、加圧室形成用凸部３０２は、「複数の加圧室２１、液体貯留室２２及び複数の液体流通孔２３」と実質的に同一の形状を有している。換言すると、加圧室形成用凸部３０２は、互いに平行に配列される複数の加圧室２１と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部である。

ノズル部形成用凸部３０３は、加圧室形成用凸部３０２の頂面３０２ａから立設している。ノズル部形成用凸部３０３は、図２６に示したノズル部２１ｃと実質的に同一の形状を有している。即ち、ノズル部形成用凸部３０３は円錐台形状を有している。換言すると、第３型３００は、「複数の加圧室２１及びノズル部２１ｃを含む液体室」と実質的に同一形状の凸部を含む凸状部である。

枠部３０４は、基部３０１の外周部の全体に渡り平面３０１ｕから立設している。枠部３０４の内側面のなす形状は、図２６に示したヘッド本体２０の外周面のなす形状と同一である。枠部３０４の頂面３０４ａ及びノズル部形成用凸部３０３の頂面３０３ａは、平面３０１ｕと平行な一つの平面ＰＬ内に存在している。

型３００の成形面は、基部３０１の平面３０１ｕのうち「加圧室形成用凸部３０２及び枠部３０４が存在していない部分（表面）」と、加圧室形成用凸部３０２の表面のうちノズル部形成用凸部３０３が存在していない部分（表面）と、ノズル部形成用凸部３０３の表面と、枠部３０４の内側の側面と、により構成されている。型３００の成形面も、前述したように、離型剤により被覆されていることが好ましい。

（多孔質板準備工程）
第１多孔質板準備工程と同様にして、気体が通過可能な多孔質板３２０を準備する（図２８を参照。）。多孔質板３２０は、第１多孔質板１２０と同種の板体である。多孔質板３２０の少なくとも一つの面３２０ｕ（実際には両面）は平面である。

（成形体作成工程）
図２８に示したように、型３００の枠部３０４の内部にスラリーＳＬを充填する。スラリーＳＬの充填は塗布により行われる。この工程は「スラリー充填（塗布）工程」とも称呼される。スラリーＳＬは、第１スラリー充填工程と同様、塗布以外の適当な方法により充填されてもよい。更に、スラリー充填率を向上させために、スラリーＳＬを枠部３０４の内部に充填させる際、型３００に超音波振動を加えても良く、或いは、真空脱気して型３００内に残存している気泡を除去してもよい。また、スラリーＳＬを型３００と別途準備される平板との間に存在させた状態において型３００を平板に押しつけることにより、スラリーＳＬを型３００内に充填させてもよい。その平板には、スラリーＳＬが転写しないように（即ち、型３００を平板から離す際、型３００内に充填されたスラリーＳＬが平板に残存することがないように）、離型処理されたＰＥＴフィルム等を用いることができる。

このスラリー充填工程において、スラリーＳＬは、型３００に対して多めに充填される。これは、スラリーＳＬを充填する際のスラリーＳＬの圧力（充填圧）を高めることにより、スラリーＳＬの充填率を上げるためである。また、スラリーＳＬが乾燥する際、スラリーＳＬが収縮することを考慮する必要があるからである。この結果、図２８に示したように、スラリーＳＬは、そのスラリーＳＬの表面が型３００の「枠部３０４の頂面３０４ａ及びノズル部形成用凸部３０３の頂面３０３ａ（即ち、平面ＰＬ）」よりも外側に存在するように、型３００に充填される（図２８の距離ｔを参照。）。

一方、図２８に示したように、多孔質板３２０を「多孔質の焼結金属１３０の上面」に載置する。焼結金属１３０は枠体１４０内に収容されている。枠体１４０の側部には吸引用連通管１４１が挿入されている。吸引用連通管１４１は図示しない真空ポンプに接続されている。枠体１４０は、ホットプレート１５０の上に載置されている。

次に、図２９に示したように、スラリーＳＬを「多孔質板３２０の平面３２０ｕと型３００の成形面との間」に存在させた状態において、多孔質板３２０と型３００とが対向するように、多孔質板３２０と型３００とを配置する。

