JP2008062414A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008062414A JP2008062414A JP2006239965A JP2006239965A JP2008062414A JP 2008062414 A JP2008062414 A JP 2008062414A JP 2006239965 A JP2006239965 A JP 2006239965A JP 2006239965 A JP2006239965 A JP 2006239965A JP 2008062414 A JP2008062414 A JP 2008062414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- silicon substrate
- ink
- substrates
- anodic bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】少なくとも3枚の基板を重ね合わせた後、少なくとも3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【選択図】図2
Description
1.
少なくとも3枚の基板を重ね合わせた後、少なくとも3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2.
少なくとも3枚の基板は、シリコン基板あるいはガラス基板からなり、シリコン基板とガラス基板を交互に重ね合わせた後、少なくとも3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とする前記1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3.
3枚の基板は、シリコン基板あるいはガラス基板からなり、シリコン基板、ガラス基板、シリコン基板の順に重ね合わせた後、3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とする前記2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4.
少なくとも1枚の基板の一部に切り欠き部を設けて、該切り欠き部を介して陽極接合用の電極を取り出すことを特徴とする前記1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
以下に、本発明の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。
<第2の実施の形態>
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、上記第1の実施の形態と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
2 シリコン基板(溝形成基板)
3 圧電素子
4 シリコン基板
5 ガラス基板
20 基板固定台
20a ベース電極
90 直流電源
Claims (4)
- 少なくとも3枚の基板を重ね合わせた後、少なくとも3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
- 少なくとも3枚の基板は、シリコン基板あるいはガラス基板からなり、シリコン基板とガラス基板を交互に重ね合わせた後、少なくとも3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 3枚の基板は、シリコン基板あるいはガラス基板からなり、シリコン基板、ガラス基板、シリコン基板の順に重ね合わせた後、3枚の基板を同時に陽極接合法にて接合する工程を有することを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 少なくとも1枚の基板の一部に切り欠き部を設けて、該切り欠き部を介して陽極接合用の電極を取り出すことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006239965A JP2008062414A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006239965A JP2008062414A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008062414A true JP2008062414A (ja) | 2008-03-21 |
Family
ID=39285540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006239965A Pending JP2008062414A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008062414A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010208122A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | ノズル基板の製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
CN102285230A (zh) * | 2010-06-17 | 2011-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 喷液头的制造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006175765A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Ricoh Printing Systems Ltd | シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置 |
-
2006
- 2006-09-05 JP JP2006239965A patent/JP2008062414A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006175765A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Ricoh Printing Systems Ltd | シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010208122A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Seiko Epson Corp | ノズル基板の製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 |
CN102285230A (zh) * | 2010-06-17 | 2011-12-21 | 精工爱普生株式会社 | 喷液头的制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101407582B1 (ko) | 잉크젯 프린트헤드의 노즐 플레이트 및 그 제조 방법 | |
JP4506717B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 | |
JP4594755B2 (ja) | インクジェットプリントヘッドを作製する方法 | |
JP4455287B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP5901444B2 (ja) | 液体吐出ヘッド | |
JP2007111957A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置 | |
JP2008062414A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2012025146A (ja) | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
JP3502743B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
JP5402636B2 (ja) | 陽極接合方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007160927A (ja) | パリレンマスクを用いたシリコン湿式エッチング方法及びこの方法を用いたインクジェットプリントヘッドのノズルプレートの製造方法 | |
JP2009215099A (ja) | 陽極接合方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2008207519A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド | |
JP4954376B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2006347010A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
JP3218664B2 (ja) | インクジェット印字ヘッド | |
JPS62101455A (ja) | インクジエツトヘツドとその製造方法 | |
JP2006256222A (ja) | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製造方法、デバイスおよびデバイスの製造方法 | |
KR100561866B1 (ko) | 압전 방식 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 | |
JP2013063366A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP2008183768A (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5182048B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007001296A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2008302588A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2005161706A (ja) | 液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090901 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110719 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120110 |