JP2010052419A - セラミックグリーンシートの製造方法及びこれを用いた多層セラミック回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路パターンに対応する陽刻構造部が形成されたインプリンティング面を有するスタンプを設ける段階と、セラミックグリーンシートに上記陽刻構造部に転写された陰刻パターンが形成されるように上記セラミックグリーンシートに上記スタンプをインプリンティングする段階と、上記スタンプがインプリンティングされた状態で上記セラミックグリーンシートを硬化させる段階と、上記セラミックグリーンシートから上記スタンプを分離する段階と、上記セラミックグリーンシートの陰刻パターンに導電性物質を提供する段階を含むセラミックグリーンシートの製造方法を提供する。
【選択図】図2b
Description
10a 第1陽刻構造部
10b 第2陽刻構造部
15 離型層
20 多層セラミック回路基板
20' セラミック積層体
21、22、23、24 セラミックグリーンシート
21a 第1陰刻パターン
21b 第2陰刻パターン
25 キャリアフィルム
27a、27b 外部電極
Claims (11)
- 回路パターンに対応する陽刻構造部が形成されたインプリンティング面を有するスタンプを設ける段階と、
セラミックグリーンシートに前記陽刻構造部に転写された陰刻パターンが形成されるように前記セラミックグリーンシートに前記スタンプをインプリンティングする段階と、
前記スタンプがインプリンティングされた状態で前記セラミックグリーンシートを硬化させる段階と、
前記セラミックグリーンシートから前記スタンプを分離する段階と、
前記セラミックグリーンシートの陰刻パターンに導電性物質を提供する段階と、
を含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記回路パターンは導電性ビアと回路ラインを含み、
前記スタンプに形成された陽刻構造部は前記導電性ビアに該当する少なくとも1つの第1陽刻構造部と前記回路ラインに該当する少なくとも1つの第2陽刻構造部を有し、
前記第1陽刻構造部は前記セラミックグリーンシートの厚さ以上の高さを有し、前記第2陽刻構造部は前記第1陽刻構造部より低い高さを有することを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記スタンプは、少なくとも陽刻構造部の形成面に形成された離型層を含むことを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記離型層は、自己集合単分子層であることを特徴とする請求項3に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記自己集合単分子層は、CF3(CF2)5(CH2)2SiCl3を含むことを特徴とする請求項4に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートは、5000〜12000cpsの粘度を有することを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートは、1000〜2000cpsの粘度を有するセラミックスラリーを所望のセラミックグリーンシートの形状にキャスティングし、そのキャスティング結果物を予備硬化させることにより得られることを特徴とする請求項6に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートを硬化させる段階は、段階的昇温過程を通じて前記セラミックグリーンシートを熱処理する段階であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記陰刻パターンに導電性物質を提供する段階は、印刷工程を用いて前記陰刻パターンに導電性ペーストを充填させる段階であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記陰刻パターンに導電性物質を提供する段階は、メッキ工程を用いて前記陰刻パターンにメッキ層を形成する段階であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 請求項1〜請求項9のいずれか1項を用いて層間回路を構成する夫々の回路パターンを有する複数のセラミックグリーンシートを設ける段階と、
前記複数のセラミックグリーンシートを積層して前記層間回路を有するセラミック積層体を形成する段階と、
前記セラミック積層体を焼成して多層セラミック回路基板を製造する段階と、
を含むことを特徴とする多層セラミック回路基板の製造方法。
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