この結果、図２９に矢印により示したように、「型３００の内部に保持されているスラリーＳＬ」に含まれる溶剤が、毛細管現象によって、多孔質板３２０の平面３２０ｕ（スラリーＳＬと多孔質板３２０との接触面）近傍の細孔内に浸み込むとともに気化（蒸発）する。これにより、スラリーＳＬが乾燥して行く。

更に、この工程において、前述した真空ポンプを駆動する。この真空ポンプの駆動により、多孔質板３２０内に存在するガスが排出される（白抜きの矢印Ａを参照。）。従って、多孔質板３２０の内部の圧力は、大気圧よりも低圧（例えば、大気圧よりも８０ｋＰａ低い圧力）になる。これによって、スラリーＳＬに含まれている溶剤が、多孔質板３２０の細孔（特に、多孔質板３２０の表面近傍の細孔）内に効率的に吸引される（浸み込みながら気化して行く）。この場合においても、真空度（多孔質板３２０内部圧力）は、０〜−１００ｋＰａであることが好ましく、−８０〜−１００ｋＰａであることが好ましい。

なお、真空ポンプの駆動により多孔質板３２０の細孔内を低圧化する場合、「焼結金属１３０の露呈面、及び、多孔質板３２０の露呈面」を、気密性の高いフィルムなどで覆うことにより、焼結金属１３０及び多孔質板３２０を密閉することがより好ましい。

加えて、この工程において、ホットプレート１５０に通電する。従って、多孔質板３２０の温度が上昇するので、多孔質板３２０の細孔内に浸み込んだ溶剤は容易に蒸発（拡散）する。この結果、スラリーＳＬは乾燥され固化し、乾燥後の成形体３１０が「型３００と多孔質板３２０との間」に作成される。

なお、この工程において、ホットプレート１５０を最も上方に位置させ、そのホットプレート１５０の下方に枠体１４０、焼結金属１３０及び多孔質板３２０を保持し、その多孔質板３２０に向けて「スラリーＳＬを充填した型３００」を押圧してもよい。これにより、気化した溶剤は垂直上方へと蒸発（拡散）する。従って、比重の小さい気化した溶剤が蒸発（拡散）し易くなるので、スラリーＳＬ内に気孔が発生し難い。

また、真空ポンプの駆動による多孔質板３２０の細孔内の低圧化は任意である。従って、焼結金属１３０及び枠体１４０は、単なる基台に置換されてもよい。更に、ホットプレート１５０による多孔質板３２０の加熱も任意である。従って、ホットプレート１５０は省略されてもよい。更に、本例においては、型３００を多孔質板３２０に対向配置する際には型３００を多孔質板３２０に対して適当な力で押圧するが、その後の「真空ポンプの駆動による多孔質板３２０の細孔内の低圧化中、及び、ホットプレート１５０による多孔質板３２０の加熱中」には、型３００には何らの押圧力を加えないか、或いは、多孔質３２０の密度が局所的に変化することのない程度の適正な押圧力を加える。

その後、スラリーＳＬが乾燥して「乾燥後成形体３１０」が形成されると、「型３００、多孔質板３２０及び乾燥後成形体３１０」は冷却される。次いで、図３０に示したように、型３００が「多孔質板３２０及び乾燥後成形体３１０」から除去される。すなわち、離型工程が実施される。

この離型工程においても真空ポンプを駆動し、焼結金属１３０の内部の圧力を低圧化することが好ましい。これにより、型３００を脱離させる際（離型時）、多孔質板３２０を焼結金属１３０によって安定して保持することができる。この結果、多孔質板３２０が浮き上がることが防止されるので、多孔質板３２０の変形及び乾燥後成形体３１０の変形（パターンの破損）が回避され得る。

次いで、成形体３１０を多孔質板３２０から分離する。この結果、図３１に示した成形体３１０が得られる。

なお、離型工程を実施する前に、多孔質板３２０を成形体３１０から剥離し、その後、成形体３１０の多孔質板３２０が剥離された面を熱感応接着フィルム及び吸引等により固定し、その状態で離型工程を実施して型３００を成形体３１０から離脱させることにより、図３１に示した成形体３１０を得てもよい。これによれば、多孔質板３２０を剥離する際、成形体３１０のパターンが型３００により固定されているので、パターンの変形・破損の可能性を低減することができる。

このように形成された成形体３１０は、図３１の破線の円内に示したように、残膜ＲＦを有する。残膜ＲＦは、型３００のノズル部形成用凸部３０３の頂面３０３ａと多孔質板３２０の平面３２０ｕとの間に残存したスラリーＳＬにより形成される残膜である。

このように、成形体作成工程は、スラリーＳＬを「多孔質板３２０の平面３２０ｕと型３００の成形面との間」に存在させた状態において、多孔質板３２０と型３００とを対向配置し、スラリーＳＬに含まれる溶剤を多孔質板３２０の細孔内に浸み込ませてスラリーＳＬを乾燥させることにより、乾燥後の成形体３１０を作成する工程である。

（焼成前ヘッド本体作成工程）
次に、残膜ＲＦを、レーザー加工により除去する。即ち、図３２に示したように、残膜ＲＦに貫通孔Ｈを形成する。これにより、ノズル部が形成される。以上により、図３２に示した「焼成前ヘッド本体２０Ｅ」が作成される。図３３は、このように製造された焼成前ヘッド本体２０Ｅの部分拡大写真である。なお、残膜ＲＦを、研磨加工により除去してもよい。

（焼成工程，圧電素子形成工程）
その後、第１製造方法と同様、焼成前ヘッド本体２０Ｅに「振動板３０となるセラミックグリーンシート、及び、液体貯留室蓋体４０となるセラミックグリーンシート」を平面方向の位置を合わせながら積層し、得られた積層体を焼成する。更に、第１製造方法と同様、周知の手法に従って、所定の位置に圧電素子を形成する。以上により、図２６に示した液滴吐出ヘッド１０Ａと同様の液滴吐出ヘッドが完成する。

この第３製造方法は、一つの型３００を用い、一度の成形体作成工程において、スラリーＳＬを乾燥させることにより「乾燥後成形体３１０」を作成する。従って、第１及び第２製造方法とは異なり、二つの乾燥後成形体を接合する必要がないので、工程を簡素化することができる。更に、二つの乾燥後成形体を位置合わせしながら圧着する必要がないので、所望の形状の液滴吐出ヘッドを簡単に製造することができる。

なお、第３製造方法において、スラリー準備工程、型準備工程、及び、多孔質板準備工程は、成形体作成工程の前までに実施されれば、その実施順序はどのような順序であってもよい。

更に、焼成前ヘッド本体作成工程におけるレーザー加工による残膜ＲＦの除去（貫通孔Ｈの形成）に代え、得られた積層体を焼成した後、精密研磨によって残膜ＲＦを除去してもよい。これによれば、ノズル部２１ｃの先端部（開口部、液滴吐出口）の径を精密に調整できるので、別部材（ＳＵＳ等）のノズルプレート（吐出孔先端部形成体）を用いなくても良くなる可能性がある。その結果、製造工数を大幅に削減できる可能性がある。

加えて、焼成前ヘッド本体作成工程におけるレーザー加工による残膜ＲＦの除去（貫通孔Ｈの形成）に代え、スラリーＳＬが型３００内において乾燥して固化し、乾燥後の成形体３１０が「型３００と多孔質板３２０との間」に形成された後であって（図２９を参照。）、型３００が乾燥後成形体３１０から除去される前（離型がなされる前）に、図３４に示したように、研磨を実行して残膜ＲＦを除去してもよい。即ち、乾燥後成形体３１０を型３００に保持した状態のまま研磨し、貫通孔Ｈを形成してもよい（図３５を参照。）。

より具体的に述べると、この研磨は、次のように行われる。
先ず、図２９に示したように、型３００内において乾燥後成形体３１０が完成すると、多孔質板３２０から乾燥後成形体３１０を型３００内に保持したまま離脱させる。

次に、図３４に示したように、乾燥後成形体３１０が型３００内に保持されている状態において、その型３００の背面側を研磨用保持具４００により保持する。そして、研磨用保持具４００を水平方向に移動させながら、乾燥後成形体３１０の露呈面を研磨板４１０に押し付けることにより、研磨を実施する。研磨が完了すると（残膜ＲＦが除去されると）離型を実施する。この結果、図３５に示した「焼成前ヘッド本体２０Ｅ」が作成される。

このように、乾燥後成形体３１０の研磨を乾燥後成形体３１０が型３００内に保持された状態にて行うこと（即ち、「離型前研磨加工」を行うこと）の利点は次のとおりである。

（利点１）焼成後の成形体に対して研磨を行うと、研磨屑及び／又は砥粒が加圧室等に入り込むので、その除去工程が必要となる。これに対し、上記方法によれば、乾燥後成形体３１０が型３００に保持されている状態にて研磨されるので、研磨屑及び／又は砥粒が加圧室等に入り込まない。よって、そのような除去工程が不要であるから、製造工程全体を簡素化することができる。

（利点２）型３００の裏面（成形面と反対側の面、背面）を基準として研磨を行うことができるので、研磨される面（乾燥後成形体３１０の露呈面）の平坦性を容易に確保することができる。
（利点３）焼成体に比べて「焼成前成形体３１０」は硬度が低いので、研磨加工の速度を大きくすることができる。即ち、短時間にて研磨を完了することができる。

なお、このような「離型前研磨加工」を行う場合、型３００には硬度の高い材質の材料を用いるか、又は、型３００の表面をＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）処理しておくことが望ましい。

以上、説明したように、本発明による製造方法の各実施形態によれば、液滴吐出ヘッド本体が、「スラリーを型により乾燥させて成形すること」に基いて作成される。従って、液滴吐出ヘッドの加圧室等が微細化した場合であっても、形状精度の高い液滴吐出ヘッド本体を容易に製造することができる。

本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。

例えば、第１製造方法において、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを図１２に示したように接合する前に、それぞれの残膜を除去してもよい。即ち、第１型１００の中に乾燥後第１成形体１１０を保持した状態にて、その乾燥後第１成形体１１０の露呈面（第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと接触していた部分）を研磨することによって乾燥後第１成形体１１０の残膜を除去し、第２型２００の中に乾燥後第２成形体２１０を保持した状態にて、その乾燥後第２成形体２１０の露呈面（第２多孔質板２２０の平面２２０ｕと接触していた部分）を研磨することによって乾燥後第２成形体２１０の残膜を除去し、その後、第１成形体１１０と第２成形体２１０とを接合してもよい。

図３６は、第２型２００の中に乾燥後第２成形体２１０を保持した状態にて、その乾燥後第２成形体２１０の露呈面を研磨することによって乾燥後第２成形体２１０の残膜ＲＦを除去する具体的方法の一例を示す。

より具体的に述べると、この研磨は、乾燥後成形体２１０が型２００内に保持されている状態において、その型２００の背面側を研磨用保持具５００により保持し、研磨用保持具５００を水平方向に移動させながら、乾燥後成形体２１０の露呈面を研磨板５１０に押し付けることにより行う。そして、研磨が完了すると（残膜ＲＦが除去されると）、離型を実施する。それにより図３７に示した「第２成形体２１０Ａ」が作成される。

このように、乾燥後成形体２１０の研磨（貫通孔Ｈ２の形成）を乾燥後成形体２１０が型２００内に保持された状態にて行うこと（即ち、「離型前研磨加工」を行うこと）の利点は、燥後成形体３１０の研磨を乾燥後成形体３１０が型３００内に保持された状態にて行った場合に得られる利点と同様である。

即ち、簡単に述べると、離型前研磨加工を行うことの利点は次のとおりである。
（利点１）乾燥後成形体２１０が型２００に保持されている状態にて研磨されるので、研磨屑及び／又は砥粒が第２凸部２０２により成形された凹部２１ｂ’等に入り込まない。よって、そのような研磨屑及び／又は砥粒等の除去工程が不要である。
（利点２）型２００の裏面（成形面と反対側の面、背面）を基準として研磨を行うことができるので、研磨される面（乾燥後成形体２１０の露呈面）の平坦性を容易に確保することができる。
（利点３）焼成体に比べて「焼成前の成形体２１０」は硬度が低いので、研磨加工の速度を大きくすることができる。即ち、短時間にて研磨を完了することができる。

なお、このような「離型前研磨加工」を行う場合、型２００には硬度の高い材質の材料を用いるか、又は、型２００の表面をＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）処理しておくことが望ましい。また、図３６に示した方法と同様な方法により、第１型１００の中に乾燥後第１成形体１１０を保持した状態にて、その乾燥後第１成形体１１０の露呈面を研磨することによって乾燥後第１成形体１１０の残膜を除去することができる。

同様に、例えば、第２製造方法において、第１成形体１１０’と第２成形体２１０とを図２３に示したように接合する前に、それぞれの残膜を除去してもよい。即ち、第１型１００’の中に乾燥後第１成形体１１０’を保持した状態にて、その乾燥後第１成形体１１０’の露呈面（第１多孔質板１２０の平面１２０ｕと接触していた部分）を研磨することによって乾燥後第１成形体１１０’の残膜ＲＦ１を除去し、第２型２００の中に乾燥後第２成形体２１０を保持した状態にて、その乾燥後第２成形体２１０の露呈面（第２多孔質板２２０の平面２２０ｕと接触していた部分）を研磨することによって乾燥後第２成形体２１０の残膜ＲＦ２を除去し、その後、残膜ＲＦ１除去後の第１成形体１１０（第１成形体１１０Ａ）と残膜ＲＦ２除去後の第２成形体２１０（第２成形体２１０Ａ）とを接合してもよい。

また、第２製造方法において、図２４に示された残膜ＲＦ２は、残膜ＲＦ２を除去する前に焼成工程を実施し、焼成後において残膜ＲＦ２を「研磨材を投射するブラスト加工」により除去してもよい。この場合のブラスト加工は、例えば特開２００６−１５９４０２号公報等に開示されている「弾性体使用特殊ブラスト加工」であってもよい。このブラスト加工は、「比較的大径の弾性体である母材」内に「ＳｉＣ等の小径の砥粒」が固定された研磨材Ｋを「加工対象物の表面」に対し、その加工対象物の表面の法線とは相違する方向から噴射又は投射する方法である。なお、研磨材Ｋの母材の直径Ｄｋは、ノズル部２１ｂ’の直径よりも大きい径であることが望ましい。この場合、乾燥後第１成形体１１０’の残膜ＲＦ１は、焼成前の「レーザー加工及び／又は研磨」等に削除されればよい。

更に、第３製造方法において、残膜ＲＦを除去することなく焼成工程を実施し、その後、残膜ＲＦをブラスト加工（上記「弾性体使用特殊ブラスト加工」を含む。）により除去してもよい。

加えて、本発明は、図３８に示した変形例のように実施することができる。即ち、第１製造方法の第２成形体作成工程と同様に、乾燥後の第２成形体２１０を第２多孔質板２２０の上に作成する。次いで、第２多孔質板２２０と乾燥後の第２成形体２１０とを分離することなく、その上に、スラリーＳＬを充填した第１型１１０を載置する。そして、第１型１１０に充填されたスラリーＳＬの溶媒を「乾燥後の第２成形体２１０」の上面に浸み込ませながら気化させ、スラリーＳＬを乾燥させる。その後、第２多孔質板２２０を剥離し、次いで、第１型１００を離脱させる。これにより、図１３に示したヘッド本体２０Ａと同じ形状のヘッド本体を作成してもよい。

また、第１製造方法において、例えば、図１３及び図３９の（Ａ）に示したように、凹部２１ｂ’の形状は円錐台状であった。このとき、レーザー加工により形成される貫通孔Ｈの径が比較的小さい場合、図３９の（Ａ）の破線の円ＫＤ内に示したように、ノズル部に段差部が生じる。これに対し、レーザー加工により形成される貫通孔Ｈの径及び凹部２１ｂ’の形状を適正化すれば、図３９の（Ｂ）に示したように、段差部のないノズル部を形成することができる。これにより、ノズル部の流路抵抗を一層低減でき、且つ、吐出される液体が淀む部分を発生させないようにすることができる。

更に、レーザー加工により形成される貫通孔Ｈの径及び凹部２１ｂ’の形状を適正化することにより、図３９の（Ｃ）に示したようにレーザー加工の位置（貫通孔Ｈの中心）が凹部２１ｂ’の位置から多少偏移した場合であっても、段差部のないノズル部を形成することができるとともに、凹部２１ｂ’の液滴吐出側の開口部の径を一定値ｄ０に維持することができる。このことは、図３９の（Ｄ）に示したように、凹部２１ｂ’の中心が溝部２１ａの中心ＣＬから多少偏移した場合にもあてはまる。

図３９の（Ｅ）〜（Ｇ）は、凹部２１ｂ’の形状を円柱形状にした場合のノズル部の断面図である。この場合、図３９の（Ｅ）に示したように、ノズル部に段差部を発生させないためには、凹部２１ｂ’の位置及び径と、レーザー加工により形成される貫通孔Ｈの位置及び径とをそれぞれ完全に一致させる必要がある。しかしながら、実際には図３９の（Ｆ）に示したように凹部２１ｂ’の中心が偏移したり、図３９の（Ｇ）に示したようにレーザー加工の位置が偏移する。これらの場合、段差部が発生するとともに、凹部２１ｂ’の液滴吐出側の開口部の径が値ｄ１よりも大きな値ｄ２、ｄ３となる。従って、安定した液滴吐出特性が得られない虞がある。これらのことから、凹部２１ｂ’の形状は、液滴吐出方向において次第に拡径する円錐台形状であることが好ましい。

更に、液体貯留室蓋体４０に代えて、振動板３０が、総ての溝部２１ａの上部のみならず、凹部２２ａの上部及び総ての溝部２３ａの上部をも、覆うように構成されてもよい。

Claims (4)

1. 液体を収容するための加圧室と、前記加圧室に連通するノズル部と、を備える液滴吐出ヘッド本体を含む液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   セラミック粉末と、前記セラミック粉末の溶剤と、有機材料と、を含むスラリーを準備するスラリー準備工程と、
   少なくとも一つの面が平面である第１基部と、前記第１基部の前記平面から立設するとともに前記加圧室と実質的に同一形状の凸部を含む第１凸部と、を有し、前記第１基部の前記平面のうち前記第１凸部が存在していない部分と前記第１凸部の表面とが成形面を構成する第１型を準備する第１型準備工程と、
   少なくとも一つの面が平面であり且つ気体が通過可能な第１多孔質板を準備する第１多孔質板準備工程と、
   前記スラリーを前記第１多孔質板の平面と前記第１型の成形面との間に存在させた状態において前記第１多孔質板と前記第１型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記第１多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、乾燥後の第１成形体を作成する第１成形体作成工程と、
   少なくとも一つの面が平面である第２基部と、前記第２基部の前記平面から立設するとともに前記ノズル部と実質的に同一形状の凸部を含む第２凸部と、を有し、前記第２基部の前記平面のうち前記第２凸部が存在していない部分と前記第２凸部の表面とが成形面を構成する第２型を準備する第２型準備工程と、
   少なくとも一つの面が平面であり且つ気体が通過可能な第２多孔質板を準備する第２多孔質板準備工程と、
   前記スラリーを前記第２多孔質板の平面と前記第２型の成形面との間に存在させた状態において前記第２多孔質板と前記第２型とを対向配置し、前記スラリーに含まれる前記溶剤を前記第２多孔質板の細孔内に浸み込ませて同スラリーを乾燥させることにより、乾燥後の第２成形体を作成する第２成形体作成工程と、
   前記第１多孔質板の平面により形成された前記第１成形体の平面部と前記第２多孔質板の平面により形成された前記第２成形体の平面部とが互いに平行になるように前記第１成形体と前記第２成形体とを接合することにより、焼成前の液滴吐出ヘッド本体を作成する焼成前ヘッド本体作成工程と、
   前記焼成前の液滴吐出ヘッド本体を焼成する焼成工程と、
   を含む製造方法。
2. 請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記焼成前ヘッド本体作成工程は、
   前記第１成形体の平面部と前記第２成形体の平面部とが接触するように前記第１成形体と前記第２成形体とを接合する工程である製造方法。
3. 請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記焼成工程の後に、貫通孔を備えた部材を同貫通孔が前記ノズル部に連通するように、前記焼成された液滴吐出ヘッド本体の前記第２成形体側の表面に接合する他部材接合工程を更に備えた製造方法。
4. 請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、
   前記焼成前ヘッド本体作成工程は、
   前記第１成形体と前記第２成形体とを接合した後、前記第１多孔質板の平面と前記第１型の第１凸部の頂面とにより作成された第１残部の一部と、前記第２多孔質板の平面と前記第２型の第２凸部の頂面とにより作成された第２残部の一部と、を除去することを含む、
   製造方法。